KR20200032032A

KR20200032032A - 기판 수납 용기

Info

Publication number: KR20200032032A
Application number: KR1020197034123A
Authority: KR
Inventors: 치아키 마츠토리
Original assignee: 미라이얼 가부시키가이샤
Priority date: 2017-08-09
Filing date: 2017-08-09
Publication date: 2020-03-25
Anticipated expiration: 2037-08-09
Also published as: TW201911455A; US11222800B2; KR102325657B1; JPWO2019030863A1; US20200258765A1; CN110622292B; WO2019030863A1; JP6876805B2; TWI781205B; CN110622292A

Abstract

용기 본체, 뚜껑체, 측방 기판 지지부, 뚜껑체측 기판 지지부, 오측 기판 지지부(6)를 구비하는 기판 수납 용기는 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색된 상태로부터, 용기 본체 개구부로부터 뚜껑체가 열릴 때, 오측 기판 지지부(6) 및 뚜껑체측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 기판(W)을 오측 기판 지지부(6)와 뚜껑체측 기판 지지부 중 적어도 하나로부터 철거하는 철거부(83)를 구비한다.

Description

기판 수납 용기

본 발명은 반도체 웨이퍼 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송 등 할 때 사용되는 기판 수납 용기에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 반송하기 위한 기판 수납 용기로서는, 용기 본체와 뚜껑체를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다.

용기 본체의 일단부는 용기 본체 개구부가 형성된 개구 주연부(周緣部)를 갖는다. 용기 본체의 타단부는 폐색된 통 형상의 벽부를 갖는다. 용기 본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며, 복수의 기판을 수납 가능하다. 뚜껑체는 개구 주연부에 대해 착탈 가능하다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

뚜껑체의 부분이며, 용기 본체 개구부를 폐색하고 있을 때 기판 수납 공간과 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너가 마련되어 있다. 프론트 리테이너는 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지할 수 있다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 오측(奧側) 기판 지지부가 벽부에 마련되어 있다. 오측 기판 지지부는 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 오측 기판 지지부는 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판을 유지시킨다.

일본 공개특허공보 특개2014-116492호

기판 수납 용기에서는, 뚜껑체에 의해 용기 본체 개구부가 폐색되어 기판이 기판 수납 공간에 수용되어 있을 때(기판의 보관 시)에는, 기판이 상술한 바와 같이 오측 기판 지지부와 프론트 리테이너가 협동함으로써 끼워지도록 하여, 기판 수납 용기에 대해 지지되어 고정된다. 이로써, 기판의 파손이나 회전이 억제된다.

그러나, 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너의 정지 마찰계수가 낮은 경우에는, 강한 힘으로 끼우도록 하여 기판을 고정해도, 기판 수납 용기 수송 중의 진동 등으로 인해 클린한 기판에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽다. 한편, 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너의 정지 마찰계수가 높은 경우에는, 기판을 제대로 지지하는 것이 가능하기 때문에 오염의 부착은 적다. 그러나, 이와 같이 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너의 정지 마찰계수가 높은 경우에는, 기판을 꺼낼 때 기판이 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너에 대해 슬라이딩하여 이동할 때, 기판이 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너에 대해 매끄럽게 슬라이딩하지 않아, 모든 기판을 용기 본체에서 꺼내기 위한 소정 장치로 지지 가능한 소정 위치까지 이동시키는 것이 어렵다. 결과적으로, 이동된 기판의 위치가 일정하지 않기 때문에, 기판 수납 용기에서 기판을 소정 장치를 이용하여 꺼내는 것이 어렵다.

본 발명은 기판을 기판 수납 용기에서 꺼낼 때, 기판이 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너에 대해 매끄럽게 슬라이딩하여 소정 위치까지 이동하여, 기판 수납 용기로부터 기판을 꺼낼 수 있도록 하는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 주연부를 가지며, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체와, 상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체와, 상기 기판 수납 공간 내에서 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 측방 기판 지지부와, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판 수납 공간에 대향하는 상기 뚜껑체의 부분에 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부와, 상기 기판 수납 공간 내에서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지 가능한 오측 기판 지지부와, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색된 상태로부터, 상기 용기 본체 개구부로부터 상기 뚜껑체가 열릴 때 상기 오측 기판 지지부 및 상기 뚜껑체측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을, 상기 오측 기판 지지부와 상기 뚜껑체측 기판 지지부 중 적어도 하나로부터 철거하는 철거부를 구비하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.

또한, 상기 철거부는 상기 오측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을 상기 오측 기판 지지부로부터 철거하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부를 폐색하거나 개방할 때 상기 기판에 당접(當接)하는 상기 철거부의 부분은 상기 기판에 당접하는 상기 오측 기판 지지부의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작은 것이 바람직하다.

또한, 상기 철거부는 상기 뚜껑체측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을 상기 뚜껑체측 기판 지지부로부터 철거하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부를 폐색하거나 개방할 때 상기 기판에 당접하는 상기 철거부의 부분은 상기 기판에 당접하는 상기 뚜껑체측 기판 지지부의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작은 것이 바람직하다.

또한, 상기 철거부는 탄성 변형하는 탄성 부재를 구비하며, 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 상기 기판의 철거를 수행하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 기판을 기판 수납 용기에서 꺼낼 때, 기판이 오측 기판 지지부나 프론트 리테이너에 대해 매끄럽게 슬라이딩하여 소정 위치까지 이동하여, 기판 수납 용기로부터 기판을 꺼낼 수 있도록 하는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 모습을 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)에서, 철거부(83)가 기판(W)에 당접하지 않고 떨어진 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)에서, 철거부(83)가 기판(W)에 당접하기 시작했을 때의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되었을 때의 용기 본체(2)에서의 철거부(83)의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 리어 누름부(80) 및 철거부(83)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7) 및 철거부(75)를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)의 철거부(75)를 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7) 및 철거부(75)를 나타낸 확대 사시도이다.
도 12는 도 11의 A-A선에 따른 확대 단면도이다.
도 13은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)에서, 철거부(75)가 기판(W)에 당접하지 않고 떨어져 있는 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 14는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)에서, 철거부(75)가 기판(W)에 당접하기 시작했을 때의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되었을 때의 뚜껑체(3)에서의 철거부(75)의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.
도 16a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연(端緣) 지지부(60A)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 16b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 철거부(83A)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 17a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 철거부(83B)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 17b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연 지지부(60B)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.
도 18은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연 지지부(60) 및 철거부(83C)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.

이하, 제1 실시 형태에 의한 기판 수납 용기(1)에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 모습을 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)를 나타낸 사시도이다.

여기서, 설명의 편의상, 후술하는 용기 본체(2)로부터 뚜껑체(3)로 향하는 방향(도 1에서의 우상으로부터 좌하로 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대 방향을 후방향(D12)으로 정의하며, 이들을 함께 전후 방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)으로 향하는 방향(도 1에서의 상방향)을 상방향(D21)으로 정의하고, 그 반대 방향을 하방향(D22)으로 정의하며, 이들을 함께 상하 방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2 측벽(26)으로부터 제1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 1에서의 우하로부터 좌상으로 향하는 방향)을 좌방향(D31)으로 정의하고, 그 반대 방향을 우방향(D32)으로 정의하며, 이들을 함께 좌우 방향(D3)으로 정의한다. 주요한 도면에는 이들 방향을 나타내는 화살표를 도시하고 있다.

