KR20190130794A - 열증착기용 필라멘트 히터 - Google Patents

열증착기용 필라멘트 히터 Download PDF

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KR20190130794A
KR20190130794A KR1020180055347A KR20180055347A KR20190130794A KR 20190130794 A KR20190130794 A KR 20190130794A KR 1020180055347 A KR1020180055347 A KR 1020180055347A KR 20180055347 A KR20180055347 A KR 20180055347A KR 20190130794 A KR20190130794 A KR 20190130794A
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박영욱
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선문대학교 산학협력단
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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Abstract

본 기술은 열증착기용 필라멘트 히터에 관한 것이다. 본 기술의 열증착기용 필라멘트 히터는, 유기재료를 수용하는 용기의 외면을 에워싸는 코일 형상을 가지되, 상기 코일 형상은 상기 용기 부위 별로 코일 턴수가 가변적이다.

Description

열증착기용 필라멘트 히터{FILAMENT HEATER FOR THERMAL EVAPORATOR}
본 발명은 열증착기용 필라멘트 히터에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 유기 발광 다이오드로 대표되는 유기 전자 소자 제작을 위한 유기재료 증착에 사용되는 열증착기의 필라멘트 타입 히터에 관한 것이다.
열증착기는 유기 발광 표시 장치에 포함되는 박막들을 기판 상에 증착하기 위해 이용되고 있다.
일반적으로 열증착기는 진공 챔버 내에 설치된 증발원을 포함한다. 증발원 내의 유기재료가 증착될 기판은 증발원으로부터 소정 거리만큼 이격된 높이에서 진공 챔버 내에 로딩된다. 열증착기는 히터에 전원을 인가하여 증발원의 유기재료를 가열하여 기화 또는 승화시켜 기판상에 증착한다. 증발원은 유기재료가 담겨 있는 도가니, 도가니를 가열하기 위한 히터를 포함한다.
통상적으로 히터는 원통형의 도가니 주변을 감싸는 구조로 설치될 수 있다. 히터는 열 안정성 및 효율이 우수한 재질인 탄탈륨(Ta)(Tm: 2850℃텅스텐(W)(Tm: 3387℃을 필라멘트로 제작될 수 있다.
히터를 이용한 도가니 가열 방식은 간접가열 방식에 해당하는데, 이외에도 도가니에 직접 전기를 흘리는 직접가열 방식 또는 전자선을 이용한 전자선 가열 방식 등이 있다. 히터를 이용한 간접 가열 방식이 증착제어가 안정적이어서 주로 사용되고 있다.
유기재료의 특성상, 일반적인 히터 사용시 히터 인접면 유기재료부터 기화됨에 따라 측면부 혹은 하단부 재료부터 승화(기화)되는 일이 많다. 이는 다양한 문제점들을 초래한다.
먼저, 유기재료의 비산 문제를 발생시킨다. 하단부 혹은 측면부 유기재료가 먼저 승화(기화)될 경우 상단부의 고체상 유기재료가 날리는 현상이다. 유기재료가 비산할 경우, 샘플 오염, 챔버 오염, 유기재료 사용률 감소 등으로 인한 공정 시간 및 비용이 증가한다.
또한, 도가니 막힘 현상을 발생시킨다. 유기재료의 종류 및 도가니 형태에 따라 나타나는 현상으로, 특히, 도가니와의 반응 특성이 좋은 유기재료의 경우, 증착 중 상대적으로 온도가 낮은 도가니 상단부에 달라붙는 형태로 증착이 되어, 도가니 상단이 막히는 현상을 유발한다. 도가니 막힘 현상이 발생할 경우, 증착 박막 유니포미티 및 커버리지가 현저히 감소하게 되어 증착 박막 신뢰성이 저하된다. 이는 재로딩, 막힘 제거, 크루서블 교체 등으로 공정 시간 및 비용을 크게 증가시킨다.
본 발명의 발명자는 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 오랫동안 연구하고 시행착오를 거친 끝에 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
본 발명의 실시예는 적은 비용으로 기존 히터의 문제점을 개선하여 공정 수율을 향상시킬 수 있는 열증착기용 필라멘트 히터를 제공한다.
한편, 본 발명의 명시되지 않은 또 다른 목적들은 하기의 상세한 설명 및 그 효과로부터 용이하게 추론할 수 있는 범위 내에서 추가적으로 고려될 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터는, 유기재료를 수용하는 용기의 외면을 에워싸는 코일 형상을 가지되, 상기 코일 형상은 상기 용기 부위 별로 코일 턴수가 가변적일 수 있다.
상기 용기는 연속적으로 이어지는 상단부, 중단부 및 하단부로 구분되고, 상기 상단부를 에워싸는 코일 턴수가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 턴수보다 많을 수 있다.
상기 하단부에서 상기 중단부를 지나 상기 상단부로 갈수록 코일 턴수가 증가하는 경향을 가질 수 있다.
상기 상단부는 상기 중단부 또는 상기 하단부보다 직경이 큰 제1 상단부와, 상기 중단부 또는 상기 하단부와 직경이 동일한 제2 상단부를 포함하고, 상기 제1 상단부는 최상부로 갈수록 직경이 증가하는 퍼널 형상을 가지며, 상기 제1 상단부 및 상기 제2 상단부를 에워싸는 코일 턴수가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 턴수보다 많을 수 있다.
상기 상단부를 에워싸는 코일 피치가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 피치보다 작을 수 있다.
상기 하단부에서 상기 중단부를 지나 상기 상단부로 갈수록 코일 피치가 좁아지는 경향을 가질 수 있다.
상기 제1 상단부를 에워싸는 코일 피치는 상기 제2 상단부를 에워싸는 코일 피치와 동등할 수 있다.
본 기술은 적은 비용으로 기존 히터의 문제점을 개선하여 공정 수율을 향상시킬 수 있는 열증착기용 필라멘트 히터를 제공할 수 있다.
또한 본 기술은 유기 재료 증착을 위한 재료 종류에 무관하게 재료 비산 및 도가니 막힘 현상을 방지하는 열증착기용 필라멘트 히터를 제공할 수 있다.
또한 본 기술은 증착 박막의 신뢰도 향상, 재료에 무관한 고용량 도가니 적용 가능화를 통한 로딩 공정의 단순화, 예열 시간의 단축 등을 통한 전체 공정 시간의 단축을 달성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터의 전체적인 형상을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터와 이에 장착된 용기를 함께 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터와 이에 장착된 도가니를 함께 도시하는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터와 이에 장착된 도가니를 함께 도시하는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터가 적용된 도가니의 사용예를 종래의 경우와 비교 도시하는 도면이다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술사상에 대한 이해를 위하여 참조로서 예시된 것임을 밝히며, 그것에 의해 본 발명의 권리범위가 제한되지는 아니한다.
이하에서는, 본 발명의 가장 바람직한 실시예가 설명된다. 도면에 있어서, 두께와 간격은 설명의 편의를 위하여 표현된 것이며, 실제 물리적 두께에 비해 과장되어 도시될 수 있다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지와 무관한 공지의 구성은 생략될 수 있다. 각 도면의 구성요소들에 참조 번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터(100)의 전체적인 형상을 도시하는 사시도이다.
그리고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터(100)와 이에 장착된 용기(10)를 함께 도시하는 사시도이다.
먼저, 도 1을 참조하면, 필라멘트형 히터(100, 이하, 설명의 편의를 위해, '히터'라고 함)가 전원부(P)에 설치된다.
히터(100)는 전원부(P)로부터 전력을 공급받아 그 내부에 장착될 용기(10, 도 2 참조)를 가열한다.
히터(100)는 열 안정성 및 효율이 우수한 재질, 예를들어, 탄탈륨이나 텅스텐 재질의 필라멘트로 형성될 수 있다.
용기(10)는 절연체 재질인 세라믹 등으로 형성될 수 있다. 용기(10)는 도가니로 참조될 수 있다.
도 1에 도시된 히터(100)와 전원부(P)는 열증착기의 일부 구성요소들에 해당한다. 도 1에서는 설명의 편의를 위해 열증착기의 구성요소들 중 일부만이 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 열증착기는 진공 챔버, 진공 챔버 안에 놓이는 기판, 기판상에 성막되는 유기 박막을 포함할 수 있다. 또한, 기판 위에 패턴을 형성하기 위한 마스크, 기판으로의 성막 정도를 모니터하는 막 두께 모니터링부, 막 두께 모니터링부로부터 신호를 받아 막 두께 정보를 전원부에 피드백하는 막 두께 제어부 등을 더 포함할 수 있다.
