KR970077473A - 제품과 접촉하는 전극을 가지는 단극성 정전기 척 - Google Patents

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이. 버크하트 빈센트
이. 하베이 스테파니
Original Assignee
조셉 제이. 스위니
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

본 발명은 유전체 층을 가진 도전성 받침대 베이스를 구비하는 단극성 정전기 척에 관한 것이다. 유전체층의 상부 표면 상에는 도전성 재료로부터 제조된 웨이퍼 스페이싱 마스크가 증착된다. 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크는 상기 유전체 층에 대해 공간적으로 떨어진 관계로 제품을 지지하는 다수의 지지용 부재를 포함한다.
다수의 지지용 부재 중 적어도 하나의 지지용 부재는 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용된다. 척킹 전압전력 공급원은 도전성 받침대 베이스와 웨이퍼 지지용 마스크 사이에 접속된다. 이런 방식으로, 제품이 유인되고 웨이퍼에 근접하게 발생하는 플라즈마 없이 척 상에 유지된다.

Description

제품과 접촉하는 전극을 가지는 단극성 정전기 척
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 단극성 정전기 척의 수직 단면도.

Claims (16)

  1. 제품을 유지하기 위한 단극성 전정기 척에 있어서, 표면을 가지는 척 몸체; 및 상기 척 몸체의 상기 표면상에 배치되고, 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 도전 재료의 웨이퍼 스페이싱 마스크를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  2. 제1항에 있어서, 상기 척 몸체는, 받침대 표면을 가지는 도전성 웨이퍼 받침대 베이스; 및 상기 도전성 받침대 베이스의 상기 표면 상에 증착되고 상기 척 몸체의 상기 표면을 형성하는 유전체 층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  3. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크는, 상기 척 몸체의 상기 표면에 대해 공간적으로 떨어진 관계로 상기 제품을 지지하기 위한 다수의 지지용 부재를 더 포함하며, 상기 다수의 지지용 부재 중 상기 적어도 하나의 지지용 부재는 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  4. 제3항에 있어서, 상기 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 지지용 부재는 상기 척몸체의 에지에 근접하게 위치되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  5. 제3항에 있어서, 상기 다수의 지지용 부재는 상기 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 지지용 부재의 서브 세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  6. 제5항에 있어서, 상기 지지용 부재의 상기 서브 세트내의 각각의 지지용 부재는 상기 척 몸체의 에지에 근접하게 배치되고 상기 에지 위에 걸리고, 상기 서브 세트의 상기 지지용 부재의 제1부분은 상기 제품에 접촉하고 상기 서브 세트의 상기 지지용 부재의 제2부분은 상기 전력 공급원에 대한 접속부를 수용하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  7. 제6항에 있어서, 상기 지지용 부재의 상기 서브 세트내의 상기 각각의 지지용 부재는 상호 접속 경로에 의해 상호 접속되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  8. 제3항에 있어서, 상기 전력 공급원에 접속되는 상기 적어도 하나의 지지용 부재를 적어도 하나의 다른 지지용 부재에 접속하기 위해 사용되는 상호 접속 경로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 단극성 정전기 척.
  9. 제품 유지용 장치에 있어서, 표면을 가지는 척 몸체; 상기 척 몸체의 상기 표면 상에 배치되는 도전 재료의 웨이퍼 스페이싱 마스크; 및 상기 척 몸체에 접속되는 제1단자와 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크에 접속되는 제2단자를 가지는 전력 공급원을 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 척 몸체는, 받침대 표면을 가지는 도전성 웨이퍼 받침대 베이스; 및 상기 도전성 받침대 베이스의 상기 표면 상에 증착되고 상기 척 몸체의 상기 표면을 형성하는 유전체 층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 웨이퍼 스페이싱 마스크는, 상기 척 몸체의상기 표면에 대해 공간적으로 떨어진 관계로 상기 제품을 지지하기 위한 다수의 지지용 부재를 더 포함하며, 상기 다수의 지지용 부재 중 상기 적어도 하나의 지지용 부재는 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 전력 공급원에 접속된 상기 지지용 부재는 상기 척 몸체의 에지에 근접하게 배치 되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 다수의 지지용 부재는 상기 전력 공급원에 대한 접속을 위해 사용되는 지지용 부재의 서브 세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 지지용 부재의 상기 서브 세트내의 각각의 지지용 부재는 상기 척 몸체의 에지에 근접하게 배치되고 상기 에지 위에 걸리며, 상기 서브 세트의 상기 지지용 부재의 제1부분은 상기 제품에 접촉하고 상기 서브 세트의 상기 지지용 부재의 제2부분은 상기 전력 공급원에 대한 접속부를 수용하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 지지용 부재의 상기 서브 세트내의 상기 각각의 지지용 부재는 상호 접속 경로에 의해 상호 접속되는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
  16. 제11항에 있어서, 상기 전력 공급원에 접속되는 상기 적어도 하나의 지지용 부재를 적어도 하나의 다른 지지용 부재에 접속하기 위해 사용되는 상호 접속 경로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 제품 유지용 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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