KR20200087468A - 비산물 포집장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일실시예는 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 효과적으로 포집하기 위한 비산물 포집장치를 제공한다. 여기서, 비산물 포집장치는 베이스 프레임부, 제1분사부, 제2분사부 그리고 흡입수를 포함한다. 베이스 프레임부는 기판의 상측에 구비되고, 중앙에는 상하방향으로 관통 형성되어 레이저가 기판의 테두리에 수직하게 조사되도록 하는 베이스 공간을 가진다. 제1분사부는 베이스 공간에 구비되고, 비산물이 기판의 외측방향으로 밀려나도록 기판의 테두리 방향으로 공기를 분사한다. 제2분사부는 제1분사부에서 분사되는 공기에 의해 밀려나는 비산물이 외측으로 흩어지지 않도록 차단하는 공기를 분사한다. 흡입부는 제1분사부 및 제2분사부의 사이에 배치되어 제2분사부에서 분사되는 공기에 의해 갇히는 비산물을 흡입한다.

Description

비산물 포집장치{APPARATUS FOR COLLECTING NON-PRODUCT}

본 발명은 비산물 포집장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 효과적으로 포집하기 위한 비산물 포집장치에 관한 것이다.

일반적으로 레이저는 레이저 조사장치를 통해 조사되어 대상물을 절단, 조각 또는 부분제거 등을 할 수 있다.

일 예로, 이러한 레이저를 이용해 디스플레이 패널을 절단할 수 있는데, 이 경우, 디스플레이 패널의 표면에 부착된 편광 필름이 레이저의 열로 인해 연소되어 분진과 가스가 발생하게 된다.

그런데 이렇게 발생하는 분진과 가스는 장비의 다른 부분에 쌓여 부품의 오작동을 유발하거나, 부유하는 분진이 다시 디스플레이 패널에 부착되어 디스플레이 패널의 품질이 저하되도록 할 수 있는 문제점이 있다.

또한, 이렇게 발생하는 분진과 가스는 디스플레이 패널의 절단 위치를 확인하는 카메라의 시야를 방해하여 정확한 가공을 어렵게 하는 문제점이 있다.

이를 해결하기 위해서, 디스플레이 패널이 수용된 가공챔버를 밀폐시키고, 가공챔버의 일측에 흡입 덕트를 결합하여 외부에서 부압을 인가함으로써 가공챔버에서 발생된 분진과 가스를 흡수하여 외부로 배출하는 분진제거장치를 사용하고 있다.

그런데 종래의 분진제거장치는 분진제거작동을 실시하기 위해서는 레이저 절단 가공을 중단한 후 작동을 실시하고 이후 다시 절단 가공을 하는 방식을 채택하고 있기 때문에, 가공의 효율성이 떨어지고 가공시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허공보 제2012-0013665호(2012.02.15. 공개)

