KR970077437A - 기판 홀더용 위치 센서 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 위치 센서(20) 및 처리 장치(35)에서 기판 홀더(25)의 적절한 배치를 검출할 수 있는 본 발명의 방법은 상기 기판 홀더(25) 내의 기판 배치를 검출하는데 사용할 수 있다. 상기 광 센서(20)는(a) 광 빔을 방출할 수 있는 광 방출기(120), (b) 광 방출기(120)에 의하여 방출된 광 빔을 감지할 수 있는 광 센서(125), 및 (c) 상기 기판 홀더(25)가 상기 처리 챔버(40)에 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단할 수 있는 광 빔의 경로(135)에서의 광 조정기(130)를 포함한다.

Description

기판 홀더용 위치 센서 시스템

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 기판 처리를 위하여 사용된 처리 장치의 개략적인 평면도.

Claims (37)

1. 챔버에서 기판 홀더의 적절한 배치를 검출하기 위한 위치 센서에 있어서, (a) 광 빔을 방출할 수 있는 광 방출기; (b) 상기 광 방출기에 의하여 방출된 광 빔을 감지할 수 있는 광 센서; 및 (c) 상기 광 빔 경로에서의 광 조정기를 포함하고, 상기 광 조정기는 기판 홀더가 상기 챔버에 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단할 수 있는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
2. 제1항에 있어서, 상기 광 조정기는 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단 위치, 및 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 적절히 배치될 때 상기 광 빔이 광 센서에 도달하게 하는 전송 위치를 갖는 이동가능한 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
3. 제2항에 있어서, 상기 이동가능한 부재는 개구부를 포함하고, 상기 차단 위치에서 상기 개구부는 상기 광 빔과 실질적으로 정렬되지 않고, 및 상기 전송 위치에서 상기 개구부는 상기 광 빔이 상기 광 센서에 도달하게 하는 광 빔과 정렬되는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
4. 제2항에 있어서, 상기 이동가능한 부재는 반사기를 포함하고, 상기 차단 위치에서 상기 반사기는 상기 광 센서로부터 떨어진 상기 광 빔을 반사하고, 및 상기 전송 위치에서 상기 반사기는 상기 광 센서를 향하여 광 빔을 반사하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
5. 제2항에 있어서, 상기 이동가능한 부재는 상기 챔버의 수용 표면에 결합된 회전가능한 수단을 포함하고, 상기 회전가능한 수단은 상기 차단 위치로부터 상기 전송 위치까지 이동 가능한 부재를 회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
6. 제5항에 있어서, 상기 회전가능한 수단은 상기 챔버의 수용 표면의 채널에서의 동작기를 포함하고, 상기 채널은 기판 홀더의 정렬 가이드를 지지하기 위한 크기로 설정되고, 상기 수용 표면상의 상기 기판 홀더의 적절한 배치는 상기 기판 홀더의 정렬 가이드가 상기 이동 부재가 회전하게 하는 동작기를 동작하게 하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
7. 제1항에 있어서, 상기 광 방출기는 광 빔을 상기 기판 홀더에서의 기판에 인접하게 하고, 상기 기판 홀더 밖의 소정된 거리의 기판 변위는 상기 기판 엣지가 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단하게 하도록 하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
8. 제7항에 있어서, 상기 소정된 거리는 적어도 약0.25인치인 것을 특징으로 하는 위치 센서.
9. 제1항에 있어서, 상기 기판 홀더의 적절한 배치를 나타내기 위하여 광 센서에 응답적인 배치 표시기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
10. 제9항에 있어서, 상기 배치 표시기는 온-모드 및 오프-모드를 포함하고, 상기 배치 표시기는 상기 광 센서가 광 빔을 감지할 때 온 모드상에 있고, 상기 광 센서가 광 빔을 감지 하지 않을 때 오프-모드에 있는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
11. 챔버에서 기판 홀더의 적절한 배치를 검출하기 위한 위치 센서에 있어서, (a) 챔버에 기판 홀더를 정열하기 위한 정열 수단; (b) 상기 정열 수단에 의하여 상기 기판 홀더의 정렬을 검출하기 위한 검출 수단; (c) 상기 기판 홀더의 적절한 배치를 표시하기 위하여 상기 검출 수단에 응답적인 표시기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
