KR20200053800A

KR20200053800A - 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬

Info

Publication number: KR20200053800A
Application number: KR1020180137130A
Authority: KR
Inventors: 이준행
Original assignee: (주) 휴미시스템
Priority date: 2018-11-09
Filing date: 2018-11-09
Publication date: 2020-05-19
Anticipated expiration: 2038-11-09
Also published as: KR102119831B1

Abstract

본 발명은 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것으로서, 주로 클린시설의 서로 다른 공간의 압력차를 측정하여 압력을 조절하는 시설에서 사용되는 차압계가 차압센서의 오차가 증가하면 커버판넬을 열지 않고 압력계 교정기를 이용하여 교정할 수 있도록 하기 위하여 개발된 것으로;
다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 있어서;
정면의 내부 차압계를 볼 수 있도록 하는 투명판넬과; 정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀과; 상기 장착홀에 각각 장착되고 정면은 마개에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계와 연결되는 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트로부터 연장된 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부를 구비하여 마개를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부를 구비하여 마개를 분리하여 튜브를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것이다.

Description

매립형 차압계에 사용되는 커버판넬{The cover pannel for an embedded differential pressure gauge}

본 발명은 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것으로서, 좀더 상세하게 설명하면 주로 클린시설의 서로 다른 공간의 압력차를 측정하여 압력을 조절하는 시설에서 사용되는 차압계가 차압센서의 오차가 증가하면 커버판넬을 열지 않고 압력계 교정기를 이용하여 교정할 수 있도록 하기 위하여 개발된 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 관한 것이다.

다양한 산업시설 중에는 생산과정 또는 연구과정에서 내부의 공기가 오염물질을 최소화하도록 청정한 공기만 공급되는 클린시설이 필수적으로 요구되는 분야가 있으며 대표적인 것이 반도체 분야와 바이오 분야라고 할 수 있다.

여기에는 구획되어 이루어진 둘 이상의 공간은 자체적으로 공기를 순환하는 시스템을 가지고 있고 외기의 유입은 원천적으로 차단하고 있으며 이곳에 진입하기 위해서는 크린룸(clean room)을 통하여 세균 및 먼지를 제거한 후에 진입하도록 하고 있다.

이때 자체적인 공기순환 시스템을 구비하고 있기에 클린룸에서 클린시설로 또 클린시설 내부에서 구획된 부분을 이동할 때 공기압의 차이로 인하여 문을 개방하면 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 공기가 급속히 유입되며 이 과정에서 오염물질이 유입되는 경우가 발생하게 되는 것이다.

이에 통상 반도체 제조설비의 크린룸 등에서 미세한 압력차를 모니터링하여 이를 조절하도록 하는 장치를 필요로 하게 되었으며 서로 다른 두 곳의 압력의 차이를 측정하는 차압센서(differential pressure sensor) 또는 차압계를 필요로 하게 되었다.

하지만 차압계는 압력의 차이뿐만 아니라 공기의 온도 변화에도 영향을 주어 오차가 발생하게 되어 차압계에는 온도보상 기능이 꼭 필요하며, 온도의 영향을 무시하더라도 예민한 압력작용판은 차압이 영(zero)이 되더라도 물질적인 특성상 완벽하게 중앙의 위치로 복원되지 못하므로 차압 영(zero)에 해당하는 신호를 출력하지 못하게 되는 문제점이 있다.

또한 차압계의 압력작용판은 차압 형성시 항상 일정한 방향으로 변위되어 있는 상태이므로 일정 기간이 경과하면 탄성이 감소되어 민감도가 저하되어 시간이 경과할수록 민감도가 떨어져 정확한 측정이 이루어지지 않는 문제도 발생한다.