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 효과적으로 포집하기 위한 비산물 포집장치를 제공하는 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 포집하기 위한 비산물 포집장치로서, 상기 기판의 상측에 구비되고, 중앙에는 상기 레이저가 상기 기판의 테두리에 수직하게 조사되도록 상하방향으로 관통 형성되는 베이스 공간을 가지는 베이스 프레임부; 상기 베이스 공간에 구비되고, 상기 기판의 상측에 배치되어 상기 비산물이 상기 기판의 외측방향으로 밀려나도록 상기 기판의 테두리 방향으로 공기를 분사하는 제1분사부; 상기 베이스 프레임부의 측면에 구비되고, 상기 기판의 테두리의 상측 외부에 배치되어 상기 제1분사부에서 분사되는 공기에 의해 밀려나는 상기 비산물이 외측으로 흩어지지 않도록 차단하는 공기를 분사하는 제2분사부; 그리고 상기 베이스 프레임부의 하부 테두리를 따라 구비되고, 상기 제1분사부 및 상기 제2분사부의 사이에 배치되어 상기 제2분사부에서 분사되는 공기에 의해 갇히는 상기 비산물을 흡입하는 흡입부를 포함하는 비산물 포집장치를 제공한다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1분사부는 상기 기판의 길이방향으로 연장 형성되고 내측에는 외부에서 공급되는 공기가 수용되는 수용공간을 가지며 하부가 개방 형성되는 하우징과, 상기 하우징의 하부에 결합되되, 상기 하우징의 하부 테두리와 이격되게 형성되어 상기 하우징의 테두리와의 사이에 상기 수용공간에 수용되는 공기가 분사되는 제1분사슬릿을 형성하는 노즐블록을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 하우징의 하부에는 외측방향으로 확대되도록 경사지게 형성되는 제1경사면이 형성되고, 상기 노즐블록의 측면부에는 상기 제1경사면에 대응되는 제2경사면이 형성되어 상기 수용공간의 공기가 상기 기판의 테두리 방향을 향해 비스듬하게 하향 분사되도록 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1분사부 및 상기 베이스 프레임부를 연결하고, 상기 기판의 길이방향으로의 상기 제1분사부의 위치를 조절하는 제1위치조절부를 포함하고, 상기 제1위치조절부는 상기 베이스 프레임부에 결합되어 고정되는 제1브래킷와, 상기 제1브래킷에 결합되어 고정되고, 상기 베이스 공간에 위치되어 상기 하우징의 상부와 결합되는 제2브래킷을 가지고, 상기 하우징의 상부에는 결합부재가 결합되는 결합홀이 형성되고, 상기 제2브래킷에는 상기 하우징의 길이방향으로 연장 형성되고 상기 결합홀에 결합되는 상기 결합부재가 결합되는 장홀이 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 하우징은 상부에 상기 하우징의 길이방향을 따라 형성되는 가이드홈을 가지고, 상기 제2브래킷은 하부에 상기 가이드홈에 결합되어 상기 제1분사부가 상기 기판의 길이방향으로 이동되도록 안내하는 가이드돌기를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2분사부는 상기 베이스 프레임부의 측면에 구비되고, 외주면에는 길이방향을 따라 함몰 형성되어 외부에서 공급되는 공기를 수용하는 수용홈을 가지는 사이드프레임과, 상기 사이드프레임의 외주면에 밀착 결합되되, 상기 수용홈을 기준으로 상기 사이드프레임의 외주면의 하부와 이격되도록 형성되는 단차홈을 가지며, 상기 사이드프레임의 외주면과 상기 단차홈의 사이에 상기 수용홈에 수용되는 공기가 수직하게 하향 분사되도록 하는 제2분사슬릿을 형성하는 커버노즐을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 사이드프레임은 하단부에 라운드 형성되어 상기 제2분사슬릿에서 수직하게 하향 분사되는 공기가 부착되어 흐르게 하여 상기 기판의 테두리 방향으로 이동하도록 유도하는 유도면을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 사이드프레임은 상기 유도면과 불연속면을 이루게 형성되어 상기 유도면에 부착되어 흐르는 공기가 상기 유도면의 후단부에서 떨어져 상기 기판 방향으로 이동하게 하는 에지면을 더 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 흡입부는 상기 베이스 공간의 외측면을 형성하는 수직프레임과, 상기 베이스 프레임부의 측면을 형성하고 상기 수직프레임의 외주면과 이격되게 구비되어 상기 수직프레임의 외주면과의 사이에 상기 비산물을 흡입하는 흡입유로를 형성하는 사이드프레임과, 상기 베이스 프레임부의 상부에 연결되어 상기 흡입유로로 흡입되는 상기 비산물을 외부로 배출하는 덕트를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 사이드프레임은 상기 사이드프레임의 내주면에 상기 사이드프레임의 길이방향을 따라 미리 정해진 간격으로 돌출 형성되고 상기 수직프레임의 외주면에 밀착되는 리브를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 있어서, 상기 기판의 길이방향으로의 상기 베이스 프레임부의 위치를 조절하는 제2위치조절부를 포함하고, 상기 제2위치조절부는 상기 베이스 프레임부의 길이방향으로 연장되게 형성 안내로드와, 상기 안내로드의 일단부에 결합되고 상기 안내로드를 고정시키는 고정유닛과, 상기 안내로드의 타단부를 상기 베이스 프레임부에 연결하고, 상기 안내로드를 선택적으로 구속하여 상기 베이스 프레임부의 이동을 구속하는 구속유닛을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 베이스 공간에 제1분사부가 마련되어 기판의 외측 방향으로 공기가 분사되어 비산물을 밀어내며, 제2분사부에서는 공기를 기판 방향으로 공기를 분사하여 비산물이 외측으로 흩어지지 않도록 하여 비산물이 흡입부의 하측에 갇히도록 함으로써 보다 효율적인 비산물 포집이 가능하다.

