KR20190124558A - 무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치 - Google Patents

무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치 Download PDF

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KR20190124558A
KR20190124558A KR1020180048680A KR20180048680A KR20190124558A KR 20190124558 A KR20190124558 A KR 20190124558A KR 1020180048680 A KR1020180048680 A KR 1020180048680A KR 20180048680 A KR20180048680 A KR 20180048680A KR 20190124558 A KR20190124558 A KR 20190124558A
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정상훈
김민철
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세메스 주식회사
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Abstract

디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 장치가 개시된다. 상기 필름 부착 장치는, 상기 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈과, 상기 패널 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 모듈을 포함한다.

Description

무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치{ENDLESS TRACK MODULE AND APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명의 실시예들은 무한 트랙 모듈 및 이를 갖는 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 패널을 이송하기 위한 무한 트랙 모듈 및 이를 이용하여 상기 디스플레이 패널 상에 광학용 투명접착(Optically Clear Adhesive: OCA) 필름과 같은 기능성 필름을 부착하기 위한 필름 부착 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 장치로서 사용되는 OLED 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수하며 또한 응답 속도가 빠르다는 장점을 갖고 있어 최근 휴대형 디스플레이 장치, 스마트 폰, 태블릿 PC 등에 널리 사용되고 있을 뿐만 아니라 대형화를 통한 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다. 특히, 상기 OLED 장치는 무기발광 디스플레이 장치에 비하여 휘도, 구동 전압, 응답 속도 등의 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점이 있다.
상기 OLED 장치의 제조 공정에서 기판 상에는 다양한 막 형성 공정과 식각 공정 등을 통하여 TFT(Thin Film Transistor) 층이 형성되고, 상기 TFT 층 상에는 하부 전극과 유기막층(예를 들면, 정공수송층, 발광층, 전자수송층) 및 상부 전극으로 이루어진 유기발광층이 형성될 수 있다. 상기와 같이 제조된 디스플레이 패널 상에는 커버 글래스와 같은 봉지 기판이 부착될 수 있으며, 상기 디스플레이 패널과 커버 글래스의 합착을 위해 상기 디스플레이 패널 상에 먼저 OCA 필름과 같은 기능성 필름이 부착될 수 있다.
예를 들면, 대한민국 공개특허공보 제10-2014-0104113호, 제10-2018-0024354호 등에는 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 장치들이 개시되어 있다. 상기 장치들은 드럼 형태의 기구를 이용하여 상기 필름을 상기 디스플레이 패널 상에 부착할 수 있으나, 상기와 같이 드럼 형태의 기구를 사용하는 경우 상기 디스플레이 패널과 상기 필름 사이의 정렬에 어려움이 있을 수 있다. 아울러, 상기 디스플레이 패널을 이송하는데 상당한 시간이 소요되므로 상기 필름 부착 공정에 소요되는 시간이 증가될 수 있다.
본 발명의 실시예들은 디스플레이 패널의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 무한 트랙 모듈을 포함하는 디스플레이 패널 이송 장치를 제공하는데 일 목적이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들은 상기 무한 트랙 모듈을 이용하여 디스플레이 패널 상에 필름을 부착할 수 있는 필름 부착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 디스플레이 패널 이송 장치는, 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 무한 트랙 모듈은, 서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 직선 트랙들과, 상기 직선 트랙들의 단부들을 서로 연결하는 한 쌍의 곡선 트랙들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 무한 트랙 모듈은, 상기 이송 경로를 따라 배치되며 상기 패널 스테이지를 안내하기 위한 가이드 유닛과, 상기 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 구동 유닛은 리니어 모터를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패널 스테이지는 상기 디스플레이 패널이 진공 흡착되는 상부면을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 디스플레이 패널 이송 장치는, 상기 무한 트랙 모듈의 내측에 배치되며 상기 패널 스테이지를 진공 펌프에 연결하기 위한 로터리 조인트 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 로터리 조인트 유닛은 상기 진공 펌프와 연결되는 제1 조인트 부재와 상기 패널 스테이지와 연결된 제2 조인트 부재를 포함하며, 상기 제2 조인트 부재는 회전 구동부에 의해 상기 패널 스테이지의 위치에 따라 회전 가능하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 디스플레이 패널 이송 장치는, 상기 무한 트랙 모듈에 의해 이동 가능하도록 구성된 제2 패널 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 장치에 있어서, 상기 필름 부착 장치는, 상기 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈과, 상기 패널 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 장치는, 상기 로드 위치와 상기 필름 부착 모듈 사이에 배치되며 상기 디스플레이 패널의 표면 개질 및 세정을 위한 플라즈마 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 장치는, 상기 로드 위치와 상기 