또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 1 참조)은 원반 형상의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시 형태에서의 기판(W)은 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는 상술한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여, 육상 운송 수단·항공 운송 수단·해상 운송 수단 등의 수송 수단에 의해 기판(W)을 수송하기 위한 출하 용기로서 이용되는 것으로, 용기 본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기 본체(2)는 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5)(도 2 등 참조)와 오측 기판 지지부(6)를 구비하고 있으며, 뚜껑체(3)는 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7)(도 7 등 참조)를 구비하고 있다.

용기 본체(2)는 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성되고 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 갖는다. 용기 본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분이며 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 도 2에 나타낸 바와 같이 기판 지지 판형상부(5)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.

기판 지지 판형상부(5)는 기판 수납 공간(27) 내에서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 마련되어 있다. 기판 지지 판형상부(5)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 기판 지지 판형상부(5)의 오측(奧側)에는 오측 기판 지지부(6)가 마련되어 있다.

오측 기판 지지부(6)(도 2 등 참조)는 기판 수납 공간(27) 내에서 후술하는 프론트 리테이너(7)(도 7 등 참조)와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 마련되어 있다. 오측 기판 지지부(6)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 복수의 기판(W)의 연부의 뒷부분을 지지할 수 있다.

뚜껑체(3)는 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)(도 1 등)에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부(21)를 폐색할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는 뚜껑체(3)의 부분이며 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 기판 수납 공간(27)에 대향하는 부분에 마련되어 있다. 프론트 리테이너(7)는 기판 수납 공간(27)의 내부에서 오측 기판 지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.

프론트 리테이너(7)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 복수의 기판(W)의 연부의 앞부분을 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 오측 기판 지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 유지시킨다.

기판 수납 용기(1)는 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있으며, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료인 수지로서는 예를 들어, 폴리카보네이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌 테레프탈레이트, 폴리에테르 에테르 케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다. 이들 성형 재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는 카본 섬유, 카본 파우더, 카본 나노 튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성을 높이기 위해 유리 섬유나 탄소 섬유 등을 첨가하는 것도 가능하다.

이하, 각 부에 대해 상세히 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 벽부(20)는 오벽(奧壁)(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)을 갖는다. 오벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)은 상술한 재료로 구성되어 있으며, 일체 성형되어 구성되어 있다.

제1 측벽(25)과 제2 측벽(26)이 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)이 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단, 하벽(24)의 후단, 제1 측벽(25)의 후단 및 제2 측벽(26)의 후단은 모두 오벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제1 측벽(25)의 전단 및 제2 측벽(26)의 전단은 오벽(22)에 대향하는 위치 관계를 가지며, 대략 직사각형 형상을 한 용기 본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)를 구성한다.

개구 주연부(28)는 용기 본체(2)의 일단부에 마련되어 있으며, 오벽(22)은 용기 본체(2)의 타단부에 위치한다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기 본체(2)의 외형은 박스 형상이다. 벽부(20)의 내면, 즉 오벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1 측벽(25)의 내면 및 제2 측벽(26)의 내면은 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기 본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기 본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)과 연통하고 있다. 기판 수납 공간(27)에는 최대 25장의 기판(W)을 수납할 수 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분이며 개구 주연부(28) 근방 부분에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 함몰된 래치 계합(係合) 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 계합 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)는 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩 총 4개 형성되어 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 상벽(23)의 중앙부에는 탑 플랜지(top flange, 236)가 고정된다. 탑 플랜지(236)는 AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송 대차) 등에서 기판 수납 용기(1)를 매달 때, 기판 수납 용기(1)에서 걸려 매달리는 부분이 되는 부재이다.

기판 지지 판형상부(5)는 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 각각 마련되어 있으며, 좌우 방향(D3)에서 쌍을 이루도록 하여 기판 수납 공간(27) 내에 배치된 내장 부품이다. 구체적으로는, 도 2 등에 나타낸 바와 같이, 기판 지지 판형상부(5)는 판부(51)와 지지벽(52)을 가지고 있다. 판부(51)는 지지벽(52)에 의해 지지되고 있다.

판부(51)는 판 형상의 대략 호(弧) 형상을 갖는다. 판부(51)는 제1 측벽(25), 제2 측벽(26) 각각에 상하 방향(D2)으로 25장씩 총 50장 마련되어 있다. 인접하는 판부(51)는 상하 방향(D2)에서 10mm~12mm 간격으로 서로 이격되어 평행한 위치 관계로 배치되어 있다. 아울러, 가장 위에 위치하는 판부(51)의 위쪽에는 한 장 더 판부(51)와 평행하게 판 형상의 부재가 배치되어 있는데, 이는, 가장 위에 위치하여 기판 수납 공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대해 그 삽입 시의 가이드 역할을 하는 부재이다.

또한, 제1 측벽(25)에 마련된 25장의 판부(51)와 제2 측벽(26)에 마련된 25장의 판부(51)는 서로 좌우 방향(D3)에서 대향하는 위치 관계를 갖는다. 또한, 50장의 판부(51), 및 판부(51)와 평행한 판 형상의 가이드 역할을 하는 부재는 하벽(24)의 내면에 평행한 위치 관계를 갖는다. 도 2 등에 나타낸 바와 같이, 판부(51)의 상면에는 볼록부(511, 512)가 마련되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은 볼록부(511, 512)의 돌출단에만 접촉하고, 면으로 판부(51)에 접촉하지 않는다.

지지벽(52)은 상하 방향(D2) 및 대략 전후 방향(D1)으로 연장되는 판 형상을 갖는다. 지지벽(52)은 판부(51)의 길이 방향에서 소정의 길이를 가지고 있으며, 판부(51)의 측단연(側端緣)에 접속되어 있다. 판 형상의 지지벽(52)은 판부(51)의 외측 단연을 따라 기판 수납 공간(27)으로 만곡되어 있다.

즉, 제1 측벽(25)에 마련된 25장의 판부(51)는 제1 측벽(25)측에 마련된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 제2 측벽(26)에 마련된 25장의 판부(51)는 제2 측벽(26)측에 마련된 지지벽(52)에 접속되어 있다. 지지벽(52)은 제1 측벽(25), 제2 측벽(26)에 각각 고정된다.

이러한 구성의 기판 지지 판형상부(5)는 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격한 상태 및 서로 평행한 위치 관계로 한 상태에서, 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다.

도 2 등에 나타낸 바와 같이, 오측 기판 지지부(6)는 리어 누름부(80)를 갖는다. 리어 누름부(80)는 오벽(22)에 마련된 리브 형상부(221)(도 3 등 참조)에 형성되어 마련되어 있다. 리브 형상부(221)는 오벽(22)의 내면에서 기판 수납 공간(27)의 내방(內方)으로 돌출되어 있다. 리어 누름부(80)는 기판 수납 공간(27)의 내방으로 돌출되어 있는 리브 형상부(221)의 내면에 형성되어 있으며, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(D2)에서 소정 간격으로 오목부(82)가 형성된 오목부 형성부(81)를 갖는다. 오목부(82)에는 기판(W)의 연부가 계합될 수 있다.

도 6은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 리어 누름부(80) 및 철거부(83)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.

