KR970077697A - 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조 - Google Patents

광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조 Download PDF

Info

Publication number
KR970077697A
KR970077697A KR1019960017804A KR19960017804A KR970077697A KR 970077697 A KR970077697 A KR 970077697A KR 1019960017804 A KR1019960017804 A KR 1019960017804A KR 19960017804 A KR19960017804 A KR 19960017804A KR 970077697 A KR970077697 A KR 970077697A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
actuator
optical path
module structure
electrode
upper electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1019960017804A
Other languages
English (en)
Inventor
전용배
Original Assignee
배순훈
대우전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 배순훈, 대우전자 주식회사 filed Critical 배순훈
Priority to KR1019960017804A priority Critical patent/KR970077697A/ko
Publication of KR970077697A publication Critical patent/KR970077697A/ko
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041—Beam type
    • H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

본 발명은 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조에 관한 것으로 이러한 모듈 구조는 실리콘 기판에 복수개의 능동 소자가 매트릭스 구조로 내장되어 있는 액티브 매트릭스상에 소정 형상으로 형성된 복수개의 층들로 이루어져 있고, 복수개의 층들은 압전 세라믹 재료로 이루어진 압전층에 의해서 소정 간격으로 이격되어 있는 상부 전극 및 하부 전극을 포함하고 있으며, 상부 전극은 그의 일부를 제거함으로서 형성된 2개의 이소 컷팅부에 의해서 전기적으로 단락된 작동 전극부와 전기적으로 단선된 2개의 수동 전극부로 이루어지며 이에 의해 외부로부터 하부 전극에 전기적 신호가 인가될 때 상부 전극과 하부 전극사이에 전위차가 발생되지 않는 부분이 형성되고 그 결과 액츄에이터의 구동부가 틸팅될 때 소정의 곡률 반경을 전반적으로 구비하지 않는 평편한 표면이 제공됨으로서 난반사 특성을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 유효 반사 면적을 증대시킬 수 있다.

Description

광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 다른 실시예에 따라서 2개의 이소 컷팅부가 상부 전극에 형성된 액츄에이터의 모듈을 개략적으로 도시한 평면도.

Claims (6)

  1. 실리콘 기판에 복수개의 능동 소자가 매트릭스 구조로 내장되어 있는 액티브 매트릭스(410)상에 소정 형상으로 복수개의 층들로 이루어져 있고 지지부(A4)와 구동부(B4)로 구성된 캔틸레버 구조로 형성되어 있으며 상기 복수개의 층들은 압전 세라믹 재료로 이루어진 압전층(423)에 의해서 소정 간격으로 이격되어 있는 상부 전극(424) 및 하부 전극(422)을 포함하고 있는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조에 있어서, 상기 상부 전극(424)은 그의 일부를 제거함으로서 형성된 2개의 이소 커팅부(431, 432)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
  2. 제1항에 있어서, 상기 2개의 이소 컷팅부(431, 432)를 구비하고 있는 상부 전극(424)은 전기적으로 단락된 작동 전극부(424b)와, 전기적으로 단선된 2개의 수동 전극부(424a, 424c)로 이루어진 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
  3. 제2항에 있어서, 상기 2개의 이소 컷팅부(431, 432)는 상기 액츄에이터(420)의 구동부(B4)에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
  4. 제3항에 있어서, 상기 2개의 수동 전극부(424a, 424c)와 상기 하부 전극(424) 사이에 전위차가 발생되지 않는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
  5. 제4항에 있어서, 상기 상부 전극(424)의 작동 전극부(424b)와 상기 하부 전극(422) 사이에 발생되는 전위차에 의하여 액츄에이터(420)의 구동부(B4)가 소정의 각도로 틸팅되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
  6. 제2항에 있어서, 상기 2개의 수동 전극부(424a, 424c)는 동일한 면적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
KR1019960017804A 1996-05-23 1996-05-23 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조 Withdrawn KR970077697A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960017804A KR970077697A (ko) 1996-05-23 1996-05-23 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019960017804A KR970077697A (ko) 1996-05-23 1996-05-23 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970077697A true KR970077697A (ko) 1997-12-12

Family

ID=66219833

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960017804A Withdrawn KR970077697A (ko) 1996-05-23 1996-05-23 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970077697A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100753789B1 (ko) * 1999-06-19 2007-08-31 로베르트 보쉬 게엠베하 개선된 열 방출을 갖는 압전 액추에이터

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100753789B1 (ko) * 1999-06-19 2007-08-31 로베르트 보쉬 게엠베하 개선된 열 방출을 갖는 압전 액추에이터

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100218826B1 (ko) 박막 작동식 미러 장치
US5774604A (en) Using an asymmetric element to create a 1XN optical switch
US9097897B2 (en) Optical deflector including narrow piezoelectric sensor element between torsion bar and piezoelectric actuator
US6030083A (en) Array of thin film actuated mirrors for use in an optical projection system and method for the manufacture thereof
RU2140722C1 (ru) Тонкопленочная приводимая в действие зеркальная матрица и способ ее изготовления
KR970011974A (ko) 반사형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
JP2557611B2 (ja) 少なくとも１枚のガイドバーを有する経編機
JP6789438B2 (ja) 光走査装置およびその制御方法
KR970077697A (ko) 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조
JP2004219202A (ja) 静電振動型デバイス
JP7822376B2 (ja) 光走査装置、電子機器
JP4227531B2 (ja) ヒンジ構造
JP2003262803A (ja) 可動構造体およびこれを用いた偏向ミラー素子と光スイッチ素子と形状可変ミラー
KR960028118A (ko) 광로조절장치와 그 제조방법
KR970055317A (ko) 탄성 표면파 장치
KR960036629A (ko) 광로조절장치와 그 제조방법
KR950004998A (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절기
KR950005007A (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절기
KR940027540A (ko) 광로조절장치
KR970077089A (ko) 광로 조절 장치용 액츄에이터의 모듈 구조
KR940023216A (ko) 투사형화상표시장치의 광로조절수단
KR100485127B1 (ko) 마이크로미러
KR960035110A (ko) 액티브 매트릭스형 액정 디스플레이 장치
KR0179617B1 (ko) 광로조절장치
WO2025041525A1 (ja) 光偏向器、電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 19960523

PG1501 Laying open of application
PC1203 Withdrawal of no request for examination
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid