KR20220123048A - 캐리어 수송 시스템, 기판을 위한 캐리어, 진공 프로세싱 장치, 및 진공 챔버에서의 캐리어의 수송 방법 - Google Patents

캐리어 수송 시스템, 기판을 위한 캐리어, 진공 프로세싱 장치, 및 진공 챔버에서의 캐리어의 수송 방법 Download PDF

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Abstract

진공 챔버 내에서 캐리어를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템이 설명된다. 캐리어 수송 시스템은, 수송 방향으로 연장되는 트랙 조립체를 포함하며, 트랙 조립체는, 제1 수직 좌표에 제공되고 수송 방향으로 연장되는 제1 수동 자기 유닛(passive magnetic unit), 제2 수직 좌표에 제공되고 수송 방향으로 연장되는 제2 수동 자기 유닛 ―제1 수동 자기 유닛 및 제2 수동 자기 유닛은 캐리어의 중량을 상쇄(counteract)하도록 구성됨―; 및 제3 수직 좌표에 제공되며, 그리고 캐리어의 부분 중량을 지지하도록 구성된 복수의 롤러들을 포함하는 롤러 수송 트랙을 포함하며, 제1 수직 좌표와 제2 수직 좌표 사이의 제1 수직 거리는 제2 수직 좌표와 제3 수직 좌표 사이의 제2 거리보다 더 크다.

Description

캐리어 수송 시스템, 기판을 위한 캐리어, 진공 프로세싱 장치, 및 진공 챔버에서의 캐리어의 수송 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 캐리어들, 특히, 대면적 기판들을 운반하기 위해 사용되는 캐리어들의 수송을 위한 장치들 및 방법들에 관한 것이다. 더 구체적으로, 본 개시내용의 실시예들은 수직 기판 프로세싱, 예컨대 디스플레이 생산을 위한 대면적 기판들 상의 재료 증착을 위한 프로세싱 장치들에서 사용가능한 캐리어들의 수송을 위한 장치들 및 방법들에 관한 것이다. 특히, 본 개시내용의 실시예들은 캐리어 수송 시스템들, 진공 프로세싱 장치들, 및 진공 챔버에서 캐리어를 수송하는 방법들에 관한 것이다.
[0002] 기판을 프로세싱하기 위해서, 프로세싱 모듈들의 인-라인 어레인지먼트(in-line arrangement)가 사용될 수 있다. 인-라인 프로세싱 시스템은 복수의 후속 프로세싱 모듈들, 이를테면 증착 모듈들, 그리고 선택적으로, 추가적인 프로세싱 모듈들, 예컨대 세정 모듈들 및/또는 에칭 모듈들을 포함하며, 여기서, 프로세싱 양상들이 프로세싱 모듈들에서 후속하여 수행되어서, 복수의 기판들이 인-라인 프로세싱 시스템에서 연속적으로 또는 준-연속적으로 프로세싱될 수 있다.
[0003] 기판은 통상적으로 캐리어, 즉 기판을 운반하기 위한 운반 디바이스에 의해 운반된다. 캐리어는 통상적으로, 캐리어 수송 시스템을 사용하여 진공 시스템을 통해 수송된다. 캐리어 수송 시스템은 하나 이상의 수송 경로들을 따라 기판을 운반하는 캐리어를 전달하도록 구성될 수 있다.
[0004] 수송 방향으로 캐리어들을 안내하고 이동시키는 하나의 방법은 캐리어들 아래의 롤러들 및 롤러들과 접촉하는 로드(rod)이다. 롤러들은 모터들에 의해 구동되며, 롤러의 통상적인 형상에 의해, 롤러들은 또한, 캐리어를 측 방향으로 안내한다. 구동 롤러와 캐리어 사이의 마찰은 입자 생성으로 이어진다. 게다가, 측방향 안내력(guiding force)은 통상적인 형상의 롤러들에 의해 생성되기 때문에, 오정렬된 롤러들의 경우, 캐리어 로드가 중심에서 벗어나 약간 위쪽으로 이동할 것이고, 이는 또한, 입자 생성으로 이어진다.
[0005] 고품질 디바이스들을 획득하기 위해, 기판들의 프로세싱에 대한 기술적 난제들이 해결될 필요가 있다. 특히, 진공 시스템을 통한 캐리어들의 정확하고 원활한 수송은 난제이다. 예컨대, 이동 부품들 사이의 마모로 인한 입자 생성은 제조 프로세스의 저하를 야기할 수 있다. 이에 따라서, 입자 생성이 감소되거나 또는 최소화된 진공 증착 시스템들에서의 캐리어들의 수송에 대한 요구가 있다. 추가적인 난제들은, 예컨대, 낮은 비용들로 고온 진공 환경들을 위한 견고한 캐리어 수송 시스템들을 제공하는 것이다.
[0006] 통상적으로, 캐리어들은 롤러들에 의해 안내될 수 있으며, 롤러들에 대한 하중이 더 강할수록, 입자 생성의 위험이 더 커지고 롤러들의 수명이 더 짧아질 수 있다. 완전 비접촉식 플로팅 캐리어 수송 시스템들은 복잡하고 비싸다. 영구 자석들을 갖는 자기 부상 시스템들은 실현하기 어렵다. 언쇼의 정리를 극복하기 위해, 적어도 하나의 자유도가 기계적으로 또는 안내 엘리먼트들을 이용하여 안정화되어야 한다.
[0007] 이에 따라서, 중력을 보상하여 기계적 엘리먼트들에 대한 힘들을 가능한 한 최소화하기 위해 캐리어, 특히 수직으로 배향된 캐리어를 안내하기 위한 간단하고 컴팩트한 어레인지먼트가 유익할 것이다. 기계적 엘리먼트들에 대한 힘들을 최소화하는 것은 캐리어 수송 동안 입자들의 생성을 감소시킬 수 있고, 기계적 엘리먼트들의 수명이 증가될 수 있다.
[0008] 이에 따라서, 진공 챔버에서 캐리어들을 수송하기 위한 개선된 장치들 및 방법들을 제공하는 것이 유익할 것이다.
[0009] 상기 내용을 고려하여, 독립 청구항들에 따른, 진공 챔버에서 캐리어를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템들, 진공 프로세싱을 위한 장치뿐만 아니라, 진공 챔버에서 캐리어를 수송하는 방법들이 제공된다. 추가적인 양상들, 장점들 및 특징들은 종속 청구항들, 상세한 설명 및 첨부된 도면들로부터 자명하다.
[0010] 일 실시예에 따르면, 진공 챔버 내에서 캐리어를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템이 제공된다. 캐리어 수송 시스템은, 수송 방향으로 연장되는 트랙 조립체를 포함하며, 트랙 조립체는, 제1 수직 좌표에 제공되고 수송 방향으로 연장되는 제1 수동 자기 유닛(passive magnetic unit), 제2 수직 좌표에 제공되고 수송 방향으로 연장되는 제2 수동 자기 유닛 ―제1 수동 자기 유닛 및 제2 수동 자기 유닛은 캐리어의 중량을 상쇄(counteract)하도록 구성됨―; 및 제3 수직 좌표에 제공되며, 그리고 캐리어의 부분 중량을 지지하도록 구성된 복수의 롤러들을 포함하는 롤러 수송 트랙을 포함하며, 제1 수직 좌표와 제2 수직 좌표 사이의 제1 수직 거리는 제2 수직 좌표와 제3 수직 좌표 사이의 제2 거리보다 더 크다.
[0011] 일 실시예에 따르면, 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치에서 프로세싱될 기판을 위한 캐리어가 제공된다. 캐리어는, 제1 수직 캐리어 좌표에 제공된 제1 수동 자기 유닛; 제2 수직 캐리어 좌표에 제공된 제2 수동 자기 유닛; 및 제3 수직 캐리어 좌표에 제공된 제3 수동 자기 유닛을 포함하며, 제1 수직 캐리어 좌표와 제2 수직 캐리어 좌표 사이의 제1 수직 캐리어 거리는 제2 수직 캐리어 좌표와 제3 수직 캐리어 좌표 사이의 제2 캐리어 거리보다 더 크다.
[0012] 일 실시예에 따르면, 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치가 제공된다. 장치는, 진공 챔버; 및 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 캐리어 수송 시스템을 포함한다. 추가적인 선택적인 수정으로서, 또한, 본 개시내용의 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 캐리어가 진공 프로세싱을 위한 장치에 포함될 수 있다.
[0013] 일 실시예에 따르면, 진공 챔버 내에서의 캐리어의 수송을 위한 방법이 제공된다. 방법은, 제1 수동 자기 유닛들에 의한 캐리어의 중량의 부분 상쇄로 트랙 조립체 상에서 캐리어를 수송하는 단계; 제2 수동 자석 유닛들에 의한 캐리어의 중량의 부분 상쇄로 트랙 조립체 상에서 캐리어를 수송하는 단계; 및 캐리어의 부분 중량이 복수의 롤러들 중 적어도 하나의 롤러 상에 있는 상태로 트랙 조립체 상에서 캐리어를 수송하는 단계를 포함한다.
[0014] 본 개시내용의 위에서 언급된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 위에서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 상세한 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부된 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이고, 다음에서 설명된다:
[0015] 도 1은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어 및 캐리어 수송 시스템의 개략적인 단면도를 도시한다.
[0016] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 캐리어의 개략적인 측면도를 도시한다.
[0017] 도 3은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치의 개략도를 도시한다.
[0018] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버 내에서의 캐리어의 수송을 위한 방법의 흐름도를 도시한다.
[0019] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들에 대한 참조가 상세히 이루어질 것이며, 이러한 실시예들의 하나 이상의 예들은 도면들에 예시된다. 도면들의 다음의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명을 통해 제공되며, 본 개시내용의 제한으로서 여겨지지 않는다. 추가로, 일 실시예의 일부로서 예시되거나 또는 설명된 특징들이 다른 실시예들에 대해 또는 다른 실시예들과 함께 사용되어 또 다른 추가적인 실시예가 산출될 수 있다. 상세한 설명은 그러한 수정들 및 변형들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0020] 캐리어 수송 시스템은 진공 환경에서, 특히, 진공 챔버에서, 또는 서로 나란히, 예컨대 선형 어레이로 배열된 복수의 진공 챔버들을 포함하는 진공 시스템에서, 캐리어를 수송하도록 구성된다. 캐리어 수송 시스템은 하나, 둘 또는 그 초과의 수송 경로들을 제공할 수 있으며, 여기서, 캐리어는 수송 방향으로 하나 이상의 수송 경로들을 따라 이동되거나 또는 전달될 수 있다.
[0021] 본원에서 설명되는 캐리어 수송 시스템은 진공 프로세싱 시스템, 특히 캐리어에 의해 운반되는 기판 상에 재료를 증착하도록 구성된 진공 증착 시스템의 일부일 수 있다. 캐리어 수송 시스템은, 캐리어를 변위시키거나 또는 이송하도록 구성될 수 있다.