도 3 등에 나타낸 바와 같이, 리브 형상부(221)의 내면(용기 본체(2)의 내측면)의 측면에는, 한 쌍의 탄성부 피계합 오목부(222)가 형성되어 있다. 탄성부 피계합 오목부(222)는 전방향(D11)으로 향함에 따라 깊어지도록(좌우 방향(D3)에서의 폭이 넓어지도록) 형성되어 있으며, 탄성부 피계합 오목부(222)의 전단부는 리브 형상부(221)의 전단부로부터 후방향(D12)을 향한 소정 위치에서 막혀 있다.

도 3은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)에서, 철거부(83)가 기판(W)에 당접하지 않고 떨어진 상태를 나타낸 확대 단면도이다. 도 4는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 용기 본체(2)에서, 철거부(83)가 기판(W)에 당접하기 시작했을 때의 상태를 나타낸 확대 단면도이다. 도 5는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되었을 때의 용기 본체(2)에서의 철거부(83)의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.

또한, 리브 형상부(221)를 덮도록 철거부(83)가 마련되어 있다. 철거부(83)는 도 3~도 5에 나타낸 바와 같이, 전후 방향(D1) 및 좌우 방향(D3)에 평행한 단면에서는 대략 コ자 형상의 철거부 본체(831)를 갖는다. 대략 コ자 형상을 갖는 철거부 본체(831)의 좌우의 측부에는 대략 コ자의 내측으로 연장되어 탄성 변형하는 탄성 부재로서의 판 스프링부(832)가 한 쌍 마련되어 있다. 한 쌍의 판 스프링부(832)는 철거부 본체(831)의 좌우의 측부의 전후 방향(D1)에서의 중간 정도의 부분부터, 서로 가까워지도록 비스듬히 전방향(D11)을 향해 연장되어 있다. 한 쌍의 판 스프링부(832)는 각각 탄성부 피계합 오목부(222)에 계합하고 있으며, 탄성부 피계합 오목부(222)에서 전후 방향(D1)으로 리브 형상부(221)에 대해 슬라이딩한다. 상술한 바와 같이, 탄성부 피계합 오목부(222)는 전방향(D11)을 향함에 따라 깊어지도록 형성되어 있기 때문에, 판 스프링부(832)가 탄성부 피계합 오목부(222)로 보다 깊게 비집고 들어가고자 하는 탄성력에 의해, 철거부 본체(831)가 전방향(D11)으로 이동하도록 부세(付勢)되고 있다.

또한, 철거부(83)는 도 6에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(D2)에 평행한 단면에서는 리브 형상부(221)의 앞측에 위치하고 있으며, 하측 당접면(841) 및 하측 경사면(842)을 갖는 지지부 하측부(84), 상측 경사면(851)을 갖는 지지부 상부(85)를 갖는다.

구체적으로는, 하측 당접면(841)은 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 기판(W)의 이면의 단연에 당접하여 기판(W)을 지지한다.

하측 경사면(842)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라 기판 수납 공간(27)의 중심(도 6에서의 좌측)으로부터 이격되도록, 하측 당접면(841)의 단부로부터 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있으며, 기판(W)의 이면의 단부가 슬라이딩한다. 상술한 오목부 형성부(81)는 하측 당접면(841)과 상측 경사면(851)의 경사면끼리를 접속하는 접속부를 구성한다. 즉, 하측 당접면(841)과 상측 경사면(851)의 사이에는, 오목부 형성부(81)의 오목부(82)가 기판 수납 공간(27)과 연통하는 개구(도 6에서의 지지부 하측부(84)와 지지부 상부(85) 사이의 부분)가 형성되어 있으며, 이 개구를 통해 기판(W)의 연부가 기판 수납 공간(27)측으로부터 오목부(82)에 계합한다.

상측 경사면(851)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라 기판 수납 공간(27)의 중심(도 6에서의 좌측)에 접근하도록, 오목부 형성부(81)로부터 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있다.

하측 경사면(842), 오목부(82) 및 상측 경사면(851)은 하측 당접면(841)보다 상측에 배치되며, 도 6에 나타낸 바와 같이, 기판(W)의 단부가 계합 가능한 기판 수납 공간(27)의 중심으로부터 이격되도록 함몰된 오목 홈인 V자 형상 홈을 형성하고 오목부(82)는 V자 형상 홈의 정점(頂點) 부분을 구성한다. 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색했을 때, 기판(W)이 하측 경사면(842)에 대해 슬라이딩하여 올라가, 기판(W)이 V자 형상 홈의 정점 위치에 이르렀을 때 기판(W)의 표면의 단연과 이면의 단연이 오목부 형성부(81)에 각각 당접하고, 오목부 형성부(81)는 기판(W)의 연부를 오목부(82)에서 지지한다.

기판(W)에 대해 하측 당접면(841), 하측 경사면(842), 상측 경사면(851)을 슬라이딩시킨 경우의 모든 최대 정지 마찰계수가, 기판(W)에 대해 오목부 형성부(81)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수보다 상대적으로 낮은 값이 되도록, 하측 경사면(842), 하측 당접면(841), 오목부 형성부(81) 및 상측 경사면(851)은 적절히 조면 가공 등의 표면 처리가 실시되어 있다. 구체적으로는, 기판(W)에 대해 하측 당접면(841), 하측 경사면(842), 상측 경사면(851)을 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.25 이하이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.25 이하로 한 것은, 0.25를 초과하는 경우에는 하측 당접면(841), 하측 경사면(842), 상측 경사면(851)에 대해 기판(W)이 충분히 슬라이딩하지 않기 때문이다. 또한, 기판(W)에 대해 오목부 형성부(81)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.3 이상이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.3 이상으로 한 것은, 0.3 미만인 경우에는 기판 수납 용기(1) 수송 중의 진동 등으로 인해, 클린한 기판(W)에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽기 때문이다.

다음으로, 뚜껑체(3) 및 프론트 리테이너(7)에 대해 상세히 설명한다.

도 7은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)를 나타낸 사시도이다. 도 8은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7) 및 철거부(83)를 나타낸 사시도이다. 도 9는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7)를 나타낸 사시도이다. 도 10은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)의 철거부(75)를 나타낸 사시도이다. 도 11은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 프론트 리테이너(7) 및 철거부(75)를 나타낸 확대 사시도이다. 도 12는 도 11의 A-A선에 따른 확대 단면도이다.

뚜껑체(3)는 도 1 등에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 개구 주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각형 형상을 갖는다. 뚜껑체(3)는 용기 본체(2)의 개구 주연부(28)에 대해 착탈 가능하며, 개구 주연부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써 뚜껑체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색할 수 있다. 뚜껑체(3)의 내면(도 1에 나타낸 뚜껑체(3)의 뒤측의 면)이며, 뚜껑체(3)가 용기 본체 개구부(21)를 폐색하고 있을 때의 개구 주연부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차 부분의 면(실링면(281))과 대향하는 면에는, 고리 형상의 실링 부재(4)가 설치되어 있다. 실링 부재(4)는 탄성 변형 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무 재질, 실리콘 고무 재질 등으로 구성되어 있다. 실링 부재(4)는 뚜껑체(3)의 외주연부를 일주하도록 배치되어 있다.

