KR20200065210A - 스크라이빙 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은 제1 구간 및 제2 구간을 포함하는 가상의 절단 예정 라인을 따라 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법으로서, 제1 구간에서 절단 예정 라인을 따라 스폿이 위치되도록 레이저 빔을 조사하는 단계; 및 제1 구간 및 제2 구간에서 스크라이빙 휠을 기판에 가압하고 스크라이빙 휠을 절단 예정 라인을 따라 이동시키면서 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있으며, 제1 구간에서의 스크라이빙 휠의 가압력은 제2 구간에서의 스크라이빙 휠의 가압력에 비하여 작을 수 있다.

Description

스크라이빙 방법{SCRIBING METHOD}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 가상의 절단 예정 라인을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 단위 기판으로 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.
기판을 단위 기판으로 용이하게 분단하기 위해서는, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서, 스크라이빙 휠을 보다 큰 가압력으로 기판에 가압할 필요가 있다. 그러나, 스크라이빙 휠을 큰 가압력으로 기판에 가압하면, 기판 내에서 의도하지 않은 방향으로 크랙이 진행되거나 기판이 파손되어 기판이 적절하게 분단되지 못하는 문제가 있다.
따라서, 스크라이빙 휠을 큰 가압력으로 기판에 가압하여 기판이 용이하게 분단되도록 하는 것과 기판의 파손을 방지하기 위해 기판에 가압되는 스크라이빙 휠의 가압력을 줄이는 것은 서로 상충 관계에 있다. 따라서, 기판의 파손을 방지하면서도 기판을 용이하게 분단할 수 있는 방안이 요구된다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판의 파손을 방지하면서도 기판을 용이하게 분단할 수 있는 스크라이빙 방법을 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은 제1 구간 및 제2 구간을 포함하는 가상의 절단 예정 라인을 따라 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법으로서, 제1 구간에서 절단 예정 라인을 따라 스폿이 위치되도록 레이저 빔을 조사하는 단계; 및 제1 구간 및 제2 구간에서 스크라이빙 휠을 기판에 가압하고 스크라이빙 휠을 절단 예정 라인을 따라 이동시키면서 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있으며, 제1 구간에서의 스크라이빙 휠의 가압력은 제2 구간에서의 스크라이빙 휠의 가압력에 비하여 작을 수 있다.
제1 구간은 절단 예정 라인의 시작점, 종료점, 또는 시작점 및 종료점을 포함할 수 있다.
절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 시작점, 종료점, 또는 시작점 및 종료점을 향하여 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
제1 구간은 복수의 절단 예정 라인이 중첩하거나 교차하는 부분을 포함할 수 있다.
절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 복수의 절단 예정 라인이 중첩하거나 교차하는 부분을 향하여 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
제1 구간은 절단 예정 라인의 만곡부를 포함할 수 있다.
절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 절단 예정 라인의 만곡부의 중심부를 향하여 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠의 가압으로 인해 파손이 우려되는 부분에 대해 스크라이빙 휠을 가압하기 전에 레이저 빔을 미리 조사하고, 해당 부분에서 다른 부분에 비하여 스크라이빙 휠의 가압력을 줄여 스크라이빙 라인을 형성한다. 따라서, 기판의 파손을 방지하면서 기판을 용이하게 분단할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법이 적용 가능한 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법이 적용 가능한 스크라이빙 장치의 헤드 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 절단 예정 라인 및 스폿이 도시된 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따른 절단 예정라인의 단위 길이 당 스폿의 개수의 변화 및 스크라이빙 휠의 가압력의 변화를 개략적으로 나타내는 그래프이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 절단 예정 라인 및 스폿이 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따른 절단 예정라인의 단위 길이 당 스폿의 개수의 변화 및 스크라이빙 휠의 가압력의 변화를 개략적으로 나타내는 그래프이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 절단 예정 라인 및 스폿이 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따른 절단 예정라인의 단위 길이 당 스폿의 개수의 변화 및 스크라이빙 휠의 가압력의 변화를 개략적으로 나타내는 그래프이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다. 그리고, 절단 예정 라인이라는 용어는 스크라이빙 라인이 형성될 가상의 라인을 의미한다.
도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법이 적용되는 스크라이빙 장치는, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(10)와, 기판(S)의 이송 방향으로의 후방측 단부인 기판(S)의 후행단을 파지하여 기판(S)을 이송하도록 구성되는 기판 이송 유닛(20)과, 기판 이송 유닛(20)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 유닛(30)을 포함할 수 있다.