[0022] 캐리어 수송 시스템은, 자기 부상으로 캐리어의 중량, 특히 캐리어의 중량의 100% 초과를 상쇄하여 캐리어를 이송하도록 구성될 수 있다. 자기 부상은 수송 방향으로 2 개의 세장형 행들로 배열된 수동 자극들의 어레이들을 포함할 수 있다.
[0023] 자기 부상은 더욱이, 캐리어를 측 방향으로 안정화시키도록 구성된다. 측 방향은, 수직 방향에 직각(perpendicular)이면서 수송 방향에 직각인 방향으로서 이해될 수 있다.
[0024] 도 1은 본원의 실시예들에 따른, 트랙 조립체(1100)를 포함하는 캐리어 수송 시스템(1000)의 개략적인 단면도이다. 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어 및 캐리어 수송 시스템의 개략적인 정면도를 도시한다. 도 1 및 도 2 둘 모두에 대한 참조가 행해질 수 있다. 캐리어 수송 시스템(1000)은 캐리어(1200)의 수송을 위해 구성된다. 캐리어는 진공 챔버에서 수송 방향(T)으로 기판 또는 마스크를 운반할 수 있다. 그러나, 본 개시내용은 이에 제한되지 않으며, 캐리어(1200)는 진공 프로세싱 시스템에서 통상적으로 사용되는 다른 제품들 또는 툴들을 수송하도록 구성될 수 있다. 수송 방향(T)은 도 1의 종이 평면(paper plane)에 직각이다. 캐리어(1200)는 수송 동안 본질적으로 수직인 배향(V)(예컨대, 수직 배향 +/-10°)을 갖는다.
[0025] 본원에서 설명되는 일부 실시예들은 캐리어(1200)가 "수직 또는 거의 수직(near-vertical) 배향" 또는 본질적으로 수직인 배향으로 수송되는 개념을 수반한다. 본 개시내용의 맥락에서 캐리어(1200)의 수직 배향은, 중력이 따르는 방향에 실질적으로 평행한 방향, 즉 수직 방향(Y)에 실질적으로 평행한 방향으로 연장되도록 캐리어(1200)가 정렬되는 것을 지칭한다. 거의 수직 배향은 정확한 수직성(정확한 수직성은 중력에 의해 정의됨)으로부터 최대 15 도의 각도만큼 벗어나는 배향으로서 정의될 수 있다. 수직 또는 거의 수직 배향으로, 캐리어(1200)는 수직으로 서 있는 또는 거의 수직으로 서 있는 배향으로 기판을 지지할 수 있다. 유사하게, 본질적으로 수평인 배향은 수평으로부터 최대 15 도의 편차를 가질 수 있다.
[0026] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 트랙 조립체(1100)는 수송 방향(T)으로 연장되는 제1 수동 자기 유닛(1110)을 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 수동 자기 유닛은 캐리어의 최상부에 있도록 구성된다. 제1 수동 자기 유닛(1110)은 제1 자극(1111) 및 제2 자극(1112)을 갖는다. 제1 자극(1111)은 제2 자극(1112)과 측방향으로 오프셋된다. 예컨대, 제1 자극(1111)은 제2 자극(1112) 바로 옆에 수평으로 있을 수 있다. 대안적으로, 제1 자석 극(magnet pole)은 제2 자극 바로 옆에 수직으로 있을 수 있다. 제1 자극과 제2 자극은 수동 자석의 반대 극들일 수 있다.
[0027] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치는 적어도 진공 챔버(2100)(도 3에 도시됨), 기판의 진공 프로세싱을 위한 증착 장치(2200), 및 진공 챔버(2100) 내의 캐리어 수송 시스템(1000)을 포함할 수 있다.
[0028] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 기판(2000)(도 3 참조)의 진공 프로세싱을 위한 장치는 기판 또는 기판 마스크를 지지하도록 구성된 캐리어(1200)를 포함할 수 있다. 캐리어(1200)는 도 1에 도시된 바와 같이 캐리어의 최상부에 제1 수동 자기 유닛(1210)을 포함할 수 있다. 제1 수동 자기 유닛(1210)은 제1 자극(1211) 및 제1 자극(1211)으로부터 측방향으로 오프셋된 제2 자극(1212)을 가질 수 있다. 예컨대, 제1 자극(1211)은 제2 자극(1212) 바로 옆에 수평으로 있을 수 있다. 대안적으로, 제1 자석 극은 제2 자극 바로 옆에 수직으로 있을 수 있다. 제1 자극과 제2 자극은 수동 자석의 반대 극들일 수 있다. 캐리어 및 트랙 조립체의 자석 극들은 양자 모두가 수직으로 배열될 수 있거나 또는 양자 모두가 수평으로 배열될 수 있다. 이에 따라서, 측방향 안정화가 제공될 수 있다.
[0029] 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210)은 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)과 자기적으로 커플링하도록 구성된다. 캐리어의 제1 자극 및 제2 자극은 트랙 조립체의 제1 자극 및 제2 자극의 반대 극들이다. 이에 따라서, 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210)과 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110) 사이의 자기력은 중력의 반대 방향의 인력이다. 예컨대, 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛의 N극은 캐리어의 제1 수동 자기 유닛의 S극을 향할 수 있고, 그 반대로도 가능하다.
[0030] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 트랙 조립체(1100)는 수송 방향(T)으로 연장되는 제2 수동 자기 유닛(1120)을 포함한다. 제2 수동 자기 유닛(1120)은 제3 자극(1121) 및 제4 자극(1122)을 갖는다. 제3 자극(1121)은 제4 자극(1122)으로부터 측방향으로 오프셋된다. 예컨대, 제3 자극(1121)은 제4 자극(1122) 바로 옆에 수평으로 있을 수 있다. 제3 자극과 제4 자극은 수동 자석의 반대 극들일 수 있다.
[0031] 캐리어(1200)는, 제1 자극(1221)으로부터 측방향으로 오프셋된 제3 자극(1221) 및 제4 자극(1222)을 갖는 제2 수동 자기 유닛(1220)을 더 포함한다. 예컨대, 제3 자극(1221)은 제4 자극(1222) 바로 옆에 수평으로 있을 수 있다. 제3 자극과 제4 자극은 수동 자석의 반대 극들일 수 있다.
[0032] 캐리어의 제2 수동 자기 유닛(1220)은 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)과 자기적으로 커플링하도록 구성된다. 캐리어의 제3 자극 및 제4 자극은 트랙 조립체의 제3 자극 및 제4 자극의 반대 극들이다. 이에 따라서, 캐리어의 제2 수동 자기 유닛(1220)과 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120) 사이의 자기력은 중력의 반대 방향의 인력이다. 예컨대, 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛의 N극은 캐리어의 제2 수동 자기 유닛의 S극을 향할 수 있고, 그 반대로도 가능하다. 유사하게, 자석 극들의 수직 어레인지먼트의 경우, 트랙 조립체의 제1 및/또는 제2 수동 자기 유닛의 N극은 캐리어의 대응하는 제1 및/또는 제2 수동 자기 유닛의 S극을 향할 수 있다. 대안적으로, 트랙 조립체의 제1 및/또는 제2 수동 자기 유닛의 S극은 캐리어의 대응하는 제1 및/또는 제2 수동 자기 유닛의 N극을 향할 수 있다.
[0033] 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)은, 캐리어(1200)의 제1 수동 자기 유닛(1210)과 자기적으로 커플링되는, 캐리어(1200)의 최상부에 있도록 구성될 수 있다. 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)은, 캐리어(1200)의 중량의 적어도 20%를 상쇄하고 기판 캐리어를 부분적으로 부상시키도록 구성된다. 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)은 추가로, 측방향 배향 상실(disorientation)을 보상하고 측방향 진동들을 소거함으로써 캐리어(1200)를 측방향으로 안정화시키기 위해서 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210)과 커플링하도록 구성된다. 측방향 안내 자석들은 기계적 스프링처럼, 그러나 어떠한 기계적 접촉도 없이 거동하며, 따라서 어떠한 입자들도 생성하지 않는다.
[0034] 도 1에 도시된 바와 같이, 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은, 캐리어(1200)의 제2 수동 자기 유닛(1220)과 커플링되는, 캐리어(1200)의 측면에 있도록 구성될 수 있다. 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은, 캐리어(1200)의 중량의 적어도 60%를 상쇄하고 기판 캐리어를 부분적으로 부상시키도록 구성된다. 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은 추가로, 측방향 배향 상실을 보상하고 측방향 진동들을 소거함으로써 캐리어(1200)를 측방향으로 안정화시키기 위해서 제2 수동 자기 유닛(1220)과 커플링하도록 구성된다. 측방향 안내 자석들은 기계적 스프링처럼, 그러나 어떠한 기계적 접촉도 없이 거동하며, 따라서 어떠한 입자들도 생성하지 않는다.
[0035] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110) 및 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은 적어도 캐리어(1200)의 중량 이상을 상쇄하도록 구성된다. 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)과 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210)을 커플링함으로써 제공되는 자기 부상과 함께, 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)과 캐리어의 제2 수동 자기 유닛(1220)을 커플링함으로써 제공되는 자기 부상은, 캐리어 중량의 적어도 70%, 특히 적어도 90%, 더 구체적으로는 100% 이상을 상쇄한다.
[0036] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 캐리어, 특히 본질적으로 수직으로 배향된 캐리어의 중량은 캐리어의 최상부에 있는 제1 수동 자기 유닛, 캐리어의 최하부를 향해 배향된, 즉 수직으로 제1 수동 자기 유닛 아래에 있는 제2 자기 유닛, 및 롤러들에 의해 지지된다. 구동 조립체의 아래쪽으로 당기는 힘은 추가로, 캐리어의 최상부에 있는 제1 수동 자기 유닛, 캐리어의 최하부를 향해 배향된, 즉 수직으로 제1 수동 자기 유닛 아래에 있는 제2 자기 유닛, 및 롤러들에 의해 상쇄된다.
[0037] 기판의 프로세싱 동안, 캐리어는 가열될 수 있다. 이에 따라서, 열 팽창이 있다. 특히, 기판들이 1 m 이상 또는 심지어 최대 수 미터의 수직 연장부를 가질 수 있는, 수직으로 배향된 또는 본질적으로 수직으로 배향된 기판들, 즉 대면적 기판들의 경우, 열 팽창이 상당할 수 있다. 이에 따라서, 제2 수동 자기 유닛, 즉 캐리어의 최상부에 있는 제1 수동 자기 유닛 아래의 수동 자기 유닛이 캐리어의 중량의 대부분을 상쇄하는 것이 유익하다. 제2 수동 자기 유닛의 포지션에서의 열 팽창량은 제1 수동 자기 유닛에 인접한 열 팽창량과 비교할 때 더 적다. 이에 따라서, 수동 자기 유닛들의 지지력들은 제2 수동 자기 유닛의 포지션에서의 열 팽창에 의해 영향을 덜 받는다.
