KR970077380A - 실리콘 카바이드 소자 접합 방법 - Google Patents

실리콘 카바이드 소자 접합 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR970077380A
KR970077380A KR1019970016031A KR19970016031A KR970077380A KR 970077380 A KR970077380 A KR 970077380A KR 1019970016031 A KR1019970016031 A KR 1019970016031A KR 19970016031 A KR19970016031 A KR 19970016031A KR 970077380 A KR970077380 A KR 970077380A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
silicon
joint member
male
silicon carbide
female joint
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1019970016031A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100239075B1 (ko
Inventor
지텐드라 에스. 겔라
리 이. 번즈
Original Assignee
제럴드 케이. 화이트
씨브이디, 인코오포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 제럴드 케이. 화이트, 씨브이디, 인코오포레이티드 filed Critical 제럴드 케이. 화이트
Publication of KR970077380A publication Critical patent/KR970077380A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100239075B1 publication Critical patent/KR100239075B1/ko
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/003—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
    • C04B37/005—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts consisting of glass or ceramic material
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W95/00—Packaging processes not covered by the other groups of this subclass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
    • B23K1/19—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering taking account of the properties of the materials to be soldered
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
    • C04B2235/6586—Processes characterised by the flow of gas
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/04—Ceramic interlayers
    • C04B2237/08—Non-oxidic interlayers
    • C04B2237/083—Carbide interlayers, e.g. silicon carbide interlayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/16—Silicon interlayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32—Ceramic
    • C04B2237/36—Non-oxidic
    • C04B2237/365—Silicon carbide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/70—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
    • C04B2237/708—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the interlayers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/72—Forming laminates or joined articles comprising at least two interlayers directly next to each other
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/84—Joining of a first substrate with a second substrate at least partially inside the first substrate, where the bonding area is at the inside of the first substrate, e.g. one tube inside another tube
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/88—Joining of two substrates, where a substantial part of the joining material is present outside of the joint, leading to an outside joining of the joint

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 제1실리콘 카바이드 부품을 제2실리콘 카바이드 부품에 접합하는 방법을 개시하고 있다. 제1실리콘 카바이드 부품은 수납용 암 죠인트 부재를 제공하고 제2실리콘 카바이드 부품은 삽입용 수 죠인트 부재를 제공한다. 암수 부재는 각각 수 부재가 암 부재에 삽입되는 방향에 거의 평행한 대향 측벽을 구비하다. 수 죠인트 부재와 암 죠인트 부재는 그 죠인트 부재들의 대향 측벽 사이에 약 0.003인치(0.76mm)까지의 평균 간극(들)을 제공하도록 형성된다. 또한, 암 죠인트 부재는 수 죠인트 부재가 암 죠인트 부재내에 완전히 삽입될 때 실리콘이 수용되는 저장 수단을 구비하며, 그 저장 수단은 간극(들)과 유체 연통된다. 저장 수단에는 고체 상태, 즉 분말 형태의 실리콘이 충전된다. 수 죠인트 부재는 암 죠인트 부재속에 삽입되고, 제1 및 제2실리콘 카바이드 부품은 실리콘이 용융되기에 충분한 시간 동안 실리콘의 융점 이상으로 가열되며, 용융된 실리콘은 모세관 작용에 의해 수 죠인트 부재와 암 죠인트 부재의 대향 측벽 사이의 간극(들)속으로 들어간다. 조립된 부품에 대한 후속의 냉각 단계에서 실리콘을 응고시키며, 이에 따라 응고된 실리콘이 수 죠인트 부재와 암 죠인트 부재의 대향 측벽 사이에 접합부를 형성함으로써 죠인트가 암수 부재 사이에 고정된다.

Description

실리콘 카바이드 소자 접합 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 (수) 원통형 로드와 (암)일단 구멍과의 사이에 형성된 암/수 죠인트의 단면도.

