KR970077432A - 회절광을 사용한 기판검사 방법 및 장치 - Google Patents

회절광을 사용한 기판검사 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 웨이퍼 또는 기판 표면위에 형성된 다른 유사한 3차원 주기적 패턴에 있어서 결함을 광의 회절에 의해 검출된다.
웨이퍼 전체면을 조명하기 위해 면광원(elongated and extended source)에서 단색 입사광이 공급된다. 자동화상처리 기술의 사용에 의해 웨이퍼의 매크로(macro) 검사가 자동화된다. 면광원에 의해 다른 각도의 광이 웨이퍼 표면의 각 점에 입사되고 단일의 시야에서 웨이퍼 전체면의 결함검출이 가능해지고 검사 시간이 짧아진다. 단색 입사광의 특정 파장은 웨이퍼 위의 주기적인 패턴에 있어서 결함의 최적 검출을 가능하게 하도록 사전에 결정되나 파장은 주기적인 패턴의 피쳐(feature)의 폭과 피치에 의존한다.

Description

회절광을 사용한 기판검사 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 복수의 검출기를 갖춘 반도체 웨이퍼 검사 스테이션의 구성을 도시하는 개략도.

Claims (18)

  1. 표면에 주기적인 구조를 갖는 피쳐(feature)를 갖는 기판에서 표면 결함을 검사하는 방법에 있어서, 기판의 표면위에 입사광을 조사하는 단계와; 기판의 표면으로부터의 회절광을 검출하는 단계와; 회절광의 회절효율을 기지의 회절효율과 비교하는 단계; 및 비교된 효율에서 기판위의 피쳐(feature)에 있는 국부적 결함의 유무를 판정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 회절광을 사용한 기판검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 피쳐의 주기적 구조는 특정한 폭과 피치를 갖추고, 입사광을 조사하는 단계가 특정한 폭과 피치에 대응해서 결정되는 파장의 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  3. 제1항에 있어서, 입사광이 단색인 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  4. 제1항에 있어섬, 상기 기판의 표면상의 피쳐가 복수의 폭과 피치를 갖추고, 입사광을 조사하는 단계가 기판의 표면상에 복수의 파장의 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  5. 제1항에 있어서, 입사광을 조사하는 단계가 면광원(elongated and extended source)으로부터의 광을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  6. 제1항에 있어서, 기지의 회절효율과 비교하는 단계는, 검사할 기판의 피쳐와 동일한 피이와 폭을 가지면서 무결함인 참조기판을 공급하는 단계; 및 참조기판의 표면의 회절 효율을 기지의 회절효율로 하여 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  7. 제1항에 있어서, 회절광을 검출하는 단계는 입사광의 경로에 관계하는 복수의 각도에 있어서 회절광을 검출하는 단계인 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  8. 제1항에 있어서, 기판의 표면상의 피쳐가 복수의 폭과 피치를 갖추고, 회절광을 검출하는 단계가 각 피쳐의 폭과 피치에 대응함과 동시에 입사광의 경로에 관련하는 복수의 각도에 있어서 회절광을 검출하는 단계인 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판의 표면이 이 면 내에 위치하는 상태에서 기판을 회전시키는 단계; 및 이 기판을 회전시키는 단계의 전후에 있어서 기판의 표면에서의 회절광을 검출하여 기판의 복수의 방향에 있어서 기판의 회절 효율을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  10. 제1항에 있어서, 입사광을 확산시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가판검사방법.
  11. 제5항에 있어서, 면광원으로부터의 광을 조사하는 단계는, 기판의 표면의 제1의 부분에만 광원의 제1부분만으로부터의 광을 공급하는 단계; 및 기판의 표면의 제2의 부분에만 광원의 제2부분만으로부터의 광을 공급하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  12. 제1항에 있어서, 기판의 표면위에 다색광을 조사하는 단계와; 기판의 표면으로부터의 산란광을 검출하는 단계; 및 이와 같이 검출한 산란광에서 기판의 표면위에 있는 파티클을 검출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  13. 표면에 주기적인 구조를 갖는 피쳐를 갖는 기판에서 표면 결함을 검사하는 장치에 있어서, 기판을 유지하는 지지체와; 기판이 지지체위에 있을 때에 기판의 표면위에 광을 조사하도록 설치되어 있는 광원과; 기판의 표면으로부터의 회절광을 수신하도록 설치된 검출기; 및 수신된 광의 회절효율을 기지의 회절효율과 비교하여 기판의 표면위의 피쳐에 있는 국부적인 결함의 유무를 판정하기 위해 검출기에 접속된 프로세서를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  14. 제13항에 있어서, 검출기에 상기 지지체에 대해서 상기 검출기를 이동시키는 기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  15. 제13항에 있어서, 지지체가 그지지 표면에서 규정되는 평면 내 서 기판을 회전시키는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  16. 제13항에 있어서, 광원과 지지체 사이에 삽입되는 확산기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  17. 제14항에 있어서, 지지체에 대해서 검출기를 이동시키는 기구가, 지지체에 대해서 소정의 위치에 설치된 카메라 스테이션; 및 기판의 표면으로부터의 회절광을 수신해서 카메라에 상기 수신된 광을 조사하도록 설치된 가동반사소자로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  18. 제13항에 있어서, 기판의 표면에 다색광을 조사하도록 설치된 제2의 광원; 및 기판의 표면에서 산란된 다색광을 수신하도록 설치된 검출기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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