KR970077750A - 광학 반도체 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

광학 반도체 소자(10)는 한 표면(12, 74)을 갖는 하나의 기판(11)과, 상기 기판(11, 69)에 의해 지지되는 하나의 광검출기(13)와, 상기 기판(11)의 표면(11) 위에 놓이고 상기 광검출기(13)의 한 부분 위에 놓이는 진동 질량(21)을 포함한다. 상기 진동 질량(21)은 상기 광검출기(13)의 베이스 영역(32) 위에 놓이는 하나의 구멍(22)을 갖고, 상기 진동 질량(21)은 상기 기판(11)과 상기 광검출기(13)에 대해 움직임이 가능하다.

Description

광학 반도체 소자 및 이의 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명에 따른 광학 반도체 소자의 한 실시예의 평면도, 제2도는 제1도의 선(2-2)을 따라 취해진 광학 반도체 소자의 단면도, 제3도는 제1도의 선(3-3)을 따라 취해진 광학 반도체 소자의 단면도, 제4도 및 제5도는 제1도의 선(3-3)을 따라 취해진 제작중의 광학 반도체 소자의 단며도, 제6도는 포장 후의, 본 발명에 따른 광학 반도체 소자의 단면도, 제7도는 본 발명에 따른 광학 반도체 소자의 다른 실시예의 단면도.

Claims (3)

1. 반도체 소자에 있어서, 한 표면(12, 74)을 갖는 하나의 기판(11, 69)과, 상기 기판(11, 69)에 의해 지지되고, 제1부분과 상기 제1부분에 인접한 제2부분을 갖는 제1의 광검출기와, 상기 기판(11, 69)의 표면 위에 놓이고, 상기 제1광검출기의 상기 제2부분 위에 놓이는 제1의 구멍을 갖고, 상기 제1광검출기에 대해 움직임이 가능한 진동 질량(21, 63)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자.
2. 광학 반도체 소자에 있어서 하나의 기판(11, 69)과, 제1의 도전형을 갖는 상기 기판(11, 69) 내의 제1의 영역과, 상기 제1의 도전형과 다른 제2의 도전형을 갖고, 상기 제1의 영역에 인접한, 상기 기판(11, 69)내의 제2영역과, 상기 제1영역의 한 부분과 상기 제2영역의 한 부분 위에 놓이는 움직임이 가능한 구조(21, 63)와, 상기 기판(11, 69)의 한 부분 위에 놓이는 전기 절연층으로, 상기 움직임이 가능한 구조(21, 63)는 상기 제2영역의 부분 위에 놓이는 하나의 구멍을 갖고, 상기 구멍은 폭과 길이를 갖고, 상기 움직임이 가능한 구조(21, 63)의 한 부분은 상기 전기 절연층으로부터 일정 거리만큼 분리되고, 상기 구멍의 상기 폭 및 길이는 상기 일정 거리보다 큰, 전기 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 반도체 소자.
3. 반도체 소자를 제조하는 방법에 있어서, 하나의 기판(11, 69)을 제공하는 단계와, 상기 기판(11, 69)내에 광검출기를 형성하는 단계와, 상기 기판(11, 69)의 한 부분 위에, 상기 기판(11, 69)에 대해 움직임이 가능한 진동 질량(21, 63)을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.