또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 베이스 공간을 통해 레이저가 조사되도록 하기 때문에, 레이저 조사 시에도 레이저 조사 경로가 가려지거나 작업자의 시야가 방해 받지 않을 수 있으며, 제1분사부 및 제2분사부에서 공기의 분사가 이루어지고 흡입부에서 비산물을 흡입하는 작동과 레이저가 조사되는 작동이 동시에 이루어질 수 있기 때문에, 가공 효율성이 높아지고 가공시간도 단축될 수 있다.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 베이스 프레임부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2의 베이스 프레임부를 종방향으로 절단한 단면예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제1분사부 및 제1위치조절부를 중심으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제2분사부를 중심으로 나타낸 분해사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 작동예를 나타낸 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제1위치조절부를 중심으로 나타낸 사시도이다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치를 나타낸 사시도이다.

본 발명에 따른 비산물 포집장치는 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 포집하기 위한 장치로서, 도 1에서 보는 바와 같이, 베이스 프레임부(100), 제1분사부(200), 제2분사부(300) 그리고 흡입부(400)를 포함할 수 있다.

베이스 프레임부(100)는 비산물 포집장치의 베이스를 형성하게 되며, 중앙에는 상하 방향으로 관통 형성되는 베이스 공간(111)을 가질 수 있다.

베이스 프레임부(100)는 기판의 상측에 위치될 수 있으며, 베이스 공간(111)을 통해서는 기판(DP, 도 6 참조)의 테두리를 절단하기 위한 레이저(L, 도 6 참조)가 조사될 수 있다. 여기서, 기판은 특정한 종류로 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 디스플레이 패널일 수 있다.

제1분사부(200)는 베이스 공간(111)에 구비될 수 있으며, 하측에 마련되는 기판의 테두리가 레이저의 의해 절단되면서 발생하는 비산물이 기판의 외측방향으로 밀려나도록 기판의 테두리 방향으로 공기를 분사할 수 있다. 여기서, 비산물은 기판의 테두리가 레이저의 의해 절단되면서 발생하는 분진, 가스, 퓸(fume) 등을 포함할 수 있다.

제2분사부(300)는 베이스 프레임부(100)의 측면에 구비될 수 있다. 제2분사부(300)는 기판의 테두리의 상측에서 기판의 테두리보다 외측으로 위치될 수 있다.

제2분사부(300)는 하측으로 공기를 분사할 수 있으며, 이렇게 분사되는 공기는 제1분사부(200)에서 분사되는 공기에 의해 밀려나는 비산물이 더 이상 외측으로 흩어지지 않도록 차단할 수 있다. 즉, 제2분사부(300)에서 분사되는 공기는 에어커튼 역할을 할 수 있다.

흡입부(400)는 베이스 프레임부(100)의 하부 테두리를 따라 구비될 수 있으며, 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)의 사이에 배치될 수 있다.

흡입부(400)는 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)에서 분사되는 공기에 의해 갇히는 비산물을 흡입할 수 있으며, 이렇게 흡입되는 비산물은 베이스 프레임부(100)의 상부에 구비되는 덕트(420)를 통해 외부로 배출될 수 있다.

그리고, 비산물 포집장치는 제1위치조절부(500) 및 제2위치조절부(600)를 포함할 수 있다.

제1위치조절부(500)는 베이스 프레임부(100)와 제1분사부(200)를 연결할 수 있으며, 제1분사부(200)가 기판의 길이방향으로 이동되도록 하여 기판의 길이방향으로의 제1분사부(200)의 위치를 조절할 수 있다.

제2위치조절부(600)는 베이스 프레임부(100)와 연결될 수 있으며, 베이스 프레임부(100)가 기판의 길이방향으로 이동되도록 하여 기판의 길이방향으로의 베이스 프레임부(100)의 위치를 조절할 수 있다.

제1위치조절부(500) 및 제2위치조절부(600)는 기판의 크기에 따라 제1분사부(200), 제2분사부(300) 및 흡입부(400)의 위치 조절이 필요한 경우에 효과적으로 사용될 수 있다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 베이스 프레임부를 나타낸 사시도인데, 도 2의 (a)는 베이스 프레임부를 상측에서 내려다본 상태를 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 베이스 프레임부를 하측에서 올려다본 상태를 나타낸 것이다. 그리고, 도 3은 도 2의 베이스 프레임부를 종방향으로 절단한 단면예시도이다.

도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이, 베이스 프레임부(100)는 수직프레임(110), 사이드프레임(120) 및 상부프레임(130)을 가질 수 있으며, 중앙에 상하방향으로 관통 형성되는 베이스 공간(111)을 가질 수 있다.