뚜껑체(3)가 개구 주연부(28)에 장착되었을 때, 실링 부재(4)는 실링면(281)과 뚜껑체(3)의 내면에 의해 끼워져 탄성 변형하며, 뚜껑체(3)는 용기 본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐색한다. 개구 주연부(28)에서 뚜껑체(3)가 분리됨으로써, 용기 본체(2) 내의 기판 수납 공간(27)에 대해 기판(W)을 내고 들일 수 있게 된다.

뚜껑체(3)는 뚜껑체(3)의 외형을 이루는 뚜껑체 본체(30)를 가지고 있으며, 뚜껑체 본체(30)에는 래치 기구가 마련되어 있다. 래치 기구는 뚜껑체 본체(30)의 좌우 양단부 근방에 마련되어 있으며, 도 1에 나타낸 바와 같이, 뚜껑체 본체(30)의 윗변으로부터 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A)와, 뚜껑체 본체(30)의 아랫변으로부터 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A)는 뚜껑체 본체(30)의 윗변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있으며, 2개의 하측 래치부(32B)는 뚜껑체 본체(30)의 아랫변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.

뚜껑체 본체(30)의 외면측에는 조작부(33)가 마련되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체 본체(30)의 앞측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 뚜껑체 본체(30)의 윗변, 아랫변으로부터 돌출시킬 수 있으며, 또한 윗변, 아랫변으로부터 돌출시키지 않은 상태로 할 수 있다.

상측 래치부(32A)가 뚜껑체 본체(30)의 윗변으로부터 상방향(D21)으로 돌출되어 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(231A, 231B)에 계합하는 동시에, 하측 래치부(32B)가 뚜껑체 본체(30)의 아랫변으로부터 하방향(D22)으로 돌출되어 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 계합함으로써, 뚜껑체(3)가 용기 본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 뚜껑체(3)를 구성하는 뚜껑체 본체(30)의 내측에는, 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽으로 함몰된 오목부(34)가 형성되어 있다. 오목부(34) 내측의 뚜껑체 본체(30) 부분에는 프론트 리테이너(7)가 고정되어 마련되어 있다.

프론트 리테이너(7)는 도 8 등에 나타낸 바와 같이, 프론트 리테이너 기판 받이부(73)를 갖는다. 프론트 리테이너 기판 받이부(73)는 좌우 방향(D3)으로 소정 간격으로 이격되어 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 받이부(73)는 상하 방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 마련되어 있으며, 각각 탄성 변형 가능한 다리부(72)에 의해 지지되어 있다. 다리부(72)는 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판 받이부(73)로부터 각각 서로 이격되도록 좌우 방향(D3)으로 연장되어, 각각 전방향(D11)으로 절곡된다. 그리고 도 9에 나타낸 바와 같이, 다리부(72)의 단부에는, 상하 방향(D2)을 따라 평행하게 연장되어 있는 세로 테두리체(71)가 다리부(72)에 일체 성형되어 마련되어 있다. 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 뚜껑체(3)가 닫힘으로써, 프론트 리테이너 기판 받이부(73)는 다리부(72)의 탄성력에 의해 기판(W)의 연부의 단연을 기판 수납 공간(27)의 중심(도 8에서의 지면의 앞측)으로 부세한 상태에서 협지하여 지지한다.

구체적으로는, 프론트 리테이너 기판 받이부(73)는 도 12에 나타낸 바와 같이, 하측 경사면(731)과 상측 경사면(732)을 갖는다.

하측 경사면(731)은 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 이면(하면)의 단연에 당접한다. 상측 경사면(732)은 기판(W)의 표면(상면)의 단연에 당접한다. 구체적으로는, 하측 경사면(731)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라, 전후 방향(D1)에서 기판 수납 공간(27)의 중심(도 12에서의 좌측)으로부터 이격되도록 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있다. 상측 경사면(732)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라, 전후 방향(D1)에서 기판 수납 공간(27)의 중심에 접근하도록 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있다. 하측 경사면(731), 상측 경사면(732)은 기판 수납 공간(27)의 중심으로부터 이격되도록 함몰된 오목 홈인 V자 형상 홈을 형성한다. 하측 경사면(731), 상측 경사면(732)에는, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 기판(W)의 이면의 단연, 표면의 단연이 각각 당접한다.

또한, 프론트 리테이너(7)에는 철거부(75)가 마련되어 있다. 철거부(75)는 도 10 등에 나타낸 바와 같이, 판 스프링 형상부(751)와 철거부 세로 테두리체(753)를 갖는다. 판 스프링 형상부(751)는 도 8에 나타낸 바와 같이, 좌우 방향(D3)으로 소정 간격으로 이격되어 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있으며, 전후 방향(D1)에서, 다리부(72)에 대해 소정 거리로 벌어져, 도 11 등에 나타낸 바와 같이 다리부(72)와 겹치는 위치 관계를 갖는다. 이와 같이 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 판 스프링 형상부(751)는 상하 방향(D2)으로 25쌍 병렬된 상태로 마련되어 있다. 좌우 방향(D3)에서 대향하는 단부에는 삼각형 형상의 삼각 노치(754)가 형성되어 있으며, 이로써, 해당 단부가 각각 크게 탄성 변형 가능하다. 판 스프링 형상부(751)는 도 8에 나타낸 바와 같이, 각각 서로 이격되도록 좌우 방향(D3)으로 연장되며, 각각 전방향(D11)으로 절곡된다. 그리고 판 스프링 형상부(751)의 단부에는 도 10에 나타낸 바와 같이, 상하 방향(D2)을 따라 평행하게 연장되어 있는 철거부 세로 테두리체(753)가 판 스프링 형상부(751)에 일체 성형되어 마련되어 있다. 철거부 세로 테두리체(753)는 세로 테두리체(71)와 함께, 오목부(34)를 형성하고 있는 뚜껑체 본체(30)의 부분에 고정되고 있으며, 이로써, 프론트 리테이너(7)는 뚜껑체 본체(30)에 고정되어 있다.

기판(W)에 대해 철거부(75)를 구성하는 판 스프링 형상부(751)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는, 기판(W)에 대해 프론트 리테이너 기판 받이부(73)의 하측 경사면(731), 상측 경사면(732)을 슬라이딩시킨 경우의 모든 최대 정지 마찰계수보다 상대적으로 낮은 값이 되도록, 판 스프링 형상부(751), 하측 경사면(731), 상측 경사면(732)은 적절히 조면 가공 등의 표면 처리가 실시되어 있다. 구체적으로는, 기판(W)에 대해 판 스프링 형상부(751)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.25 이하이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.25 이하로 한 것은, 0.25를 초과하는 경우에는 판 스프링 형상부(751)에 대해 기판(W)이 충분히 슬라이딩하지 않기 때문이다. 또한, 기판(W)에 대해 하측 경사면(731), 상측 경사면(732)을 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.3 이상이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.3 이상으로 한 것은, 0.3 미만인 경우에는 기판 수납 용기(1) 수송 중의 진동 등으로 인해, 클린한 기판(W)에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽기 때문이다.