Claims (4)

  1. 제1실리콘 카바이드 부품을 제2실리콘 카바이드 부품에 접합하는 접합방법으로서, 상기 제1실리콘 카바이드 부품에 수납용 암 죠인트 부재를 마련하는 단계 미체; 상기 제2실리콘 카바이드 부품에 삽입용 수 죠인트 부재를 마련하는 단계를 포함하며, 상기 암수 죠인트 부재는 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재에 삽입될 방향에 거의 평행한 대향 측벽을 각기 구비하고, 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 삽입될 때 상기 대향 측벽 사이의 간극(들)이 평균 약 0.003인치(0.76mm)에 이르도록 형성되고, 상기 암 죠인트 부재는 고화 상태의 실리콘을 수납하는 저장 수단을 구비하는 동시에 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 완전히 삽입될 수 있게 하고, 상기 저장 수단은 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 삽입될 때 상기 간극(들)과 유체 연통되며, 상기 저장 수단에 고체 상태의 실리콘을 공급하는 단계; 상기 암 죠인트 부재속에 상기 수 죠인트 부재를 삽입하는 단계; 상기 제1실리콘 카바이드 부품 및 제2실리콘 카바이드 부품을 상기 실리콘이 용융될 정도로 충분한 시간동안 실리콘의 융점 이상으로 가열하고, 용융된 실리콘 및/또는 실리콘 증기를 상기 암수 죠인트 부재의 상기 대향 측벽 사이의 상기 간극(들)에 유입시키는 단계 및; 후속하여 상기 제1부품 및 제2부품을 냉각하여 상기 실리콘을 응고시키며, 이에 따라 응고된 실리콘이 상기 암수 죠인트 부재의 상기 대향 측벽 사이에 접합부를 형성함으로써 상기 암수 죠인트 부재 사이에 죠인트를 고정하는 단계를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1실리콘 카바이드 부품 및 제2실리콘 카바이드 부품은 화학 증착에 의해 증착된 실리콘 카바이드로 형성되는 것을 특징으로 하는 접합 방법.
  3. 제1실리콘 카바이드 부품을 제2실리콘 카바이드 부품에 접합하는 접합 방법으로서, 상기 제1실리콘 카바이드 부품에 수납용 암 죠인트 부재를 마련하는 단계 및; 상기 제2실리콘 카바이드 부품에 삽입용 수 죠인트 부재를 마련하는 단계를 포함하며; 상기 암수 죠인트 부재는 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재에 삽입될 방향에 거의 평행한 대향 측벽을 각각 구비하고, 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 삽입될 때 상기 대향 측벽 사이의 간극(들)이 평균 약 0.003인치(0.76mm)에 이르도록 형성되고, 상기 암 죠인트 부재는 고화 상태의 실리콘을 수납하는 저장 수단을 구비하는 동시에 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 완전히 삽입될 수 있게 하고, 상기 저장 수단은 상기 수 죠인트 부재가 상기 암 죠인트 부재속에 삽입될 때 상기 간극(들)과 유체 연통되며, 상기 저장 수단에 고체 상태의 실리콘을 공급하는 단계; 상기 암 죠인트 부재속에 상기 수 죠인트 부재를 삽입하는 단계; 상기 제1실리콘 카바이드 부품 및 제2실리콘 카바이드 부품을 상기 실리콘이 용융될 정도로 충분한 시간동안 실리콘의 융점 이상으로 가열하고, 용융된 실리콘 및/또는 실리콘 증기를 상기 암수 죠인트 부재의 상기 대향 측벽 사이의 상기 간극(들)에 유입시키는 단계; 상기 암수 죠인트 부재 사이의 실리콘이 밀봉되도록 a) 상기 실리콘이 용융되기 전에 또는 b) 상기 실리콘이 용융됨과 동시에 또는 c) 상기 실리콘의 용융에 이어 상기 제1부품과 제2부품상에 상기 실리콘 카바이드의 피복을 화학 증기 증착하는 단계 및; 후속하여 상기 제1부품 및 제2부품을 냉각하여 상기 실리콘을 응고시키며, 이에 따라 응고된 실리콘이 상기 암수 죠인트 부재의 상기 대향 측벽 사이에 접합부를 형성함으로써 상기 암수 죠인트 부재 사이에 죠인트를 고정하는 단계를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 접합 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1실리콘 카바이드 부품 및 제2실리콘 카바이드 부품은 화학 증착에 의해 증착된 실리콘 카바이드로 형성되는 것을 특징으로 하는 접합 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970016031A 1996-05-03 1997-04-29 실리콘 카바이드 소자 접합 방법 Expired - Fee Related KR100239075B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/646,737 US5683028A (en) 1996-05-03 1996-05-03 Bonding of silicon carbide components
US8/646,737 1996-05-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR970077380A true KR970077380A (ko) 1997-12-12
KR100239075B1 KR100239075B1 (ko) 2000-01-15