수직프레임(110)은 베이스 프레임부(100)의 내측면을 형성할 수 있다. 베이스 공간(111)은 수직프레임(110)에 의해 둘러싸여 형성될 수 있다.

그리고 베이스 공간(111)은 기판에 대응되는 단면 형상을 가질 수 있다. 더욱 구체적으로는, 베이스 공간(111)은 기판에서 절단 가공을 하고자 하는 절단부분에 거의 대응되도록 형성될 수 있는데, 바람직하게는 수직 하방으로 조사되는 레이저가 절단부분에 조사될 수 있고, 이때, 조사되는 레이저에 의해 베이스 프레임부(100)가 파손되지 않도록 베이스 공간(111)의 테두리를 형성하는 수직프레임(110)은 절단부분보다는 외측으로 조금 넓게 형성될 수 있다.

이에 따라, 레이저 조사 시에도 레이저 조사 경로가 가려지거나 작업자의 시야가 방해 받지 않을 수 있으며, 전술한 제1분사부(200) 및 제2분사부(300)에서 공기의 분사가 이루어지고 흡입부(400)에서 비산물을 흡입하는 작동과 레이저가 조사되는 작동이 동시에 이루어질 수 있기 때문에, 가공 효율성이 높아지고 가공시간도 단축될 수 있다.

사이드프레임(120)은 베이스 프레임부(100)의 외측면을 형성할 수 있으며 사이드프레임(120)은 수직프레임(110)과 이격되어 형성될 수 있다.

사이드프레임(120) 중 하측영역에는 베이스 프레임부(100)의 길이방향을 따라 함몰 형성되는 수용홈(121)이 형성될 수 있다. 수용홈(121)은 제2분사부(300)에서 분사되는 공기가 수용될 수 있다.

그리고, 사이드프레임(120) 중 상측영역 일부에는 베이스 프레임부(100)의 길이방향을 따라 오픈홀(122)이 절개 형성될 수 있다.

베이스 프레임부(100)에는 흡입부(400)의 흡입유로(410)가 형성될 수 있으며, 흡입유로(410)는 제1흡입유로(411) 및 제2흡입유로(412)를 가질 수 있다.

제1흡입유로(411)는 수직방향으로 형성되는 유로로서, 사이드프레임(120) 및 수직프레임(110) 사이의 공간으로 이루어질 수 있다.

제2흡입유로(412)는 상부프레임(130)의 하측에 수평방향으로 형성되는 유로로서, 제1흡입유로(411)와 연결될 수 있다.

오픈홀(122)은 베이스 프레임부(100)의 제작 시에 제1흡입유로(411) 및 제2흡입유로(412)의 가공작업이 용이하도록 형성되는 부분일 수 있다. 사이드프레임(120)의 상측에는 커버플레이트(140, 도 1 참조)가 결합될 수 있다.

사이드프레임(120)은 사이드프레임(120)의 내주면에 사이드프레임(120)의 길이방향을 따라 미리 정해진 간격으로 돌출 형성되는 리브(125)를 가질 수 있다. 리브(125)는 수직프레임(110)의 외주면에 밀착될 수 있다. 리브(125)는 사이드프레임(120)의 강성을 보강할 수 있다.

상부프레임(130)은 베이스 프레임부(100)의 상면을 형성할 수 있다. 상부프레임(130)에는 배기홀(131)이 형성될 수 있으며, 배기홀(131)은 제2흡입유로(412)와 연결될 수 있다. 전술한 덕트(420, 도 1 참조)는 상부프레임(130)에 결합되어 배기홀(131)에 연결될 수 있으며, 제2흡입유로(412)로 흡입되는 비산물은 배기홀(131)을 통해 덕트(420)로 배출될 수 있다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제1분사부 및 제1위치조절부를 중심으로 나타낸 사시도이다.

도 4에서 보는 바와 같이, 제1분사부(200)는 하우징(210) 및 노즐블록(220)을 가질 수 있다.

하우징(210)은 기판(DP)의 길이방향으로 연장 형성되고, 내측에는 수용공간(211)을 가질 수 있으며, 하부는 개방 형성될 수 있다.

하우징(210)의 상면에는 연결홀(216)이 형성될 수 있다. 제1포트(230)는 하우징(210)의 상면에 결합될 수 있다. 제1포트(230)는 외부의 공기를 수용공간(211)으로 공급할 수 있으며, 이렇게 공급되는 공기는 수용공간(211)에 수용될 수 있다.

연결홀(216)에는 체결부재(미도시)가 결합될 수 있고, 체결부재는 연결홀(216)을 통과하여 노즐블록(220)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 하우징(210) 및 노즐블록(220)은 결합될 수 있다.