필름 부착 모듈 사이에 배치되며 상기 패널 스테이지 상에 로드된 상기 디스플레이 패널의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 무한 트랙 모듈은, 상기 로드 위치를 갖는 제1 직선 트랙과, 상기 제1 직선 트랙과 평행하게 연장하며 상기 언로드 위치와 상기 디스플레이 패널 상에 상기 필름이 부착되는 필름 부착 위치를 갖는 제2 직선 트랙과, 상기 제1 및 제2 직선 트랙들의 단부들을 서로 연결하는 제1 및 제2 곡선 트랙들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 장치는, 상기 제1 직선 트랙의 상부에 배치되며 상기 패널 스테이지 상에 로드된 상기 디스플레이 패널의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 모듈은, 상기 무한 트랙 모듈의 상부에 배치되며 상기 필름이 진공 흡착되는 흡착면을 갖는 진공 플레이트와, 상기 진공 플레이트 상에 상기 필름을 로드하기 위하여 상기 흡착면이 상방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시키고 상기 필름을 상기 디스플레이 패널 상으로 제공하기 위하여 상기 흡착면이 하방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 필름을 상기 디스플레이 패널 상에 부착하기 위하여 상기 진공 플레이트를 수직 방향으로 이동시키는 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 모듈은, 상기 진공 플레이트의 상부에 배치되며 상기 진공 플레이트 상에 로드된 상기 필름의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라와, 상기 진공 플레이트 상에 로드된 상기 필름의 위치를 정렬하기 위한 필름 정렬부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 모듈은 상기 회전 구동부에 의해 회전 가능하게 구성된 로터리 부재를 더 포함하며, 상기 진공 플레이트와 상기 필름 정렬부는 상기 로터리 부재의 일측 단부 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 모듈은, 상기 로터리 부재의 타측 단부 상에 배치되며 제2 필름이 로드되는 제2 진공 플레이트와, 상기 제2 진공 플레이트 상에 로드된 상기 제2 필름의 위치를 정렬하기 위한 제2 필름 정렬부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 부착 모듈은 상기 정렬 카메라를 수평 방향으로 이동시키기 위한 카메라 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 정렬부는, 상기 필름의 수평 정렬을 위해 상기 진공 플레이트를 수평 방향으로 이동시키는 수평 정렬부와, 상기 필름의 각도 정렬을 위해 상기 진공 플레이트를 회전시키는 각도 정렬부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름 정렬부는 UVW 스테이지를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름은 일측 단부가 상기 진공 플레이트로부터 돌출되도록 로드되며, 상기 진공 플레이트의 일측에는 상기 필름의 일측 단부를 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 밀착시키기 위한 가압 롤러가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 필름의 일측 단부가 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 밀착된 후 상기 무한 트랙 모듈은 상기 필름이 상기 디스플레이 패널 상에 부착되도록 상기 패널 스테이지를 이동시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는 상기 필름과 상기 디스플레이 패널 사이의 간격이 기 설정된 간격이 되도록 상기 진공 플레이트를 하강시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 회전 구동부는 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 위치된 상기 필름의 일측 단부가 상기 필름의 타측 단부보다 낮게 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시킬 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 필름 부착 장치는, 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈과, 상기 패널 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 모듈을 포함할 수 있다. 특히, 상기 무한 트랙 모듈 상에는 복수의 패널 스테이지들이 배치될 수 있으며, 상기 패널 스테이지들은 순차적으로 상기 필름 부착 모듈로 이동될 수 있다. 따라서, 디스플레이 패널들을 공급하는데 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기 필름 부착 모듈은, 상기 무한 트랙 모듈의 상부에 배치되며 필름이 진공 흡착되는 흡착면을 갖는 진공 플레이트와, 상기 진공 플레이트를 회전시키기 위한 회전 구동부와, 상기 진공 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 회전 구동부는 상기 필름의 로드를 위하여 상기 진공 플레이트의 흡착면이 위를 향하도록 회전시킬 수 있으며, 상기 진공 플레이트 상에 상기 필름이 로드된 후 상기 필름의 위치가 정렬 카메라에 의해 검출될 수 있다. 상기 진공 플레이트 상의 상기 필름은 필름 정렬부에 의해 위치가 정렬될 수 있으며, 상기 회전 구동부에 의해 아래를 향하도록 회전된 후 상기 디스플레이 패널 상에 부착될 수 있다. 특히, 상기 필름 정렬부는 상기 필름의 정렬을 위하여 상기 진공 플레이트의 위치와 각도를 조절할 수 있다.
상기와 같이 회전 구동부에 의해 상기 진공 플레이트의 흡착면이 위를 향하도록 회전된 상태에서 상기 필름의 로드 및 정렬 단계들이 순차적으로 수행될 수 있으므로, 종래 기술에 비하여 상기 필름의 정렬이 보다 용이하게 이루어질 수 있으며, 결과적으로 상기 디스플레이 패널 상에 상기 필름을 보다 정확하게 부착할 수 있다.
아울러, 상기 진공 플레이트와 상기 필름 정렬부는 로터리 부재의 일측 단부 상에 배치될 수 있으며, 상기 로터리 부재의 타측 단부 상에는 제2 진공 플레이트와 제2 필름 정렬부가 배치될 수 있다. 결과적으로, 상기 로터리 부재의 회전을 통해 상기 진공 플레이트와 상기 제2 진공 플레이트 상에 필름들이 번갈아 로드될 수 있으며, 이에 따라 상기 필름 부착 공정에 소요되는 시간이 충분히 단축될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 부착 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 무한 트랙 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 필름 부착 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 진공 플레이트와 필름 정렬부를 설명하기 위한 개략적인 확대도이다.