다음으로, 상술한 기판 수납 용기(1)에서, 기판(W)을 기판 수납 공간(27)에 수납하고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색한 후, 뚜껑체(3)를 분리하고 있을 때의 동작에 대해 설명한다. 도 13은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)에서, 철거부(75)가 기판(W)에 당접하지 않고 떨어져 있는 상태를 나타낸 확대 단면도이다. 도 14는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)의 뚜껑체(3)에서, 철거부(75)가 기판(W)에 당접하기 시작했을 때의 상태를 나타낸 확대 단면도이다. 도 15는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되었을 때의 뚜껑체(3)에서의 철거부(75)의 상태를 나타낸 확대 단면도이다.

먼저, 기판(W)이 기판 수납 공간(27)에 수납되어있을 때, 기판(W)은 오측 기판 지지부(6)와 프론트 리테이너(7)가 협동함으로써 끼워지도록 하여 지지되어 있다. 때문에, 기판(W)의 연부는 하측 당접면(841)과 상측 경사면(851) 사이에 형성된 개구를 통해 오목부 형성부(81)의 오목부(82)에 계합하는 동시에, 리어 누름부(80)에서의 해당 개구를 형성하고 있는 좌우 방향(D3)에서의 철거부(83)의 도시하지 않는 연부에 당접하고 있다.

또한, 기판(W)에 의해 철거부(83)는 프론트 리테이너(7)의 다리부(72)의 탄성력에 의해 후방향(D12)으로 밀려, 리브 형상부(221)로 밀어붙여진다. 판 스프링부(832)의 탄성력보다 프론트 리테이너(7)의 다리부(72)의 탄성력이 강하기 때문에, 이와 같이 철거부(83)는 도 5에 나타낸 바와 같이 리브 형상부(221)로 밀어붙여진다.

또한, 프론트 리테이너(7)에서는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 프론트 리테이너 기판 받이부(73)가 기판(W)의 연부에 당접하여 기판(W)을 후방향으로 부세한 상태에서 지지하는 동시에, 판 스프링 형상부(751)가 기판(W)의 연부에 당접하여 기판(W)을 후방향으로 부세하고 있다.

그 다음, 뚜껑체(3)의 조작부(33)(도 1 등 참조)가 조작되어, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 대한 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)의 계합이 해제되면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 리어 누름부(80)에서는, 판 스프링부(832)의 탄성력에 의해 철거부(83)가 리브 형상부(221)에 대해 전방향(D11)으로 이동하여, 리브 형상부(221)와의 사이에 틈(G)이 발생한다. 이에 수반하여, 기판(W)은 철거부(83)에 의해 전방향(D11)으로 철거되고, 리브 형상부(221)의 오목부(82)에 대한 기판(W)의 연부의 계합이 해제된다. 이로써, 기판(W)의 연부는 도 6에 나타낸 바와 같이, 하측 경사면(842)에 대해 슬라이딩하여 미끄러져 떨어져 기판(W)의 하면이 하측 당접면(841)에 당접하고, 이와 같이 당접하는 일정 위치(소정 장치에 의해 기판(W)이 다루어지는 소정 위치)에 기판(W)이 배치된다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 기판(W)이 도시하지 않는 소정 장치에 의해 지지되어, 기판 수납 공간(27)으로부터 꺼내진다.

또한, 프론트 리테이너(7)에서는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 다리부(72)의 탄성력에 의해 기판(W)이 후방향(D12)으로 밀리고, 또한 이와는 별도로 판 스프링 형상부(751)의 탄성력에 의해 기판(W)이 후방향(D12)으로 밀린다. 그리고 판 스프링 형상부(751)의 탄성력에 의해 기판(W)이 프론트 리테이너 기판 받이부(73)로부터 철거되어, 일정 위치(소정 장치에 의해 기판(W)이 다루어지는 소정 위치)에 기판(W)이 배치된다. 그리고, 도 13에 나타낸 바와 같이, 기판(W)이 도시하지 않는 소정 장치에 의해 지지되어, 기판 수납 공간(27)으로부터 꺼내진다.

상기 구성의 제1 실시 형태에 따른 기판 수납 용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.

상술한 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는 일단부에 용기 본체 개구부(21)가 형성된 개구 주연부(28)를 가지며, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부(20)를 구비하고, 벽부(20)의 내면에 의해, 복수의 기판(W)을 수납 가능하며 용기 본체 개구부(21)에 연통하는 기판 수납 공간(27)이 형성된 용기 본체(2), 용기 본체 개구부(21)에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부(21)를 폐색 가능한 뚜껑체(3), 기판 수납 공간(27) 내에서 쌍을 이루도록 배치되어, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지 가능한 측방 기판 지지부로서의 기판 지지 판형상부(5), 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판 수납 공간(27)에 대향하는 뚜껑체(3)의 부분에 배치되어, 복수의 기판(W)의 연부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너(7), 기판 수납 공간(27) 내에서 프론트 리테이너(7)와 쌍을 이루도록 배치되어, 복수의 기판(W)의 연부를 지지 가능하며, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때 프론트 리테이너(7)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지 가능한 오측 기판 지지부(6), 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색된 상태로부터, 용기 본체 개구부(21)로부터 뚜껑체(3)가 열릴 때 오측 기판 지지부(6) 및 프론트 리테이너(7)에 의해 지지되어 있는 상태의 기판(W)을 오측 기판 지지부(6)와 프론트 리테이너(7)로부터 각각 철거하는 철거부(75, 83)를 구비한다.

상기 구성에 의해, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 개방할 때, 기판(W)을 오측 기판 지지부(6) 및 프론트 리테이너(7)에 대해 밀어붙이는 물리적인 압력이 약해졌을 때 기판(W)을 철거부(75, 83)에 의해 철거함으로써, 기판(W)을 소정 장치에 의해 지지하여 용기 본체에서 꺼낼 수 있는 소정 위치로 이동시키는 것이 가능해진다. 그 결과, 기판(W)을 용기 본체(2)에서 소정 장치를 이용해 확실하게 꺼내는 것이 가능해진다.

그리고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색하거나 개방할 때 기판(W)에 당접하는 철거부(83)의 부분은 기판(W)에 당접하는 오측 기판 지지부(6)의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작다.

또한, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색하거나 개방할 때 기판(W)에 당접하는 철거부(75)의 부분은 기판(W)에 당접하는 프론트 리테이너(7)의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작다.

상기 구성에 의해, 기판(W)에 당접하는 철거부(83)의 부분이 기판(W)에 당접하는 오측 기판 지지부(6)의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작기 때문에, 또한 기판(W)에 당접하는 철거부(75)의 부분이 기판(W)에 당접하는 프론트 리테이너(7)의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작기 때문에, 기판(W)이 철거부(75, 83)의 부분에 대해 매끄럽게 슬라이딩하는 것이 가능하다. 그 결과, 기판(W)을 소정 위치로 확실하게 이동시키는 것이 가능해진다.

한편, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)에 당접하는 오측 기판 지지부(6)의 부분, 기판(W)에 당접하는 프론트 리테이너(7)는 기판(W)에 당접하는 철거부(83, 75)의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 크기 때문에, 파티클의 발생 등에 의한 오염을 억제하는 것이 가능하며, 기판 수납 공간(27)을 클린한 상태로 하는 것이 가능해져, 기판(W)을 클린한 상태에서 보관 가능해진다. 즉, 클린한 상태에서의 기판(W)의 보관과, 용기 본체(2)로부터 기판(W)을 꺼낼 때의 기판(W)의 소정 위치로의 이동의 양립을 도모하는 것이 가능해진다.