히터(100)와 도가니(10)는 증발원(1)으로 참조될 수 있다. 전원부(P)는 증발원(1)이 구비하는 도가니(10)를 가열하여 증발원으로부터 증발 입자를 발생시킨다. 이를 위해 전원부는 증발원의 온도를 제어할 수 있다.
도 2를 참조하면, 도가니(10)는 원통형 구조를 갖는다.
본 발명의 실시예에 따르면, 도가니(10)는 원통형 구조에 그 상단에 퍼널 형상의 개구부(O)가 형성된 오버행 구조를 가질 수 있다. 전체적으로 보아, 대체로 직경이 동일하게 유지되는 몸통부(B)와, 최상부로 갈수록 직경이 커지는 퍼널 형상의 개구부(O)를 포함하는 것으로 볼 수 있다.
도가니 내부로 유기 재료(성막재)(S)가 수용된다. 유기 재료는 요구되는 성막을 위한 적합한 재료가 선택될 수 있다. 유기재료는 고체(통상 분말)일 수 있다.
그리고, 이러한 도가니(10)를 에워싸기 위해, 필라멘트 히터(100)는 원통형 코일 구조를 갖는다.
본 발명의 실시예에 따르면, 히터(100)는 원통형 코일 구조에 그 상단에 퍼널 형상의 확장부(E)가 마련된 구조를 가질 수 있다. 전체적으로 보아, 대체로 직경이 일관되게 유지되는 터널부(T)와, 최상부로 갈수록 직경이 커지는 퍼널 형상의 확장부(O)를 포함하는 것으로 볼 수 있다.
히터의 터널부(T) 내에 도가니의 몸통부(B)가 배치되고, 히터의 확장부(E) 내에 도가니의 개구부(O)가 배치된다.
히터의 확장부(E)는 도가니를 가열하는 역할 뿐만 아니라, 도가니를 떠받히는 받침대 역할을 수행할 수도 있다. 도가니의 자중이 개구부와 확장부간 접촉에 의해 지지될 수 있다.
도가니의 퍼널 형상의 개구부(O)는 파지를 위해 활용될 수 있다. 열증착기 내부로 도가니를 장착하거나, 그 외부로 도가니를 탈착할 때, 도가니를 잡는 부분에 해당할 수 있다.
한편, 도가니는 증발원으로서 받은 열을 소모하게 되는데, 이러한 퍼널 형상의 개구부(O)는 특히 열 소모가 큰 부분에 해당한다. 열 소모가 큰 부분이 존재하면, 상술한 바와 같이, 유기재료의 비산 문제를 발생시킬 수 있다. 도가니의 하단부나 측면부 유기재료가 먼저 승화됨에 따라 상단부의 고체상 유기재료가 날리게 되는 것이다. 또한 증착 중 상대적으로 온도가 낮은 부분에 유기재료가 달라붙게 하여 도가니 상단부 막힘 현상을 유발할 수도 있다.
이에, 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트 히터는 코일 감김횟수, 즉, 코일 턴수를 조절하여 온도 분포를 조절한다. 필라멘트 히터가 부분적으로 다른 구조를 갖도록 함으로써 도가니의 가열 부위 및 열 분포를 조절한다. 이하 도 3 내지 도 4를 참조하여, 보다 상세하게 살펴본다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터(100)와 이에 장착된 도가니(10)를 함께 도시하는 단면도이다. 도 2의 단면도에 해당한다.
도 3을 참조하면, 히터(100)에 도가니(10)가 장착된다. 히터(100)는 도가니(10)의 외면을 에워싸도록 코일 형상으로 마련된다.
히터(100)의 코일 형상은 도가니(10) 부위 별로 코일 턴수가 가변적이다. 즉, 도가니(10)는 연속적으로 이어지는, 상단부(P1), 중단부(P2), 하단부(P3)로 구분될 수 있고, 이러한 도가니의 부위 별로 히터(100)의 코일 턴수는 가변적이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상단부(P1)를 에워싸는 코일 턴수가 중단부(P2)나 하단부(P3)를 에워싸는 코일 턴수보다 많을 수 있다.
