KR970077471A - 오염물 격납층을 구비한 기질 지지 척 및 그 제작 방법 - Google Patents

오염물 격납층을 구비한 기질 지지 척 및 그 제작 방법 Download PDF

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이. 하베이 스테파니
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조셉 제이. 스위니
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Abstract

지지면상에 중착된 오염 격납층을 갖는 작업 피스 지지 척(chuck)과 그것의 제작 방법을 제공한다. 격납층은 비경정질 재료로 제작된다. 그러한 재료는 보로실리케이트, 플르오로실리캐이트, 도핑된 세라믹, 전도성 산화물 필름, 다이아몬드 필름등을 포함한다. 격납층은 화학 층착법(CVD), 플라즈마 강화 CVD, 불꽃 분사등을 포함하는 다양한 재료 증착 기술중의 하나를 이용하여 지지면상에 형성된다.

Description

오염물 격납층을 구비한 기질 지지 척 및 그 제작 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 오염물 격납층을 포함하는 세라믹 정전기 척의 종단면도.

Claims (18)

  1. 작업 피스르 지지하기 위한 장치에 있어서, 지지면에 대하여 이격되게 상기 작업 피스를 지지하기 위하여, 작업 피스 지지 척의 상기 지지면상에 증착되는 오염 격납층을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 오염 격납층이 도핑된 유리인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 도핑된 유리가 보르실리케이트인 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 도핑된 유리가 플르오로실리케이트인 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 지지면이 세리믹 재료로 제작되는 것을 특징을 하는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 세라믹 재료가 약300℃이상의 온도에서 부분적 전도성을 띠는 것을 특징을 하는 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 세라믹 재료가 알루미늄 질화물, 붕소 질화물 또는 전도성 산화물로 도핑된 알루미나인 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 지지면이 유전체 재료로 제작되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 작업 피스를 지지하기 위한 장치에 있어서, 지지면의 아래에 내장되는 다수의 전극봉을 갖는 세라믹 정전기 척과, 상기 코팅이 도핑된 유리로 제작된, 상기 세라막 정전기 척에 인접한 작업 피스를 지지하기 위하여 상기 세라믹 정전기 척의 상기 지지면상에 증착되는 증착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 정전기 척의 지지면이 알류미늄 질화물, 붕소 질화물 또는 전도성 산화물로 도핑된 알루미나로 제작되는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 도핑된 유리가 보로실리케이트인 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제9항에 있어서, 사이 도핑된 유리가 플르오로실리케이트인 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 작업 피스 지지 척의 제조 방법에 있어서, 지지 부재를 갖는 작업 피스 지지 척을 제공하는 단계와, 오염 격납층을 형성하도록 상기 지지 부재의 지지면에 걸쳐 균일한 층으로 비결정질 재료를 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 증착 단계가 비경정질 재료를 증착시키도록 화학증착법을 사용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 비경정질 재료가 보로실리케이트인 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 지지 부재가 세라믹 재료로 제작되는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 세라믹 재료가 약300℃ 이상의 온도에서 부분적 전도성을 띠는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 세라믹 재료가 알루미늄 질화물, 붕소 질화물 또는 전도성 산화물로 도핑된 알루미나인 것을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970017369A 1996-05-08 1997-05-07 오염물 격납층을 구비한 기질 지지 척 및 그 제작 방법 Withdrawn KR970077471A (ko)

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