KR20240077100A - 약액 저장 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20240077100A
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Abstract

본 발명은 설비의 작동을 중단시키는 인터락 모드 이전에 약액을 배출시켜서 설비를 안정적으로 운영할 수 있게 하는 약액 저장 장치 및 방법에 관한 것으로서, 약액을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간이 형성되는 탱크 몸체; 및 상기 탱크 몸체에 설치되고, 상기 수용 공간에 수용된 상기 약액이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액을 흡입하여 배출하는 사이펀 배관;을 포함할 수 있다.

Description

약액 저장 장치 및 방법{Apparatus and method for storing chemical}
본 발명은 약액 저장 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 설비의 작동을 중단시키는 인터락 모드 이전에 약액을 배출시켜서 설비를 안정적으로 운영할 수 있게 하는 약액 저장 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 공정은 수많은 종류의 약액이 사용되는 공정으로서, 이러한 약액들을 수용하기 위하여 약액을 수용할 수 있는 수용 공간이 형성된 약액 저장용 탱크가 널리 사용되고 있다.
이러한 종래의 약액 저장용 탱크는 외부로부터 약액을 공급받을 때, 적절한 수위를 유지할 수 있도록 레벨 센서(Level Sensor)를 이용하여 수위가 제어될 수 있다.
만약, 특정한 상황에 의하여 정해진 양보다 많은 양의 약액이 과다로 투입되는 경우, 자칫 탱크가 폭발하여 환경에 유해하거나 인체에 유해한 약액들이 노출될 위험이 있기 때문에 한계 수위에는 인터락 레벨 센서를 설치할 수 있다.
따라서, 만약 약액이 한계 수위인 인터락 레벨 센서의 위치에 도달되면 인터락 레벨 센서로부터 수위 이상 신호를 인가받은 메인 제어부는 설비의 모든 동작을 멈추는 비상 상황으로 돌입할 수 있다.
이 때, 사용자는 설비의 인터락 비상 정지 상태를 인지하고 복구 작업을 진행해야 하는데, 비상 상황에서는 설비의 모든 동작을 중단되어 어떤 조작도 불가능하기 때문에 사용자가 수작업으로 인터락 레벨 센서의 위치를 조정하여 설비에 대한 동작 정지 신호를 보내지 않게 하고, 이 후 설비에 다시 전원을 공급하여 설비를 제어하며, 모든 조치가 끝난 후 설비의 전원을 다시 내려서 인터락 레벨 센서의 위치를 복원시키는 번거로운 작업을 수행해야 했었다.
이 과정에서 작업자는 탱크의 덮개를 열어서 인터락 레벨 센서를 직접 조정을 해야 하기 때문에 약액에 직접적 노출되는 위험성이 있고, 설비의 전원 차단 및 복구 과정에서 많은 시간과 비용이 소모되어 설비 정지로 인한 생산량의 손실이 발생되는 등 많은 문제점들이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 무동력 방식의 사이펀 배관을 이용하여 설비의 작동을 중단시키는 인터락 모드 이전에 약액을 배출시켜서 설비를 안정적으로 운영할 수 있게 하는 약액 저장 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 약액 저장 장치는, 약액을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간이 형성되는 탱크 몸체; 및 상기 탱크 몸체에 설치되고, 상기 수용 공간에 수용된 상기 약액이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액을 흡입하여 배출하는 사이펀 배관;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 사이펀 배관은, 상기 약액의 수위 보다 더 높은 곳으로 상기 약액을 흡입하여 상기 수위 보다 더 낮은 곳으로 흐르게 할 수 있도록 선단에 아래로 굽어진 꼭지부가 형성되고, 상기 꼭지부와 연결되는 상부에는 피크부가 형성되며, 하부에 상기 피크부로부터 하방으로 연장되어 상기 꼭지부 보다 길게 형성된 배출부가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 사이펀 배관의 상기 피크부의 높이는, 상기 약액의 공급 과다시 설비의 동작을 정지시키는 인터락 레벨 센서가 설치되는 높이 보다 낮은 높이에 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단 높이는, 상기 약액의 상한 레벨 센서가 설치되는 높이 이하에 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단 높이는, 상기 사이펀 효과에 의해 흡입되는 상기 약액의 양에 따라 상기 약액의 예상 잔류 수위의 높이에 맞추어 설치될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 사이펀 배관의 상기 배출부는 드레인된 상기 약액을 보관하는 드레인 탱크 또는 상기 드레인 탱크와 연결된 드레인 라인에 연결될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 약액 저장 방법은, 약액을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간이 형성되는 