스테이지(10)는 기판(S)이 스크라이빙 유닛(30)을 향하여 이동되는 동안 기판(S)을 지지하는 역할을 한다. 또한, 스테이지(10)는 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 기판(S)을 지지하는 역할을 할 수 있다.
예를 들면, 스테이지(10)는 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격되게 배치될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 풀리(미도시)에 의해 지지되며, 복수의 풀리 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 풀리일 수 있다.
본 발명은 스테이지(10)가 복수의 벨트(13)를 포함하는 구성에 한정되지 않으며, 스테이지(10)가 기체를 분사하여 기판(S)을 부양하도록 구성되는 에어 테이블로서 구성되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.
기판 이송 유닛(20)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(21)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(21)의 이동을 안내하는 가이드 레일(22)을 포함할 수 있다.
파지 모듈(21)과 가이드 레일(22) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(21)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서, 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(21)이 가이드 레일(22)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(13)는 파지 모듈(21)의 이동과 동기화된다. 따라서, 벨트(13)는 파지 모듈(21)과 동일한 속도로 구동되면서 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 모듈(21)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(21)이 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.
가이드 레일(22)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 복수의 벨트(13) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(22)은 파지 모듈(21)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.
스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(40)과, 프레임(40)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(50)를 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(50)는, 기판(S)의 표면 상의 가상의 절단 예정 라인을 따라 수평으로 이동 가능하게 구성되는 수평 이동 부재(51)와, 수평 이동 부재(51)에 연결되며 수평 이동 부재(51)에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 수직 이동 부재(52)와, 수직 이동 부재(52)에 연결되며 수직 이동 부재(52)에 대하여 수직으로 상대 이동 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠 홀더(53)와, 스크라이빙 휠 홀더(53)에 장착되고 기판(S)의 표면에 접촉 가능하게 구성되는 스크라이빙 휠(54)과, 수직 이동 부재(52)와 연결되어 수직 이동 부재(52)를 수직으로 이동시키도록 구성되는 수직 이동 모듈(55)과, 스크라이빙 휠 홀더(53)와 연결되어 스크라이빙 휠 홀더(53)를 수직으로 이동시키는 홀더 이동 모듈(58)과, 수직 이동 부재(52)에 구비되며 기판(S)을 향하여 레이저 빔을 조사하도록 구성되는 레이저 빔 조사 모듈(59)을 포함할 수 있다.
수평 이동 부재(51)는 프레임(40)을 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 이를 위해, 프레임(40)과 수평 이동 부재(51) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다.
스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면을 가압한 상태에서 수평 이동 부재(51)가 X축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)의 표면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면을 가압한 상태에서 기판(S)이 기판 이송 유닛(20)에 의해 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)의 표면에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에서는, 수평 이동 부재(51)의 수평 이동은 수평 이동 부재(51)의 X축 방향으로의 이동뿐만 아니라 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동에 따른 수평 이동 부재(51)의 기판(S)에 대한 Y축 방향으로의 상대 이동을 포함한다.
수직 이동 부재(52)는 수평 이동 부재(51)에 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 수직 이동 부재(52)는 수평 이동 부재(51)에 구비된 가이드 레일(511)을 따라 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 수직 이동 부재(52)의 Z축 방향으로의 이동에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53) 및 스크라이빙 휠(54)이 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동되어 기판(S)의 표면에 가압될 수 있다.
수직 이동 모듈(55)은 수평 이동 부재(51)에 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 수직 이동 모듈(55)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 수직 이동 모듈(55)에 의해 수직 이동 부재(52)가 Z축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠 홀더(53) 및 스크라이빙 휠(54)의 Z축 방향으로의 위치가 조절될 수 있다.
스크라이빙 휠 홀더(53)는 수직 이동 부재(52)를 통해 수평 이동 부재(51)와 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 예를 들면, 스크라이빙 휠 홀더(53)는 수직 이동 부재(52)에 구비된 가이드 레일(521)을 따라 Z축 방향으로 이동될 수 있다.
