LT2011078A - Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus - Google Patents

Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus

Info

Publication number
LT2011078A
LT2011078A LT2011078A LT2011078A LT2011078A LT 2011078 A LT2011078 A LT 2011078A LT 2011078 A LT2011078 A LT 2011078A LT 2011078 A LT2011078 A LT 2011078A LT 2011078 A LT2011078 A LT 2011078A
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
semiconductor
isolate
solar cell
passivation layer
determinate
Prior art date
Application number
LT2011078A
Other languages
English (en)
Other versions
LT5937B (lt
Inventor
Valdemaras Juzumas
Julius JANUŠONIS
Karolis ŠULINSKAS
Original Assignee
Uab "Precizika - Met Sc"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Uab "Precizika - Met Sc" filed Critical Uab "Precizika - Met Sc"
Priority to LT2011078A priority Critical patent/LT5937B/lt
Publication of LT2011078A publication Critical patent/LT2011078A/lt
Publication of LT5937B publication Critical patent/LT5937B/lt

Links

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Šio išradimo tikslas - paruošti puslaidininkio padėklą, galimai padengti jį atitinkamu pasyvaciniu sluoksniu ir suformuoti kontaktus bei suformuoti minėtame pasyvaciniame sluoksnyje nustatytose vietose užduoto gylio ir pločio griovelius, siekiant izoliuoti atskirus puslaidininkio regionus, ypač prietaiso kraštą. Tokiu būdu paruoštą sudėtinį elementą galima naudoti įvairių puslaidininkinių prietaisų gamyboje, ypač saulės elementų gamyboje. Jis ypatingai svarbus koncentruotos šviesos mažo ploto/perimentro santykio saulės elementų gamyboje. Šis griovelių formavimo būdas minėtame sudėtiniame elemente pasižymi tuo, kad apima puslaidininkinio ir galimai dengtų dieleketrinių sluoksnių lazerinę abliaciją ultratrumpais (fs) ultravioletiniais (UV) impulsais skanuojant lazerio pluoštą (pluoštus) puslaidininkinio padėklo paviršiumi arba judinant patį pavyzdį lazerinio pluošto (pluoštų) atžvilgiu. Šio būdo panaudojimas leidžia formuoti minėtus griovelius puslaidininkinio padėklo paviršiuje nepažeidžiant puslaidininkio termiškai, užtikrina minimalią medžiagos redepoziciją. Šis būdas yra bekontaktinis, todėl gali būti taikomas kontaktams suformuoti ant labai plonų ir trapių puslaidininkio arba legiruoto puslaidininkio sluoksnių, nepažeidžiant puslaidininkio paviršiaus nei mechaniškai, nei termiškai. Naudojant aukšto pasikartojimo dažnio lazerines sistemas, piešinio formavimo greitis leidžia pritaikyti šį būdą didelio pralaidumo gamybiniuose procesuose.
LT2011078A 2011-09-01 2011-09-01 Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus LT5937B (lt)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2011078A LT5937B (lt) 2011-09-01 2011-09-01 Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2011078A LT5937B (lt) 2011-09-01 2011-09-01 Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT2011078A true LT2011078A (lt) 2013-03-25
LT5937B LT5937B (lt) 2013-05-27

Family

ID=47890766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT2011078A LT5937B (lt) 2011-09-01 2011-09-01 Puslaidininkinis elementas, turintis legiruotas p/n struktūras, ir būdas jas izoliuoti naudojant ultratrumpus ultravioletinius lazerio impulsus

Country Status (1)

Country Link
LT (1) LT5937B (lt)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8440838B2 (en) 2007-11-30 2013-05-14 Ihara Chemical Industry Co., Ltd. Aryl (1H-1,2,4-triazol-1-yl) compound and process for production thereof
US8222516B2 (en) 2008-02-20 2012-07-17 Sunpower Corporation Front contact solar cell with formed emitter

Also Published As

Publication number Publication date
LT5937B (lt) 2013-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2013325559B2 (en) Manufacturing method for optical substrate using film shaped mold, manufacturing device, and optical substrate obtained thereby
WO2012173770A3 (en) Multi-step and asymmetrically shaped laser beam scribing
TW200602144A (en) Laser processing method and semiconductor chip
SI1989740T1 (sl) Postopek označevanja sončnih celic in sončna celica
CN102918642A (zh) 用于改善晶圆单一化的方法及装置
JP2009135453A5 (lt)
JP2009224770A5 (lt)
WO2012054426A3 (en) Method of reducing laser-induced damage in forming laser-processed contacts
GB201201881D0 (en) Method for forming a solar cell with a selective emitter
WO2009045328A3 (en) Scribing methods for photovoltaic modules including a mechnical scribe
WO2010027712A3 (en) Laser material removal methods and apparatus
WO2011025149A3 (ko) 반도체 기판 제조 방법 및 발광 소자 제조 방법
CU20140067A7 (es) Panel de construcción y metodo de fabricación
CN104081537A (zh) 使用不连续激光刻划线的方法及结构
WO2012032064A3 (en) Chalcopyrite-type semiconductor photovoltaic device
WO2011097056A3 (en) Solar cells and methods of fabrication thereof
CN109643740B (zh) 制造互连太阳能电池的方法及这种互连太阳能电池
GB2517855A (en) Double layer interleaved p-n diode modulator
WO2012123645A9 (en) Thin film photovoltaic cell structure, nanoantenna, and method for manufacturing
MY184451A (en) Processed silicon wafer, silicon chip, and method and apparatus for production thereof
WO2016094328A3 (en) Laser stop layer for foil-based metallization of solar cells
WO2009027476A3 (en) A thin-film solar cell system and method and apparatus for manufacturing a thin-film solar cell
WO2015182558A1 (ja) ガラス基板の製造方法、及び電子デバイス
TW201640710A (zh) 具有電子電路的阻障箔
BRPI0907493B8 (pt) Processo de fabricação de um elemento aquecedor por depósito de camadas finas sobre um substrato isolante e o elemento obtido

Legal Events

Date Code Title Description
BB1A Patent application published

Effective date: 20130325

FG9A Patent granted

Effective date: 20130527

MM9A Lapsed patents

Effective date: 20150901