LT4805B - Dujų jutiklis - Google Patents
Dujų jutiklis Download PDFInfo
- Publication number
- LT4805B LT4805B LT1999088A LT99088A LT4805B LT 4805 B LT4805 B LT 4805B LT 1999088 A LT1999088 A LT 1999088A LT 99088 A LT99088 A LT 99088A LT 4805 B LT4805 B LT 4805B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- gas
- porous silicon
- contacts
- concentration
- electrically conductive
- Prior art date
Links
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- BWFPGXWASODCHM-UHFFFAOYSA-N copper monosulfide Chemical compound [Cu]=S BWFPGXWASODCHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000012799 electrically-conductive coating Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N copper(II) sulfide Chemical compound [S-2].[Cu+2] OMZSGWSJDCOLKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
Siūlomo išradimo tikslas - pažeminti darbo temperatūrą iki kambario temperatūros ir supaprastinti matavimus kambario (aplinkos) temperatūroje, panaudojant akyto silicio padėklą su vario sulfido dangomis.
Tikslas pasiekiamas tuo, kad rezistyvinis dujų jutiklis susideda iš izoliuojančio akyto silicio padėklo su izoliuojančiu SiO2 sluoksniu, dujoms jautraus sluoksnio ir planarinių metalo (pavyzdžiui, vario ) kontaktų. Dujoms jautrus elementas yra akyto silicio padėklas su elektrai laidžiomis dangomis. Kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio padėklo yra suformuoti vario sulfido sluoksniai. Matuojamas dujoms jautraus elemento elektrinio laidumo pastoviai srovei pokytis, indukuotas tiriamų aplinkos dujų. Čia panaudojama iki šiol nežinoma vario sulfido dangų ant akyto silicio savybė - jautris dujoms kambario temperatūroje.
Išradimas iliustruojamas brėžiniu: fig.1 - principinė rezistyvinio dujų jutiklio struktūrinė schema.
Dujų jutiklis sudarytas iš akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklo 1, ant kurio suformuotos dujoms jautrios CuxS dangos 2, ir ant jų užlydyti planariniai metalo kontaktai 3.
Dujų koncentracija nustatoma prie kontaktų pritvirtinus elektrinius įvadus ir išmatavus varžos pokytį.
Siūlomas išradimas, palyginus jį su žinomu, pasižymi šiais privalumais:
- leidžia žymiai sumažinti dujų jutiklių darbo temperatūrą (200500°C iki kambario temperatūros),
- paprastas (nesudėtingas) elektrai laidžių vario sulfidų dangų gavimo būdas,
- naudojamos medžiagos yra nedeficitinės ir pigios.
Claims (2)
- IŠRADIMO APIBRĖŽTIS1. Dujų jutiklis, susidedantis iš izoliuojančio padėklo, dujoms jautraus sluoksnio ir kontaktų, besiskiriantis tuo, kad dujoms jautrus elementas yra akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklas su elektrai laidžiomis dangomis.
- 2. Dujų jutiklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio yra suformuoti vario sulfido sluoksniai.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT1999088A LT4805B (lt) | 1999-07-20 | 1999-07-20 | Dujų jutiklis |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT1999088A LT4805B (lt) | 1999-07-20 | 1999-07-20 | Dujų jutiklis |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT99088A LT99088A (lt) | 2001-01-25 |
| LT4805B true LT4805B (lt) | 2001-06-25 |
Family
ID=19722101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT1999088A LT4805B (lt) | 1999-07-20 | 1999-07-20 | Dujų jutiklis |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT4805B (lt) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2166247A (en) | 1984-10-25 | 1986-04-30 | Atomic Energy Authority Uk | Gas sensors |
| US4887455A (en) | 1987-04-06 | 1989-12-19 | Cogent Limited | Gas sensor |
-
1999
- 1999-07-20 LT LT1999088A patent/LT4805B/lt not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2166247A (en) | 1984-10-25 | 1986-04-30 | Atomic Energy Authority Uk | Gas sensors |
| US4887455A (en) | 1987-04-06 | 1989-12-19 | Cogent Limited | Gas sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT99088A (lt) | 2001-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101641590B (zh) | 热型气体传感器 | |
| GB1586117A (en) | Solid state sensor element | |
| EP1153284A1 (en) | Absolute humidity sensor | |
| JPH0517650Y2 (lt) | ||
| WO2004095013A1 (en) | A thin semiconductor film gas sensor device | |
| CN114594141B (zh) | 集成电子鼻传感结构及其使用方法 | |
| CN114235267A (zh) | 集成温湿度传感器的皮拉尼真空计及制备方法 | |
| CA1286360C (en) | Heated solid electrolyte oxygen sensor having unique heater element | |
| JP5984959B2 (ja) | 高い測定精度を有する赤外光センサチップ、および、当該赤外光センサチップの製造方法 | |
| LT4805B (lt) | Dujų jutiklis | |
| US8324913B2 (en) | Moisture sensor and method for measuring moisture of a gas-phase medium | |
| CN106082102A (zh) | 集成温度湿度气体传感的传感器电路制造方法及传感器 | |
| JP2004325142A (ja) | ガスセンサ | |
| US20090134026A1 (en) | Gas sensor and method for the production thereof | |
| GB2002907A (en) | Semiconductor gas sensing elements | |
| US6796166B1 (en) | All polymer humidity sensor based on laser carbonized polyimide substrate | |
| US6145371A (en) | Gas sensor | |
| LT4584B (lt) | Dujų jutiklis | |
| RU2242752C1 (ru) | Датчик влажности | |
| RU22557U1 (ru) | Датчик для измерения концентрации оксида углерода | |
| JPH04235338A (ja) | 湿度センサ | |
| EP0701123A1 (en) | Formaldehyde vapour detector | |
| EP1160567A2 (en) | Sensor and method for measuring gas concentrations | |
| RU1805367C (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| EP0936461A2 (en) | Gas sensor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20010720 |