KR970077466A - 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 - Google Patents

수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 테스트하고자 하는 반도체소자가 로딩된 테스트트레이를 테스트부의 컨넥터에 수직으로 세워 콘택시킬 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 테스트트레이(6)가 수평상태에서 테스트할 소자를 로딩하여 로딩된 소자를 캐리어모듈에 홀딩하는 단계와, 소자가 로딩한 테스트트레이를 히팅챔버(8)로 이송하기 전에 90°수직으로 세우는 단계와, 상기 테스트트레이(6)가 수직으로 세워진 상태에서 히팅챔버(8)내부로 이송시키는 단계와, 상기 히팅챔버(8)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자의 테스트조건으로 히팅하는 단계와, 히팅완료된 테스트트레이(6)를 수직상태로 테스트부(10)에 공급하여 테스트트레이를 콘택소켓(29)측으로 수평이송시키는 단계와, 소자의 테스트완료 후 테스트트레이(6)를 수직상태로 냉각챔버(11)측에 이송시키는 단계와, 상기 냉각챔버(11)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자를 외기의 온도로 냉각시키는 단계와, 상기 수직상태의 테스트트레이(6)를 냉각챔버(11)의 외부로 인출한 다음 90°수평상태로 환원시키는 단계와, 수평상태로 환원된 테스트트레이(6)를 소자의 언로딩위치로 이송시키는 단계와, 소자가 언로딩되고 난 빈테스트트레이를 소자의 로딩위치로 수평이송시키는 단계가 순차적으로 진행하도록 된 것이다.

Description

수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 수평식핸들러에서 테스트트레이가 이송되는 경로를 나타낸 개략도.

Claims (3)

  1. 테스트트레이(6)가 수평상태에서 테스트할 소자를 로딩하여 로딩된 소자를 캐리어모듈에 홀딩하는 단계화, 소자가 로딩한 테스트트레이를 히팅챔버(8)로 이송하기 전에 90°수직으로 세우는 단계와, 상기 테스트트레이(6)가 수직으로 세워진 상태에서 히팅챔버(8)내부로 이송시키는 단계와, 상기 히팅챔버(8)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자의 테스트조건으로 허팅하는 단계와, 허팅완료된 테스트트레이(6)를 수직상태로 테스트부(10)에 공급하여 테스트트레이를 콘택소켓(29)측으로 수평이송시키는 단계와, 소자의 테스트완료후 테스트트레이(6)를 수직상태로 냉각챔버(11)측에 이송시키는 단계와, 상기 냉각챔버(11)의 내부에서 테스트트레이(6)를 1스탭씩 이송시키면서 소자를 외기의 온도를 냉각시키는 단계와, 상기 수직상태의 테스트트레이(6)를 냉각챔버(11)의 외부로 인출한 다음 90° 회전시켜 수평상태로 환원시키는 단계와, 수평상태로 환원된 테스트트레이(6)를 소자의 언로딩위치로 이송시키는 단계와, 소자가 언로딩하고 난 빈 테스트트레이를 소자의 로딩위치로 수평이송시키는 단계가 순차적으로 진행됨을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법
  2. 제1항에 있어서, 소자가 로딩된 테스트트레이(6)를 수직상태로 회전시킨 다음 회전된 테스트트레이를 히팅챔버(8)의 상측에서 히팅챔버의 내부로 이송시킴을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트트레이 이송방법.
  3. 제1항에 있어서, 테스트트레이(6)에 로딩된 소자가 테스트완료된 상태에서 상기 테스트트레이를 냉각챔버(11)의 측면을 통해 냉각챔버의 내부로 순차 이송시킴을 특징으로 하는 수평식핸들러의 테스트레이 이송방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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