이에 별도의 압력계 교정기를 이용하여 주기적으로 차압계의 압력의 영점을 교정(calibration)하는 작업을 필요로 하고 있으나 보통 벽체의 함몰된 공간에 장착되고 정면은 커버판넬로 덮인 형태의 경우 커버판넬을 열 경우 내부의 보온제를 포함하는 오염물질이 클린룸을 포함하는 클린시설에 유입되는 문제점이 발생하게 되었다.

대한민국공개특허 제10-2002-0071593호 (2002년09월13일) 대한민국특허등록 제10-1624697-0000호 (2016년05월20일)

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 개발된 것으로서, 그 목적은 서로 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 커버판넬을 분리하지 않고도 차압계와 영점을 교정할 수 있도록 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬을 개발하는 것에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬에 있어서;

정면의 내부 차압계를 볼 수 있도록 하는 투명판넬과;

정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀과;

상기 장착홀에 각각 장착되고 정면은 마개에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계와 연결되는 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트로부터 연장된 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부를 구비하여 마개를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부를 구비하여 마개를 분리하여 튜브를 장착하였을 때 제1 튜브장착부와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자를 구비함을 특징으로 한다.

아울러, 상기 커버판넬의 정면 상기 양측 장착홀 사이에는 제1 차압감지포트가 장착됨을 특징으로 한다.

또한, 상기 조절포트단자는 후방으로 관통된 제1 나사홀과, 외경면에 관통된 제2 나사홀을 구비하고;

상기 제1 나사홀은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀은 제2 튜브장착부의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성됨을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 평상시에는 커버판넬 정면의 제1 차압감지포트와 다른 구획된 공간의 제2 차압감지포트가 각각 커버판넬의 정면 상부 양측에 장착되어 있는 서로 다른 조절포트단자의 내측에 결합되어 차압계와 연결되어 압력차를 표시하고, 상기 조절포트단자의 정면 마개를 분리하고 압력계 교정기의 튜브를 연결하면 차압계와 바로 연결되도록 하여 커버판넬을 분리하지 않고 차압계의 교정이 가능하여 클린룸의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평면도
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 조절포트단자를 나타낸 단면도
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 장착 상태를 나타낸 개념도
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실간압력 측정 상태를 나타낸 개념도
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 차압계 교정상태를 나타낸 개념도

이에 본 발명의 구성을 첨부된 도면에 의하여 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 조절포트단자를 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 장착 상태를 나타낸 개념도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 실간압력 측정 상태를 나타낸 개념도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 차압계 교정상태를 나타낸 개념도로서, 다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계(2)가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬(1)에 있어서;

정면의 내부 차압계(2)를 볼 수 있도록 하는 투명판넬(11)과;

정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀(12)과;

상기 장착홀(12)에 각각 장착되고 정면은 마개(131)에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계(2)와 연결되는 튜브(3a)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부(132)가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트(21, 22)로부터 연장된 튜브(3b, 3c)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부(133)를 구비하여 마개(131)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부(132)와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브(3)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부(134)를 구비하여 마개(131)를 분리하여 튜브(3)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자(13)를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬을 나타내었다.

본원은 클린룸 및 클린시설에서 사용되는 차압계(2)가 주기적으로 영점을 교정해야하며 이 과정에서 커버판넬(1)을 열고 압력계 교정기(4)를 차압계(2)에 연결하는 과정에서 차압계(2)가 장착된 공간에서의 오염물질이 클린룸으로 빠져나가는 것을 방지하기 위한 것이다.

즉 평상시에서 서로 다른 공간에 설치되는 제1 및 제2 차압감지포트(21, 22)가 튜브(3b, 3c)를 거쳐 각각 서로 다른 조절포트단자(13)와 연결되고, 이러한 조절포트단자(13)는 차압계(2)와 튜브(3a)로 연결되어 차압을 측정하게 되며 외부에서는 투명판넬(11)을 통하여 이를 확인하게 되는 것이다.

