KR20220153371A - 레이저 간섭계를 이용한 측정장치 - Google Patents

레이저 간섭계를 이용한 측정장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20220153371A
KR20220153371A KR1020210060877A KR20210060877A KR20220153371A KR 20220153371 A KR20220153371 A KR 20220153371A KR 1020210060877 A KR1020210060877 A KR 1020210060877A KR 20210060877 A KR20210060877 A KR 20210060877A KR 20220153371 A KR20220153371 A KR 20220153371A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
moving unit
coordinate moving
measured
unit
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020210060877A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102577847B1 (ko
Inventor
박규태
Original Assignee
한국항공우주산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국항공우주산업 주식회사 filed Critical 한국항공우주산업 주식회사
Priority to KR1020210060877A priority Critical patent/KR102577847B1/ko
Publication of KR20220153371A publication Critical patent/KR20220153371A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102577847B1 publication Critical patent/KR102577847B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/03—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
    • G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
    • G01B9/02019—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different points on same face of object

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치는 피측정물의 복수의 측정 위치에서 선택적으로 이동되는 좌표 이동부, 좌표 이동부로 레이저 빔을 조사하고 좌표 이동부에 의해 반사된 레이저 빔을 인식하여 피측정물의 복수의 측정 위치에 대한 좌표 이동부의 상대 위치를 공간 좌표로 산출하는 레이저 측정부 및 레이저 측정부와 연결되며 좌표 이동부가 복수의 측정 위치에 대해 선택적으로 위치되도록 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