예를 들어, 도 3에서는 상단부(P1)를 에워싸는 코일 턴수가 11, 중단부(P2)를 에워싸는 코일 턴수가 4, 하단부(P3)를 에워싸는 코일 턴수가 5로써, 상단부 코일 턴수(11)가 중단부 코일 턴수(4)나 하단부 코일 턴수(5)보다 많다. 즉, 중단부에 코일을 4번 감거나, 하단부에 코일을 5번 감았다면, 상단부에는 코일을 11번 감아서 발열체를 집중시킨다.
따라서, 도가니의 상단부(P1)는 발열체의 집중으로 온도가 다른 부분(P2 또는 P3) 대비 상대적으로 높아지며, 이로써 상술한 유기재료의 비산 문제를 예방할 수 있다. 상단부의 온도가 더 높음에 따라, 도가니 상단의 유기재료부터 승화(기화)될 수 있기 때문이다. 상단부보다 하단부나 중단부 유기재료가 먼저 승화(기화)되는 현상을 최대한 억제할 수 있다.
또한, 도가니의 상단부(P1)가 상대적으로 더 온도가 높기 때문에, 증착 과정에서 발생하는 승화된 재료의 재증착 현상을 방지할 수 있으며, 따라서 도가니 상단 막힘 현상도 현저히 감소시킬 수 있다.
코일 턴수 조정을 통한 온도 분포 조절로써 아주 적은 비용과 노력으로 기존 히터의 문제점을 매우 효과적으로 해결할 수 있다.
계속하여, 도 3을 참조하면, 도가니 부위별 코일 피치(d1, d2, d3)가 함께 도시된다. 이러한 코일 피치는 동일한 길이에 대해서 이루어지는 권취수, 즉, 코일 턴수가 많은지 적은지를 판별해주는 하나의 척도가 될 수 있다.
하나의 권심축을 갖는 권취대상에 대해 필라멘트가 코일링 될 때, 코일 턴수가 많을수록 코일 피치는 좁아진다.
그러므로, 상단부(P1)를 에워싸는 코일 피치(d1)는 중단부(P2)나 하단부(P3)를 에워싸는 코일 피치(d2 또는 d3)보다 작게 나타난다.
이와 같이, 다른 부분 대비 상단부에 코일 피치를 좁게 형성시킴으로써 도가니 상단부에 발열체를 집중 및 도가니 상단부의 온도를 다른 부분 대비 상대적으로 높게 형성할 수 있다.
도가니 상단부의 온도를 상대적으로 높이기 위한 방식에는 여러 방식이 있을 수 있겠지만, 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트형 히터는 하나의 동일한 두께의 필라멘트를 그 위치별로 단지 턴수만을 조정하였다는 점에 더욱 의미가 있다.
또한 도가니의 퍼널 형상의 개구부 바로 아래에 코일 턴수 많게 함으로써 도가니를 떠받히는 받침대 역할을 위한 지지 구조도 보다 견고하게 확보할 수 있다. 턴수가 많을수록 도가니와 접촉하는 코일 수가 많아져 지지 구조가 견고해질 수 있기 때문이다.
한편, 상기에서는 상단부(P1)를 그 아래에 위치하는 중단부(P2)나 하단부(P3)에 대비하여 하나의 요소로서 살펴보았지만, 상단부(P1)를 오버행 구조 부분(P1a)와 이를 제외한 나머지 부분(P1b)으로 나누어서 보더라도, 코일 턴수 경향은 동일하게 나타난다.
구체적으로, 상단부(P1)는 개구부(O)에 해당하는 제1 상단부(P1a)와, 나머지 부분에 해당하는 제2 상단부(P1b)를 포함할 수 있다. 제1 상단부(P1a)는 퍼널 형상으로서 최상부로 갈수록 직경이 커지는 부분에 해당한다. 제2 상단부(P1b)는 그 아래로 연속되는 중단부와 하단부의 직경과 대체로 동일한 직경을 갖는 부분에 해당한다.