도 5 내지 도 10은 도 3에 도시된 필름 부착 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 부착 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 무한 트랙 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 부착 장치(100)는, 일 예로서, OLED 패널과 같은 디스플레이 패널(10) 또는 터치 패널 상에 OCA 필름과 같은 기능성 필름(20; 도 3 참조)을 부착하기 위하여 사용될 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 부착 장치(100)는 OLED 패널과 OCA 필름에 한정되지는 않으며 다양한 형태의 디스플레이 패널들 상에 다양한 종류의 기능성 필름들을 부착하기 위해 사용될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필름 부착 장치(100)는, 디스플레이 패널(10)을 지지하기 위한 패널 스테이지(120)와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지(120)를 이동시키며 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 패널 스테이지(120) 상에 로드되는 로드 위치(110)와 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 패널 스테이지(120)로부터 언로드되는 언로드 위치(300)를 갖는 무한 트랙 모듈(130)과, 상기 패널 스테이지(120)의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치(300)의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널(10) 상에 필름(20)을 부착하기 위한 필름 부착 모듈(210)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 무한 트랙 모듈(130)은 Y축 방향으로 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)과, 상기 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)의 단부들을 서로 연결하는 제1 및 제2 곡선 트랙들(136, 138)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 무한 트랙 모듈(130)은 상기 이송 경로를 따라 배치되며 상기 패널 스테이지를 안내하기 위한 가이드 유닛(142)과, 상기 이송 경로를 따라 배치되며 상기 패널 스테이지(120)를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 가이드 유닛(142)은 서로 평행하게 연장하는 제1 및 제2 직선 가이드 유닛들과, 상기 제1 및 제2 직선 가이드 유닛들의 단부들을 서로 연결하는 제1 및 제2 곡선 가이드 유닛들을 포함할 수 있다. 상기 스테이지 구동부는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)과 상기 제1 및 제2 곡선 트랙들(136, 138)은 상기 이송 경로를 따라 배열된 영구 자석들을 포함할 수 있으며, 복수의 코일들을 포함하는 가동 블록(140)이 상기 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)과 상기 제1 및 제2 곡선 트랙들(136, 138)의 상부에 배치될 수 있다. 아울러, 상기 가동 블록(140) 상에 상기 패널 스테이지(120)가 배치될 수 있으며, 상기 가동 블록(140)은 상기 가이드 유닛(142)에 의해 안내될 수 있다. 즉, 상기 스테이지 구동부는 상기 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)과 상기 제1 및 제2 곡선 트랙들(136, 138) 및 상기 가동 블록(140)으로 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 패널 스테이지(120)는 상기 디스플레이 패널(10)이 진공 흡착되는 상부면을 가질 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 패널 스테이지(120)는 상기 디스플레이 패널(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공홀들을 가질 수 있다. 다른 예로서, 상기 패널 스테이지(120)는 상기 디스플레이 패널을 진공 흡착하기 위하여 다공성 물질로 이루어지는 흡착 패널을 구비할 수도 있다.
상기 패널 스테이지(120)는 상기 디스플레이 패널(10)의 진공 흡착을 위한 진공 펌프(미도시)와 연결될 수 있다. 예를 들면, 상기 무한 트랙 모듈(130)의 내측에는 상기 패널 스테이지(120)를 상기 진공 펌프와 연결하기 위한 로터리 조인트 유닛(150)이 배치될 수 있다. 상기 로터리 조인트 유닛(150)은 상기 진공 펌프와 연결되는 제1 조인트 부재(152)와, 상기 패널 스테이지(120)와 연결되는 제2 조인트 부재(154)를 포함할 수 있으며, 특히 상기 제2 조인트 부재(154)는 회전 구동부(160)에 의해 상기 패널 스테이지(120)의 위치에 따라 회전 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 패널 스테이지(120)가 상기 무한 트랙 모듈(130)을 따라 이동함에 따라 상기 제2 조인트 부재(154) 또한 상기 회전 구동부(160)에 의해 회전될 수 있다.
상기 제2 조인트 부재(154)는 진공 배관(156)을 통해 상기 패널 스테이지(120)와 연결될 수 있다. 특히, 상기 패널 스테이지(120)의 이동에 따라 상기 제2 조인트 부재(154)와 상기 패널 스테이지(120) 사이의 거리가 변화될 수 있으므로 상기 진공 배관(156)으로는 도시된 바와 같이 코일링 튜브가 사용될 수 있다.
한편, 도시된 바와 같이 상기 무한 트랙 모듈(130) 상에는 복수의 패널 스테이지들(120)이 배치될 수 있으며, 상기 패널 스테이지들(120)은 각각 독립적으로 이동될 수 있다. 즉, 상기 스테이지 구동부는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 제1 및 제2 직선 트랙들(132, 134)과 상기 제1 및 제2 곡선 트랙들(136, 138) 상에 배치된 복수의 가동 블록들(140)을 포함할 수 있으며, 상기 가동 블록들(140) 상에 상기 패널 스테이지들(120)이 각각 배치될 수 있다. 또한, 도시된 바에 의하면, 4개의 패널 스테이지들(120)이 상기 무한 트랙 모듈(130) 상에 배치되고 있으나, 상기 패널 스테이지들(120)의 개수는 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기와 같이 복수의 패널 스테이지들(120)을 이용하여 복수의 디스플레이 패널들(10)을 상기 필름 부착 모듈(210)로 순차적으로 이동시킬 수 있으므로 상기 디스플레이 패널들(10)의 공급에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 패널 스테이지들(120)과 상기 무한 트랙 모듈(130)은 디스플레이 패널 이송 장치로서 기능할 수 있으며, 상기 필름 부착 공정뿐만 아니라 상기 디스플레이 패널(10)에 대한 다양한 공정들을 수행하기 위해 사용될 수 있다.
상기 필름 부착 모듈(210)은 상기 패널 스테이지(120)의 이송 방향을 기준으로 상기 언로드 위치(300)의 상류측에 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 직선 트랙(132)은 상기 로드 위치를 가질 수 있고, 상기 제2 직선 트랙(134)은 상기 언로드 위치(300)와 상기 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)이 부착되는 필름 부착 위치(200)를 가질 수 있다. 즉, 상기 패널 스테이지(120)가 상기 제2 직선 트랙(134)의 상기 필름 부착 위치(200)로 이동된 후 상기 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)이 부착될 수 있으며, 이어서 상기 패널 스테이지(120)가 상기 언로드 위치(300)로 이동된 후 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 패널 스테이지(120)로부터 언로드될 수 있다.
