KR970051802A - 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법 - Google Patents

배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970051802A
KR970051802A KR1019950046903A KR19950046903A KR970051802A KR 970051802 A KR970051802 A KR 970051802A KR 1019950046903 A KR1019950046903 A KR 1019950046903A KR 19950046903 A KR19950046903 A KR 19950046903A KR 970051802 A KR970051802 A KR 970051802A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
exhaust
inflow
exhaust treatment
valve
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1019950046903A
Other languages
English (en)
Inventor
박준식
김덕중
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019950046903A priority Critical patent/KR970051802A/ko
Publication of KR970051802A publication Critical patent/KR970051802A/ko
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment

Abstract

본 발명은 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 배기물 처리장치는 배기물 발생원에 상기 배기물 발생원에 유입되는 유입물에 따라 자동적으로 해당 유입물의 배기물을 조절할 수 있는 수단을 구비한다. 상기 수단은 상기 배기물 발생원과 병렬로 연결된 복수개의 배기물 조절 밸브와 상기 각 배기물 조절 밸브에 직렬로 연결된 배기 개폐용 밸브를 구비한다. 본 발명에 의한 배기물 처리장치는 배기 개폐용 밸브 구동을 위한 별도의 시스템이 필요하지 않으며, 배기물질 발생원(예컨대, 반응챔버)에 유입되는 물질(가스)의 유입밸브가 설치된 공급라인에 배기 개폐용 밸브가 함께 설치되어 있고, 자동화된 배기물 처리장치의 구성이 간단하고 고나리가 쉬워 매우 경제적이다. 이와 같은 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법은 배기물의 가변이 용이하고 민감하여 안정적인 공정진행과 품질향상을 기할 수 있다.

Description

배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체 장치의 배기물 처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 배기물 처리장치를 나타낸 도면이다.

Claims (8)

  1. 하나의 배기물 발생원에 하나의 배기물 조절용 밸브를 구비하는 배기물 처리장치에 있어서, 상기 배기물 발생원에는 상기 배기물 발생원에 유입되는 유입물에 따라 자동적으로 해당 유입물의 배기물을 조절할 수 있는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 배기물 처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배기물 발생원은 반응 챔버인 것을 특징으로 하는 배기물 처리장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 수단은 상기 배기물 발생원에 병렬로 연결된 복수개의 배기물 조절밸브와 상기 각 배기물 조절밸브에 직렬로 연결된 배기 개폐용 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 배기물 처리장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 배기물은 가스성 물질인 것을 특징으로 하는 배기물 처리장치.
  5. 배기물질 발생원으로부터 배기물질을 배출시키기 위하여 배기물질 발생원에 하나의 배기물 조절용 밸브를 직렬로 연결하는 반도체장치의 배기물 처리방법에 있어서, 상기 배기물 발생원에 유입되는 유입물에 따라 자동적으로 해당 유입물의 배기물을 조절하는 수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 배기물 처리방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 수단으로는 상기 배기물 발생원에 병렬로 연결된 복수개의 배기물 조절용 밸브와 상기 각 배기물 조절용 밸브에 직렬로 연결된 배기 개폐용 밸브를 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 배기물 처리방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 배기 개폐용 밸브는 상기 배기물 발생원에 유입되는 유입물 공급라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 배기물 처리방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 배기 개폐용 밸브는 상기 유입물 공급라인에 설치된 유입밸브의 동작에 따라 자동적으로 개폐되는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 배기물 처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950046903A 1995-12-05 1995-12-05 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법 Withdrawn KR970051802A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950046903A KR970051802A (ko) 1995-12-05 1995-12-05 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950046903A KR970051802A (ko) 1995-12-05 1995-12-05 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970051802A true KR970051802A (ko) 1997-07-29

Family

ID=66593676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950046903A Withdrawn KR970051802A (ko) 1995-12-05 1995-12-05 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970051802A (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100434493B1 (ko) * 2001-10-05 2004-06-05 삼성전자주식회사 원자층 증착 장치 및 그 구동 방법
US20130237063A1 (en) * 2012-03-09 2013-09-12 Seshasayee Varadarajan Split pumping method, apparatus, and system

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100434493B1 (ko) * 2001-10-05 2004-06-05 삼성전자주식회사 원자층 증착 장치 및 그 구동 방법
US20130237063A1 (en) * 2012-03-09 2013-09-12 Seshasayee Varadarajan Split pumping method, apparatus, and system
WO2013134151A1 (en) * 2012-03-09 2013-09-12 Novellus Systems, Inc. Split pumping method, apparatus, and system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW337545B (en) Close and open device for fluids (1)
ES2140850T3 (es) Sistema de alimentacion de combustible.
DE3575990D1 (de) Anordnung in einer vorrichtung zur verbrennung von abgasen.
ATE165148T1 (de) Regenerativer veraschungsofen
NO20012195L (no) Anordning for behandling av en blanding av gass og v¶ske
MX9504033A (es) Una camara de fumigacion.
SE9002324D0 (sv) Vorrichtung zur befoerderung von material zwischen raeumen unterschiedlichen drucks und verfahren zum betrieb dieser vorrichtung
KR970051802A (ko) 배기물 처리장치 및 이 장치를 이용하는 반도체장치의 배기물 처리방법
ATE302648T1 (de) Vorrichtung zum behandeln von partikelförmigen gut
KR970701923A (ko) 질소가스 공급시스템(nitrogen gas supply system)
ATE112037T1 (de) Anordnung und verfahren zum steuern des wassermengendurchlaufverhältnisses von kesselkreislauf zu heizkreislauf in warmwasserheizungsanlagen.
NO971271L (no) Apparat for behandling av fluidprodukt ved injeksjon av damp og det fluide produktet
JP2000146096A (ja) 極高真空チャンバへの微量ガス導入機構
JPS56151346A (en) Rapid changing device for fluid temperature
ATE187597T1 (de) Vorrichtung zu zuführung von futter
KR960015714A (ko) Mbe장치 및 mbe방법
SE8603887L (sv) Regulatorventil och dubbelverkande ventilanordning, som innehaller en dylik ventil
EP1321042A3 (de) Räucheranlage
KR950001117A (ko) 유압 조절장치
ATE6679T1 (de) Vorrichtung mit mehreren wasserzulaufwegen und apparat, wie z.b. waschmaschine, mit dieser vorrichtung.
KR920005268A (ko) 기판처리 방법 및 기판 처리 장치
SU1287891A1 (ru) Способ пожаровзрывопредупреждени в замкнутом объеме
JPS643410A (en) Prevention of generation of white smoke of exhaust gas
SE8201515L (sv) Gasgenerator
DE69820157D1 (de) Verfahren zum Schliessen der Gasversorgung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

PC1203 Withdrawal of no request for examination

St.27 status event code: N-1-6-B10-B12-nap-PC1203

WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid
PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

PN2301 Change of applicant

St.27 status event code: A-3-3-R10-R13-asn-PN2301

St.27 status event code: A-3-3-R10-R11-asn-PN2301

R18-X000 Changes to party contact information recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R18-oth-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-2-2-P10-P22-nap-X000

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-2-2-P10-P22-nap-X000