KR20200048448A - 히팅 파이프 - Google Patents

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KR20200048448A KR1020180130551A KR20180130551A KR20200048448A KR 20200048448 A KR20200048448 A KR 20200048448A KR 1020180130551 A KR1020180130551 A KR 1020180130551A KR 20180130551 A KR20180130551 A KR 20180130551A KR 20200048448 A KR20200048448 A KR 20200048448A
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Abstract

본 발명은, 가요성의 내부 배관; 상기 내부 배관 상에 서로 이격 배치되는 복수의 히팅 유닛; 및 상기 내부 배관 및 상기 히팅 유닛을 감싸도록 배치되는 가요성의 외부 배관을 포함하고, 상기 히팅 유닛은, 면상발열체를 포함하는, 히팅 파이프를 제공한다.

Description

히팅 파이프{HEATING PIPE}
본 발명은 내부를 유동하는 유체를 가열하기 위해 사용되는 히팅 파이프에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체, 디스플레이, 태양전지 제조 공정 등에 사용되는 가스 및 케미컬의 파이프라인에 대해서는, 균일한 온도유지 및 이송중 발생하는 기체 및 액체의 응고물 방지가 요구된다. 이를 위해, 이들 파이프라인 바깥쪽을 히팅 자켓과 같은 발열 수단으로 감싸는 방식으로 사용되어 왔다.
이 경우 히팅 자켓 등에 의해 파이프라인이 배치되는 공간이 협소해진다. 또한, 파이프라인에 직접 가열하는 방식이 아닌 피복 안에 코일 형식의 니크롬선형 열선을 사용한 간접 가열방식으로 인해, 열전달이 효과적이지 못해 다량의 기체 및 액체의 응고물이 파이프라인 내에 침적되는 경우가 많다.
이러한 파이프라인에 대해서는 내부 응고물 등을 제거하기 위해 주기적으로 세정을 진행한다. 이를 위해 발열 수단의 탈착 후 파이프를 분리하여 세정 후 파이프 및 발열 수단을 재장착하는 데, 그에 대한 시간과 비용이 투입되어 그에 대한 대책이 요구된다.
이와 더불어, 파이프라인 중에 곡선 구간이 있거나, 진동이 발생하는 펌프 등에 연결된 구간에 대해서는, 그에 대한 대책도 요구되고 있다.
본 발명은, 파이프에 일체화된 발열 수단에 의해 파이프 세정이 필요 없으면서도 곡선 혹은 진동 구간에 대응할 수 있는, 히팅 파이프를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 히팅 파이프는, 가요성의 내부 배관; 상기 내부 배관 상에 서로 이격 배치되는 복수의 히팅 유닛; 및 상기 내부 배관 및 상기 히팅 유닛을 감싸도록 배치되는 가요성의 외부 배관을 포함하고, 상기 히팅 유닛은, 면상발열체를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 내부 배관은, 서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합되는 복수의 링형 피스를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 면상발열체는, 기재 필름; 상기 기재 필름상에 도포되는 탄소나노튜브 발열부; 및 상기 탄소나노튜브 발열부에 전원을 인가하도록 배치되는 전극을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 히팅 유닛은, 상기 내부 배관의 외면에 설치되고, 상기 면상발열체가 부착되는 금속 재질의 제1 베이스 플레이트를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 베이스 플레이트는, 상기 내부 배관의 둘레 방향을 따라 연장되는 일체형의 링 플레이트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 베이스 플레이트는, 상기 내부 배관의 길이 방향을 따르는 양측 중 일측에서만 상기 내부 배관에 대해 용접 결합될 수 있다.
여기서, 상기 히팅 유닛은, 상기 제1 베이스 플레이트에 대응하여 위치하며, 상기 제1 베이스 플레이트와 함께 상기 면상발열체를 협지하는 제2 베이스 플레이트를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는, 상기 내부 배관의 둘레 방향을 따라 각기 서로 동일한 위치에서 상기 내부 배관에 용접 결합될 수 있다.