레이저 간섭계를 이용한 측정장치{MEASURING APPARATUS FOR USING LASER INTERFEROMETER}
본 발명은 부품 및 가공품과 같은 피측정물을 레이저 빔을 이용하여 측정하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 부품 및 가공품의 치수를 측정하여 가용 허용치수 및 부품 호환성을 검증할 수 있는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치에 관한 것이다.
일반적으로 항공 산업 분야와 자동차 산업 분야는 복수 개의 모재를 가공하여 부품을 제조한 후, 복수 개의 부품을 조립하여 항공기와 자동차를 생산하는 산업 분야이다. 또한, 항공 산업 분야와 자동차 산업 분야 이외에도 다양한 산업 분야에서 부품을 생산하고 조립 공정으로 최종 제품을 생산한다.
이러한 항공 산업 분야, 자동차 산업 분야 및 기타 부품을 제조 및 조립하는 산업 분야에서는 각각의 부품을 가공할 때 설계상에서 요구되는 치수로 부품이 가공되었는지 확인이 필요하다. 즉, 각각의 부품이 설계상에서 요구되는 치수로 가공되지 않을 때 최종적으로 복수 개의 부품이 조립되지 않아 최종 제품의 불량이 발생하거나 조립 공정 시 소요 시간이 증대될 수 있다. 특히, 항공 산업 분야는 대형의 부품을 가공할 뿐만 아니라 곡선의 부품을 가공하고, 다른 산업 분야 대비 상대적으로 많은 부품을 조립하기 때문에 각각의 부품에 대한 치수 확인이 필연적이다.
한편, 항공 산업 분야에서는 설계 형상 요구 치수와 제품 측정 치수와의 적합성 평가를 하기 위하여 부품의 치수를 측정한다. 대표적인 부품 치수 측정 방식은 좌표 측정 방식을 사용한다. 예를 들면, 좌표 측정기는 3차원 공간의 공간 좌표를 이용하여 부품의 치수를 측정하는 장비로서, 물리적 표준체를 부품에 접촉 후 치수를 측정하는 방식을 사용한다.
그런데, 종래의 좌표 측정기를 이용한 측정 방식은 작업자가 직접 좌표 측정기와 부품을 접촉하여 부품의 치수를 측정하는 수동 방식을 사용하기 때문에 작업자의 숙련도에 따라 치수 측정 오류가 발생할 문제점이 있다. 또한, 부품의 물리적인 변형량, 예를 들어 온도 등의 변화에 의해 접촉 측정 시 물리적인 변형량에 의해 치수 측정 오류가 발생할 문제점도 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-2115580호: 휴대형 각도 측정기
본 발명의 목적은 레이저 빔을 이용하고 피측정물의 측정 위치에 따른 공간 좌표를 이용하여 피측정물을 측정하도록 구조가 개선된 레이저 간섭계를 이용한 측정장치를 제공하는 것이다.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라 피측정물의 복수의 측정 위치에서 선택적으로 이동되는 좌표 이동부와, 상기 좌표 이동부로 레이저 빔을 조사하고 상기 좌표 이동부에 의해 반사된 레이저 빔을 인식하여 피측정물의 복수의 상기 측정 위치에 대한 상기 좌표 이동부의 상대 위치를 공간 좌표로 산출하는 레이저 측정부와, 상기 레이저 측정부와 연결되며 상기 좌표 이동부가 복수의 상기 측정 위치에 대해 선택적으로 위치되도록 상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치에 의해 이루어진다.
여기서, 상기 레이저 측정부는 상기 좌표 이동부로 레이저 빔을 조사하고 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔을 인식하는 광학부와, 상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 상기 가이드부와 자기적으로 결합 및 분리되는 자성체의 어댑터를 포함할 수 있다.
상기 가이드부는 자성체의 상기 어댑터와 자기적으로 결합 및 분리되고 피측정물에 인접하게 배치되며 피측정물의 복수의 상기 측정 위치에서 선택적으로 상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 가이드 레일과, 상기 좌표 이동부와 상기 가이드 레일 사이에 배치되어 상기 좌표 이동부를 상기 가이드 레일을 따라 이동시키는 가이드 블록을 포함할 수 있다.
상기 가이드부는 피측정물과 대향 배치된 상기 가이드 블록의 외표면으로부터 돌출되어 상기 좌표 이동부가 피측정물의 상기 측정 위치에 위치될 때 피측정물과 접촉되는 접촉부를 더 포함할 수 있다.
상기 레이저 측정부는 피측정물의 상기 측정 위치에 대한 제 1위치에서 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔과 상기 좌표 이동부가 선형 이동된 제 2위치에서 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔에 따른 상대 거리를 측정하여 공간 좌표로 산출할 수 있다.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 효과는 다음과 같다.
첫째, 레이저 빔을 이용하여 자동으로 피측정물의 공간 좌표를 산출하여 피측정물의 치수를 측정할 수 있으므로, 피측정물의 측정 오류를 방지할 수 있다.
둘째, 피측정물에 인접하여 배치되는 가이드부와 가이드부에 선형 이동되는 좌표 이동부를 이용하여 공간 좌표를 산출하고 피측정물의 치수를 측정할 수 있으므로, 피측정물의 물리적 변형이 발생해도 정확한 피측정물의 치수를 측정할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 1작동 사시도,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 2작동 사시도,
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 3작동 사시도,
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 가이드부의 사시도이다.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
설명하기에 앞서, 도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치는 1개의 좌표 이동부와 가이드부가 레이저 측정부에 선택적으로 결합되어 피측정물을 측정하는 것으로 도시하였으나, 좌표 이동부와 가이드부가 복수 개로 배치될 수도 있음을 미리 밝혀둔다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 1작동 사시도, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 2작동 사시도, 그리고 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 제 3작동 사시도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치(10)는 좌표 이동부(100), 레이저 측정부(300) 및 가이드부(500)를 포함한다. 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치(10)는 본 발명의 미도시된 피측정물의 치수를 측정한다. 여기서, 피측정물은 가공이 완료된 부품 또는 가공 중인 부품일 수 있다.
좌표 이동부(100)는 피측정물의 복수의 측정 위치에서 선택적으로 이동된다. 예를 들어, 좌표 이동부(100)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 가이드부(500)가 제 1방향(D1)으로 레이저 측정부(300)에 연결될 때 제 1방향-제 1위치(P1) 및 제 1방향-제 2위치(P2)에서 이동된다. 또한, 좌표 이동부(100)는 가이드부(500)가 제 2방향(D2)으로 레이저 측정부(300)에 연결될 때 제 2방향-제 1위치(P3) 및 제 2방향-제 2위치(P4)에서 이동된다.
좌표 이동부(100)는 3차원 공간 좌표계에서 피측정물에 대한 복수의 측정 위치에서 이동되며, 좌표 이동부(100)에 이동된 상대 이동 거리를 이용하여 피측정물의 치수를 측정한다. 예를 들어, 좌표 이동부(100)는 제 1방향-상대 이동 거리(L1) 및 제 2방향-상대 이동 거리(L2)가 측정되도록 가이드부(500)를 따라 이동된다. 좌표 이동부(100)는 반사계로 마련되어 레이저 측정부(300)로부터 조사된 레이저 빔을 레이저 측정부(300)로 반사한다.
레이저 측정부(300)는 좌표 이동부(100)로 레이저 빔을 조사하고 좌표 이동부(100)에 의해 반사된 레이저 빔을 인식하여 피측정물의 복수의 측정 위치에 대한 좌표 이동부(100)의 상대 위치를 공간 좌표로 산출한다. 상세하게, 레이저 측정부(300)는 제 1방향(D1)에 대한 좌표 이동부(100)의 제 1방향-제 1위치(P1)와 제 1방향-제 2위치(P2)의 공간 좌표와 제 1방향-상대 이동 거리(L1)를 산출한다. 본 발명의 일 실시 예로서, 레이저 측정부(300)는 광학부(310) 및 어댑터(330)를 포함한다.
광학부(310)는 좌표 이동부(100)로 레이저 빔을 조사하고 좌표 이동부(100)로부터 반사된 레이저 빔을 인식한다. 좌표 이동부(100)에 의해 반사되어 광학부(310)에 인식된 레이저 빔은 공간 좌표로 표시된다.
어댑터(330)는 좌표 이동부(100)의 선형 이동을 안내하는 가이드부(500)와 자기적으로 결합 및 분리된다. 어댑터(330)는 자성체로 마련되어 가이드부(500)와 자기적으로 결합된다. 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 어댑터(330)는 자성체로 마련되어 제 1방향(D1) 및 제 2방향(D2)에서 선택적으로 가이드부(500)와 자기적으로 결합된다. 이러한 어댑터(330)는 피측정물의 형상에 따라 가이드부(500)가 피측정물에 인접하도록 가이드부(500)와 자기적으로 결합된다. 한편, 어댑터(330)는 본 발명의 실시 예와 달리 2개 이상의 가이드부(500)와 자기적으로 결합될 수 있다.
다음으로 도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치의 가이드부의 사시도이다.
가이드부(500)는 도 4에 도시된 바와 같이, 레이저 측정부(300)와 연결된다. 가이드부(500)는 좌표 이동부(100)가 복수의 측정 위치에 대해 선택적으로 위치되도록 좌표 이동부(100)의 선형 이동을 안내한다. 즉, 가이드부(500)는 좌표 이동부(100)가 피측정물에 인접하여 선형 이동하도록 피측정물에 인접하게 배치된다. 가이드부(500)는 본 발명의 일 실시 예로서, 가이드 레일(510) 및 가이드 블록(530)을 포함한다.
가이드 레일(510)은 자성체의 어댑터(330)와 자기적으로 결합 및 분리되고 피측정물 인접하게 배치된다. 가이드 레일(510)은 피측정물의 복수의 측정 위치에서 선택적으로 좌표 이동부(100)의 선형 이동을 안내한다. 가이드 레일(510)은 어댑터(330)에 대해 제 1방향(D1) 및 제 2방향(D2)에 선택적으로 결합된다.
가이드 블록(530)은 좌표 이동부(100)와 가이드 레일(510) 사이에 배치된다. 가이드 블록(530)은 좌표 이동부(100)를 가이드 레일(510)에 따라 이동시킨다. 가이드 블록(530)의 하부는 가이드 레일(510)에 형성된 가이드 홈에 삽입되는 형상을 가지며, 하부는 좌표 이동부(100)가 수평으로 배치되도록 마련된다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치(10)의 가이드부(500)는 접촉부(550)를 포함한다. 접촉부(550)는 피측정물과 대향 배치된 가이드 블록(530)의 외표면으로부터 돌출 형성된다. 접촉부(550)는 좌표 이동부(100)가 피측정물의 제 1방향-제 1위치(P1)와 제 1방향-제 2위치(P2) 또는 제 2방향-제 1위치(P3)와 제 2방향-제 2위치(P4)에 위치될 때 피측정물과 접촉되어 좌표 이동부(100)가 측정 위치에 정확하게 위치되는 지 통지한다.
이러한 구성에 의해 본 발명의 실시 예에 따른 레이저 간섭계를 이용한 측정장치(10)의 작동 과정은 다음과 같다.
도 3에 도시된 바와 같이, 제 1방향(D1)에서 좌표 이동부(100)가 제 1방향-제 1위치(P1)에 위치될 때 레이저 측정부(300)는 레이저 빔을 조사하고 반사된 레이저 빔을 인식하여 공간 좌표를 산출한다. 제 1방향(D1)에서 좌표 이동부(100)가 제 1방향-제 2위치(P2)에 위치될 때 레이저 측정부(300)는 레이저 빔을 조사하고 반사된 레이저 빔을 인식하여 공간 좌표를 산출한다. 레이저 측정부(300)는 좌표 이동부(100)의 제 1방향-제 1위치(P1)에서 산출된 공간 좌표와 제 1방향-제 2위치(P2)에서 산출된 공간 좌표를 산출하여 제 1방향-상대 이동 거리(L1)를 산출한다. 피측정물의 치수는 산출된 제 1방향-상대 이동 거리(L1)에 의해 측정된다. 이때, 접촉부(550)는 제 1방향-제 1위치(P1)와 제 1방향-제 2위치(P2)에서 피측정물과 접촉되어 좌표 이동부(100)가 제 1방향-제 1위치(P1)와 제 1방향-제 2위치(P2)에 정확하게 위치하는지 판단한다.
여기서, 제 1방향-상대 이동 거리(L1)는 제 1방향-제 1위치(P1)의 좌표를 (x1, y1, z1)이라고 하고 제 1방향-제 2위치(P2)의 좌표를 (x2, y2, z2)라고 할 때 다음의 <수학식 1>에 의해 산출된다.
<수학식 1>
Figure pat00001
한편, 가이드부(500)가 레이저 측정부(300)에 제 2방향(D2)으로 연결될 때, 좌표 이동부(100)는 제 2방향-제 1위치(P3)와 제 2방향-제 2위치(P4)에서 위치되고 제 2방향-상대 이동 거리(L2)를 산출된다
여기서, 제2방향-상대 이동 거리(L2)는 제 2방향-제 1위치(P3)의 좌표를 (x3, y3, z3)이라고 하고 제 2방향-제 2위치(P4)의 좌표를 (x4, y4, z4)라고 할 때 다음의 <수학식 2>에 의해 산출된다.
<수학식 2>
Figure pat00002
이에, 레이저 빔을 이용하여 자동으로 피측정물의 공간 좌표를 산출하여 피측정물의 치수를 측정할 수 있으므로, 피측정물의 측정 오류를 방지할 수 있다.
또한, 피측정물에 인접하여 배치되는 가이드부와 가이드부에 선형 이동되는 좌표 이동부를 이용하여 공간 좌표를 산출하고 피측정물의 치수를 측정할 수 있으므로, 피측정물의 물리적 변형이 발생해도 정확한 피측정물의 치수를 측정할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 레이저 간섭계를 이용한 측정장치 100: 좌표 이동부
300: 레이저 측정부 310: 광학부
330: 어댑터 500: 가이드부
510: 가이드 레일 530: 가이드 블록
550: 접촉부