상기 제1 직선 트랙(132)의 상부에는 상기 패널 스테이지(120) 상에 로드된 상기 디스플레이 패널(10)의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라(170)가 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 직선 트랙(132)의 로드 위치(110)에서 상기 패널 스테이지(120) 상에 상기 디스플레이 패널(10)이 로드될 수 있으며, 상기 패널 스테이지(120)가 상기 정렬 카메라(170)의 아래로 이동된 후 상기 정렬 카메라(170)에 의해 상기 디스플레이 패널(10)의 위치가 검출될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 카메라(170)는 상기 패널 스테이지(120) 상에 로드된 상기 디스플레이 패널(10)을 촬상할 수 있으며, 이를 통해 상기 패널 스테이지(120) 상에 로드된 상기 디스플레이 패널(10)의 상대 위치가 검출될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 디스플레이 패널(10)은 제1 이송 로봇(미도시)에 의해 상기 패널 스테이지(120) 상으로 로드될 수 있으며, 제2 이송 로봇(미도시)에 의해 상기 패널 스테이지(120)로부터 언로드될 수 있다. 상기 제1 이송 로봇은 상기 디스플레이 패널(10)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공 노즐들 및 상기 디스플레이 패널(10) 상의 보호 테이프를 제거하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있다. 상기 제2 이송 로봇은 상기 필름(20)이 부착된 디스플레이 패널(10)을 패널 합착 장치(미도시)로 이송할 수 있다. 예를 들면, 상기 패널 합착 장치는 상기 디스플레이 패널(10) 상에 윈도우 글래스를 합착하기 위해 사용될 수 있으며, 상기 제2 이송 로봇은 상기 디스플레이 패널(10)을 상기 패널 스테이지(120)로부터 언로드하고 상기 디스플레이 패널(10)을 상기 패널 합착 장치의 척 상으로 이송할 수 있다. 이를 위하여 상기 제2 이송 로봇은 복수의 진공 노즐들을 구비할 수 있으며, 아울러 상기 패널 합착 장치로 상기 디스플레이 패널(10)을 이송한 후 상기 디스플레이 패널(10) 상에 부착된 상기 필름(20)으로부터 보호 테이프를 제거하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있다.
상기 로드 위치(110)와 상기 필름 부착 위치(200) 사이에는 상기 디스플레이 패널(10)의 표면 개질 및 세정을 위한 플라즈마 유닛(180)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 카메라(170)와 상기 필름 부착 모듈(210) 사이 즉 상기 제1 곡선 트랙(136)의 상부에는 대기압 플라즈마 유닛(180)이 배치될 수 있으며, 상기 대기압 플라즈마 유닛(180)은 상기 디스플레이 패널(10)의 표면 개질과 상기 디스플레이 패널(10) 상의 이물질을 제거하기 위해 사용될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 필름 부착 모듈을 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 4는 도 3에 도시된 진공 플레이트와 필름 정렬부를 설명하기 위한 개략적인 확대도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 필름 부착 모듈(210)은, 상기 필름 부착 위치(200)에서 상기 무한 트랙 모듈(130)의 상부에 배치되며 상기 필름(20)이 진공 흡착되는 흡착면을 갖는 진공 플레이트(220)와, 상기 진공 플레이트(220) 상에 상기 필름(20)을 로드하기 위하여 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 상방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트(220)를 회전시키고 상기 필름(20)을 상기 디스플레이 패널(10) 상으로 제공하기 위하여 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 하방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트(220)를 회전시키는 회전 구동부(260)와, 상기 필름(20)을 상기 디스플레이 패널(10) 상에 부착하기 위하여 상기 진공 플레이트(220)를 수직 방향으로 이동시키는 수직 구동부(262)를 포함할 수 있다.
상기 진공 플레이트(220)는 상기 회전 구동부(260)에 의해 회전 가능하도록 구성된 로터리 부재(264)의 일측 단부 상에 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 로터리 부재(264)는 상기 회전 구동부(260)의 회전축에 연결될 수 있으며, 상기 회전 구동부(260)는 상기 수직 구동부(262)에 의해 수직 방향, 예를 들면, Z축 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동 플레이트(266)에 장착될 수 있다.
상기 진공 플레이트(220)는 상기 필름(20)을 흡착하기 위하여 다공성 물질로 이루어질 수 있으며 상기 필름(20)을 진공 흡착하기 위하여 진공 펌프(미도시)와 연결될 수 있다. 상기와 다르게, 상기 진공 플레이트(220)는 상기 필름(20)을 흡착하기 위한 복수의 진공홀들을 가질 수도 있다. 상기 회전 구동부(260)는 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 위를 향하도록 상기 로터리 부재(264)를 회전시킬 수 있으며, 이어서 상기 필름(20)이 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면 상으로 로드될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 상기 필름(20)은 제3 이송 로봇(미도시)에 의해 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드될 수 있다. 상기 제3 이송 로봇은 상기 필름(20)을 진공 흡착하기 위한 복수의 진공 노즐들을 구비할 수 있으며, 아울러 상기 필름(20)이 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드된 후 상기 필름(20)의 보호 테이프를 제거하기 위한 그리퍼를 구비할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 필름(20)은 상기 제2 이송 로봇에 의해 상기 진공 플레이트(220) 상으로 로드될 수도 있다.