여기서, 상기 외부 배관은, 벨로우즈 형상의 배관일 수 있다.
여기서, 상기 히팅 유닛과 상기 외부 배관 사이에 배치되는 단열재가 더 구비될 수 있다.
여기서, 상기 내부 배관은, 원통 형태를 가지는 복수의 베이스부; 및 상기 복수의 베이스부 중 인접한 한 쌍을 연결하는 주름부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 히팅 유닛 각각은, 상기 복수의 베이스부 중 하나에 대응하여 위치할 수 있다.
본 발명의 다른 일 측면에 따른 히팅 파이프는, 원통 형태를 가지는 복수의 베이스부와, 상기 복수의 베이스부 중 인접한 한 쌍 사이에 배치되는 주름부를 구비하는 내부 배관; 상기 내부 배관 중 상기 베이스부 각각에 대응하여 배치되고 서로 전기적으로 연결되는 복수의 히팅 유닛; 상기 내부 배관 및 상기 히팅 유닛을 감싸도록 배치되고 주름이 연속적으로 형성된 벨로우즈 형태의 외부 배관을 포함하고, 상기 히팅 유닛은, 면상발열체를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 외부 배관을 감싸도록 배치되는 단열 배관을 더 포함하고, 상기 단열 배관은, 서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합되는 복수의 링형 피스를 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 히팅 파이프에 따르면, 내부 배관과 외부 배관 사이에 면상발열체를 갖는 복수의 히팅 유닛이 배치되므로, 내부 배관에 대한 원활한 가열 및 그에 따른 내부 배관 내 응고물 방지가 확실하게 이루어질 수 있다. 그에 따라, 내부 배관에 대한 세정이 불필요하게 된다.
또한, 내부 배관 및 외부 배관이 가요성을 갖고 복수의 면상발열체는 서로 이격 배치됨에 따라, 히팅 파이트가 휘어지거나 신축될 수 있다. 그에 의해, 히팅 파이프는 곡선 구간에 배치될 수 있고, 진동체에 연결되어 그에 의한 진동을 흡수하면서 안정적으로 작동할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 파이프(100)에 대한 분해 사시도이다.
도 2는 도 1의 히팅 유닛(130)에 대한 분해 사시도이다.
도 3은 도 2의 히팅 유닛(130)에 대한 조립 사시도이다.
도 4는 도 1의 내부 배관(110) 및 히팅 유닛(130)에 대한 부분 확대 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅 파이프(200)에 대한 절단 사시도이다.
도 6은 도 5의 히팅 파이프(200) 중 내부 배관(210)과 히팅 유닛(230)에 대한 결합 사시도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 히팅 파이프에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 히팅 파이프(100)에 대한 분해 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 히팅 파이프(100)는 내부 배관(110)과, 히팅 유닛(130), 외부 배관(150), 나아가 단열재(170)를 포함할 수 있다.
내부 배관(110)은 그의 중공부에 케미컬이나 가스가 유동하는 관체이다. 내부 배관(110)의 실린더형 몸체는 복수의 링형 피스(111)에 의해 구성될 수 있다. 복수의 링형 피스(111) 중 인접한 피스들은 서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합 된다. 이를 위해, 피스들은 이격 방향으로 상대 이동시에 서로 맞물려서 서로 걸리는 제한 후크를 각기 구비할 수 있다. 이러한 구조에 의해, 상기 실린더형 몸체는 신축되거나 휘어질 수 있다. 그에 의해, 내부 배관(110)은 가요성을 갖는다고 할 수 있다. 이러한 내부 배관(110)은 인터록(inter-lock) 배관으로 칭해질 수도 있다. 상기 실린더형 몸체의 양단부에는 플랜지(115)가 결합될 수 있다. 플랜지(115)에는 관통홀(116)이 형성되는데, 이는 후술할 전선(139, 도 2)의 통과를 위한 것이다.