또한 차압계(2)를 교정할 경우에는 양측 조절포트단자(13)의 마개(131)를 분리하고 압력계 교정기(4)와 연결된 튜브(3)를 제3 튜브장착부(134)에 연결하여 교정작업을 진행할 수 있도록 하여 결과적으로 커버판넬(1)을 분리할 필요가 없어 커버판넬(1)을 열었을 때 클린룸이 오염되는 것을 방지하는 효과가 있는 것이다.

이때 상기 커버판넬(1)의 정면 상기 양측 장착홀(12) 사이에는 제1 차압감지포트(21)가 장착됨을 특징으로 하는 실시 예를 제시하였다.

즉 커버판넬(1)이 장착된 정면 공간이 압력을 측정하기 위한 공간이며, 또 다른 공간에서는 제2 차압감지포트(22)가 연결되는 것이다.

또한 본원에서의 상기 조절포트단자(13)는 후방으로 관통된 제1 나사홀(135)과, 외경면에 관통된 제2 나사홀(136)을 구비하고;

상기 제1 나사홀(135)은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부(132)가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부(134)가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀(136)은 제2 튜브장착부(133)의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성된다.

이때 마개(131)의 경우 나사결합으로 결합되는 것이 바람직하며 마개(131)를 닫았을 때 제2 튜브장착부(133)를 통하여 유입된 압력이 제3 튜브장착부(134)와 제1 튜브장착부(132)로 유입되도록 내부에 충분한 공간이 형성되어야함이 바람직하다.

1 : 커버판넬
11 : 투명판넬
12 : 장착홀
13 : 조절포트단자
131 : 마개 132 : 제1 튜브장착부
133 : 제2 튜브장착부 134 : 제3 튜브장착부
135 : 제1 나사홀 136 : 제2 나사홀
2 : 차압계
21 : 제1 차압감지포트
22 : 제2 차압감지포트
3, 3a, 3b, 3c : 튜브
4 : 압력계 교정기

Claims

다른 두 곳의 압력 차이를 측정하는 차압계(2)가 매립되어 있는 벽체의 정면을 덮는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬(1)에 있어서;
정면의 내부 차압계(2)를 볼 수 있도록 하는 투명판넬(11)과;
정면 상부 양측에 관통 형성되는 장착홀(12)과;
상기 장착홀(12)에 각각 장착되고 정면은 마개(131)에 의하여 개폐되며, 배면에는 차압계(2)와 연결되는 튜브(3a)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제1 튜브장착부(132)가 형성되고, 외경면에 돌출되어 압력을 측정하기 위한 구획의 제1 또는 제2 차압감지포트(21, 22)로부터 연장된 튜브(3b, 3c)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제2 튜브장착부(133)를 구비하여 마개(131)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하며, 내측에는 상기 제1 튜브장착부(132)와 일체로 정면으로 돌출되어 튜브(3)의 일끝단에 삽입 연결하도록 하는 제3 튜브장착부(134)를 구비하여 마개(131)를 분리하여 튜브(3)를 장착하였을 때 제1 튜브장착부(132)와 연통하도록 하는 두 개의 조절포트단자(13)를 구비함을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬.
제 1항에 있어서,
상기 커버판넬(1)의 정면 상기 양측 장착홀(12) 사이에는 제1 차압감지포트(21)가 장착됨을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬.
제 1항에 있어서,
상기 조절포트단자(13)는 후방으로 관통된 제1 나사홀(135)과, 외경면에 관통된 제2 나사홀(136)을 구비하고;
상기 제1 나사홀(135)은 전후방으로 관통된 홀이 형성되며 후방에 제1 튜브장착부(132)가 형성되고 전방에 제3 튜브장착부(134)가 형성되며 중간 외경면 형성된 나사산과 결합하고, 상기 제2 나사홀(136)은 제2 튜브장착부(133)의 일단 외경에 형성된 나사산과 결합하도록 구성됨을 특징으로 하는 매립형 차압계에 사용되는 커버판넬.