또한, 철거부(75)는 탄성 변형하는 탄성 부재로서의 판 스프링 형상부(751)를 구비하며, 판 스프링 형상부(751)의 탄성력에 의해 기판(W)의 철거를 수행한다. 또한, 철거부(83)는 탄성 변형하는 탄성 부재로서의 판 스프링부(832)를 구비하며, 판 스프링부(832)의 탄성력에 의해 기판(W)의 철거를 수행한다. 이 구성에 의해, 철거부(75, 83)에 의한 기판(W)의 철거를 보다 확실히 수행하는 것이 가능해진다.

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 16a는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연 지지부(60A)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다. 도 16b는 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 철거부(83A)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.

제2 실시 형태에서는, 오측 기판 지지부(6A)가 기판 지지 판형상부(5)(도 2 등 참조)와 일체 성형되어 마련되어 있다는 점, 및 철거부(83) 및 기판(W)의 연부를 지지하는 리브 형상부(221)를 갖는 구성 대신, 철거부(83A)를 갖는다는 점에서 제1 실시 형태와는 상이하다. 그 이외의 구성에 대해서는 제1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.

기판 지지 판형상부(5)의 오측에는 오측 기판 지지부(6A)(도 16a 참조)가 기판 지지 판형상부(5)(도 2 등 참조)와 일체 성형되어 마련되어 있다. 오측 기판 지지부(6A)는 기판 수납 공간(27) 내에서 후술하는 프론트 리테이너(7)(도 7 등 참조)와 쌍을 이루도록 벽부(20)(도 2 등 참조)에 마련되어 있다. 오측 기판 지지부(6A)는 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 연부에 당접함으로써 복수의 기판(W)의 연부의 뒷부분을 지지할 수 있다. 즉, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 오측 기판 지지부(6A)는 프론트 리테이너(7)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 유지시킨다.

도 16a에 나타낸 바와 같이, 오측 기판 지지부(6A)는 오측 단연 지지부(60A)를 갖는다. 오측 단연 지지부(60A)는 기판 지지 판형상부(5)(도 2 등 참조)의 판부(51)의 후단부에 판부(51) 및 지지벽(52)과 일체 성형되어 있다.

오측 단연 지지부(60A)는 기판 수납 공간(27)에 수납 가능한 기판(W)의 한 장마다 대응하는 개수, 구체적으로는 25개 마련되어 있다. 제1 측벽(25) 및 제2 측벽(26)에 배치된 오측 단연 지지부(60A)는 전후 방향(D1)에서 후술하는 프론트 리테이너(7)와 쌍을 이루는 위치 관계를 갖는다.

오측 단연 지지부(60A)는 하측 측면(611A)과 상측 측면(612A)을 가지고 있으며, 이들 사이에는 기판 계합홈(64A)이 형성되어 있다. 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색했을 때에는, 기판(W)이 하측 측면(611A)에 대해 슬라이딩하여 올라가, 기판(W)이 기판 계합홈(64A)의 위치에 이르렀을 때, 기판(W)의 연부가 기판 계합홈(64A)에서 오측 단연 지지부(60A)에 지지된다.

철거부(83A)는 도 16b에 나타낸 바와 같이, 하측 당접면(841A), 하측 경사면(842A), 상측 경사면(851A)을 갖는다.

구체적으로는, 하측 당접면(841A)은 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있지 않을 때, 기판(W)의 이면(하면)의 단연에 당접하여 기판(W)을 지지한다.

하측 경사면(842A)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라 기판 수납 공간(27)의 중심(도 16b에서의 좌측)으로부터 이격되도록, 하측 당접면(841A)의 단부로부터 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있으며, 기판(W)의 이면의 단부가 슬라이딩한다. 상측 경사면(851A)은 상방향(D21)으로 나아감에 따라 기판 수납 공간(27)의 중심(도 16b에서의 좌측)에 접근하도록, 하측 경사면(842A)의 상단부로부터 경사지어 연장되는 경사면으로 구성되어 있다.

하측 경사면(842A) 및 상측 경사면(851A)은 하측 당접면(841A)보다 상측에 배치되어, 기판(W)의 단부가 계합 가능한 기판 수납 공간(27)의 중심으로부터 이격되도록 함몰된 오목 홈인 V자 형상 홈을 형성한다. 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색했을 때, 기판(W)은 하측 경사면(842A)에 대해 슬라이딩하여 올라가, 기판(W)이 V자 형상 홈의 정점의 위치에 이르렀을 때, 기판(W)의 연부가 V자 형상 홈에서 지지된다.

기판(W)에 대해 하측 당접면(841A), 하측 경사면(842A), 상측 경사면(851A)을 슬라이딩시킨 경우의 모든 최대 정지 마찰계수가, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60A)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수보다 상대적으로 낮은 값이 되도록, 하측 경사면(842A), 하측 당접면(841A), 오측 단연 지지부(60A) 및 상측 경사면(851A)은 적절히 조면 가공 등의 표면 처리가 실시되어 있다. 철거부(83A)는 제1 실시 형태와 마찬가지로, 도시하지 않는 판 스프링부에 의해 전방향(D11)으로 부세되고 있다. 구체적으로는, 기판(W)에 대해 하측 당접면(841A), 하측 경사면(842A), 상측 경사면(851A)을 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.25 이하이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.25 이하로 한 것은, 0.25를 초과하는 경우에는 하측 당접면(841A), 하측 경사면(842A), 상측 경사면(851A)에 대해 기판(W)이 충분히 슬라이딩하지 않기 때문이다. 또한, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60A)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.3 이상이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.3 이상으로 한 것은, 0.3 미만인 경우에는 기판 수납 용기(1) 수송 중의 진동 등으로 인해, 클린한 기판(W)에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽기 때문이다.

다음으로, 기판(W)을 기판 수납 공간(27)에 수납하고, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)를 폐색한 후, 뚜껑체(3)를 분리하고 있을 때의 동작에 대해 설명한다.

뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있고, 기판(W)이 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있을 때에는, 기판(W)이 오측 기판 지지부(6A)와 프론트 리테이너(7)가 협동함으로써 끼워지도록 하여 지지되어 있는 것은 제1 실시 형태와 동일하다. 따라서, 기판(W)의 연부가 도 16a에 나타낸 바와 같이 오측 단연 지지부(60A)의 기판 계합홈(64A)에 계합하여, 이로써 기판(W)의 연부가 오측 단연 지지부(60A)에 의해 지지되어 있다. 또한, 이 때, 도 16b에 나타낸 바와 같이, 철거부(83A)에서는, 하측 경사면(842A)이 기판(W)의 하면의 연부에 당접하고, 상측 경사면(851A)이 기판(W)의 상면의 연부에 당접하고 있다.