히팅 유닛(130)은 내부 배관(110), 구체적으로 상기 실린더형 몸체의 외면에 설치된다. 히팅 유닛(130)은 내부 배관(110)의 외면에 복수 개로 구비된다. 복수 개의 히팅 유닛(130)은 상기 실린더형 몸체의 길이 방향을 따라 서로 이격되게 배치될 수 있다. 복수 개의 히팅 유닛(130)은 내부 배관(110)이 휘어지는 과정에서 장애 요인이 되지 않기 위해서, 일정 기준 이하의 폭을 가질 수 있다. 예를 들어, 히팅 유닛(130)은 링형 피스(111) 두 개의 폭보다 작은 폭을 가질 수 있다. 구체적으로, 히팅 유닛(130)은 내부 배관(110)의 직경의 1/5 내지 1/2 정도의 수준일 수 있다. 히팅 유닛(130)은 발열원으로서, 면상발열체(131, 도 2 참조)를 가질 수 있다.
외부 배관(150)은 내부 배관(110) 및 히팅 유닛(130)을 감싸도록 배치된다. 그에 의해, 외부 배관(150)은 단면상 내부 배관(110)과 동심원 관계를 이룰 수 있다. 외부 배관(150)은 가요성을 갖는 것이다. 예를 들어, 외부 배관(150)은 벨로우즈 형태의 관체일 수 있다. 이러한 외부 배관(150)은 내부 배관(110)의 한 쌍의 플랜지(115) 사이에 배치된다.
단열재(170)는 히팅 유닛(130)과 외부 배관(150) 사이에 추가로 배치될 수 있다. 단열재(170)는 히팅 유닛(130)을 감싸서 히팅 유닛(130)에서 발생한 열이 외부 배관(150)을 향한 방향으로 손실되는 것을 막는다. 단열재(170)는 가요성을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 단열재(170)로는, 예를 들어 실리카 섬유로 제작된 관체가 채용될 수 있다.
이상에서 내부 배관(110) 및 외부 배관(150)은 가스에 대한 내부식성이 좋은 재질로서, 금속, 예를 들어 스테인레스 스틸로 제작될 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 히팅 파이프(100)는 필요에 따른 구부림 또는 진동에 의해 휘어질 수 있다. 이는 내부 배관(110) 및 외부 배관(150)이 가요성을 갖기 때문이다. 또한, 단열재(170)도 가요성을 갖기 때문이다. 나아가, 히팅 유닛(130)이 가요성을 갖지 않더라도, 서로 이격 배치됨에 의해 내부 배관(110)이 휘어지는 것을 방해하지 않는다.
이상에서 히팅 유닛(130)에 대한 구체적 구성은 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다.
도 2는 도 1의 히팅 유닛(130)에 대한 분해 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 히팅 유닛(130)은, 면상발열체(131), 제1 베이스 플레이트(133), 및 제2 베이스 플레이트(135)를 포함할 수 있다.
면상발열체(131)는 대체로 링 형상을 가질 수 있다. 면상발열체(131)는, 구체적으로, 기재 필름(131a), 탄소나노튜브 발열부(131b), 및 전극(131c)으로 구성될 수 있다. 탄소나노튜브 발열부(131b)는 기재 필름(131a) 상에 도포되고, 전극(131c)은 탄소나노튜브 발열부(131b)의 양단부에 설치된다.
제1 베이스 플레이트(133)는 내부 배관(110)의 외면에 설치되며, 면상발열체(131)가 부착되는 대상물이다. 제1 베이스 플레이트(133)는 링 형상의 플레이트이다. 나아가, 제1 베이스 플레이트(133)는 일체형의 링 형상일 수 있다. 이러한 제1 베이스 플레이트(133)는 내부 배관(110)의 링형 피스(111) 간의 상대 움직임에 의해 면상발열체(131)가 손상되지 않도록 보호하게 된다. 이러한 보호를 강화하기 위해, 제1 베이스 플레이트(133)는, 예를 들어 스테인레스 스틸과 같은 금속 재질로 형성될 수 있다.
