NL147579B - Werkwijze en inrichting voor het justeren van de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop. - Google Patents

Werkwijze en inrichting voor het justeren van de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop.

Info

Publication number
NL147579B
NL147579B NL696901756A NL6901756A NL147579B NL 147579 B NL147579 B NL 147579B NL 696901756 A NL696901756 A NL 696901756A NL 6901756 A NL6901756 A NL 6901756A NL 147579 B NL147579 B NL 147579B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
adjusting
electron
electron beam
electron microscope
microscope
Prior art date
Application number
NL696901756A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL6901756A (de
Original Assignee
Zeiss Carl Fa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zeiss Carl Fa filed Critical Zeiss Carl Fa
Publication of NL6901756A publication Critical patent/NL6901756A/xx
Publication of NL147579B publication Critical patent/NL147579B/xx

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
    • H01J37/1471—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path for centering, aligning or positioning of ray or beam

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
NL696901756A 1968-02-23 1969-02-04 Werkwijze en inrichting voor het justeren van de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop. NL147579B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT173768A AT275617B (de) 1968-02-23 1968-02-23 Verfahren und Anordnung zur Justierung des Elektronenstrahles in einem Elektronenmikroskop

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL6901756A NL6901756A (de) 1969-08-26
NL147579B true NL147579B (nl) 1975-10-15

Family

ID=3519905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL696901756A NL147579B (nl) 1968-02-23 1969-02-04 Werkwijze en inrichting voor het justeren van de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US3597608A (de)
AT (1) AT275617B (de)
DE (1) DE1903498C2 (de)
GB (1) GB1193250A (de)
NL (1) NL147579B (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7114692A (de) * 1970-10-28 1972-05-03
US3863095A (en) * 1971-04-12 1975-01-28 Hitachi Ltd Electron gun device of field emission type
US3932749A (en) * 1974-03-22 1976-01-13 Varian Associates Electron gun
US5389858A (en) * 1992-07-16 1995-02-14 International Business Machines Corporation Variable axis stigmator

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE899095C (de) * 1948-10-15 1953-12-07 Siemens Ag Anordnung an einem Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop
US2626358A (en) * 1949-08-12 1953-01-20 Canal Ind Company Electron microscope focusing device
US2856534A (en) * 1956-05-16 1958-10-14 Canal Ind Corp Electron microscope focusing system

Also Published As

Publication number Publication date
DE1903498C2 (de) 1971-01-14
AT275617B (de) 1969-10-27
DE1903498B1 (de) 1970-05-14
US3597608A (en) 1971-08-03
GB1193250A (en) 1970-05-28
NL6901756A (de) 1969-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL159912C (nl) Werkwijze voor het vormen van voorwerpen en inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL172400C (nl) Werkwijze voor het produceren van een weergave van de stralingsabsorptie in de afzonderlijke elementen van een doorsnedeschijf van een object, en inrichting daarvoor.
NL175801C (nl) Vormlichaam, alsmede werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een dergelijk vormlichaam.
NL145288B (nl) Werkwijze en inrichting voor het openen van vezelvlokken.
NL142747B (nl) Werkwijze voor het verstevigen van de bodem.
NL160978B (nl) Elektronenafbeeldingsstelsel voor het scherp afbeelden en afbuigen van een elektronenbundel.
NL152484B (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwerken van gebruikte stoffen.
NL159786B (nl) Werkwijze voor het tellen van deeltjes en inrichting voor het toepassen van de werkwijze.
NL145208B (nl) Werkwijze en inrichting voor het brengen van metaal in fijne verdeling in een glazen voorwerp en glazen voorwerp, verkregen door toepassing van deze werkwijze.
NL142076B (nl) Werkwijze en inrichting voor het regelen van de verdamping in een destillatieinrichting.
NL166576C (nl) Afbuiginrichting voor de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop.
NL167460C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een slijpvoorwerp.
NL147579B (nl) Werkwijze en inrichting voor het justeren van de elektronenbundel in een elektronenmicroscoop.
NL155947B (nl) Werkwijze en inrichting voor het steken van een ongeroerd grondmonster.
NL152091B (nl) Elektrofotografische werkwijze en inrichting voor het toepassen van de werkwijze.
NL139597B (nl) Werkwijze voor het behandelen van koolbrokken en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL139055B (nl) Werkwijze voor het strenggieten van een voorwerp en voorwerp, vervaardigd onder toepassing van een dergelijke werkwijze.
NL148742B (nl) Instelapparaat voor het instellen van een proefstuk in een elektronenmicroscoop.
NL143068B (nl) Inrichting voor het afbuigen van een elektronenbundel.
NL156860B (nl) Inrichting voor het verdampen met behulp van een elektronenstraal.
NL167052C (nl) Inrichting voor het focusseren van een elektronenbundel.
NL180359C (nl) Inrichting voor het in een detectiegebied opwekken van een electromagnetisch ondervragingsveld.
NL146951B (nl) Foto-elektroforetische beeldvormingswerkwijze en inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL143988B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een antibioticum met een werkzaamheid tegen tumoren.
NL146950B (nl) Foto-elektroforetische beeldvormingswerkwijze en inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee
NL80 Abbreviated name of patent owner mentioned of already nullified patent

Owner name: ZEISS