그 다음, 뚜껑체(3)의 조작부(33)가 조작되어, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 대한 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)의 계합이 해제되면, 도시하지 않는 판 스프링부의 탄성력에 의해 철거부(83A)가 용기 본체(2)에 대해 전방향(D11)으로 이동하고, 이에 수반하여, 기판(W)이 철거부(83A)에 의해 전방향(D11)으로 철거되어 오측 단연 지지부(60A)의 기판 계합홈(64A)에 대한 계합이 해제된다. 이로써, 기판(W)의 연부는 도 16b에 나타낸 바와 같이, 하측 경사면(842A)에 대해 슬라이딩하여 미끄러져 떨어져 기판(W)의 하면이 하측 당접면(841A)에 당접하고, 이와 같이 당접하는 소정 위치에 기판(W)이 배치된다. 그리고, 기판(W)이 소정 장치에 의해 지지되어 기판 수납 공간(27)으로부터 꺼내진다.

다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 17a는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 철거부(83B)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다. 도 17b는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연 지지부(60B)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.

제3 실시 형태에서는, 제2 실시 형태와 동일한 구성의 철거부(83A)가 기판 지지 판형상부(5)의 뒷부분에 마련되어 있다는 점, 및 제2 실시 형태와 동일한 구성의 오측 기판 지지부(6A)가 리브 형상부(221)에 마련되어 있다는 점에서 제2 실시 형태와는 상이하다. 제2 실시 형태에서의 철거부(83A)의 각 구성에 상당하는 제3 실시 형태에서의 철거부(83B)의 각 구성에 대해서는, 제2 실시 형태에서의 부호의 A를 B로 대신하여 도시하고 설명을 생략한다. 마찬가지로 제2 실시 형태에서의 오측 기판 지지부(6A)의 각 구성에 상당하는 제3 실시 형태에서의 오측 기판 지지부(6B)의 각 구성에 대해서는, 제2 실시 형태에서의 부호의 A를 B로 대신하여 도시하고 설명을 생략한다. 그 이외의 구성에 대해서는 제1 실시 형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도시하고, 설명을 생략한다.

기판(W)에 대해 하측 당접면(841B), 하측 경사면(842B), 상측 경사면(851B)을 슬라이딩시킨 경우의 모든 최대 정지 마찰계수가, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60B)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수보다 상대적으로 낮은 값이 되도록, 하측 경사면(842B), 하측 당접면(841B), 오측 단연 지지부(60B) 및 상측 경사면(851B)은 적절히 조면 가공 등의 표면 처리가 실시되어 있다. 구체적으로는, 기판(W)에 대해 하측 당접면(841B), 하측 경사면(842B), 상측 경사면(851B)을 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.25 이하이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.25 이하로 한 것은, 0.25를 초과하는 경우에는 하측 당접면(841B), 하측 경사면(842B), 상측 경사면(851B)에 대해 기판(W)이 충분히 슬라이딩하지 않기 때문이다. 또한, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60B)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.3 이상이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.3 이상으로 한 것은, 0.3 미만인 경우에는 기판 수납 용기(1) 수송 중의 진동 등으로 인해, 클린한 기판(W)에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽기 때문이다.

뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있고, 기판(W)이 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있을 때에는, 기판(W)이 오측 기판 지지부(6)와 프론트 리테이너(7)가 협동함으로써 끼워지도록 하여 지지되어 있는 것은, 제1 실시 형태, 제2 실시 형태와 동일하다.

따라서, 기판(W)의 연부는 도 17b에 나타낸 바와 같이, 오측 단연 지지부(60B)의 기판 계합홈(64B)에 계합하며, 이로써 기판(W)의 연부가 오측 단연 지지부(60B)에 의해 지지되어 있다. 또한, 이 때, 기판 지지 판형상부(5)의 뒷부분에 마련된 철거부(83B)에서는, 하측 경사면(842B)이 기판(W)의 하면의 연부에 당접하고, 상측 경사면(851B)이 기판(W)의 상면의 연부에 당접하고 있다.

그 다음, 뚜껑체(3)의 조작부(33)가 조작되어, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 대한 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)의 계합이 해제되면, 도시하지 않는 판 스프링부의 탄성력에 의해 철거부(83B)가 용기 본체(2)에 대해 전방향(D11)으로 이동하고, 이에 수반하여, 기판(W)이 철거부(83B)에 의해 전방향(D11)으로 철거되어 오측 단연 지지부(60B)의 기판 계합홈(64B)에 대한 계합이 해제된다. 이로써, 기판(W)의 연부가 철거부(83B)에서 도 17a에 나타낸 바와 같이, 하측 경사면(842B)에 대해 슬라이딩하여 미끄러져 떨어져 기판(W)의 하면이 하측 당접면(841B)에 당접하고, 이와 같이 당접하는 소정 위치에 기판(W)이 배치된다. 그리고, 기판(W)이 소정 장치에 의해 지지되어 기판 수납 공간(27)으로부터 꺼내진다.

다음으로, 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 18은 본 발명의 제4 실시 형태에 따른 기판 수납 용기에서, 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 개폐되었을 때의 오측 단연 지지부(60) 및 철거부(83C)에 대한 기판(W)의 위치 관계를 나타낸 모식도이다.

제4 실시 형태에서는, 오측 기판 지지부(6C)가 기판 지지 판형상부(5)와 일체 성형되어 마련되어 있다는 점, 제1 실시 형태와 동일한 구성의 철거부(83C)가 기판 지지 판형상부(5)의 뒷부분에 마련되어 있다는 점, 및 용기 본체(2)에 강한 충격을 받았을 때에만 기판(W)에 당접하고, 용기 본체(2)에 강한 충격을 받지 않은 때에는 기판(W)에 접촉하지 않는 리어 리테이너를 구비하고 있다는 점에서, 제1 실시 형태와는 상이하다. 제1 실시 형태에서의 철거부(83)의 각 구성에 상당하는 제4 실시 형태에서의 철거부(83C)의 각 구성에 대해서는, 제1 실시 형태에서의 부호에 C를 붙여 도시하고 설명을 생략한다. 마찬가지로 제1 실시 형태에서의 오측 기판 지지부(6)의 각 구성에 상당하는 제4 실시 형태에서의 오측 기판 지지부(6C)의 각 구성에 대해서는, 제1 실시 형태에서의 부호에 C를 붙여 도시하고 설명을 생략한다.

기판 지지 판형상부(5)의 뒷부분에는, 제1 실시 형태의 리브 형상부(221)와 동일한 형상, 즉 상하 방향(D2)에서 소정 간격으로 오목부(82C)가 형성된 오목부 형성부(81C)를 갖는 형상의 오측 단연 지지부(60C)가 마련되어 있다. 또한, 오측 단연 지지부(60C)의 앞측에는, 제1 실시 형태의 철거부(83)와 동일한 철거부(83C)가 마련되어 있다.

기판(W)에 대해 하측 당접면(841C), 하측 경사면(842C), 상측 경사면(851C)을 슬라이딩시킨 경우의 모든 최대 정지 마찰계수가, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60C)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수보다 상대적으로 낮은 값이 되도록, 하측 경사면(842C), 하측 당접면(841C), 오측 단연 지지부(60C) 및 상측 경사면(851C)은 적절히 조면 가공 등의 표면 처리가 실시되어 있다. 구체적으로는, 기판(W)에 대해 하측 당접면(841C), 하측 경사면(842C), 상측 경사면(851C)을 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.25 이하이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.25 이하로 한 것은, 0.25를 초과하는 경우에는 하측 당접면(841C), 하측 경사면(842C), 상측 경사면(851C)에 대해 기판(W)이 충분히 슬라이딩하지 않기 때문이다. 또한, 기판(W)에 대해 오측 단연 지지부(60C)를 슬라이딩시킨 경우의 최대 정지 마찰계수는 0.3 이상이다. 최대 정지 마찰계수의 값을 0.3 이상으로 한 것은, 0.3 미만인 경우에는 기판 수납 용기(1) 수송 중의 진동 등으로 인해, 클린한 기판(W)에 대해 파티클 등의 발생에 의한 오염을 부착시키기 쉽기 때문이다.