제2 베이스 플레이트(135)는 제1 베이스 플레이트(133)에 대응하여 위치하며, 제1 베이스 플레이트(133)와 함께 면상발열체(131)를 협지하도록 배치될 수 있다. 이를 위해, 제2 베이스 플레이트(135) 역시 제1 베이스 플레이트(133)와 같이 링 형태를 가질 수 있다. 나아가, 제2 베이스 플레이트(135)의 폭은 제1 베이스 플레이트(133)의 폭과 동일할 수 있다. 제2 베이스 플레이트(135)는 중간에 개구부(135a)가 형성된 것이다.
도 3은 도 2의 히팅 유닛(130)에 대한 조립 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 히팅 유닛(130)은 제1 베이스 플레이트(133)와 제2 베이스 플레이트(135) 사이에 면상발열체(131)가 협지된 구성을 이룬다. 그에 의해, 면상발열체(131)는 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135)에 의해 양 방향의 대상물{내부 배관(110)과 단열재(170)}로부터 보호될 수 있다.
나아가, 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135)는 용접에 의해 내부 배관(110)에 결합될 수 있다. 이때, 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135)가 내부 배관(110)에 대해 용접 결합되는 부분인 용접부(137)는 제1 베이스 플레이트(133)의 양측 중 일측에만 형성된다. 이는 제1 베이스 플레이트(133)의 양측 모두가 내부 배관(110)의 인접한 링형 피스(111)들에 결합되면, 인접한 링형 피스(111) 간의 상대 이동이 제한될 수 있기 때문이다. 용접부(137)는 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135)에 대해 동일한 위치에서 형성되어, 한 번의 용접으로 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135) 모두가 내부 배관(110)에 결합되게 할 수 있다.
도 4는 도 1의 내부 배관(110) 및 히팅 유닛(130)에 대한 부분 확대 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 인접한 히팅 유닛(130)은 전선(139)으로 서로 연결될 수 있다. 구체적으로, 하나의 히팅 유닛(130)의 전극(131c)과 인접한 다른 하나의 히팅 유닛(130)의 전극(131c)은 전선(139)에 의해 전기적으로 연결되는 것이다. 이렇게 연장되는 전선(139)은 플랜지(115)의 관통홀(116)을 통해 외부로 연장되어, 전원공급장치에 연결될 수 있다.
히팅 유닛(130)의 제2 베이스 플레이트(135)의 둘레 방향을 따라 이격된 위치에는 앞서 설명한 용접부(137)가 형성되어 있다. 이러한 용접부(137)에 의해 히팅 유닛(130)은 내부 배관(110)의 링형 피스(111)에 고정된다. 나아가, 인접한 히팅 유닛(130)은 각각의 용접부(137)에 의해 서로 간에 간격을 유지할 수 있다.
다음으로, 다른 형태의 히팅 파이프(200)에 대해 도 5 및 도 6을 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 히팅 파이프(200)에 대한 절단 사시도이고, 도 6은 도 5의 히팅 파이프(200) 중 내부 배관(210)과 히팅 유닛(230)에 대한 결합 사시도이다.
본 도면들을 참조하면, 히팅 파이프(200)는, 내부 배관(210), 히팅 유닛(230), 외부 배관(250), 및 단열 배관(270)을 선택적으로 포함할 수 있다.