Claims (5)

  1. 피측정물의 복수의 측정 위치에서 선택적으로 이동되는 좌표 이동부와;
    상기 좌표 이동부로 레이저 빔을 조사하고 상기 좌표 이동부에 의해 반사된 레이저 빔을 인식하여, 피측정물의 복수의 상기 측정 위치에 대한 상기 좌표 이동부의 상대 위치를 공간 좌표로 산출하는 레이저 측정부와;
    상기 레이저 측정부와 연결되며, 상기 좌표 이동부가 복수의 상기 측정 위치에 대해 선택적으로 위치되도록 상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저 측정부는,
    상기 좌표 이동부로 레이저 빔을 조사하고, 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔을 인식하는 광학부와;
    상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 상기 가이드부와 자기적으로 결합 및 분리되는 자성체의 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    자성체의 상기 어댑터와 자기적으로 결합 및 분리되고 피측정물에 인접하게 배치되며, 피측정물의 복수의 상기 측정 위치에서 선택적으로 상기 좌표 이동부의 선형 이동을 안내하는 가이드 레일과;
    상기 좌표 이동부와 상기 가이드 레일 사이에 배치되어, 상기 좌표 이동부를 상기 가이드 레일을 따라 이동시키는 가이드 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 가이드부는 피측정물과 대향 배치된 상기 가이드 블록의 외표면으로부터 돌출되어, 상기 좌표 이동부가 피측정물의 상기 측정 위치에 위치될 때 피측정물과 접촉되는 접촉부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 레이저 측정부는 피측정물의 상기 측정 위치에 대한 제 1위치에서 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔과 상기 좌표 이동부가 선형 이동된 제 2위치에서 상기 좌표 이동부로부터 반사된 레이저 빔에 따른 상대 거리를 측정하여 공간 좌표로 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭계를 이용한 측정장치.
KR1020210060877A 2021-05-11 2021-05-11 레이저 간섭계를 이용한 측정장치 Active KR102577847B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210060877A KR102577847B1 (ko) 2021-05-11 2021-05-11 레이저 간섭계를 이용한 측정장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210060877A KR102577847B1 (ko) 2021-05-11 2021-05-11 레이저 간섭계를 이용한 측정장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220153371A true KR20220153371A (ko) 2022-11-18
KR102577847B1 KR102577847B1 (ko) 2023-09-14