하우징(210)의 하부테두리(212)에는 외측방향으로 확대되도록 경사지게 형성되는 제1경사면(213)이 형성될 수 있다.

노즐블록(220)은 하우징(210)의 하부에 결합되어 하우징(210)의 하부테두리(212)를 제외한 부분을 막을 수 있다. 즉, 노즐블록(220)은 하우징(210)의 하부테두리(212)와는 이격되게 형성되어 결합될 수 있으며, 이를 통해 하우징(210)의 하부테두리(212)와의 사이에 제1분사슬릿(222)을 형성할 수 있다.

제1포트(230)를 통해 외부에서 공급되는 공기는 하우징(210)의 수용공간(211)에 수용되고 제1분사슬릿(222)을 통해 분사될 수 있는데, 제1분사슬릿(222)이 하우징(210)의 하부테두리(212)를 따라 형성되기 때문에, 공기는 하우징(210)의 하부테두리(212)를 따라 고르게 분사될 수 있다.

또한, 노즐블록(220)의 측면부에는 제1경사면(213)에 대응되는 제2경사면(221)이 형성될 수 있다. 따라서, 제1분사슬릿(222)은 하측방향으로 비스듬하게 형성될 수 있으며, 도 6에서 보는 바와 같이, 제1분사슬릿(222)에서 분사되는 공기(A1)는 기판의 테두리 방향을 향해 이동될 수 있다.

그리고, 제1위치조절부(500)는 제1브래킷(510) 및 제2브래킷(520)을 가질 수 있다.

제1브래킷(510)은 베이스 프레임부(100, 도 2 참조)의 상부프레임(130, 도 2 참조)에 결합되어 고정될 수 있다.

제2브래킷(520)은 제1브래킷(510)에 결합되어 고정될 수 있으며, 베이스 공간(111)에 위치되어 하우징(210)의 상부에 결합될 수 있다.

제2브래킷(520)에는 하우징(210)의 길이방향으로 연장 형성되는 장홀(521)이 형성될 수 있으며, 하우징(210)의 상부에는 장홀(521)로 삽입되는 결합부재(530)가 결합되는 결합홀(미도시)이 형성될 수 있다. 결합부재(530)가 장홀(521) 및 결합홀에 결합된 상태에서도 결합부재(530)는 하우징(210)과 함께 장홀(521)의 길이방향으로 이동될 수 있으며, 이를 통해, 제1분사부(200)의 위치조절이 가능할 수 있다.

더하여, 하우징(210)은 상부에 하우징(210)의 길이방향을 따라 형성되는 가이드홈(218)을 가질 수 있다. 그리고, 제2브래킷(520)은 하부에 하우징(210)의 길이방향을 따라 형성되고 가이드홈(218)에 결합되는 가이드돌기(522)를 가질 수 있다.

가이드돌기(522)는 제1분사부(200)가 기판의 길이방향을 따라 이동되도록 안내할 수 있으며, 제1분사부(200)의 흔들림이 방지되도록 가이드홈(218) 및 가이드돌기(522)는 각각 좌우 한 쌍으로 형성될 수 있다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제2분사부를 중심으로 나타낸 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 작동예를 나타낸 예시도이다.

도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이, 제2분사부(300)는 사이드프레임(120)과, 커버노즐(310)을 가질 수 있다.

커버노즐(310)은 사이드프레임(120)의 외주면에 밀착되도록 결합될 수 있다. 커버노즐(310)이 사이드프레임(120)에 결합된 상태에서 수용홈(121)을 기준으로 수용홈(121)의 상부는 커버노즐(310)에 밀착될 수 있다.

한편, 커버노즐(310)은 사이드프레임(120)의 외주면의 하부에 이격되도록 형성되는 단차홈(311)을 가질 수 있다. 단차홈(311)은 커버노즐(310)이 사이드프레임(120)에 결합된 상태에서 수용홈(121)을 기준으로 수용홈(121)의 하부에 대향될 수 있으며, 사이드프레임(120)의 외주면과 이격될 수 있다. 그리고 이렇게 이격되는 부분은 커버노즐(310)과 사이드프레임(120)과의 사이에 제2분사슬릿(333)을 형성할 수 있다.

그리고, 커버노즐(310)에는 공급홀(312)이 관통 형성될 수 있으며, 공급홀(312)에는 제2포트(미도시)가 결합될 수 있다. 제2포트는 제1포트(230, 도 4 참조)와 동일하거나 동일한 기능을 하는 것일 수 있다.