[0038] 도 1은 롤러들과 제1 수동 자기 유닛 사이의 수직 포지션에 있는 제2 수동 자기 유닛을 도시한다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제2 수동 자기 유닛은 또한, 롤러들 아래에 수직으로 제공될 수 있다. 제2 수동 자기 유닛과 롤러들은 열 팽창의 영향을 감소시키기 위해서 서로 수직으로 가까울 수 있다. 예컨대, 제2 수동 자기 유닛 및 롤러들은 수직 캐리어 치수의 20% 이하, 특히 수직 캐리어 치수의 10% 이하, 더 구체적으로는 수직 캐리어 치수의 5% 이하의 수직 거리를 가질 수 있다.
[0039] 위에서 설명된 바와 같이, 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 제2 수동 자기 유닛은 캐리어의 중량의 적어도 70%를 상쇄할 수 있는데, 즉 제2 수동 자기 유닛이 캐리어의 지지를 좌우하고 있다(dominating). 롤러들과 제2 수동 자기 유닛은 서로 매우 유사하다. 이에 따라서, 캐리어를 지지하는 힘들에 대한 열 팽창의 영향이 감소된다.
[0040] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치의 개략도를 도시한다. 캐리어는 수송 방향, 특히 도 2에 도시된 바와 같이 좌측 또는 우측 방향으로 수송될 수 있다. 자기 부상은 위쪽으로 캐리어의 적어도 부분적인 중량, 특히 캐리어의 중량의 100% 이상을 상쇄할 수 있다.
[0041] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 캐리어(1200)는 제3 수동 자기 유닛(1230)을 포함할 수 있다. 제3 수동 자기 유닛은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 캐리어(1200)의 최하부에 커플링된다.
[0042] 도 1에 도시된 바와 같이, 캐리어의 제2 수동 자기 유닛(1220)은 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210)과 캐리어(1200)의 제3 수동 자기 유닛(1230) 사이에 수직으로 위치된다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제2 수동 자기 유닛은 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210) 및 캐리어(1200)의 제3 수동 자기 유닛(1230)으로부터 측방향으로 오프셋될 수 있다. 측방향 오프셋은 유익하게는 작은데, 즉 캐리어의 무게 중심에 가깝다.
[0043] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 트랙 조립체는 구동 조립체(1140)를 더 포함한다. 구동 조립체(1140)는 수송 방향(T)으로 연장되는 한 세트의 선형 모터들(1141)을 갖는다. 선형 모터(1141)는 자기장을 생성하도록 구성된 복수의 코일 유닛들을 포함할 수 있다. 구동 조립체(1140)는 중력에 평행한 힘을 생성한다. 구동 조립체에 의해 생성되는, 중력에 평행한 힘은 추가로, 수동 자기 유닛들 및 롤러들에 의해 보상된다. 구동 조립체(1140)는 추가로, 캐리어(1200)를 수송하기 위해서 수송 방향(T)으로 당기는 힘 및 미는 힘을 제공한다. 이 힘을 생성하기 위한 다른 솔루션들이 또한 있다.
[0044] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 구동 조립체(1140)는, 수송 방향(T)으로 트랙 조립체를 따라 캐리어를 이동시키기 위해 캐리어에 대해 자기력을 인가하도록 구성된 선형 모터(1141)를 포함할 수 있다. 적어도 하나의 구동 조립체(1140)는, 예컨대 수송 방향(T)을 따라 미리 결정된 간격들로 트랙 조립체에 제공되는 복수의 선형 모터들을 포함할 수 있다.
[0045] 구동 조립체의 선형 모터(1141)는, 수송 방향(T)으로 미는 힘을 제공하기 위해서 캐리어(1200)의 제3 수동 자기 유닛(1230)과 커플링하도록 구성될 수 있다. 캐리어의 제3 수동 자기 유닛(1230)과 커플링된, 구동 조립체의 선형 모터(1141)는 수송 방향(T)으로 캐리어를 수송하기 위해서 힘을 제공한다. 수송 방향(T)으로 구동력을 생성하기 위한 자기 구동부는 비접촉식이며, 이에 따라서, 수송 프로세스에서 입자들을 생성하지 않는다.
[0046] 구동 조립체(1140)는 모터 구동부를 통해 제어기에 의해 제어될 수 있다. 일부 구현들에서, 적어도 하나의 구동 조립체(1140)는 동기식 선형 모터(1141)를 포함할 수 있다. 다른 실시예들에서, 적어도 하나의 구동 조립체(1140)는 비동기식 선형 모터(1141)를 포함할 수 있다.
[0047] 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110)과 구동 조립체(1140)의 한 세트의 선형 모터(자석들)(1141) 사이에 수직으로 있다. 트랙 조립체의 제2 수동 자기 유닛(1120)은 트랙 조립체의 제1 수동 자기 유닛(1110) 및 구동 조립체(1140)의 한 세트의 선형 모터들(자석들)(1141)로부터 측방향으로 오프셋될 수 있다.
[0048] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 수동 자기 유닛(1110)은 제1 수직 좌표에 제공되고, 제2 수동 자기 유닛(1120)은 제2 수직 좌표에 제공된다. 롤러 수송 트랙(1130)은 제3 수직 좌표에 제공된다. 제1 수직 좌표와 제2 수직 좌표 사이의 제1 수직 거리는 제2 수직 좌표와 제3 수직 좌표 사이의 제2 거리보다 더 크다. 수직 좌표들 및 수직 거리들은 도 1에서 점선들에 의해 도시된다.