Family

ID=24594265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970016031A Expired - Fee Related KR100239075B1 (ko) 1996-05-03 1997-04-29 실리콘 카바이드 소자 접합 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5683028A (ko)
EP (1) EP0804991A1 (ko)
JP (1) JP3092796B2 (ko)
KR (1) KR100239075B1 (ko)
TW (1) TW426639B (ko)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2749787B1 (fr) * 1996-06-12 1998-07-24 Commissariat Energie Atomique Procede d'assemblage a l'aide d'un joint epais de pieces en materiaux a base de sic par brasage refractaire et joint refractaire et epais ainsi obtenu
US6165301A (en) * 1997-02-12 2000-12-26 Battelle Memorial Institute Method of joining ceramics
WO1999029465A1 (en) * 1997-12-10 1999-06-17 Robert Paul Radtke Microwave brazing process and brazing composition for tsp diamond
JP2891978B1 (ja) * 1998-02-17 1999-05-17 日本ピラー工業株式会社 炭化珪素質構造体
US6228297B1 (en) * 1998-05-05 2001-05-08 Rohm And Haas Company Method for producing free-standing silicon carbide articles
US6464912B1 (en) 1999-01-06 2002-10-15 Cvd, Incorporated Method for producing near-net shape free standing articles by chemical vapor deposition
JP2001048667A (ja) 1999-08-13 2001-02-20 Asahi Glass Co Ltd セラミックス部品の接合方法
US7018947B2 (en) 2000-02-24 2006-03-28 Shipley Company, L.L.C. Low resistivity silicon carbide
US6939821B2 (en) * 2000-02-24 2005-09-06 Shipley Company, L.L.C. Low resistivity silicon carbide
EP1357098B1 (en) * 2001-02-01 2007-09-26 Asahi Glass Company Ltd. Joining methode for high-purity ceramic parts
US6811040B2 (en) * 2001-07-16 2004-11-02 Rohm And Haas Company Wafer holding apparatus
US8202621B2 (en) * 2001-09-22 2012-06-19 Rohm And Haas Company Opaque low resistivity silicon carbide
JP4064315B2 (ja) * 2003-08-20 2008-03-19 信越化学工業株式会社 誘導結合プラズマトーチ及び元素分析装置
FR2869609B1 (fr) * 2004-05-03 2006-07-28 Snecma Propulsion Solide Sa Procede de fabrication d'une piece en materiau composite thermostructural
DE102004044942A1 (de) * 2004-09-16 2006-03-30 Esk Ceramics Gmbh & Co. Kg Verfahren zum verformungsarmen Diffusionsschweißen von keramischen Komponenten
US20100032857A1 (en) * 2005-02-28 2010-02-11 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Ceramic components, coated structures and methods for making same
US20070103756A1 (en) * 2005-11-08 2007-05-10 Poco Graphite, Inc. System, method, and apparatus for conversion bonding of precursor subcomponents into a unitary monolith
TWI361469B (en) * 2007-03-09 2012-04-01 Rohm & Haas Elect Mat Chemical vapor deposited silicon carbide articles
JP2009051684A (ja) * 2007-08-24 2009-03-12 Bridgestone Corp 炭化ケイ素構造体及び炭化ケイ素構造体の製造方法
JP5000567B2 (ja) * 2008-03-31 2012-08-15 太平洋セメント株式会社 炭化珪素焼結体の接合方法
EP2963002A4 (en) * 2013-02-27 2016-10-26 Kyocera Corp CERAMICLY CONNECTED BODY AND CHANNEL BODY
US9428423B2 (en) * 2013-05-03 2016-08-30 Advanced Bonding Technologies, Inc. Self-bonding of chemically vapor deposited SiC articles
US9741685B2 (en) * 2015-08-07 2017-08-22 Lam Research Corporation Methods for directly bonding silicon to silicon or silicon carbide to silicon carbide
JP7693795B2 (ja) * 2021-03-23 2025-06-17 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置及び半導体製造装置用の部品