스크라이빙 휠(54)은 Z축을 중심으로 회전 가능하게 스크라이빙 휠 홀더(53)에 장착될 수 있다. 따라서, 수평 이동 부재(51)가 X축 방향으로 수평으로 이동될 때, 기판(S)의 표면에 접촉된 상태의 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면과의 마찰에 의해 회전됨으로써, 스크라이빙 휠(54)의 절단날이 X축 방향과 평행할 수 있다. 또한, 수평 이동 부재(51)가 기판(S)에 대하여 Y축 방향으로 상대적으로 수평 이동될 때, 기판(S)의 표면에 접촉된 상태의 스크라이빙 휠(54)이 기판(S)의 표면과의 마찰에 의해 회전됨으로써, 스크라이빙 휠(54)의 절단날이 Y축 방향과 평행할 수 있다.
홀더 이동 모듈(58)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다. 홀더 이동 모듈(58)은 스크라이빙 휠 홀더(53)에 연결되어 스크라이빙 휠 홀더(53)를 수직으로 이동시키면서 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치를 미세하게 조절하는 역할을 한다.
따라서, 홀더 이동 모듈(58)에 의해 스크라이빙 휠 홀더(53)가 수직으로 이동되어 스크라이빙 휠(54)의 수직 위치가 조절된 상태에서, 수직 이동 모듈(55)에 의해 수직 이동 부재(52)가 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(54) 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동되어 기판(S)에 가압될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 휠(54)의 Z축 방향으로의 이동량에 따라 기판(S)에 대한 스크라이빙 휠(54)의 가압력이 달라질 수 있고, 기판(S)의 표면에 대한 스크라이빙 휠(54)의 절삭 깊이가 달라질 수 있다.
레이저 빔 조사 모듈(59)은 수직 이동 부재(52)를 통해 수평 이동 부재(51)와 연결되어 수평 이동 부재(51)의 수평 이동에 따라 수평으로 이동할 수 있다. 그리고, 수직 이동 부재(52)가 수직 이동 모듈(55)에 의해 Z축 방향으로 이동됨에 따라, 레이저 빔 조사 모듈(59)이 Z축 방향으로 이동되면서, 레이저 빔 조사 모듈(59) 및 기판(S) 사이의 간격이 조절될 수 있다.
레이저 빔 조사 모듈(59)로부터 조사된 레이저 빔은 기판(S)의 내부의 적어도 일부분을 변성시킨다. 기판(S) 내부의 변성 부분은 외부의 충격에 취약하므로, 기판(S)에 외부 충격이 가해질 때 기판(S) 내부의 변성 부분을 따라 기판(S)이 분단될 수 있다. 레이저 빔 조사 모듈(59)은 레이저 빔을 발생시킬 수 있는 레이저 소스(미도시)와 연결될 수 있다. 레이저 소스로는 CO2 레이저, YAG 레이저, 펄스 레이저, 펨토초 레이저 등 다양한 레이저 소스가 사용될 수 있다. 또한, 레이저 소스와 레이저 빔 조사 모듈(59) 사이에는 필요에 따라 빔 익스팬더, 콜리메이터 등의 광학 요소가 포함될 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 8을 참조하여, 상술한 바와 같은 스크라이빙 장치를 사용하여 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 스크라이빙 휠(54)의 가압으로 인해 파손이 우려되는 부분에 대해 스크라이빙 휠(54)을 가압하기 전에 레이저 빔을 미리 조사하여 해당 부분에서 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 줄일 수 있도록 한다.
이하, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 제1 구간(S1) 및 제2 구간(S2)을 포함하는 가상의 절단 예정 라인(L)을 따라 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 방법으로서, 제1 구간(S1)에서 절단 예정 라인(L)을 따라 스폿(P)이 위치되도록 레이저 빔을 조사하는 단계와, 제1 구간(S1) 및 제2 구간(S2)에서 스크라이빙 휠(54)을 기판(S)에 가압하고 스크라이빙 휠(54)을 절단 예정 라인(L)을 따라 이동시키면서 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함한다.