탱크 몸체 및 상기 탱크 몸체에 설치되고, 상기 수용 공간에 수용된 상기 약액이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액을 배출하는 사이펀 배관을 포함하고, 상기 사이펀 배관은, 상기 약액의 수위 보다 더 높은 곳으로 상기 약액을 흡입하여 상기 수위 보다 더 낮은 곳으로 흐르게 할 수 있도록 선단에 아래로 굽어진 꼭지부가 형성되고, 상기 꼭지부와 연결되는 상부에는 피크부가 형성되며, 하부에 상기 피크부로부터 하방으로 연장되어 상기 꼭지부 보다 길게 형성된 배출부가 형성되는 약액 저장 장치를 이용한 약액 저장 방법은, (a) 상기 탱크 몸체의 상기 수용 공간에 상기 약액을 수용하는 단계; (b) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부가 잠길 정도까지 높아지는 단계; (c) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 피크부 보다 높아지면 상기 사이펀 효과에 의해서 상기 약액이 상기 사이펀 배관에 흡입되어 상기 사이펀 배관의 상기 배출부로 자연 배출되는 단계; 및 (d) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부 하단의 높이까지 낮아지면 상기 사이펀 효과가 중단되어 상기 사이펀 배관에 의해 상기 약액의 배출이 중단되는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (c) 단계에서, 상기 약액의 수위가 상기 약액의 공급 과다시 설비의 동작을 정지시키는 인터락 레벨 센서가 설치되는 높이 보다 낮은 높이에서 상기 사이펀 효과에 의해 상기 약액이 자연 배출될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (a) 단계 이전에, (e) 상기 사이펀 효과에 의해 대부분의 상기 약액을 배출시키는 경우, 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단을 상기 탱크 몸체의 바닥면에 가깝게 형성하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 (d) 단계 이후에, (f) 상기 사이펀 배관의 상기 배출부는 드레인된 상기 약액을 보관하는 드레인 탱크 또는 상기 드레인 탱크와 연결된 드레인 라인에 상기 약액을 배출하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 여러 실시예들에 따르면, 무동력 방식의 사이펀 배관을 이용하여 설비의 작동을 중단시키는 인터락 모드 이전에 약액을 배출시켜서 설비를 안정적으로 운영할 수 있고, 하방으로 절곡된 사이펀 배관의 꼭지부를 이용하여 꼭지부가 약액에 잠겨있는 경우, 사이펀 배관으로부터 유입되는 외부 공기를 차단할 수 있으며, 약액의 과다 투입시 대부분의 약액을 모두 배출시키는 등 꼭지부의 길이를 조정하여 사이펀 배관이 작동되면 배출될 약액의 양을 조절할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 6은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 장치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 방법을 나타내는 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치(100)를 나타내는 단면도이다.
도 1 에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치(100)는, 반도체 공정에서 사용되는 DIW나 IPA 등의 다양한 세정액이나 린스액이나 또는 에칭액이나 케미컬 등 다양한 종류의 약액들 중 어느 하나의 약액(1)을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간(A)이 형성되는 탱크 몸체(10) 및 탱크 몸체(10)에 설치되고, 수용 공간(A)에 수용된 약액(1)이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액(1)을 흡입하여 배출하는 사이펀 배관(20)을 포함할 수 있다.
탱크 몸체(10)는 원통형이나 다각통 형상일 수 있고, 상부에는 약액 보충 라인(2)이 연결되어 부족한 약액(1)을 공급받을 수 있으며, 하부에는 밸브(V)에 의해 개폐되는 약액 토출 라인(3)이 연결되어 노즐(미도시) 등의 필요한 곳에 약액(1)을 공급할 수 있다.
예컨대, 사이펀 배관(20)은, 약액(1)의 수위 보다 더 높은 곳으로 상기 약액(1)을 흡입하여 상기 수위 보다 더 낮은 곳으로 흐르게 할 수 있도록 전체적으로 2회 절곡된 배관일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 사이펀 배관(20)은, 수직 형태로 선단에 아래로 굽어진 형상으로 형성되는 꼭지부(21)와, 꼭지부(21)의 상부에 연결되어 수평 형태로 형성되는 피크부(22) 및 피크부(22)와 연결되어 피크부(22)로부터 하방으로 연장되고, 꼭지부(21) 보다 길게 수직 형태로 형성되는 배출부(23)를 포함할 수 있다.
이러한, 사이펀 배관(20)의 형태는 도면에서는 꼭지부(21)와 피크부(22) 및 배출부(23)가 각각 직선형 형상이고, 이들이 직각으로 연결된 형상으로 예시되어 있지만, 이외에도 전체적으로 곡선을 이루는 S자 형태로 절곡된 절곡관이 적용될 수 있다.