12. 제11항에 있어서, 상기 검출 수단은 광 빔을 발생하기 위한 광 소스, 광 센서, 및 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단하기 위한 상기 광 빔에서의 광 조정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
13. 제12항에 있어서, 상기 광 조정기는 개구부를 갖는 이동가능한 부재를 포함하고, 상기 이동가능한 부재는 상기 개구부가 상기 광 빔과 실질적으로 정렬되지 않는 차단 위치, 및 상기 개구부가 상기 광 빔이 상기 광 센서에 이르게 하는 광 빔과 실질적으로 정렬되는 전송 위치를 가지는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
14. 제12항에 있어서, 상기 광 조정기는 반사기를 가지는 이동가능한 부재를 포함하고, 상기 조정기는 상기 광 빔이 광 센서로부터 떨어져 반사되는차단 위치, 및 상기 반사기가 상기 광 센서를 향하여 상기 광 빔을 반사하는 전송 위치를 가지는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
15. 제11항에 있어서, 상기 정렬 수단은 상기 챔버의 수용 표면에서의 채널을 포함하고, 상기 채널은 기판 홀더의 정렬 가이드를 지지하기 위한 크기로 설정되는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
16. 제11항에 있어서, 상기 기판 홀더에 기판의 변위를 검출하기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
17. 제16항에 있어서, 상기 기판 홀더 밖의 소정된 거리의 기판 변위는 상기 기판의 엣지가 광 센서로부터 상기 광 빔을 차단하도록 상기 기판 변위 검출 수단은 상기 기판 홀더의 상기 기판에 실질적으로 인접하게 광 빔이 향하도록 배치된 광 방출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
18. 챔버의 기판 홀더를 정렬하기 위하여 구성된 챔버의 수용 표면상에 기판 홀더의 적절한 배치를 확인하기 위한 위치 센서에 있어서, (a) 광 빔을 방출할 수 있는 광 방출기; (b) 상기 광 빔을 검출할 수 있는 광 센서; (c) 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단할 수 있고 광 빔 경로의 광 조정기; 및 (d) 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 부적절히 배치될 때 상기 광 조정기가 상기 광 빔을 차단하도록 상기 광 조정기를 동작할 수 있는 조정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
19. 제18항에 있어서, 상기 동작기는 상기 챔버의 수용 표면에 결합되고, 상기 기판 홀더가 상기 수용 표면상에 적절히 배치될 때 광 빔 차단 위치에서의 광 조정기를 유지하고, 및 상기 기판 홀더가 상기 수용 표면상에 적절히 배치될 때 광 빔 전송 위치에 광 조정기를 이동시키는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
20. 제19항에 있어서, 상기 광 조정기는 개구부를 가지는 이동가능한 부재를 포함하고, 광 빔 차단 위치에서의 상기 작동기는 상기 개구부가 상기 광 빔과 실질적으로 정렬되지 안도록 이동가능한 부재를 이동하고, 및 상기 광 빔 전송 위치에서의 상기 작동기는 상기 개구부는 광 빔이 센서에 이르게 하는 광 빔과 정렬되도록 이동가능한 부재를 이동시키는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
21. 제19항에 있어서, 상기 광 조정기는 이동가능한 부재를 포함하고, 광 빔 차단 위치에서의 상기 작동기는 광 센서로부터 떨어져 광 빔을 반사하기 위하여 상기 작동기를 이동시키고, 및 광 빔 전송 위치에서의 상기 동작기는 광 센서를 향하여 상기 광 빔을 반사하기 위하여 상기 반사기를 이동시키는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
22. 제18항에 있어서, 상기 동작기는 상기 챔버의 수용 표면에 결합된 회전가능한 수단을 포함하고, 상기 수용 표면은 상기 기판 홀더의 정렬 가이드를 지지하기 위한 크기로 설정된 채널을 포함하고, 상기 수용 표면상에 기판 홀더의 적절한 위치는 상기 기판 홀더의 정렬 가이드가 상기 전송 위치에서 상기 회전가능한 수단을 회전하게 하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
23. 제18항에 있어서, 상기 기판 홀더에서의 기판 엣지의 변위는 상기 기판 엣지가 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단하도록 상기 광 방출기는 실질적으로 인접한 광 빔을 상기 기판 홀더의 기판에 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
24. 제18항에 있어서, 상기 기판 홀더의 적절한 배치를 나타내기 위하여 광 센서에 응답적인 배치 표시기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위치 센서.
