NL2004226C2 - Verplaatsingsinrichting alsmede componentplaatsingsinrichting voorzien van een dergelijke verplaatsingsinrichting. - Google Patents

Description

Verplaatsingsinrichting alsmede componentplaatsingsinrichting voorzien van een dergelijke verplaatsingsinrichting

BESCHRIJVING

5

De uitvinding heeft betrekking op een verplaatsingsinrichting voorzien van ten minste een van hoofdmagneten en hulpmagneten voorziene eerste element en een van spoelen voorziene tweede element, welke hoofdmagneten in een raster van rijen en kolommen zijn gelegen, waarbij hoofdmagneten in aan elkaar grenzende 10 rijen en in aan elkaar grenzende kolommen tegengesteld zijn gepolariseerd en versprongen ten opzichte van elkaar zijn gelegen, terwijl ten minste in een aantal rijen tussen de hoofdmagneten, hulpmagneten met eenzelfde polariteit zijn gelegen, waarbij het magnetisch veld van de hulpmagneten een andere sterkte heeft dan de hoofdmagneten, waarbij de spoelen bekrachtigbaar zijn voor het 15 verplaatsen van het eerste element ten opzichte van het tweede element in een zich evenwijdig aan de rijen uitstrekkende richting alsmede in een zich evenwijdig aan de kolommen uitstrekkende richting.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een componentplaatsingsinrichting voorzien van een dergelijke verplaatsingsinrichting.

20 Bij een dergelijke uit US2005077786A1 bekende inrichting zijn hoofdmagneten en hulpmagneten in x,y-vormig rasters gelegen. Door de in de rijen gelegen hulpmagneten is de verandering in het magnetisch veld over de verschillende rijen anders dan over de verschillende kolommen, waardoor de tijdens het verplaatsen in een zich evenwijdig aan de rijen uitstrekkende richting door het bekrachtigen vn de 25 spoelen andere magneetkrachten optreden dan bij verplaatsing in een zich evenwijdig aan de kolommen uitstrekkende richting.

Een nadeel van de bekende inrichting is dat de opbouw van de rasters relatief gecompliceerd is, waardoor de productie van dergelijke rasters relatief ingewikkeld en kostbaar is.

30 De uitvinding beoogt een verplaatsingsinrichting te verschaffen waarbij het raster een relatief eenvoudige opbouw heeft, waarmee op eenvoudige wijze een andere verandering in het magnetisch veld over de verschillende rijen dan over de verschillende kolommen wordt verkregen.

Dit doel wordt bij de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding bereikt 35 doordat het eerste element is voorzien van een aantal schijfvormige magnetische segmenten en tussen de segmenten gelegen permanent magneten, waarbij nabij elkaar gelegen permanent magneten in een zich evenwijdig aan de kolommen 2 uitstrekkende richting tegengesteld zijn gepolariseerd, terwijl de segmenten de hoofdmagneten en hulpmagneten vormen.

De hulpmagneten kunnen alleen zijn voorzien tussen hoofdmagneten in rijen met de ene polarisatierichting terwijl in de rijen met de andere polarisatierichting 5 geen hulpmagneten zijn voorzien.

Bij voorkeur zijn echter in alle rijen tussen de hoofdmagneten hulpmagneten gepositioneerd, die telkens eenzelfde polariteit hebben als de hoofdmagneten in de betreffende rij en een zwakker magnetisch veld hebben dan de hoofdmagneten. Door deze opstelling van de hulpmagneten zijn in de kolommen tussen 10 hoofdmagneten met de ene polariteit, hulpmagneten met de ander polariteit gelegen.

Hierdoor is de verandering in het magnetisch veld over de verschillende rijen anders dan over de verschillende kolommen, waardoor ook de tijdens het verplaatsen in een zich evenwijdig aan de rijen uitstrekkende richting andere 15 magneetkrachten optreden dan bij verplaatsing in een zich evenwijdig aan de kolommen uitstrekkende richting. Door de relatief zwakke hulpmagneten is het verschil van de magnetische krachten tussen twee naast elkaar gelegen rijen groter dan het verschil van de magnetische Dachten tussen twee naast elkaar kolommen.