제1 구간(S1)에 해당하는 기판(S)의 부분에 국부적으로 레이저 빔이 조사되므로, 제1 구간(S1)에서는 스크라이빙 휠(54)을 작은 가압력으로 가압하여 스크라이빙 라인을 형성한 경우에도, 기판(S)이 용이하게 분단될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제1 예로서, 제1 구간(S1)에 대해서만 국부적으로 레이저 빔이 조사될 수 있고, 제2 구간(S2)에 대해서는 레이저 빔이 조사되지 않을 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 제2 예로서, 제1 구간(S1)에 대해서는 강도가 상대적으로 강한 레이저 빔이 조사될 수 있고, 제2 구간(S2)에 대해서는 강도가 상대적으로 약한 레이저 빔이 조사될 수 있다. 제3 예로서, 제1 구간(S1)에 대해서는 복수의 스폿(P)의 간격이 상대적으로 작게 레이저 빔이 조사될 수 있고, 제2 구간(S2)에 대해서는 복수의 스폿(P)의 간격이 상대적으로 크게 레이저 빔이 조사될 수 있다. 또한, 제1 예, 제2 예, 제3 예 중 어느 둘 이상의 조합도 가능할 수 있다.
이와 같이, 제1 구간(S1)에 대해서만 레이저 빔이 국부적으로 조사되므로, 절단 예정 라인(L) 전체의 구간에 대해 레이저 빔을 조사하는 경우에 비하여, 레이저 빔을 조사하는 데에 소요되는 시간 및 에너지를 절약할 수 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 구간(S1)은 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP), 종료점(EP), 또는 시작점(SP) 및 종료점(EP)을 포함할 수 있다.
절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)은 스크라이빙 휠(54)이 최초로 접촉하는 기판(S)의 에지부이다. 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)에서 큰 가압력으로 스크라이빙 휠(54)을 가압하는 경우, 기판(S)의 에지부가 외부를 향하여 깨지는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)에서는 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 줄이는 것이 바람직하며, 이를 위해, 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP) 부근에 국부적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다.
절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)의 부근에서 복수의 스폿(P)의 간격을 일정하게 유지하면서 레이저 빔을 조사하는 것도 가능하다. 다만, 레이저 빔을 조사하는 데에 소요되는 시간 및 에너지를 절약할 수 있도록 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)에 인접한 부분에 집중적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 스폿(P)의 간격은 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)으로 갈수록 점진적으로 감소하는 것이 바람직하다. 즉, 절단 예정 라인(L)의 단위 길이당 스폿(P)의 개수는 절단 예정 라인(L)의 시작점(SP)으로 갈수록 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)은 스크라이빙 휠(54)이 최종적으로 접촉한 후 기판(S)으로부터 분리되는 기판(S)의 에지부이다. 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)에서 큰 가압력으로 스크라이빙 휠(54)을 가압하는 경우, 기판(S)의 에지부가 외부를 향하여 깨지는 문제가 발생할 수 있다. 따라서, 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)에서는 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 줄이는 것이 바람직하며, 이를 위해, 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP) 부근에 국부적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다.
절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)의 부근에서 복수의 스폿(P)의 간격을 일정하게 유지하면서 레이저 빔을 조사하는 것도 가능하다. 다만, 레이저 빔을 조사하는 데에 소요되는 시간 및 에너지를 절약할 수 있도록 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)에 인접한 부분에 집중적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 스폿(P)의 간격은 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)으로 갈수록 점진적으로 감소하는 것이 바람직하다. 즉, 절단 예정 라인(L)의 단위 길이당 스폿(P)의 개수는 절단 예정 라인(L)의 종료점(EP)으로 갈수록 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠(54)을 사용하여 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전에, 제1 구간(S1)에 대하여 레이저 빔을 국부적으로 조사한다. 따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 구간(S1)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 제2 구간(S2)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력에 비하여 줄일 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(54)의 가압력으로 인한 기판(S)의 파손을 방지하면서 기판(S)을 용이하게 분단할 수 있다.
이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 제1 구간(S1)은 둘 이상의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분을 포함한다. 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분은 스크라이빙 휠(54)이 두 번 이상 지나가는 부분, 즉, 스크라이빙 휠(54)에 의해 두 번 이상 가압되는 부분이다. 따라서, 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분에는 스크라이빙 휠(54)의 가압력이 반복적으로 가해지므로, 기판(S)의 다른 부분에 비하여 파손되거나 파편이 발생될 가능성이 큰 부분이다. 따라서, 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분에서는 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 줄이는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분에 국부적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다.