상기 진공 플레이트(220)의 상부에는 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드된 상기 필름(20)의 정렬을 위한 정렬 카메라(270)가 배치될 수 있다. 상기 정렬 카메라(270)는 상기 필름(20)의 모서리 부위들에 대한 이미지들을 획득할 수 있으며, 상기 진공 플레이트(220)의 상부에서 수평 방향, 예를 들면, Y축 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 구체적으로, 상기 정렬 카메라(270)는 카메라 구동부(272)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다.
상기 정렬 카메라(270)에 의해 상기 필름(20)의 위치 정보가 획득된 후 상기 필름(20)의 정렬 단계가 수행될 수 있다. 특히, 상기 필름 부착 모듈(210)은 상기 필름(20)의 정렬을 위한 필름 정렬부(222)를 구비할 수 있으며, 상기 필름 정렬부(222)는 상기 필름(20)의 수평 정렬을 위한 수평 정렬부(224)와 상기 필름(20)의 각도를 정렬하기 위한 각도 정렬부(226)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 수평 정렬부(224)는 상기 로터리 부재(264)의 일측 단부 상에 배치될 수 있으며 상기 필름(20)을 X축 방향으로 정렬할 수 있다. 상기 수평 정렬부(224)는 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등을 이용하여 구성될 수 있으며 X축 방향으로 상기 진공 플레이트(220)를 안내하기 위한 리니어 모션 가이드를 구비할 수 있다. 상기 진공 플레이트(220)는 상기 수평 정렬부(224)에 의해 이동 가능하게 구성된 가동 플레이트(228) 상에 회전 가능하도록 배치될 수 있으며, 상기 각도 정렬부(226)는 상기 가동 플레이트(228)에 장착되어 상기 필름(20)의 각도 정렬을 위해 상기 진공 플레이트(220)를 회전시킬 수 있다. 상기 각도 정렬부(226)는 모터를 이용하여 상기 진공 플레이트(220)를 회전시킬 수 있다. 그러나, 상기 수평 정렬부(224)와 각도 정렬부(226)의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기한 바와는 다르게, 상기 필름 정렬부(222)는 UVW 스테이지를 포함할 수도 있다. 즉, 상기 UVW 스테이지는 상기 로터리 부재(264)의 일측 단부 상에 배치될 수 있으며, 상기 진공 플레이트(220)는 상기 UVW 스테이지 상에 배치될 수 있다. 상기 UVW 스테이지는 상기 필름(20)의 정렬을 위해 상기 진공 플레이트(220)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며 또한 상기 필름(20)의 각도 조절을 위해 상기 진공 플레이트(220)를 회전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필름 부착 모듈(210)은 상기 필름(20)을 상기 디스플레이 패널(10) 상에 밀착시키기 위한 가압 롤러(230)를 포함할 수 있다. 상기 가압 롤러(230)는 상기 진공 플레이트(220)의 일측에 배치될 수 있으며 상기 로터리 부재(264)의 일측에 장착된 롤러 구동부(232)에 의해 수직 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 필름(20)은 일측 단부가 상기 진공 플레이트(220)로부터 돌출되도록 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드될 수 있으며, 상기 가압 롤러(230)는 상기 돌출된 상기 필름(20)의 일측 단부를 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 단부 상에 밀착시킬 수 있다. 상기와 같이 필름(20)의 일측 단부가 밀착된 상태에서 상기 패널 스테이지(120)가 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 상기 필름(20)이 상기 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)의 일측 단부로부터 상기 필름(20)의 타측 단부를 향하여 연속적으로 부착될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필름 부착 모듈(210)은, 상기 로터리 부재(264)의 타측 단부 상에 배치된 제2 진공 플레이트(240)와, 상기 제2 진공 플레이트(240) 상에 로드된 제2 필름(22)의 정렬을 위한 제2 필름 정렬부(242)와, 상기 제2 필름(22)을 후속하는 디스플레이 패널(10) 상에 밀착시키기 위한 제2 가압 롤러(250)와, 상기 제2 가압 롤러(250)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 롤러 구동부(252)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 필름 정렬부(242)는 제2 수평 정렬부(244)와 제2 각도 정렬부(246)를 포함할 수 있다.
상기 제2 진공 플레이트(240), 상기 제2 필름 정렬부(242), 상기 제2 가압 롤러(250) 및 상기 제2 롤러 구동부(252)는 기 설명된 상기 진공 플레이트(220), 상기 필름 정렬부(222), 상기 가압 롤러(230) 및 상기 롤러 구동부(232)와 실질적으로 동일하게 구성될 수 있으므로, 이들에 대한 추가적인 상세 설명은 생략한다.
도 5 내지 도 10은 도 3에 도시된 필름 부착 모듈의 동작을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 5를 참조하면, 상기 디스플레이 패널(10)은 상기 로드 위치(110)에서 상기 제1 이송 로봇에 의해 상기 패널 스테이지(120) 상으로 로드될 수 있다. 상기 패널 스테이지(120)는 상기 정렬 카메라(170)의 아래로 이동될 수 있으며, 상기 디스플레이 패널(10)의 위치가 상기 정렬 카메라(170)에 의해 검출될 수 있다. 예를 들면, 상기 정렬 카메라(170)는 상기 디스플레이 패널(10)의 모서리 부위들에 대한 이미지들을 획득할 수 있으며, 제어부(미도시)는 상기 이미지들을 분석하여 상기 패널 스테이지(120)의 가장자리 부위들에 대한 상기 디스플레이 패널(10)의 모서리 부위들의 상대 좌표들을 획득할 수 있다.