리어 리테이너(도시하지 않음)는 리브 형상부(221)에 마련되어 있으며, 리브 형상부(221)에는 25장의 기판(W)의 연부를 삽입 가능한 V자 형상 홈이 형성되어 있다. V자 형상 홈이 형성하고 있는 리브 형상부(221)의 부분은, 기판(W)이 기판 수납 공간(27)에 수납되고 뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있을 때, 기판(W)의 연부에 소정 거리로 이격되어 있다. 상기 리브 형상부(221)의 부분은 용기 본체(2)에 강한 충격을 받았을 때 기판(W)에 당접하여, 기판(W)이 소정량 이상으로 휘는 것을 억제한다.

뚜껑체(3)에 의해 용기 본체 개구부(21)가 폐색되어 있고, 기판(W)이 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있을 때에는, 기판(W)이 오측 기판 지지부(6)와 프론트 리테이너(7)가 협동함으로써 끼워지도록 하여 지지되어 있는 것은, 제1 실시 형태~제3 실시 형태와 동일하다. 따라서, 기판(W)의 연부가 도 18에 나타낸 바와 같이 오목부 형성부(81C)의 오목부(82C)에 계합하고, 이로써 기판(W)의 연부가 오측 단연 지지부(60C)에 의해 지지되어 있다. 또한, 이 때, 기판 지지 판형상부(5)의 뒷부분에 마련된 철거부(83C)에서는, 하측 경사면(842C)이 기판(W)의 하면의 연부에 당접하고, 상측 경사면(851C)이 기판(W)의 상면의 연부에 당접하고 있다.

그 다음, 뚜껑체(3)의 조작부(33)가 조작되어, 용기 본체(2)의 래치 계합 오목부(241A, 241B)에 대한 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)의 계합이 해제되면, 판 스프링부(832)의 탄성력에 의해 철거부(83C)가 용기 본체(2)에 대해 전방향(D11)으로 이동하고, 이에 수반하여, 기판(W)이 철거부(83C)에 의해 전방향(D11)으로 철거되어, 오목부 형성부(81C)의 오목부(82C)에 대한 계합이 해제된다. 이로써, 기판(W)의 연부가 도 18에 나타낸 바와 같이, 하측 경사면(842C)에 대해 슬라이딩하여 미끄러져 떨어져 기판(W)의 하면이 하측 당접면(841C)에 당접하고, 이와 같이 당접하는 소정 위치에 기판(W)이 배치된다. 그리고, 기판(W)이 소정 장치에 의해 지지되어 기판 수납 공간(27)으로부터 꺼내진다.

본 발명은, 상술한 실시 형태로 한정되지 않으며, 특허 청구 범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다.

예를 들어, 본 실시 형태에서의 철거부(83, 75)는 용기 본체 측과 뚜껑체 측 모두에 마련되어 있지만, 이 구성으로 한정되지 않는다. 철거부는 오측 기판 지지부와 뚜껑체측 기판 지지부 중 적어도 하나로부터 기판(W)을 철거할 수 있는 구성을 가지고 있으면 무방하다. 따라서, 예를 들어 본 실시 형태에서는, 기판 수납 용기(1)는 철거부(83)와 철거부(75)를 구비하고 있었지만, 철거부(83)를 구비하고 철거부(75)를 구비하지 않을 수도 있다.

또한, 탄성 부재로서 철거부(83)의 판 스프링부(832)가 이용되고, 또한 철거부(75)의 판 스프링 형상부(751)가 이용되었지만, 이것으로 한정되지 않는다.

또한, 용기 본체 및 뚜껑체의 형상, 용기 본체에 수납 가능한 기판(W)의 장수나 치수는 본 실시 형태에서의 용기 본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기 본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 장수나 치수로 한정되지 않는다. 즉, 측방 기판 지지부나, 뚜껑체측 기판 지지부나, 오측 기판 지지부의 구성은 기판 지지 판형상부(5)와 프론트 리테이너(7), 오측 기판 지지부(6)의 구성으로 한정되지 않는다. 또한, 본 실시 형태에서의 기판(W)은 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼였지만, 이 값으로 한정되지 않는다.

1: 기판 수납 용기
2: 용기 본체
3: 뚜껑체
5: 기판 지지 판형상부(측방 기판 지지부)
6: 오측 기판 지지부
7: 프론트 리테이너(뚜껑체측 기판 지지부)
20: 벽부
21: 용기 본체 개구부
27: 기판 수납 공간
28: 개구 주연부
75: 철거부
83: 철거부
751: 판 스프링 형상부
832: 판 스프링부
W: 기판

Claims

일단부에 용기 본체 개구부가 형성된 개구 주연부를 가지며, 타단부가 폐색된 통 형상의 벽부를 구비하고, 상기 벽부의 내면에 의해, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기 본체 개구부에 연통하는 기판 수납 공간이 형성된 용기 본체;
상기 용기 본체 개구부에 대해 착탈 가능하며, 상기 용기 본체 개구부를 폐색 가능한 뚜껑체;
상기 기판 수납 공간 내에서 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있지 않을 때, 상기 복수의 기판 중 인접하는 기판끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 측방 기판 지지부;
상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때, 상기 기판 수납 공간에 대향하는 상기 뚜껑체의 부분에 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능한 뚜껑체측 기판 지지부;
상기 기판 수납 공간 내에서 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되어, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색되어 있을 때 상기 뚜껑체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지 가능한 오측 기판 지지부; 및
상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부가 폐색된 상태로부터, 상기 용기 본체 개구부로부터 상기 뚜껑체가 열릴 때, 상기 오측 기판 지지부 및 상기 뚜껑체측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을, 상기 오측 기판 지지부와 상기 뚜껑체측 기판 지지부 중 적어도 하나로부터 철거하는 철거부를 구비하는 기판 수납 용기.
제1항에 있어서,
상기 철거부는 상기 오측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을 상기 오측 기판 지지부로부터 철거하며,
상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부를 폐색하거나 개방할 때 상기 기판에 당접하는 상기 철거부의 부분은, 상기 기판에 당접하는 상기 오측 기판 지지부의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작은 기판 수납 용기.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 철거부는 상기 뚜껑체측 기판 지지부에 의해 지지되어 있는 상태의 상기 기판을 상기 뚜껑체측 기판 지지부로부터 철거하며,
상기 뚜껑체에 의해 상기 용기 본체 개구부를 폐색하거나 개방할 때 상기 기판에 당접하는 상기 철거부의 부분은, 상기 기판에 당접하는 상기 뚜껑체측 기판 지지부의 부분보다 최대 정지 마찰계수가 작은 기판 수납 용기.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 철거부는 탄성 변형하는 탄성 부재를 구비하며, 상기 탄성 부재의 탄성력에 의해 상기 기판의 철거를 수행하는 기판 수납 용기.