Family

ID=84234547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210060877A Active KR102577847B1 (ko) 2021-05-11 2021-05-11 레이저 간섭계를 이용한 측정장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102577847B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20250145422A (ko) 2024-03-28 2025-10-13 포항공과대학교 산학협력단 라이다 장치 및 이를 이용한 거리 계산 방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6964113B2 (en) * 2001-03-06 2005-11-15 Faro Laser Trackers, Llc Scale-bar artifact and methods of use
CN207610681U (zh) * 2017-12-20 2018-07-13 四川航天计量测试研究所 一种校准坐标测量机用激光尺
JP6474335B2 (ja) * 2015-07-31 2019-02-27 Ｊｆｅプラントエンジ株式会社 ロール間相対位置測定方法
JP2019105614A (ja) * 2017-12-14 2019-06-27 株式会社ミツトヨ 空間精度補正方法、及び空間精度補正装置
CN110422199A (zh) * 2019-07-12 2019-11-08 大连理工大学 尖轨纵向爬行及密贴间隙一体化实时测量方法
KR102115580B1 (ko) 2019-10-11 2020-05-26 김재동 휴대형 각도 측정기

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6964113B2 (en) * 2001-03-06 2005-11-15 Faro Laser Trackers, Llc Scale-bar artifact and methods of use
JP6474335B2 (ja) * 2015-07-31 2019-02-27 Ｊｆｅプラントエンジ株式会社 ロール間相対位置測定方法
JP2019105614A (ja) * 2017-12-14 2019-06-27 株式会社ミツトヨ 空間精度補正方法、及び空間精度補正装置
CN207610681U (zh) * 2017-12-20 2018-07-13 四川航天计量测试研究所 一种校准坐标测量机用激光尺
CN110422199A (zh) * 2019-07-12 2019-11-08 大连理工大学 尖轨纵向爬行及密贴间隙一体化实时测量方法
KR102115580B1 (ko) 2019-10-11 2020-05-26 김재동 휴대형 각도 측정기

Also Published As

Publication number Publication date
KR102577847B1 (ko) 2023-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006205256A (ja) ワークの曲げ角度検出装置およびワークの曲げ加工機
TW202035083A (zh) 校正軸運動的方法
US11774227B2 (en) Inspection gauge for coordinate measuring apparatus and abnormality determination method
CN107687809B (zh) 基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法及装置
KR20220153371A (ko) 레이저 간섭계를 이용한 측정장치
US7440089B2 (en) Method of measuring decentering of lens
JP6087483B1 (ja) レーザ加工機、補正値算出装置及びプログラム
JP4298698B2 (ja) ３次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム及び方法
CN103258769B (zh) 用于将加工工具相对于工件定位的装置和方法
CN113624136B (zh) 零件检测设备和零件检测设备标定方法
JP2015199104A (ja) 曲げ加工システム、ｖ溝位置測定装置及び曲げ加工方法
CN209085582U (zh) 一种产品外形检测装置
US11867630B1 (en) Fixture and method for optical alignment in a system for measuring a surface in contoured glass sheets
WO2020105218A1 (ja) 測定方法
Chekh et al. Extrinsic calibration and kinematic modelling of a laser line triangulation sensor integrated in an intelligent fixture with 3 degrees of freedom
WO2017094408A1 (ja) レーザ加工機、算出装置、及びワークの加工方法
US20060271332A1 (en) Method for calibrating a non-contact sensor using a robot
KR20180078525A (ko) 3차원 가공면 치수 동시 측정 방법
KR101657546B1 (ko) 로봇과 변위센서 간 캘리브레이션 장치 및 이를 이용한 캘리브레이션 방법
EP2754992A1 (en) Optical profilometer
CN118857208B (zh) 检测设备
Kimura et al. 3280 Analysis of Measurement Errors of a Diffuse-Reflection Type Laser Displacement Sensor for Profile Measurement
Wagner et al. Optical inspection of stator slots for electric motors
JP2006098201A (ja) 測定治具及び測定方法
JP2010044027A (ja) 厚さ測定装置および厚さ分布測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601