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1315319A (en) * 1970-09-11 1973-05-02 English Electric Co Ltd Method of brazing
US3813759A (en) * 1971-09-09 1974-06-04 English Electric Co Ltd Method of brazing
DE3230320C2 (de) * 1982-08-14 1985-05-30 Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen Lot zum Verbinden von Siliziumcarbidwerkstoffen
GB2137975B (en) * 1983-04-12 1986-09-17 Atomic Energy Authority Uk Joining silicon carbide bodies
JPH0723264B2 (ja) * 1985-05-24 1995-03-15 フォルシュングスツエントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング 炭化ケイ素成形体部材の結合方法
DE3821804A1 (de) * 1988-06-28 1990-01-04 Interatom Verfahren zum stoffschluessigen verbinden von werkstuecken grosser abmessungen aus siliciuminfiltriertem siliciumcarbid und vorrichtung zu dessen durchfuehrung
US5071596A (en) * 1989-10-23 1991-12-10 Cvd Incorporated Fabrication of lightweight ceramic mirrors by means of a chemical vapor deposition process
US5374412A (en) * 1992-07-31 1994-12-20 Cvd, Inc. Highly polishable, highly thermally conductive silicon carbide
TW337513B (en) * 1992-11-23 1998-08-01 Cvd Inc Chemical vapor deposition-produced silicon carbide having improved properties and preparation process thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JP3092796B2 (ja) 2000-09-25
TW426639B (en) 2001-03-21
US5683028A (en) 1997-11-04
JPH1087376A (ja) 1998-04-07
KR100239075B1 (ko) 2000-01-15
EP0804991A1 (en) 1997-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970077380A (ko) 실리콘 카바이드 소자 접합 방법
WO1996022170A3 (en) Method of constructing fully dense metal molds and parts
WO2002027137A8 (en) Well sealing method and apparatus
EP0953420A3 (en) Mold for non-photolithographic fabrication of microstructures
EP0922476A3 (en) Filter assembly with a spin welded end cap
CA2335179A1 (en) Tablet and process for making the same
CA2164504A1 (en) Process for manufacturing an antiperspirant stick
PH30426A (en) Refastenable mechanical fastening system having particular viscosity and rheology characteristics
CA2118705A1 (en) Battery End Connector
EP1055511A3 (en) Applying zipper to package
EP0856499A3 (en) Joined body of aluminum nitride series ceramics, method of joining aluminum nitride series ceramics and joining agent
AU2859500A (en) Decorative candle and method of manufacturing the same
AU2384700A (en) Die casting of high temperature material
EP0755664A3 (en) Cast orthopaedic implant and method of making same
US5759668A (en) Heat seal structure
MY125043A (en) Communication system,destination node and method therefore
WO2002074080A3 (en) Process for preparing a solid formulation of an agrochenical
WO2002096826A3 (en) Metal-ceramic bond
EP1435347A4 (en) SUPERCONDUCTING OXIDE JUNCTION METHOD AND BODY THEREFOR
CA2027239A1 (en) Method of brazing metal members
WO2004093266B1 (en) Method of making an electrical connector
WO2008077957A1 (en) Crucible for melting a thermit material having a glass or metal layer; thermit welding device with such crucible
JPH03146260A (ja) はめ込みろう付け方法
US4269909A (en) Sodium-sulfur cell with method of constructing the sulfur electrode
JPH08262905A (ja) 複写機用定着ローラー及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

R17-X000 Change to representative recorded

St.27 status event code: A-3-3-R10-R17-oth-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20061016

Year of fee payment: 8

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee
PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903

Not in force date: 20071020

Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

PC1903 Unpaid annual fee

St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903

Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE

Not in force date: 20071020

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000