내부 배관(210)은 전체적으로 실린더형 몸체를 가질 수 있다. 상기 실린더형 몸체는, 구체적으로는 베이스부(211)와 주름부(212)로 구성되는 것이다. 베이스부(211) 및 주름부(212)는 복수 개로 구성되어, 서로 교대로 배치될 수 있다. 그에 의해, 인접한 베이스부(211)들은 주름부(212)에 의해 연결된다. 베이스부(211)는 원통 형태를 가져서, 동일한 직경으로 연장 형성된 것일 수 있다. 이와 달리, 주름부(212)는 반원형 단면이 하나, 또는 복수 개가 배치된 형태를 가질 수 있다. 이에 의해, 주름부(212)의 외경은 베이스부(211) 보다 큰 것으로 예시된다. 그러나, 주름부(212)의 외경이 베이스부(211)의 외경보다 작게 하는 것도 가능하다. 상기 실린더형 몸체의 양단부에는 플랜지(215)가 결합될 수 있다. 상기 실린더형 몸체는 용접을 통해 플랜지(215)에 실링 결합될 수 있다.
히팅 유닛(230)은 앞선 실시예의 히팅 유닛(130, 도 1 참조)과 대체로 동일하다. 히팅 유닛(230)은 역시 히팅 유닛(130)과 같이, 내부 배관(210) 중 상기 실린더형 몸체에 설치될 수 있다. 이러한 히팅 유닛(230)은, 구체적으로 베이스부(211)에 대응하여 위치할 수 있다. 이러한 배치를 위해, 앞선 실시예에서 제1 베이스 플레이트(133) 및 제2 베이스 플레이트(135, 이상 도 2 참조)가 일체형의 링 형상인 것과 달리, 히팅 유닛(230)에 사용되는 제1 베이스 플레이트 및 제2 베이스 플레이트는 'C' 형태를 가질 수 있다. 이는 상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트가 베이스부(211)의 측방에서 베이스부(211)의 중심을 향한 방향으로 가압되어 베이스부(211)에 장착되어야 하기 때문이다. 히팅 유닛(230)의 폭은 베이스부(211)와 대체로 동일하거나, 그보다 작은 것일 수 있다. 히팅 유닛(230)의 전선(239)은 주름부(212)를 타고 넘어서 다른 히팅 유닛(230)에 연결된다.
외부 배관(250)은 내부 배관(210)을 감싸도록 배치되는 관체이다. 외부 배관(250)은 주름이 연속적으로 형성된 벨로우즈 형태를 가질 수 있다. 외부 배관(250)은 용접을 통해 플랜지(215)에 실링 가능하게 결합될 수 있다.
단열 배관(270)은 외부 배관(250)을 감싸도록 배치되는 관체이다. 외부 배관(250)과 단열 배관(270) 사이의 공기층에 의해, 히팅 유닛(230)에서 발생하는 열이 단열 배관(270) 측으로 전달되는 정도가 최소화될 수 있다. 이러한 단열 배관(270)은 서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합되는 복수의 링형 피스(271)으로 구성될 수 있다. 그에 따라, 단열 배관(270)은 인터록(inter-lock) 배관으로 칭해질 수도 있다.
이상에서, 단열 배관(270), 외부 배관(250), 및 내부 배관(210)은 가스에 대해 내부식성이 좋은 재질로서, 금속 재질, 예를 들어 스테인레스 스틸로 제작될 수 있다. 나아가, 단열 배관(270)은 필요에 따라 구비되지 않을 수도 있다.
이러한 구성에 의하면, 히팅 유닛(230)은 서로 이격된 복수 개로 형성되어 히팅 파이프(200)가 휘어지는데 제한을 가하지 않는다. 또한, 히팅 유닛(230)은 내부 배관(210)의 베이스부(211)에 배치되므로, 내부 배관(210)이 주름부(212)를 중심으로 휘어지거나 신축될 때 그와 무관하게 안정적으로 베이스부(211)에 설치된 상태를 유지할 수 있게 된다. 그에 의해, 주름부(212)의 신축, 휨에 의해 히팅 유닛(230)이 손상될 일이 없어진다.