[0049] 일부 예시적인 구현들에 따르면, 트랙 조립체(1100)는 수송 방향으로 연장되며, 그리고 수송 방향으로 연장되는 제1 수동 자기 유닛을 포함하며, 제1 수동 자기 유닛은 제1 자극, 및 제1 자극으로부터 예컨대 측방향으로 또는 수직으로 오프셋된 제2 자극을 갖는다. 트랙 조립체는 제2 수동 자기 유닛을 포함하고, 제2 수동 자기 유닛은 수송 방향으로 연장되며, 그리고 제3 자극, 및 제3 자극으로부터 예컨대 측방향으로 또는 수직으로 오프셋된 제4 자극을 갖는다. 제1 수동 자기 유닛 및 제2 수동 자기 유닛은 적어도 캐리어의 중량을 상쇄하도록 구성된다. 추가로, 캐리어의 부분 중량을 지지하도록 구성된 복수의 롤러들을 갖는 롤러 수송 트랙이 제공된다. 구동 조립체(1140)는 중력에 평행한 힘을 생성하는, 수송 방향으로 연장되는 한 세트의 능동(active) 자석들을 포함한다.
[0050] 대응하는 캐리어는 제1 수직 캐리어 좌표에 제공된, 캐리어의 제1 수동 자기 유닛(1210), 및 제2 수직 캐리어 좌표에 제공된, 캐리어의 제2 수동 자기 유닛(1220)을 포함한다. 캐리어의 제3 수동 자기 유닛(1230)은 제3 수직 좌표에 제공되며, 제1 수직 캐리어 좌표와 제2 수직 캐리어 좌표 사이의 제1 수직 캐리어 거리는 제2 수직 캐리어 좌표와 제3 수직 캐리어 좌표 사이의 제2 캐리어 거리보다 더 크다.
[0051] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 트랙 조립체는 롤러 수송 트랙(1130)을 갖는다. 롤러 수송 트랙(1130)은 복수의 롤러들(1131)을 갖는다. 롤러들(1131)은, 캐리어(1200)의 적어도 부분적인 중량을 지지하도록 그리고 낮은 마찰로 측 방향에 평행한 축을 중심으로 회전하도록 구성된다. 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나는 캐리어(1200)와 접촉한다. 일부 실시예들에 따르면, 롤러들(1131)의 접촉 표면은 원통형 형상을 갖는다. 롤러들은 원통형 부분을 가질 수 있고, 원통형 부분의 일측에서 또는 양측에서 구형 부분, 즉 추가적인 반경을 더 가질 수 있다. 롤러는 개개의 롤러의 회전 축에 적어도 부분적으로 평행하게 연장된다.
[0052] 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 롤러들은 캐리어의 부분 중량, 예컨대 30% 이하를 지지한다. 비접촉식 구동 조립체, 예컨대 자기 구동 조립체를 갖는 것은, 롤러들에서의 마찰이 수송 방향으로 캐리어를 구동시키는 데 활용되지 않기 때문에, 롤러들에 대한 힘을 감소시킬 수 있게 한다.
[0053] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 캐리어(1200)는 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러의 최상부 표면과 접촉하도록 구성된 제1 레일(1241)을 갖는다. 캐리어(1200)는 제2 레일(1242)을 더 포함한다. 제2 레일(1242)은 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러의 최하부와 접촉하도록 구성될 수 있다. 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 본원에서, 롤러들의 최하부와 제2 레일 사이에 갭이 제공될 수 있다. 예컨대, 갭은 1 mm 이하, 이를테면 0.5 mm 이하, 또는 심지어 0.3 mm 미만일 수 있다. 제1 레일과 제2 레일 사이의 거리는 롤러들의 직경보다 약간 더 큰데, 예컨대 1 mm 이하, 이를테면 0.5 mm 이하, 또는 심지어 0.3 mm 미만만큼 더 크다.
[0054] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 구동 조립체(1140) 및 제3 수동 자기 유닛(1230)에 의해 생성되는 아래쪽으로 당기는 힘 및 자기 부상력들(1110-1210 및 1120-1220)의 결과적인 힘은, 캐리어 중량의 30% 이하, 예컨대 20% 이하, 이를테면 10% 이하일 수 있다. 결과적인 힘은 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나에 의해 지지된다. 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러의 최상부는 도 1 및 도 2에 개략적으로 도시된 바와 같이 결과적인 힘을 보상할 수 있기 위해 제1 레일(1241)과 접촉하도록 구성된다. 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나는 결과적인 힘을 운반하고 수직 방향으로의 자석 쌍들의 불안정성을 극복한다. 롤러들(1131)에 대한 중량을 최소화할 뿐만 아니라 캐리어와 트랙 조립체 사이의 최소화된 접촉 표면은 수송으로 인한 입자 생성을 상당히 낮춘다.
[0055] 여기서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 수동 자기 유닛은 캐리어의 중량의 20% 내지 60%, 예컨대 약 40%를 지탱할 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 제2 수동 자기 유닛은 캐리어의 중량의 70% 내지 95%, 예컨대 약 90%를 지탱할 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 구동 조립체에 의해 생성되는 하향 힘은 캐리어의 중량의 20% 내지 60%, 예컨대 약 40%일 수 있다.
[0056] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 캐리어의 수동 자석들의 어레인지먼트 및 트랙 조립체는 콤팩트하고 간단할 수 있다. 롤러들에 대한 나머지 결과적인 힘은 가능한 한 최소화되며, 그러므로, 캐리어 수송 동안의 입자들의 생성이 상당히 감소될 수 있다. 이에 따라서, 롤러들의 수명이 상당히 증가될 수 있다.
[0057] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 적어도 하나의 롤러(1131)의 최하부는 캐리어의 이동을 수직으로 안정화시키기 위해 제2 레일(1242)과 접촉하도록 구성될 수 있다. 캐리어가 수송 방향으로 수송될 때, 캐리어의 부분 중량은 적어도 하나의 롤러(1131)에 의해 지탱된다. 그러한 상황에서, 제1 레일(1241)과 적어도 하나의 롤러(1131)의 최상부 표면 사이에는 접촉이 있고, 제2 레일(1242)과 롤러(1131)의 최하부 표면 사이에는 접촉이 없다. 이러한 방식으로, 동작 동안, 트랙 조립체와 캐리어 사이의 접촉 지점들이 최소화되고, 그러므로, 수송 동안의 입자 생성이 상당히 감소될 수 있다.