즉, 사이펀 배관(20)은 꼭지부(21)를 통해 유입되어 피크부(22)를 넘는 약액(1)이 배출부(23)로 낙하되면서 후방에 음압이 발생되어 이로 인해 연달아 뒤따라 오는 약액(1)을 자연적으로 연달아 지속하여 흐를 수 있게 하는 사이펀 효과를 이용하는 것으로서, 이러한 사이펀 효과는 약액(1)의 수위가 꼭지부(21)의 하단 높이(H4)(H5)와 동일해질 때까지 무동력으로 이루어질 수 있다.
사이펀 배관(20)의 피크부(22)의 최저 높이(H2)는, 약액(1)의 공급 과다시 폭발 등을 방지하기 위해서 설비의 동작을 인터락(Interlock) 상태로 비상 정지시키는 인터락 레벨 센서(S1)가 설치되는 높이(H1) 보다 낮은 높이에 설치될 수 있다.
따라서, 약액(1)의 수위가 인터락 레벨 센서(S1)가 설치되는 높이(H1)에 도달되기 이전에 약액(1)이 사이펀 배관(20)의 피크부(22)를 따라 배출부(23)로 낙하될 수 있다.
이 때, 한번 이러한 사이펀 효과가 발생되면, 약액(1)의 수위가 꼭지부(21)의 하단 높이(H4)(H5)와 동일해질 때까지 무동력으로 연속하여 이루어질 수 있고, 결국 약액(1)의 수위는 약액(1)의 수위가 꼭지부(21)의 하단 높이(H4)(H5)와 동일해 질 수 있다.
여기서, 탱크 몸체(10)에는 인터락 레벨 센서(S1) 이외에도, 위에서부터 아래 방향으로 상한 레벨 센서(S2), 중간 레벨 센서(S3), 하한 레벨 센서(S4) 및 저수위 알림 센서(S5) 등이 설치될 수 있다.
예컨대, 상한 레벨 센서(S2)는 약액(1)을 더 이상 보충하지 않아도 되는 상한 수위를 감지할 수 있고, 중간 레벨 센서(S3)는 약액(1)의 보충이 필요한 보충 수위를 감지할 수 있으며, 하한 레벨 센서(S4)는 약액(1)의 배출이 어려운 하한 수위를 감지할 수 있고, 저수위 알림 센서(S5)는 약액(1)이 모두 소진된 상태인 저수위 알림 수위를 감지할 수 있다.
그러나, 이러한 레벨 센서들은 이에 반드시 국한되지 않는 것으로서, 매우 다양한 개수와 매우 다양한 형태의 레벨 센서들이 적용될 수 있다.
사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)의 하단 높이(H4)는, 약액(1)의 상한 레벨 센서(S2)가 설치되는 높이(H3) 이하에 설치될 수 있다.
따라서, 일단 사이펀 효과가 발생되면 사이펀 배관(20)이 약액(1)을 더 이상 보충하지 않아도 되는 상한 수위 이하까지 약액(1)을 배출시킬 수 있게 할 수 있다.
사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)의 하단 높이(H4)는, 사이펀 효과에 의해 흡입되는 약액(1)의 양에 따라 도 1 및 도 4의 약액(1)의 예상 잔류 수위의 높이(H5)에 맞추어 설치될 수 있다.
사이펀 배관(20)의 배출부(23)는 드레인된 상기 약액(1)을 보관하는 드레인 탱크(DT) 또는 상기 드레인 탱크(DT)와 연결된 드레인 라인(DL)에 연결될 수 있다.
여기서, 드레인 탱크(DT)는 각종 탱크나 배관에서 배출되는 배출액을 한군데로 수거하여 방출할 수 있도록 설치되는 수거용 탱크일 수 있다.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치(100)의 작동 과정을 단계적으로 나타내는 단면도들이다.
도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 장치(100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 탱크 몸체(10)의 수용 공간(A)에 약액(1)을 수용하는 동안, 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)가 잠길 정도까지 높아질 수 있다.
이어서, 도 3에 도시된 바와 같이, 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 피크부(22) 보다 높아지면 사이펀 효과에 의해서 약액(1)이 사이펀 배관(20)에 흡입되어 사이펀 배관(20)의 배출부(23)로 무동력 자연 배출될 수 있다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이, 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21) 하단의 높이까지 낮아지면 사이펀 효과가 중단되어 사이펀 배관(20)에 의해 약액(1)의 배출이 중단될 수 있다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 약액(1)의 수위는 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)의 상단과 하단 사이에서 오르내리는 것으로서, 하방으로 절곡된 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)를 이용하여 꼭지부(21)가 약액에 잠겨있는 경우, 사이펀 배관(20)으로부터 유입되는 외부 공기를 차단할 수 있다.