이어서, 상기 디스플레이 패널(10)은 상기 플라즈마 유닛(180)을 경유하여 상기 필름 부착 모듈(210) 아래로 이동될 수 있다. 특히, 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 플라즈마 유닛(180)의 아래를 통과하는 동안 상기 디스플레이 패널(10)의 표면 개질 및 이물질 제거가 이루어질 수 있다.
상기 회전 구동부(260)는 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 위를 향하도록 상기 로터리 부재(264)를 회전시킬 수 있으며, 이어서 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면 상에 필름(20)이 로드될 수 있다. 상기 필름(20)은 제3 이송 로봇에 의해 이송될 수 있으며, 상기 필름(20)이 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드된 후 상기 필름(20) 상의 보호 테이프가 상기 제3 이송 로봇에 의해 박리될 수 있다.
특히, 상기 필름(20)은 일측 단부가 상기 가압 롤러(230)의 상부에 위치되도록 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드될 수 있으며, 상기 정렬 카메라(270)는 상기 필름(20)의 로드 단계 이전에 상기 제3 이송 로봇과의 간섭을 회피하기 위하여 카메라 구동부(272)에 의해 회피 위치로 이동될 수 있다.
도 6을 참조하면, 상기 필름(20)이 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드된 후 상기 정렬 카메라(270)가 상기 카메라 구동부(272)에 의해 상기 필름(20)의 상부에 위치될 수 있다. 이어서, 상기 정렬 카메라(270)는 상기 진공 플레이트(220) 상에 로드된 필름(20)의 모서리 부위들을 촬상할 수 있으며, 제어부(미도시)는 상기 모서리 부위들의 이미지들을 분석하여 상기 필름(20)의 위치 좌표들을 획득할 수 있다.
상기와 같이 필름(20)의 위치 좌표들이 획득된 후 상기 필름 정렬부(222)는 상기 필름(20)의 위치를 보정할 수 있다. 예를 들면, 상기 수평 정렬부(224)는 상기 필름(20)의 위치를 X축 방향으로 조절할 수 있으며, 상기 각도 조절부(226)는 상기 필름(20)이 놓여진 각도를 조절할 수 있다. 이때, 상기 필름 정렬부(222)의 동작은 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다.
도 7을 참조하면, 상기 회전 구동부(260)는 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 아래를 향하도록 상기 로터리 부재(264)를 회전시킬 수 있다. 특히, 상기 회전 구동부(260)는 상기 진공 플레이트(220) 상의 필름(20)이 상기 패널 스테이지(120) 상의 디스플레이 패널(10)의 상부에 위치되도록 상기 로터리 부재(264)를 회전시킬 수 있다.
이때, 상기 스테이지 구동부는 상기 디스플레이 패널(10)과 상기 필름(20) 사이의 정렬을 위해 상기 패널 스테이지(120)의 위치를 Y축 방향으로 조절할 수 있다. 특히, 상기 필름(20)의 일측 단부가 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 단부와 수직 방향으로 일치하도록 상기 패널 스테이지(120)의 위치가 Y축 방향으로 조절될 수 있다. 상기 스테이지 구동부의 동작은 상기 제어부에 의해 제어될 수 있다.
한편, 상기 제2 진공 플레이트(240)는 상기 회전 구동부(260)에 의해 상기 제2 진공 플레이트(240)의 흡착면이 위를 향하도록 회전될 수 있으며, 상기 제2 진공 플레이트(240) 상에 제2 필름(22)이 상기 제3 이송 로봇에 의해 로드될 수 있다.
도 8을 참조하면, 상기 수직 구동부(262)는 상기 진공 플레이트(220) 상의 필름(20)이 상기 패널 스테이지(120) 상의 디스플레이 패널(10)에 인접하도록 상기 로터리 부재(264)를 하강시킬 수 있다. 즉, 상기 수직 구동부(262)는 상기 진공 플레이트(220) 상의 필름(20)과 상기 패널 스테이지(120) 상의 디스플레이 패널(10) 사이의 간격이 기 설정된 간격이 되도록 상기 로터리 부재(264)를 하방으로 이동시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 수직 구동부(262)는 상기 필름(20)과 상기 디스플레이 패널(10) 사이의 간격이 약 1mm 내지 약 5mm 정도가 되도록 상기 로터리 부재(264)를 하강시킬 수 있다.
이어서, 상기 롤러 구동부(232)는 상기 가압 롤러(230)를 하강시킬 수 있으며, 이에 따라 상기 필름(20)의 일측 단부가 상기 디스플레이 패널(10)의 일측 단부 상에 밀착될 수 있다. 계속해서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지 구동부가 상기 패널 스테이지(120)를 Y축 방향으로 이동시킴으로써 상기 필름(20)이 상기 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)의 일측 단부로부터 상기 필름(20)의 타측 단부를 향하여 연속적으로 부착될 수 있다. 이때, 상기 필름(20)을 진공 흡착하기 위한 진공압은 상기 필름(20)이 상기 진공 플레이트(220)로부터 분리 가능하도록 상기 제어부에 의해 적절하게 조절될 수 있다.
다른 예로서, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 회전 구동부(260)는 상기 필름(20)의 일측 단부가 상기 필름(20)의 타측 단부보다 낮게 위치되도록 상기 로터리 부재(264)의 각도를 조절할 수 있다. 특히, 상기 회전 구동부(260)는 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 약 1° 내지 5° 정도의 경사각을 갖도록 상기 진공 플레이트(220)의 각도를 조절할 수 있다. 이는 상기 필름(20)의 타측 단부가 상기 필름(20)의 일측 단부보다 먼저 상기 디스플레이 패널(10) 상에 부착되는 것을 방지하기 위함이다.