[0058] 캐리어(1200)가 수송 방향(T)을 따라 수송될 때, 약간의 오정렬이 있을 수 있고, 캐리어와 수송 조립체가 완전히 평행하지는 않다. 그러한 상황에서, 제2 레일과 롤러의 최하부 표면은 서로 접촉할 수 있고 정렬을 도울 수 있다. 캐리어의 수직 이동들의 유사한 상황에서, 롤러(1131) 그리고 제1 레일(1241) 및 제2 레일(1242)은 수직 안정화를 도울 수 있다.
[0059] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 캐리어의 제1 레일(1241) 및 제2 레일(1242)은 탄성 재료들로 제조될 수 있다. 탄성 레일들은 캐리어(1200)의 수송에 대한 서스펜션 효과를 제공하는 유리한 효과를 갖는다. 탄성 레일들은 충격들 및 진동들을 흡수함으로써 캐리어(1200)의 더 원활하고 더 효율적인 수송을 제공할 수 있다. 탄성 레일들은 추가로, 충격들 및 진동들의 더 최적의 제어를 위한 댐핑 수단의 추가로 향상될 수 있다.
[0060] 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 복수의 롤러들(1131) 그리고 제1 레일(1241) 및 제2 레일(1242)은 복수의 자석들의 나머지 불안정성을 극복하기 위한 기계적 안내부로서 이해될 수 있다. 언쇼의 정리에 의해, 영구 자석들로만 완전 비접촉식 안내를 생성하는 것은 가능하지 않다.
[0061] 도 4는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버(2100)에서 캐리어(1200)를 수송하는 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0062] 박스(310)에서, 캐리어(1200)의 중량이 트랙 조립체(1100)의 제1 수동 자기 유닛 및 캐리어(1200)의 제1 수동 자기 유닛에 의해 적어도 부분적으로 상쇄되면서, 캐리어(1200)가 트랙 조립체(1100)를 따라 수송 방향(T)으로 수송된다.
[0063] 박스(320)에서, 캐리어(1200)의 중량이 트랙 조립체(1100)의 제2 수동 자기 유닛 및 캐리어(1200)의 제2 수동 자기 유닛에 의해 적어도 부분적으로 상쇄되면서, 캐리어(1200)가 트랙 조립체(1100)를 따라 수송 방향(T)으로 수송된다.
[0064] 박스(330)에서, 캐리어(1200)는, 캐리어(1200)의 부분 중량이 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러 상에 있는 상태로, 트랙 조립체(1100) 상에서 이송되고 있다. 구동 조립체(1140) 및 제3 수동 자기 유닛(1230)에 의해 생성되는 아래쪽으로 당기는 힘 및 자기 부상력들(1110-1210 및 1120-1220)의 결과적인 힘은 캐리어 중량의 10% 이하일 수 있다.
[0065] 방법(300)은, 캐리어(1200)를 수송하기 위해서 수송 방향(T)으로 당기는/미는 힘을 제공할 수 있도록 구성된 구동 조립체를 더 포함한다.
[0066] 본원에서 설명된 실시예들은 대면적 기판들, 유리 기판들, 웨이퍼들, 반도체 기판들, 마스크들, 차폐부들 및 다른 오브젝트들 중 적어도 하나를 운반하는 캐리어들을 수송하기 위해 사용될 수 있다. 캐리어들은 하나의 단일 오브젝트, 예컨대, 1 m² 이상, 특히, 5 m² 또는 10 m² 이상의 크기를 갖는 대면적 기판, 또는 더 작은 크기를 갖는 복수의 오브젝트들, 예컨대, 복수의 반도체 웨이퍼들을 운반할 수 있다. 캐리어는 캐리어, 예컨대 자기 척, 정전 척, 또는 기계적 척킹 디바이스에 오브젝트를 홀딩하도록 구성된 홀딩 디바이스를 포함할 수 있다.
[0067] 캐리어는 수송 동안 본질적으로 수직 배향(예컨대, 수직 +/- 10°)을 가질 수 있다. 구체적으로, 진공 프로세싱 시스템은 수직 기판 프로세싱을 위해 구성될 수 있다.