제1 상단부(P1a)의 코일 피치(d1a)는 제2 상단부(P1b)의 코일 피치(d1b)와 대체로 동일할 수 있다. 예를 들어, 코일 피치(d1a)와 코일 피치(d1b)는 동일할 수 있다.
상술한 바와 같이, 코일 피치는 코일 턴수에 영향을 받으므로, 코일 피치(d1a)가 코일 피치(d1b)만큼 작다는 적은 그만큼 중단부나 하단부 대비 코일 턴수가 많다는 것을 의미할 수 있다. 즉, 제1 상단부(P1a)에 대한 코일 피치(d1a)는 중단부 코일 피치(d2)나 하단부 코일 피치(d3)보다 작고 따라서 동일한 길이에 대해서 제1 상단부에 대한 코일 턴수는 중단부나 하단부의 것보다 많다. 마찬가지로, 제2 상단부(P1b)에 대한 코일 피치(d1b)는 중단부 코일 피치(d2)나 하단부 코일 피치(d3)보다 작고 따라서 제2 상단부에 대한 코일 턴수는 중단부나 하단부의 것보다 많다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터(200)와 이에 장착된 도가니(10)를 함께 도시하는 단면도이다.
상술한 코일 턴수 조정을 통한 온도 분포 조절은 도가니의 하단부에서 상단부로 갈수록 코일 턴수가 증가하도록 설정되는 경우에도 달성할 수 있다. 코일 턴수 조정에서만 차이가 있을 뿐, 나머지 구성요소들에 대한 설명은 도 3에서와 동일한 설명이 적용될 수 있으므로, 차이점을 중심으로 살펴본다.
도 4를 참조하면, 상단부(P1)를 에워싸는 코일 턴수가 중단부(P2)를 에워싸는 코일 턴수보다 많을 수 있다. 그리고, 중단부(P2)를 에워싸는 코일 턴수는 하단부(P3)를 에워싸는 코일 턴수보다 많을 수 있다. 즉, 하단부(P3)에서 중단부(P2)를 지나 상단부(P1)로 갈수록 코일 턴수가 증가하는 경향을 가질 수 있다.
예를 들어, 도 4에서는 상단부(P1)를 에워싸는 코일 턴수가 11, 중단부(P2)를 에워싸는 코일 턴수가 5, 하단부(P3)를 에워싸는 코일 턴수가 4로써, 상단부 코일 턴수(11)가 중단부 코일 턴수(5)나 하단부 코일 턴수(4)보다 많고, 중단부 코일 턴수(5)도 하단부 코일 턴수(4)보다 많다. 즉, 하단부에서 상단부로 갈수록 코일을 많이 감아서 상단부에 발열체를 집중시킨다.
따라서, 도가니의 상단부(P1)는 발열체의 집중으로 온도가 다른 부분(P2 또는 P3) 대비 상대적으로 높아지며, 이로써 상술한 유기재료의 비산 문제와 도가니 상단 막힘 현상을 방지할 수 있다.
도 4를 참조하면, 도가니 부위별 코일 피치(d1, d2, d3')가 함께 도시된다.
상술한 바와 같이, 하나의 권심축을 갖는 권취대상에 대해 필라멘트가 코일링되면, 코일 턴수가 많을수록 코일 피치는 좁아지므로, 상단부(P1)를 에워싸는 코일 피치(d1)는 중단부(P2)나 하단부(P3)를 에워싸는 코일 피치(d2 또는 d3')보다 작을 수 있다. 또한, 중단부(P2)를 에워싸는 코일 피치(d2)는 하단부(P3)를 에워싸는 코일 피치(d3')보다 작을 수 있다.
이와 같이, 하단부에서 상단부로 갈수록 코일 피치를 좁게 형성시킴으로써 도가니 상단부에 발열체를 집중 및 도가니 상단부의 온도를 다른 부분 대비 상대적으로 높게 형성할 수 있다.