상기와 같이 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)이 부착된 후 상기 수직 구동부(262)는 상기 로터리 부재(264)를 상승시킬 수 있으며, 상기 제2 진공 플레이트(240) 상에 로드된 상기 제2 필름(22)의 위치 검출 및 정렬 단계가 수행될 수 있다. 아울러, 후속하는 디스플레이 패널(10)이 상기 스테이지 구동부에 의해 상기 진공 플레이트(220)의 아래로 이동될 수 있다.
한편, 상기에서는 상기 제2 필름(22)의 로드 단계가 수행된 후 상기 로터리 부재(264)가 하강되는 것으로 설명되었으나, 상기 제2 필름(22)의 로드 단계는 상기 필름(20)의 부착 단계가 수행되고 이어서 상기 로터리 부재(264)가 상승된 후에 수행될 수도 있다. 또한, 상기와 다르게, 상기 제2 필름(22)의 로드 단계 및/또는 정렬 단계는 상기 제2 필름(22)의 부착에 소요되는 시간을 단축시키기 위해 상기 필름(20)이 상기 디스플레이 패널(10) 상에 부착되는 동안에 수행될 수도 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 필름 부착 장치(100)는, 디스플레이 패널(10)을 지지하기 위한 패널 스테이지(120)와, 폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지(120)를 이동시키며 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 패널 스테이지(120) 상에 로드되는 로드 위치(110)와 상기 디스플레이 패널(10)이 상기 패널 스테이지(120)로부터 언로드되는 언로드 위치(300)를 갖는 무한 트랙 모듈(130)과, 상기 패널 스테이지(120)의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치(300)의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널(10) 상에 필름(20)을 부착하기 위한 필름 부착 모듈(210)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 무한 트랙 모듈(130) 상에는 복수의 패널 스테이지들(120)이 배치될 수 있으며, 상기 패널 스테이지들(120)은 순차적으로 상기 필름 부착 모듈(210)로 이동될 수 있다. 따라서, 디스플레이 패널들(10)을 공급하는데 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
상기 필름 부착 모듈(210)은, 상기 무한 트랙 모듈(130)의 상부에 배치되며 필름(20)이 진공 흡착되는 흡착면을 갖는 진공 플레이트(220)와, 상기 진공 플레이트(220)를 회전시키기 위한 회전 구동부(260)와, 상기 진공 플레이트(220)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(262)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 회전 구동부(260)는 상기 필름(20)의 로드를 위하여 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 위를 향하도록 회전시킬 수 있으며, 상기 진공 플레이트(220) 상에 상기 필름(20)이 로드된 후 상기 필름(20)의 위치가 정렬 카메라(270)에 의해 검출될 수 있다. 상기 진공 플레이트(220) 상의 상기 필름(20)은 필름 정렬부(222)에 의해 위치가 정렬될 수 있으며, 상기 회전 구동부(260)에 의해 아래를 향하도록 회전된 후 상기 디스플레이 패널(10) 상에 부착될 수 있다. 특히, 상기 필름 정렬부(222)는 상기 필름(20)의 정렬을 위하여 상기 진공 플레이트(220)의 위치와 각도를 조절할 수 있다.
상기와 같이 회전 구동부(260)에 의해 상기 진공 플레이트(220)의 흡착면이 위를 향하도록 회전된 상태에서 상기 필름(20)의 로드 및 정렬 단계들이 순차적으로 수행될 수 있으므로, 종래 기술에 비하여 상기 필름(20)의 정렬이 보다 용이하게 이루어질 수 있으며, 결과적으로 상기 디스플레이 패널(10) 상에 상기 필름(20)을 보다 정확하게 부착할 수 있다.
아울러, 상기 진공 플레이트(220)와 상기 필름 정렬부(222)는 로터리 부재(264)의 일측 단부 상에 배치될 수 있으며, 상기 로터리 부재(264)의 타측 단부 상에는 제2 진공 플레이트(240)와 제2 필름 정렬부(242)가 배치될 수 있다. 결과적으로, 상기 로터리 부재(264)의 회전을 통해 상기 진공 플레이트(220)와 상기 제2 진공 플레이트(240) 상에 필름들(20, 22)이 번갈아 로드될 수 있으며, 이에 따라 상기 필름 부착 공정에 소요되는 시간이 충분히 단축될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 디스플레이 패널 20 : 필름
100 : 필름 부착 장치 110 : 로드 위치
120 : 패널 스테이지 130 : 무한 트랙 모듈
132 : 제1 직선 트랙 134 : 제2 직선 트랙
136 : 제1 곡선 트랙 138 : 제2 곡선 트랙
140 : 가동 블록 142 : 가이드 유닛
150 : 로터리 조인트 유닛 152 : 제1 조인트 부재
154 : 제2 조인트 부재 160 : 회전 구동부
170 : 정렬 카메라 180 : 플라즈마 유닛
200 : 필름 부착 위치 210 : 필름 부착 모듈
220 : 진공 플레이트 222 : 필름 정렬부
224 : 수평 정렬부 226 : 각도 정렬부
230 : 가압 롤러 232 : 롤러 구동부
240 : 제2 진공 플레이트 242 : 제2 필름 정렬부
244 : 제2 수평 정렬부 246 : 제2 각도 정렬부
250 : 제2 가압 롤러 252 : 제2 롤러 구동부
260 : 회전 구동부 262 : 수직 구동부
264 : 로터리 부재 266 : 가동 플레이트
270 : 정렬 카메라 272 : 카메라 구동부
300 : 언로드 위치

Claims (24)

  1. 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지; 및
    폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 무한 트랙 모듈은,
    서로 평행하게 연장하는 한 쌍의 직선 트랙들; 및
    상기 직선 트랙들의 단부들을 서로 연결하는 한 쌍의 곡선 트랙들을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 무한 트랙 모듈은,
    상기 이송 경로를 따라 배치되며 상기 패널 스테이지를 안내하기 위한 가이드 유닛; 및
    상기 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키기 위한 스테이지 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 구동 유닛은 리니어 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 패널 스테이지는 상기 디스플레이 패널이 진공 흡착되는 상부면을 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 무한 트랙 모듈의 내측에 배치되며 상기 패널 스테이지를 진공 펌프에 연결하기 위한 로터리 조인트 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 로터리 조인트 유닛은 상기 진공 펌프와 연결되는 제1 조인트 부재와 상기 패널 스테이지와 연결된 제2 조인트 부재를 포함하며,
    상기 제2 조인트 부재는 회전 구동부에 의해 상기 패널 스테이지의 위치에 따라 회전 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 무한 트랙 모듈에 의해 이동 가능하도록 구성된 제2 패널 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 이송 장치.