[0068] 전술한 내용이 실시예들에 관한 것이지만, 다른 그리고 추가 실시예들이 기본적인 범위를 벗어나지 않으면서 안출될 수 있으며, 그 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (19)

  1. 진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000)으로서,
    수송 방향으로 연장되는 트랙 조립체(1100)를 포함하며,
    상기 트랙 조립체는,
    제1 수직 좌표에 제공되고 상기 수송 방향으로 연장되는 제1 수동 자기 유닛(passive magnetic unit)(1110);
    제2 수직 좌표에 제공되고 상기 수송 방향으로 연장되는 제2 수동 자기 유닛(1120) ―상기 제1 수동 자기 유닛(1110) 및 상기 제2 수동 자기 유닛(1120)은 상기 캐리어(1200)의 중량을 상쇄(counteract)하도록 구성됨―; 및
    제3 수직 좌표에 제공되며, 그리고 상기 캐리어(1200)의 부분 중량을 지지하도록 구성되고 제3 수직 좌표에 제공되는 복수의 롤러들(1131)을 포함하는 롤러 수송 트랙(1130)
    을 포함하며,
    상기 제1 수직 좌표와 상기 제2 수직 좌표 사이의 제1 수직 거리는 상기 제2 수직 좌표와 상기 제3 수직 좌표 사이의 제2 거리보다 더 큰,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  2. 제1 항에 있어서,
    중력에 평행한 힘을 생성하는, 상기 수송 방향으로 연장되는 한 세트의 능동(active) 자석들을 갖는 구동 조립체(1140)를 더 포함하는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 구동 조립체(1140)는 추가로, 상기 수송 방향으로 힘을 제공하도록 구성되는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  4. 제2 항 또는 제3 항에 있어서,
    상기 제2 수동 자기 유닛(1120)의 상기 제2 수직 좌표는 상기 제1 수동 자기 유닛(1110)의 상기 제1 수직 좌표와 상기 구동 조립체(1140)의 상기 한 세트의 자석들(1141) 사이에 수직으로 위치되는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  5. 제1 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수송 방향은 본질적으로 수평인,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 캐리어(1200)는 수직 또는 거의 수직(near-vertical) 배향으로 수송되도록 구성되는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 수동 자기 유닛(1110)은 상기 캐리어(1200)의 중량의 적어도 20%를 상쇄하도록 구성되고, 상기 제2 수동 자기 유닛(1120)은 상기 캐리어(1200)의 중량의 적어도 60%를 상쇄하도록 구성되는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  8. 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 수동 자기 유닛(1110) 및 상기 제2 수동 자기 유닛(1120)의 자극들(1111, 1112, 1121, 1122)은 상기 캐리어(1200)의 측방향 안내를 위해 구성되는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  9. 제1 항 내지 제8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 롤러들(1131)은 개개의 롤러들의 회전 축에 적어도 부분적으로 평행하게 연장되며, 특히, 상기 복수의 롤러들(1131)의 일부분은 원통형 형상을 갖는,
    진공 챔버 내에서 캐리어(1200)를 수송하기 위한 캐리어 수송 시스템(1000).
  10. 기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치에서 프로세싱될 기판을 위한 캐리어로서,
    제1 수직 캐리어 좌표에 제공된 제1 수동 자기 유닛(1210);
    제2 수직 캐리어 좌표에 제공된 제2 수동 자기 유닛(1220); 및
    제3 수직 캐리어 좌표에 제공된 제3 수동 자기 유닛(1230)
    을 포함하며,
    상기 제1 수직 캐리어 좌표와 상기 제2 수직 캐리어 좌표 사이의 제1 수직 캐리어 거리는 상기 제2 수직 캐리어 좌표와 상기 제3 수직 캐리어 좌표 사이의 제2 캐리어 거리보다 더 큰,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치에서 프로세싱될 기판을 위한 캐리어.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제2 수동 자기 유닛(1220)은 상기 제1 수동 자기 유닛(1210)에 대하여 측방향으로 오프셋되고, 상기 오프셋은 상기 수송 방향에 직각(perpendicular)인 방향으로 그리고 상기 수직 방향에 대해 일정 방향으로 이루어지는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치에서 프로세싱될 기판을 위한 캐리어.
  12. 제10 항 또는 제11 항에 있어서,
    복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러의 최상부 표면과 접촉하도록 구성된 제1 레일(1241); 및
    상기 복수의 롤러들(1131) 중 상기 적어도 하나의 롤러의 최하부와 접촉하도록 구성된 제2 레일(1242)
    을 더 포함하는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치에서 프로세싱될 기판을 위한 캐리어.
  13. 기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치로서,
    진공 챔버(2100); 및
    제1 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 따른 캐리어 수송 시스템(1000)
    을 포함하는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 진공 챔버(2100) 내의 증착 장치(2200)를 더 포함하는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치.
  15. 제13 항 또는 제14 항에 있어서,
    제10 항 내지 제12 항 중 어느 한 항에 따른 캐리어를 더 포함하는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 트랙 조립체(1100)의 상기 제1 수동 자기 유닛(1110)은, 상기 캐리어(1200)의 상기 제1 수동 자기 유닛(1210)과 커플링되는, 상기 캐리어(1200)의 최상부에 있도록 구성되는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치.
  17. 제15 항 또는 제16 항에 있어서,
    상기 트랙 조립체(1100)의 상기 제2 수동 자기 유닛(1120)은, 상기 캐리어(1200)의 상기 제2 수동 자기 유닛(1220)과 커플링되는, 상기 캐리어(1200)의 측면(side)에 있도록 구성되는,
    기판(2000)의 진공 프로세싱을 위한 장치.
  18. 진공 챔버(2100) 내에서의 캐리어(3000)의 수송을 위한 방법으로서,
    제1 수동 자기 유닛들에 의한 상기 캐리어(1200)의 중량의 부분 상쇄로 트랙 조립체(1100) 상에서 상기 캐리어(1200)를 수송하는 단계;
    제2 수동 자석 유닛들에 의한 상기 캐리어(1200)의 중량의 부분 상쇄로 상기 트랙 조립체(1100) 상에서 상기 캐리어(1200)를 수송하는 단계; 및
    상기 캐리어(1200)의 부분 중량이 복수의 롤러들(1131) 중 적어도 하나의 롤러 상에 있는 상태로 상기 트랙 조립체(1100) 상에서 상기 캐리어(1200)를 수송하는 단계
    를 포함하는,
    진공 챔버(2100) 내에서의 캐리어(3000)의 수송을 위한 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    구동 조립체(1140)를 이용하여 수송 방향으로 상기 캐리어를 수송하는 단계를 더 포함하는,
    진공 챔버(2100) 내에서의 캐리어(3000)의 수송을 위한 방법.
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