커버노즐(310)이 사이드프레임(120)에 결합된 상태에서, 제2포트를 통해 외부에서 공급되는 공기는 공급홀(312)을 통해 수용홈(121)에 수용될 수 있으며, 제2분사슬릿(333)을 통해 분사될 수 있다. 제2분사슬릿(333)은 사이드프레임(120)을 따라 형성되기 때문에, 제2분사슬릿(333)에서 분사되는 공기는 기판(DP)의 외측에서 수직 하방으로 분사될 수 있을 것이다.

그러나, 본 발명에 따른 사이드프레임(120)은 하단부에는 유도면(127)을 가질 수 있다. 유도면(127)은 사이드프레임(120)의 하단부에 라운드 형성될 수 있으며, 제2분사슬릿(333)에서 하향 분사되는 공기는 코안다 효과(Coanda Effect)에 의해 유도면(127)에 부착되어 흐를 수 있다. 코안다 효과는 어떠한 면에 접근하여 분출된 기류가 그 면에 빨려서 부착하여 흐르는 경향을 갖는 것을 말한다.

따라서, 제2분사슬릿(333)에서 하향 분사되는 공기(A2)는 제2분사슬릿(333)과 연결되어 제2분사슬릿(333)에 바로 연결되어 형성되는 유도면(127)에 부착하여 흐르게 되기 때문에, 기판(DP)의 테두리 방향으로 이동하도록 유도될 수 있다.

더하여, 사이드프레임(120)은 하단부에 에지면(128)을 더 가질 수 있다. 에지면(128)은 사이드프레임(120)의 하단부에 유도면(127)과 불연속면을 이루게 형성될 수 있다. 본 실시예에서 에지면(128)은 수평방향으로 형성될 수 있다. 이에 따라, 유도면(127)에 부착되어 흐르는 공기(A2)는 유도면(127)과 에지면(128)의 경계, 즉, 유도면(127)의 후단부에서 더 잘 떨어지게 되고 기판(DP) 방향으로 이동할 수 있게 된다.

이를 통해, 유도면(127)에 의해 흐름이 유도되는 공기가 곧장 흡입부(400)의 제1흡입유로(411)로 흡입되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 유도면(127) 및 에지면(128)에 의해 에 의해 흐름이 유도된 공기는 기판(DP)의 테두리 방향으로 흐르기 때문에, 제1분사부(200)에서 분사되는 공기에 의해 외측으로 밀려나가는 비산물이 흡입부(400)의 제1흡입유로(411)보다 외측으로 밀려나가지 않도록 할 수 있다. 만일, 제2분사슬릿(333)에서 분사되는 공기가 수직 하방으로만 이동한다면 제1분사부(200)에서 분사되는 공기에 의해 외측으로 밀려난 비산물은 제1흡입유로(411)보다 더 외측으로 이동할 수 있기 때문에, 제1흡입유로(411)에 효과적으로 흡입되기가 어려울 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 제2분사슬릿(333)에서 분사되는 공기가 제1분사부(200)에서 분사되는 공기 흐름에 대칭되는 공기 흐름을 가지도록 할 수 있기 때문에, 제1분사부(200)에서 분사되는 공기에 의해 밀려나는 비산물이 좀더 제1흡입유로(411) 부근에 갇히도록 할 수 있으며, 이를 통해, 제1흡입유로(411)에 효과적으로 흡입되도록 할 수 있다. 제1흡입유로(411)로 흡입되는 비산물은 제2흡입유로(412)를 거쳐 배출될 수 있다.

도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 비산물 포집장치의 제1위치조절부를 중심으로 나타낸 사시도이다.

도 7에서 보는 바와 같이, 제2위치조절부(600)는 안내로드(610), 고정유닛(620) 및 구속유닛(630)을 가질 수 있다.

안내로드(610)는 베이스 프레임부(100)의 길이방향으로 연장되게 형성될 수 있다.

고정유닛(620)은 안내로드(610)의 일단부에 결합될 수 있으며, 안내로드(610)를 고정시킬 수 있다.

고정유닛(620)은 제1고정플랜지(621), 제1연결블록(622) 및 제1스토퍼(623)를 가질 수 있다.

제1고정플랜지(621)는 비산물 포집장치를 다른 구조물과 연결할 수 있다.