따라서, 별도의 동력이나 제어부라 없더라도 탱크 몸체(10)의 수용 공간(A)에 약액(1)을 수용하는 동안, 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)가 잠길 정도까지 높아져서 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 피크부(22) 보다 높아지면 사이펀 효과에 의해서 약액(1)이 사이펀 배관(20)에 흡입되어 사이펀 배관(20)의 배출부(23)로 무동력 자연 배출될 수 있고, 약액(1)의 수위가 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21) 하단의 높이까지 낮아지면 사이펀 효과가 중단되어 사이펀 배관(20)에 의해 약액(1)의 배출이 중단되는 일련의 과정이 자연적으로 작동될 수 있다.
그러므로, 무동력 방식의 사이펀 배관(20)을 이용하여 설비의 작동을 중단시키는 인터락 모드 이전에 약액(1)을 배출시켜서 설비를 안정적으로 운영할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 장치(200)를 나타내는 단면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 장치(200)의 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)는, 도 5의 길이(L1)와 같이 짧게 형성하는 것도 가능하나 꼭지부(21)의 길이(L2)를 길게 형성하여 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)의 하단을 탱크 몸체(10)의 바닥면(B)에 가까운 높이(H6)까지 형성할 수 있다.
따라서, 약액(1)이 비교적 저렴하고, 한번 이상이 발생되면 모두 폐기시켜야 하는 경우, 즉, 사이펀 배관(20)의 꼭지부(21)의 하단을 탱크 몸체(10)의 바닥면(B)에 가까운 높이(H6)까지 형성하여 사이펀 효과에 의해 대부분의 약액(1)을 배출시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 방법을 나타내는 순서도이다.
도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 약액 저장 방법은, 상술된 약액 저장 장치(100)를 이용한 약액 저장 방법으로서, (a) 상기 탱크 몸체(10)의 상기 수용 공간(A)에 상기 약액(1)을 수용하는 단계와, (b) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 꼭지부(21)가 잠길 정도까지 높아지는 단계와, (c) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 피크부(22) 보다 높아지면 상기 사이펀 효과에 의해서 상기 약액(1)이 상기 사이펀 배관(20)에 흡입되어 상기 사이펀 배관(20)의 상기 배출부(23)로 자연 배출되는 단계와, (d) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 꼭지부(21) 하단의 높이까지 낮아지면 상기 사이펀 효과가 중단되어 상기 사이펀 배관(20)에 의해 상기 약액(1)의 배출이 중단되는 단계 및 (f) 상기 사이펀 배관(20)의 상기 배출부(23)는 드레인된 상기 약액(1)을 보관하는 드레인 탱크(DT) 또는 상기 드레인 탱크(DT)와 연결된 드레인 라인(DL)에 상기 약액(1)을 배출하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 (c) 단계에서, 상기 약액(1)의 수위가 상기 약액(1)의 공급 과다시 설비의 동작을 정지시키는 인터락 레벨 센서(S1)가 설치되는 높이(H1) 보다 낮은 높이에서 상기 사이펀 효과에 의해 상기 약액이 자연 배출될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 방법을 나타내는 순서도이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 약액 저장 방법은, (e) 상기 사이펀 효과에 의해 대부분의 상기 약액(1)을 배출시키는 경우, 상기 사이펀 배관(20)의 상기 꼭지부(21)의 하단을 상기 탱크 몸체(10)의 바닥면(B)에 가까운 높이(H6) 까지 형성하는 단계와, (a) 상기 탱크 몸체(10)의 상기 수용 공간(A)에 상기 약액(1)을 수용하는 단계와, (b) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 꼭지부(21)가 잠길 정도까지 높아지는 단계와, (c) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 피크부(22) 보다 높아지면 상기 사이펀 효과에 의해서 상기 약액(1)이 상기 사이펀 배관(20)에 흡입되어 상기 사이펀 배관(20)의 상기 배출부(23)로 자연 배출되는 단계와, (d) 상기 약액(1)의 수위가 상기 사이펀 배관(20)의 상기 꼭지부(21) 하단의 높이까지 낮아지면 상기 사이펀 효과가 중단되어 상기 사이펀 배관(20)에 의해 상기 약액(1)의 배출이 중단되는 단계 및 (f) 상기 사이펀 배관(20)의 상기 배출부(23)는 드레인된 상기 약액(1)을 보관하는 드레인 탱크(DT) 또는 상기 드레인 탱크(DT)와 연결된 드레인 라인(DL)에 상기 약액(1)을 배출하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 약액