외부 배관(250)은 휘거나 신축되면서도, 내부 배관(210)의 손상시 가스가 외부로 유출되는 것을 방지하는 역할을 하게 된다. 단열 배관(270)은 작업자가 히팅 유닛(230)에서 발생한 열에 영향을 받을 가능성을 최소화한다.
상기와 같은 히팅 파이프는 위에서 설명된 실시예들의 구성에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100,200: 히팅 파이프 110,210: 내부 배관
130,230: 히팅 유닛 131: 면상발열체
133: 제1 베이스 플레이트 135: 제2 베이스 플레이트
137: 용접부 139,239: 전선
150,250: 외부 배관 170: 단열재
270: 단열 배관

Claims (14)

  1. 가요성의 내부 배관;
    상기 내부 배관 상에 서로 이격 배치되는 복수의 히팅 유닛; 및
    상기 내부 배관 및 상기 히팅 유닛을 감싸도록 배치되는 가요성의 외부 배관을 포함하고,
    상기 히팅 유닛은, 면상발열체를 포함하는, 히팅 파이프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내부 배관은,
    서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합되는 복수의 링형 피스를 포함하는, 히팅 파이프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 면상발열체는,
    기재 필름;
    상기 기재 필름상에 도포되는 탄소나노튜브 발열부; 및
    상기 탄소나노튜브 발열부에 전원을 인가하도록 배치되는 전극을 포함하는, 히팅 파이프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 히팅 유닛은,
    상기 내부 배관의 외면에 설치되고, 상기 면상발열체가 부착되는 금속 재질의 제1 베이스 플레이트를 더 포함하는, 히팅 파이프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트는,
    상기 내부 배관의 둘레 방향을 따라 연장되는 일체형의 링 플레이트를 포함하는, 히팅 파이프.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트는,
    상기 내부 배관의 길이 방향을 따르는 양측 중 일측에서만 상기 내부 배관에 대해 용접 결합되는, 히팅 파이프.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 히팅 유닛은,
    상기 제1 베이스 플레이트에 대응하여 위치하며, 상기 제1 베이스 플레이트와 함께 상기 면상발열체를 협지하는 제2 베이스 플레이트를 더 포함하는, 히팅 파이프.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 베이스 플레이트 및 상기 제2 베이스 플레이트는,
    상기 내부 배관의 둘레 방향을 따라 각기 서로 동일한 위치에서 상기 내부 배관에 용접 결합되는, 히팅 파이프.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 외부 배관은,
    벨로우즈 형상의 배관인, 히팅 파이프.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 히팅 유닛과 상기 외부 배관 사이에 배치되는 단열재를 더 포함하는, 히팅 파이프.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 내부 배관은,
    원통 형태를 가지는 복수의 베이스부; 및
    상기 복수의 베이스부 중 인접한 한 쌍을 연결하는 주름부를 포함하는, 히팅 파이프.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 복수의 히팅 유닛 각각은,
    상기 복수의 베이스부 중 하나에 대응하여 위치하는, 히팅 파이프.
  13. 원통 형태를 가지는 복수의 베이스부와, 상기 복수의 베이스부 중 인접한 한 쌍 사이에 배치되는 주름부를 구비하는 내부 배관;
    상기 내부 배관 중 상기 베이스부 각각에 대응하여 배치되고 서로 전기적으로 연결되는 복수의 히팅 유닛;
    상기 내부 배관 및 상기 히팅 유닛을 감싸도록 배치되고 주름이 연속적으로 형성된 벨로우즈 형태의 외부 배관을 포함하고,
    상기 히팅 유닛은, 면상발열체를 포함하는, 히팅 파이프.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 외부 배관을 감싸도록 배치되는 단열 배관을 더 포함하고,
    상기 단열 배관은,
    서로에 대해 근접 방향 및 이격 방향으로 상대 이동 가능하게 결합되는 복수의 링형 피스를 포함하는, 히팅 파이프.
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