제1연결블록(622)은 제1고정플랜지(621)에 결합될 수 있으며, 안내로드(610)는 제1연결블록(622)을 관통하여 구비될 수 있다. 안내로드(610)는 제1연결블록(622)의 길이방향으로 이동될 수 있다.

제1스토퍼(623)는 제1연결블록(622)에 결합될 수 있으며, 제1연결블록(622)을 관통하여 돌출되는 안내로드(610)의 일단부에 결합될 수 있다. 제1스토퍼(623)는 일부분이 원주방향으로 절개되어 형성될 수 있으며, 이렇게 절개된 부분에는 제1레버(624)가 마련될 수 있다.

제1레버(624)가 일방향으로 회전되면 제1스토퍼(623)의 절개부분이 거리가 가까워지면서 제1스토퍼(623)는 안내로드(610)를 조일 수 있으며, 안내로드(610)는 고정될 수 있다.

구속유닛(630)은 안내로드(610)의 타단부를 베이스 프레임부(100)에 연결하고, 안내로드(610)를 선택적으로 구속하여 베이스 프레임부(100)의 이동을 구속할 수 있다.

구속유닛(630)은 제2고정플랜지(631), 제2연결블록(632) 및 제2스토퍼(633)를 가질 수 있다.

제2고정플랜지(631)는 베이스 프레임부(100)에 결합될 수 있다.

제2연결블록(632)은 제2고정플랜지(631)에 결합될 수 있으며, 안내로드(610)는 제2연결블록(632)을 관통하여 구비될 수 있다. 안내로드(610)는 제2연결블록(632)의 길이방향으로 이동될 수 있다.

제2스토퍼(633)는 제2연결블록(632)에 결합될 수 있으며, 제2연결블록(632)을 관통하여 돌출되는 안내로드(610)의 타단부에 결합될 수 있다. 제2스토퍼(633)도 일부분이 원주방향으로 절개되어 형성될 수 있으며, 이렇게 절개된 부분에는 제2레버(634)가 마련될 수 있다.

그리고, 제2레버(634)가 일방향으로 회전되면 제2스토퍼(633)의 절개부분이 거리가 가까워지면서 제2스토퍼(633)는 안내로드(610)를 조일 수 있으며, 안내로드(610)는 고정될 수 있다.

안내로드(610)가 고정유닛(620)에 고정된 상태에서 제2레버(634)를 상기 일방향의 반대방향으로 회전시켜 제2스토퍼(633)가 안내로드(610)를 구속하지 않도록 하면, 제2연결블록(632)은 안내로드(610)를 따라 이동될 수 있다. 따라서, 제2연결블록(632)과 연결된 베이스 프레임부(100)도 이동될 수 있기 때문에, 제1분사부(200), 제2분사부(300) 및 흡입부(400)의 위치도 조절될 수 있다.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100: 베이스 프레임부 110: 수직프레임
111: 베이스 공간 120: 사이드프레임
121: 수용홈 125: 리브
127: 유도면 128: 에지면
130: 상부프레임 200: 제1분사부
213: 제1경사면 220: 노즐블록
221: 제2경사면 222: 제1분사슬릿
300: 제2분사부 310: 커버노즐
311: 단차홈 333: 제2분사슬릿
400: 흡입부 410: 흡입유로
411: 제1흡입유로 412: 제2흡입유로
500: 제1위치조절부 600: 제2위치조절부

Claims (11)