2: 약액 보충 라인
3: 약액 토출 라인
V: 밸브
10: 탱크 몸체
A: 수용 공간
20:사이펀 배관
21: 꼭지부
22: 피크부
23: 배출부
S1: 인터락 레벨 센서
S2: 상한 레벨 센서
S3: 중간 레벨 센서
S4: 하한 레벨 센서
S5: 저수위 알림 센서
DT: 드레인 탱크
DL: 드레인 라인
H1~H6: 높이
B: 바닥면
100: 약액 저장 장치

Claims (10)

  1. 약액을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간이 형성되는 탱크 몸체; 및
    상기 탱크 몸체에 설치되고, 상기 수용 공간에 수용된 상기 약액이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액을 흡입하여 배출하는 사이펀 배관;
    을 포함하는, 약액 저장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 사이펀 배관은,
    상기 약액의 수위 보다 더 높은 곳으로 상기 약액을 흡입하여 상기 수위 보다 더 낮은 곳으로 흐르게 할 수 있도록 선단에 아래로 굽어진 꼭지부가 형성되고, 상기 꼭지부와 연결되는 상부에는 피크부가 형성되며, 하부에 상기 피크부로부터 하방으로 연장되어 상기 꼭지부 보다 길게 형성된 배출부가 형성되는, 약액 저장 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 사이펀 배관의 상기 피크부의 높이는, 상기 약액의 공급 과다시 설비의 동작을 정지시키는 인터락 레벨 센서가 설치되는 높이 보다 낮은 높이에 설치되는, 약액 저장 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단 높이는, 상기 약액의 상한 레벨 센서가 설치되는 높이 이하에 설치되는, 약액 저장 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단 높이는, 상기 사이펀 효과에 의해 흡입되는 상기 약액의 양에 따라 상기 약액의 예상 잔류 수위의 높이에 맞추어 설치되는, 약액 저장 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 사이펀 배관의 상기 배출부는 드레인된 상기 약액을 보관하는 드레인 탱크 또는 상기 드레인 탱크와 연결된 드레인 라인에 연결되는, 약액 저장 장치.
  7. 약액을 수용할 수 있도록 내부에 수용 공간이 형성되는 탱크 몸체 및 상기 탱크 몸체에 설치되고, 상기 수용 공간에 수용된 상기 약액이 일정한 수위에 도달되면 사이펀 효과를 이용하여 무동력으로 상기 약액을 배출하는 사이펀 배관을 포함하고, 상기 사이펀 배관은, 상기 약액의 수위 보다 더 높은 곳으로 상기 약액을 흡입하여 상기 수위 보다 더 낮은 곳으로 흐르게 할 수 있도록 선단에 아래로 굽어진 꼭지부가 형성되고, 상기 꼭지부와 연결되는 상부에는 피크부가 형성되며, 하부에 상기 피크부로부터 하방으로 연장되어 상기 꼭지부 보다 길게 형성된 배출부가 형성되는 약액 저장 장치를 이용한 약액 저장 방법은,
    (a) 상기 탱크 몸체의 상기 수용 공간에 상기 약액을 수용하는 단계;
    (b) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부가 잠길 정도까지 높아지는 단계;
    (c) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 피크부 보다 높아지면 상기 사이펀 효과에 의해서 상기 약액이 상기 사이펀 배관에 흡입되어 상기 사이펀 배관의 상기 배출부로 자연 배출되는 단계; 및
    (d) 상기 약액의 수위가 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부 하단의 높이까지 낮아지면 상기 사이펀 효과가 중단되어 상기 사이펀 배관에 의해 상기 약액의 배출이 중단되는 단계;
    를 포함하는, 약액 저장 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 (c) 단계에서,
    상기 약액의 수위가 상기 약액의 공급 과다시 설비의 동작을 정지시키는 인터락 레벨 센서가 설치되는 높이 보다 낮은 높이에서 상기 사이펀 효과에 의해 상기 약액이 자연 배출되는, 약액 저장 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 (a) 단계 이전에,
    (e) 상기 사이펀 효과에 의해 대부분의 상기 약액을 배출시키는 경우, 상기 사이펀 배관의 상기 꼭지부의 하단을 상기 탱크 몸체의 바닥면에 가깝게 형성하는 단계;
    를 더 포함하는, 약액 저장 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 (d) 단계 이후에,
    (f) 상기 사이펀 배관의 상기 배출부는 드레인된 상기 약액을 보관하는 드레인 탱크 또는 상기 드레인 탱크와 연결된 드레인 라인에 상기 약액을 배출하는 단계;
    를 더 포함하는, 약액 저장 방법.
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