복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분 부근에서 복수의 스폿(P)의 간격을 일정하게 유지하면서 레이저 빔을 조사하는 것도 가능하다. 다만, 레이저 빔을 조사하는 데에 소요되는 시간 및 에너지를 절약할 수 있도록 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분에 인접한 부분에 집중적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 스폿(P)의 간격은 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분으로 갈수록 점진적으로 감소하는 것이 바람직하다. 즉, 절단 예정 라인(L)의 단위 길이당 스폿(P)의 개수는 복수의 절단 예정 라인(L)이 중첩하거나 교차하는 부분으로 갈수록 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠(54)을 사용하여 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전에, 제1 구간(S1)에 대하여 레이저 빔을 국부적으로 조사한다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 구간(S1)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 제2 구간(S2)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력에 비하여 줄일 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(54)의 가압력으로 인한 기판(S)의 파손을 방지하면서 기판(S)을 용이하게 분단할 수 있다.
이하, 도 7 및 도 8을 참조하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 대하여 설명한다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 제1 구간(S1)은 절단 예정 라인(L)의 만곡부를 포함한다. 절단 예정 라인(L)의 만곡부에서는 수평 이동 부재(51)가 X축 방향으로 수평으로 이동되는 것과 함께 기판(S)에 대하여 Y축 방향으로 상대적으로 수평 이동된다. 따라서, 절단 예정 라인(L)의 만곡부는 스크라이빙 휠(54)이 Z축을 중심으로 회전되어 스크라이빙 휠(54)의 절단날의 방향이 점차적으로 바뀌는 부분이다.
절단 예정 라인(L)의 만곡부에서는 스크라이빙 휠(54)이 Z축을 중심으로 회전하면서 절단 예정 라인(L)의 진행 방향에 직교하는 방향으로의 스크라이빙 휠(54)의 양측이 깎이면서 파손되거나 파편이 발생될 가능성이 크다. 따라서, 절단 예정 라인(L)의 만곡부에서는 부분에서는 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 줄이는 것이 바람직하다. 따라서, 절단 예정 라인(L)의 만곡부에 국부적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다.
절단 예정 라인(L)의 만곡부 부근에서 복수의 스폿(P)의 간격을 일정하게 유지하면서 레이저 빔을 조사하는 것도 가능하다. 다만, 레이저 빔을 조사하는 데에 소요되는 시간 및 에너지를 절약할 수 있도록 절단 예정 라인(L)의 만곡부에 인접한 부분에 집중적으로 레이저 빔을 조사하는 것이 바람직하다. 따라서, 복수의 스폿(P)의 간격은 절단 예정 라인(L)의 만곡부의 중심부로 갈수록 점진적으로 감소하는 것이 바람직하다. 즉, 절단 예정 라인(L)의 단위 길이당 스폿(P)의 개수는 절단 예정 라인(L)의 만곡부의 중심부로 갈수록 점진적으로 증가하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠(54)을 사용하여 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전에, 제1 구간(S1)에 대하여 레이저 빔을 국부적으로 조사한다. 따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 구간(S1)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력을 제2 구간(S2)에서의 스크라이빙 휠(54)의 가압력에 비하여 줄일 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(54)의 가압력으로 인한 기판(S)의 파손을 방지하면서 기판(S)을 용이하게 분단할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 스테이지
20: 기판 이송 유닛
30: 스크라이빙 유닛
40: 프레임
50: 스크라이빙 헤드

Claims (7)

  1. 제1 구간 및 제2 구간을 포함하는 가상의 절단 예정 라인을 따라 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서,
    상기 제1 구간에서 상기 절단 예정 라인을 따라 스폿이 위치되도록 레이저 빔을 조사하는 단계; 및
    상기 제1 구간 및 상기 제2 구간에서 스크라이빙 휠을 상기 기판에 가압하고 상기 스크라이빙 휠을 상기 절단 예정 라인을 따라 이동시키면서 상기 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 제1 구간에서의 상기 스크라이빙 휠의 가압력은 상기 제2 구간에서의 상기 스크라이빙 휠의 가압력에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 구간은 상기 절단 예정 라인의 시작점, 종료점, 또는 상기 시작점 및 상기 종료점을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 상기 시작점, 상기 종료점, 또는 상기 시작점 및 상기 종료점을 향하여 점진적으로 증가하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 구간은 복수의 절단 예정 라인이 중첩하거나 교차하는 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 복수의 절단 예정 라인이 중첩하거나 교차하는 부분을 향하여 점진적으로 증가하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 구간은 상기 절단 예정 라인의 만곡부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 절단 예정 라인의 단위 길이당 스폿의 개수는 상기 절단 예정 라인의 만곡부의 중심부를 향하여 점진적으로 증가하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
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