25. 챔버의 수용 표면상에 기판 홀더의 적절한 배치를 검출하기 위하여 광 시스템을 사용하는 방법에 있어서, (a) 상기 챔버의 수용 표면상에 상기 기판 홀더를 배치하는 단계; (b) 상기 광 시스템을 사용하여 상기 수용 표면상에 기판 홀더의 적절한 배치를 감지하는 단계; 및 (c) 상기 광 시스템에 응답적인 표시기를 사용하여 기판 홀더의 적절한 배치를 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
26. 상기 광 시스템은 광 빔을 방출할 수 있는 광 방출기; 광 방출기에 의하여 방출된 광 빔을 감지할 수 있는 광 센서, 및 상기 광 빔의 경로에서의 광 조절기를 포함하고, 상기 단계(b)는, (1) 상기 기판 홀더가 챔버에서 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단하는 단계; 및 (2) 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 적절히 배치될 때 상기 광 빔이 상기 광 센서에 도달하게 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
27. 제26항에 있어서, 상기 광 센서는 상기 광 빔의 경로에서 개구부를 가지는 이동가능한 부재를 포함하고, 상기 단계(1)는 상기 광 빔에 비-정렬된 개구부를 유지하는 단계를 포함하고, 상기 단계(2)는 상기 개구부가 상기 광 빔이 상기 광 센서에 이르게 하는 광 빔과 정렬되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
28. 제26항에 있어서, 상기 광 조정기는 반사기를 포함하고, 상기 단계(1)는 상기 광 센서로부터 떨어진 광 빔을 반사하는 단계를 포함하고 상기 단계(2)는 상기 광 센서를 향하여 상기 광 빔을 반사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
29. 제25항에 있어서, 상기 기판 홀더의 기판 변위를 검출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
30. 제29항에 있어서, 기판 홀더 외부로 소정의 거리만큼 기판 홀더에서의 기판의 변위에 의해 기판의 엣지가 상기 광 빔센서로부터 광 빔을 차단할 수 있도록 광 빔을 기판 홀더의 기판에 인접하게 방향 설정하는 단계를 포함하는 것을 특징을 하는 방법.
31. 챔버의 기판 홀더에 의하여 지지된 기판의 변위를 검출하기 위한 기판 변위 센서에 있어서, (a) 광 빔을 방출할 수 있고 상기 기판의 주변 엣지에 인접한 경로로 상기 광 빔을 방향 설정하기 위해 상기 챔버에 지지되는 광 방출기; (b) 상기 기판 홀더 밖의 소정 거리의 기판 홀더의 기판 변위가, 상기 기판의 주변 엣지가 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단하게 하도록 상기 광 방출기에 의하여 방출된 상기 광 빔을 감지할 수 있고 상기 광 빔의 경로에 지지되는 광 센서; 및 (c) 상기 기판 홀더의 기판의 변위를 나타내기 위한 광학 센서에 응답적인 변위 표시기를 포함하는 것을 특징으로 하나는 기판 변위 센서.
32. 상기 31항에 있어서, 상기 소정 거리는 적어도 약0.25인치인 것을 특징으로 하는 기판 변위 센서.
33. 제31항에 있어서, 상기 변위 표시기는 온 모드 및 오프 모드를 포함하는 표시기를 포함하고, 상기 변위 표시기를 광 센서가 상기 광 빔을 감지할 때 온 모드에 있고, 상기 광 센서가 상기 광 빔을 감지하지 않을 때 오프-모드에 있는 것을 특징으로 하는 기판 변위 센서.
34. 제31항에 있어서, 상기 광 방출기는 상기 광 빔이 상기 기판 주변 엣지에 실질적으로 지각이 되도록 상기 챔버에 지지되는 것을 특징으로 하는 방법.
35. 광 빔을 방출할 수 있는 광 방출기, 상기 광 방출기에 의하여 방출된 광 빔을 감지할 수 있는 광 센서, 및 상기 기판 홀더가 상기 챔버에 부적절히 배치될 때 상기 광 센서로부터 광 빔을 차단할 수 있는 광 조절기를 포함하는 광학 시스템을 사용하여, 챔버에서의 기판 홀더의 적절히 배치를 검출하기 위한 컴퓨터 프로그램 제품에 있어서, 상기 챔버를 동작하기 위한 매체에 삽입된 컴퓨터 판독가능한 코드 수단을 가지는 컴퓨터 사용 가능 매체; 일련의 광 빔을 방출하기 위하여 상기 광 소스를 동작하기 위한 컴퓨터 판독가능한 프로그램 코드수단; 광 빔이 광 센서에 입사하는지를 결정하기 위하여 상기 광 센서를 동작시키는 컴퓨터 판독가능한 프로그램 코드 수단; 및 상기 광 빔이 상기 광 센서상에서의 입사 결정에 응답하여 비치 표시기를 작동시켜서 상기 기판 홀더의 적절한 배치를 나타내는 컴퓨터 판독가능한 프로그램 코드 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
36. 제35항에 있어서, 상기 컴퓨터 판독가능한 프로그램 코드 수단은 상기 광 빔이 광 센서상에 입사하면 상기 표시기가 활성된 상태로 판독가능한 변위 표시기를 활성화하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.
37. 제35항에 있어서, 기판 홀더에 지지된 기판이 소정 거리만큼 기판 홀더 외부로 변위될 경우에 상기 변위 표시기를 비활성화하기 위나 컴퓨터 판도가능한 프로그램 코드 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 프로그램 제품.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.