KR970077389A - 와이어 본딩시 수증기 제거장치 - Google Patents

와이어 본딩시 수증기 제거장치 Download PDF

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Abstract

이 발명은 와이어 본딩(Wire Bonding)시 수증기 제거장치에 관한 것으로서, 에어량을 조절하는 에어량 조절 수단, 상기한 에어량 조절수단과 연결되며 제어신호에 따라 뜨거운 공기를 발생시키는 핫 에어 발생기, 상기한 핫 에어 발생기와 연결되며 제어신호에 따라 핫 에어 공급을 제어하는 핫 에어 공급제어수단, 상기한 핫 에어 제어수단과 연결되며 핫 에어를 출력하는 핫 에어 출력수단, 전반적인 제어를 하며, 상기한 핫 에어 발생기와 상기한 하세 에어 제어수단을 패턴인식과 분딩시에만 동작하도록 제어신호를 출력하는 장치 제어수단, 상기한 에어량 조절수단, 상기한 핫 에어 발생기, 상기한 핫 에어 제어수단, 상기한 핫 에어 출력수단 사이를 연결하는 연결수단을 포함하여 이루어져서, 에어 블로우의 설치 위치를 바꾸고, 패턴 인식과 봉딩시에만 핫 에어를 가하여 아지랑이를 억제하므로써 히터 블록의 온도를 저하시키지 않고 균일한 온도를 유지하며, 패턴 인식의 정밀도를 높이고, 루프의 찌그러짐이나 변형을 막는 효과를 가진 와이어 본딩시 수증기 제거장치에 관한 것이다.

Description

와이어 본딩시 수증기 제거장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 이 발명의 제1 및 제2실시예에 따른 와이어 본딩시 수증기 제거장치의 에어 블로우가 와이어 본딩장치에 연결되는 방법을 나타낸 도면이다.

Claims (12)

  1. 에어량을 조절하는 에어량 조절수단, 상기한 에어량 조절수단과 연결되며 제어신호에 따라 뜨거운 공기를 발생시키는 핫 에어 발생기, 상기한 핫 에어 발생기와 연결되며 제어신호에 따라 핫 에어 공급을 제어하는 핫 에어 공급제어수단, 상기한 핫 에어 에어 제어수단과 연결되며 핫 에어를 출력하는 핫 에어 출력수단, 전반적인 제어를 하며, 상기한 핫 에어 발생기와 상기한 핫 에어 제어수단을 패턴인식과 본딩시에만 동작하도록 제어신호를 출력하는 장치 제어수단, 상기한 에어량 조절수단, 상기한 핫 에어 발생기, 상기한 핫 에어 제어수단, 상기한 핫 에어 출력수단 사이를 연결하는 연결수단을 포함하여 이루어지는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 에어량 조절수단은 에어 블로우 메터인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 핫 에어 공급제어수단은 솔레노이드 밸브인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기한 핫 에어 출력수단은 에어 블로우인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기한 에어 블로우는 와이어 본딩장치의 윈도우 클램프의 위에 설치되는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기한 에어 블로우는 에어를 배출하는 다수개의 구멍을 갖고 있으며 한쪽이 막힌 원통과 상기한 원통의 다른 한쪽에 연결되어 에어의 통로로 사용되는 에어 호스로 이루어지는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  7. 에어량을 조절하는 에어량 조절수단, 상기한 에어량 조절수단과 연결되며 제어신호에 따라 에어의 흡입을 제어하는 에어 흡입제어수단, 상기한 에어 흡입제어수단과 연결되며 에어를 흡입하는 에어 흡입수단, 전반적인 제어를 하며, 상기한 에어 흡입제어수단을 패턴인식과 본딩시에만 동작하도록 제어신호를 출력하는 장치 제어수단, 상기한 에어량 조절수단, 상기한 에어 흡입제어수단, 상기한 에어 흡입수단 사이를 연결하는 연결수단을 포함하여 이루어지는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기한 에어량 조절수단은 에어 블로우 메터인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기한 에어 흡입제어수단은 배쿰용 솔레노이드 밸브인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기한 에어 흡입수단은 에어 블로우인 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 에어 블로우는 와이어 본딩장치의 윈도우 클램프의 위에 설치되는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기한 에어 블로우는 에어를 흡입하는 다수개의 구멍을 갖고 있으며 한쪽이 막힌 원통과 상기한 원통의 다른 한쪽에 연결되어 에어의 통로로 사용되는 에어 호스로 이루어지는 와이어 본딩시 수증기 제거장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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