1. 기판의 테두리가 레이저에 의해 절단되면서 발생하는 비산물을 포집하기 위한 비산물 포집장치로서,
   상기 기판의 상측에 구비되고, 중앙에는 상기 레이저가 상기 기판의 테두리에 수직하게 조사되도록 상하방향으로 관통 형성되는 베이스 공간을 가지는 베이스 프레임부;
   상기 베이스 공간에 구비되고, 상기 기판의 상측에 배치되어 상기 비산물이 상기 기판의 외측방향으로 밀려나도록 상기 기판의 테두리 방향으로 공기를 분사하는 제1분사부;
   상기 베이스 프레임부의 측면에 구비되고, 상기 기판의 테두리의 상측 외부에 배치되어 상기 제1분사부에서 분사되는 공기에 의해 밀려나는 상기 비산물이 외측으로 흩어지지 않도록 차단하는 공기를 분사하는 제2분사부; 그리고
   상기 베이스 프레임부의 하부 테두리를 따라 구비되고, 상기 제1분사부 및 상기 제2분사부의 사이에 배치되어 상기 제2분사부에서 분사되는 공기에 의해 갇히는 상기 비산물을 흡입하는 흡입부를 포함하는 비산물 포집장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1분사부는
   상기 기판의 길이방향으로 연장 형성되고 내측에는 외부에서 공급되는 공기가 수용되는 수용공간을 가지며 하부가 개방 형성되는 하우징과,
   상기 하우징의 하부에 결합되되, 상기 하우징의 하부 테두리와 이격되게 형성되어 상기 하우징의 테두리와의 사이에 상기 수용공간에 수용되는 공기가 분사되는 제1분사슬릿을 형성하는 노즐블록을 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 하우징의 하부에는 외측방향으로 확대되도록 경사지게 형성되는 제1경사면이 형성되고,
   상기 노즐블록의 측면부에는 상기 제1경사면에 대응되는 제2경사면이 형성되어 상기 수용공간의 공기가 상기 기판의 테두리 방향을 향해 비스듬하게 하향 분사되도록 하는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
4. 제2항에 있어서,
   상기 제1분사부 및 상기 베이스 프레임부를 연결하고, 상기 기판의 길이방향으로의 상기 제1분사부의 위치를 조절하는 제1위치조절부를 포함하고,
   상기 제1위치조절부는
   상기 베이스 프레임부에 결합되어 고정되는 제1브래킷와,
   상기 제1브래킷에 결합되어 고정되고, 상기 베이스 공간에 위치되어 상기 하우징의 상부와 결합되는 제2브래킷을 가지고,
   상기 하우징의 상부에는 결합부재가 결합되는 결합홀이 형성되고,
   상기 제2브래킷에는 상기 하우징의 길이방향으로 연장 형성되고 상기 결합홀에 결합되는 상기 결합부재가 결합되는 장홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 하우징은 상부에 상기 하우징의 길이방향을 따라 형성되는 가이드홈을 가지고,
   상기 제2브래킷은 하부에 상기 가이드홈에 결합되어 상기 제1분사부가 상기 기판의 길이방향으로 이동되도록 안내하는 가이드돌기를 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 제2분사부는
   상기 베이스 프레임부의 측면에 구비되고, 외주면에는 길이방향을 따라 함몰 형성되어 외부에서 공급되는 공기를 수용하는 수용홈을 가지는 사이드프레임과,
   상기 사이드프레임의 외주면에 밀착 결합되되, 상기 수용홈을 기준으로 상기 사이드프레임의 외주면의 하부와 이격되도록 형성되는 단차홈을 가지며, 상기 사이드프레임의 외주면과 상기 단차홈의 사이에 상기 수용홈에 수용되는 공기가 수직하게 하향 분사되도록 하는 제2분사슬릿을 형성하는 커버노즐을 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 사이드프레임은 하단부에 라운드 형성되어 상기 제2분사슬릿에서 수직하게 하향 분사되는 공기가 부착되어 흐르게 하여 상기 기판의 테두리 방향으로 이동하도록 유도하는 유도면을 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 사이드프레임은 상기 유도면과 불연속면을 이루게 형성되어 상기 유도면에 부착되어 흐르는 공기가 상기 유도면의 후단부에서 떨어져 상기 기판 방향으로 이동하게 하는 에지면을 더 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 흡입부는
   상기 베이스 공간의 외측면을 형성하는 수직프레임과,
   상기 베이스 프레임부의 측면을 형성하고 상기 수직프레임의 외주면과 이격되게 구비되어 상기 수직프레임의 외주면과의 사이에 상기 비산물을 흡입하는 흡입유로를 형성하는 사이드프레임과,
   상기 베이스 프레임부의 상부에 연결되어 상기 흡입유로로 흡입되는 상기 비산물을 외부로 배출하는 덕트를 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
10. 제9항에 있어서
    상기 사이드프레임은 상기 사이드프레임의 내주면에 상기 사이드프레임의 길이방향을 따라 미리 정해진 간격으로 돌출 형성되고 상기 수직프레임의 외주면에 밀착되는 리브를 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 길이방향으로의 상기 베이스 프레임부의 위치를 조절하는 제2위치조절부를 포함하고,
    상기 제2위치조절부는
    상기 베이스 프레임부의 길이방향으로 연장되게 형성 안내로드와,
    상기 안내로드의 일단부에 결합되고 상기 안내로드를 고정시키는 고정유닛과,
    상기 안내로드의 타단부를 상기 베이스 프레임부에 연결하고, 상기 안내로드를 선택적으로 구속하여 상기 베이스 프레임부의 이동을 구속하는 구속유닛을 가지는 것을 특징으로 하는 비산물 포집장치.

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