한편, 도 4에서는 하단부에서 상단부로 갈수록 코일피치가 좁게 형성되는 경향을 가지므로, 제1 상단부(P1a)에서의 코일 피치(d1a)가 제2 상단부(P1b)에서의 코일 피치(d1b)보다 작을 수 있다. 이 경우에도, 제1 상단부와 제2 상단부를 포함하는 상단부가 그 보다 아래에 위치하는 중단부나 하단부보다 코일 턴수가 많고 따라서 코일 피치 또한 작게 형성되며, 이로써 상단부에 발열체가 집중된다는 점은 동일하다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터가 적용된 도가니의 사용예를 종래의 경우와 비교 도시하는 도면이다. 도 5a가 종래의 사용예를, 도 5b가 본 발명의 사용예를 각각 도시한다.
먼저 도 5a에 도시된 바와 같이, 종래의 열증착기용 필라멘트 히터가 적용된 도가니에서는 1000nm 증착 후 도가니 상단부의 측면으로부터 약 5mm 증착 성장이 관찰된다. 이러한 측면부 증착 성장은 도가니 막힘 현상에 직결된다.
이에 비해, 도 5b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 열증착기용 필라멘트 히터가 적용된 도가니에서는 5000nm 증착 후에도 도가니 막힘 현상이 발생하지 않는다. 약 0.1mm 이하의 도가니 상단부 측면 증착 성장만이 관찰될 뿐이다. 도가니 상단의 코일 감김 횟수를 증가시킴에 따라 발열체의 집중으로 온도가 상대적으로 높아지며, 이로 인해 도가니 상단의 재료부터 승화(기화)하게 되어 재료의 비산을 방지 가능하며, 상단부가 상대적으로 높은 온도이기에 승화된 재료의 재증착으로 인한 막힘 현상을 현저히 감소시켰기 때문이다.
본 발명의 실시예에 따르면, 적은 비용으로 기존 히터의 문제점을 개선하여 공정 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 유기 재료 증착을 위한 재료 종류에 무관하게 재료 비산 및 도가니 막힘 현상을 방지할 수 있다. 또한 증착 박막의 신뢰도 향상, 재료에 무관한 고용량 도가니 적용 가능화를 통한 로딩 공정의 단순화, 예열 시간의 단축 등을 통한 전체 공정 시간의 단축을 달성할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예들에 따라 구체적으로 기록되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상 범위내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 도가니
100, 200 : 필라멘트 히터
S : 유기 재료
O : 개구부
B : 몸통부
E : 확장부
T : 터널부
P1 : 상단부
P2 : 중단부
P3 : 하단부

Claims (7)

  1. 열증착기용 필라멘트 히터에 있어서,
    유기재료를 수용하는 용기의 외면을 에워싸는 코일 형상을 가지되,
    상기 코일 형상은 상기 용기 부위 별로 코일 턴수가 가변적인, 열증착기용 필라멘트 히터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 용기는 연속적으로 이어지는 상단부, 중단부 및 하단부로 구분되고,
    상기 상단부를 에워싸는 코일 턴수가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 턴수보다 많은, 열증착기용 필라멘트 히터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 하단부에서 상기 중단부를 지나 상기 상단부로 갈수록 코일 턴수가 증가하는 경향을 갖는, 열증착기용 필라멘트 히터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 상단부는 상기 중단부 또는 상기 하단부보다 직경이 큰 제1 상단부와, 상기 중단부 또는 상기 하단부와 직경이 동일한 제2 상단부를 포함하고,
    상기 제1 상단부는 최상부로 갈수록 직경이 증가하는 퍼널 형상을 가지며,
    상기 제1 상단부 및 상기 제2 상단부를 에워싸는 코일 턴수가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 턴수보다 많은, 열증착기용 필라멘트 히터.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 상단부를 에워싸는 코일 피치가 상기 중단부 또는 상기 하단부를 에워싸는 코일 피치보다 작은, 열증착기용 필라멘트 히터.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 하단부에서 상기 중단부를 지나 상기 상단부로 갈수록 코일 피치가 좁아지는 경향을 갖는, 열증착기용 필라멘트 히터.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 제1 상단부를 에워싸는 코일 피치는 상기 제2 상단부를 에워싸는 코일 피치와 동등한, 열증착기용 필라멘트 히터.
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KR20220166113A (ko) * 2021-06-09 2022-12-16 선문대학교 산학협력단 열증착기용 히터
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