  9. 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 장치에 있어서,
    상기 디스플레이 패널을 지지하기 위한 패널 스테이지;
    폐루프 형태의 이송 경로를 따라 상기 패널 스테이지를 이동시키며 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지 상에 로드되는 로드 위치와 상기 디스플레이 패널이 상기 패널 스테이지로부터 언로드되는 언로드 위치를 갖는 무한 트랙 모듈; 및
    상기 패널 스테이지의 이동 방향을 기준으로 상기 언로드 위치의 상류측에 배치되며 상기 디스플레이 패널 상에 필름을 부착하기 위한 필름 부착 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 로드 위치와 상기 필름 부착 모듈 사이에 배치되며 상기 디스플레이 패널의 표면 개질 및 세정을 위한 플라즈마 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 로드 위치와 상기 필름 부착 모듈 사이에 배치되며 상기 패널 스테이지 상에 로드된 상기 디스플레이 패널의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 무한 트랙 모듈은,
    상기 로드 위치를 갖는 제1 직선 트랙;
    상기 제1 직선 트랙과 평행하게 연장하며 상기 언로드 위치와 상기 디스플레이 패널 상에 상기 필름이 부착되는 필름 부착 위치를 갖는 제2 직선 트랙; 및
    상기 제1 및 제2 직선 트랙들의 단부들을 서로 연결하는 제1 및 제2 곡선 트랙들을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제1 직선 트랙의 상부에 배치되며 상기 패널 스테이지 상에 로드된 상기 디스플레이 패널의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  14. 제9항에 있어서, 상기 필름 부착 모듈은,
    상기 무한 트랙 모듈의 상부에 배치되며 상기 필름이 진공 흡착되는 흡착면을 갖는 진공 플레이트;
    상기 진공 플레이트 상에 상기 필름을 로드하기 위하여 상기 흡착면이 상방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시키고 상기 필름을 상기 디스플레이 패널 상으로 제공하기 위하여 상기 흡착면이 하방으로 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시키는 회전 구동부; 및
    상기 필름을 상기 디스플레이 패널 상에 부착하기 위하여 상기 진공 플레이트를 수직 방향으로 이동시키는 수직 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 필름 부착 모듈은,
    상기 진공 플레이트의 상부에 배치되며 상기 진공 플레이트 상에 로드된 상기 필름의 위치를 검출하기 위한 정렬 카메라; 및
    상기 진공 플레이트 상에 로드된 상기 필름의 위치를 정렬하기 위한 필름 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 필름 부착 모듈은 상기 회전 구동부에 의해 회전 가능하게 구성된 로터리 부재를 더 포함하며,
    상기 진공 플레이트와 상기 필름 정렬부는 상기 로터리 부재의 일측 단부 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 필름 부착 모듈은,
    상기 로터리 부재의 타측 단부 상에 배치되며 제2 필름이 로드되는 제2 진공 플레이트; 및
    상기 제2 진공 플레이트 상에 로드된 상기 제2 필름의 위치를 정렬하기 위한 제2 필름 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 필름 부착 모듈은 상기 정렬 카메라를 수평 방향으로 이동시키기 위한 카메라 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  19. 제15항에 있어서, 상기 필름 정렬부는,
    상기 필름의 수평 정렬을 위해 상기 진공 플레이트를 수평 방향으로 이동시키는 수평 정렬부; 및
    상기 필름의 각도 정렬을 위해 상기 진공 플레이트를 회전시키는 각도 정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  20. 제15항에 있어서, 상기 필름 정렬부는 UVW 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  21. 제14항에 있어서, 상기 필름은 일측 단부가 상기 진공 플레이트로부터 돌출되도록 로드되며,
    상기 진공 플레이트의 일측에는 상기 필름의 일측 단부를 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 밀착시키기 위한 가압 롤러가 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 필름의 일측 단부가 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 밀착된 후 상기 무한 트랙 모듈은 상기 필름이 상기 디스플레이 패널 상에 부착되도록 상기 패널 스테이지를 이동시키는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  23. 제21항에 있어서, 상기 수직 구동부는 상기 필름과 상기 디스플레이 패널 사이의 간격이 기 설정된 간격이 되도록 상기 진공 플레이트를 하강시키는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
  24. 제21항에 있어서, 상기 회전 구동부는 상기 디스플레이 패널의 일측 단부 상에 위치된 상기 필름의 일측 단부가 상기 필름의 타측 단부보다 낮게 위치되도록 상기 진공 플레이트를 회전시키는 것을 특징으로 하는 필름 부착 장치.
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