De rijen en kolommen kunnen in een x-y-vlak zijn gelegen of kunnen in een 20 cilindervormig raster zijn gelegen, waarbij de rijen of kolommen zich in axiale richting kunnen uitstrekken.

Opgemerkt wordt dat bij een, uit het Amerikaans octrooi US 5, 952, 744 Bi bekende verplaatsingsinrichting magneten in een cilindervormig raster zijn gelegen, waarbij de magneten in omtreksrichting op eenzelfde afstand van elkaar zijn 25 gelegen als in axiale richting. In omtreksrichting zijn de magneten in rijen gelegen en in axiale richting in kolommen. Magneten in aan elkaar grenzende rijen en in aan elkaar grenzende kolommen zijn tegengesteld gepolariseerd en versprongen ten opzichte van elkaar gelegen. Het tweede element is voorzien van eerste spoelen die zich in omtreksrichting uitstrekken. Door het bekrachtigen van de eerste spoelen, 30 wordt het eerste element in axiale richting verplaatst. Het tweede element is verder voorzien van tweede spoelen die zich in axiale richting uitstrekken. Door het bekrachtigen van de tweede spoelen, wordt het eerste element in omtreksrichting geroteerd.

Een voordeel van een dergelijke verplaatsingsinrichting is dat een verplaatsing 35 in twee, bij voorkeur zich dwars op elkaar uitstrekkende richtingen kan worden uitgevoerd.

3

Een beperking van de bekende verplaatsingsinrichting is echter dat zowel tijdens de rotatie als de axiale verplaatsing eenzelfde fluctuatie van het door het eerste element opgewekt magnetische veld optreedt, waardoor in omtreksrich ting als in axiale richting dezelfde magnetische krachten optreden.

5 Een uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat het eerste element ten opzichte van het tweede element roteerbaar is om een rotatie-as, waarbij de kolommen zich evenwijdig aan de rotatie-as uitstrekken, terwijl de rijen zich concentrisch om de rotatie-as heen uitstrekken.

10 Doordat de concentrische rijen zijn voorzien van tussen de hoofdmagneten gelegen hulpmagneten met eenzelfde polariteit, wordt een grotere variatie in het magnetisch veld bij verplaatsing in axiale richting verkregen dan bij verplaatsing in de rotatie-richting. Hierdoor kunnen in axiale richting grotere krachten worden uitgeoefend. In het geval dat de axiale richting zich in verticale richting uitstrekt 15 kan hierbij bijvoorbeeld de zwaartekracht worden weerstaan, hetgeen bij een rotatie in een dergelijk geval niet nodig is.

Een andere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de schijfvormige segmenten zacht magnetisch zijn.

20 Door de segmenten en de daartussen gelegen permanent magneten wordt een eenvoudige opbouw van het eerste element verkregen.

Met bijvoorbeeld relatief eenvoudig uitgevoerde permanent magneten en specifiek gevormde segmenten kan nagenoeg elke gewenste configuratie van hoofdmagneten en hulpmagneten worden gerealiseerd. De van de permanent 25 magneten afkomstige veldlijnen gaan door de segmenten heen en strekken zich vanuit de segmenten in radiale richting uit.

Een nog andere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat elk segment ten minste twee hoofdmagneten omvat die dichter nabij de spoelen van het tweede element zijn gelegen dan tussen 30 de hoofdmagneten gelegen hulpmagneten.

Door de hulpmagneten op een grotere afstand van de spoelen te positioneren dan de hoofdmagneten, treden tussen de spoelen en de hulpmagneten geringere krachten op dan tussen de spoelen en de hoofdmagneten. De hulpmagneten en hoofdmagneten kunnen hierbij van eenzelfde magnetische materiaal zijn 35 vervaardigd.

Een weer andere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat elk segment ten minste twee hoofdmagneten 4 omvat die in axiale richting een grotere dikte hebben dan tussen de hoofdmagneten gelegen hulpmagneten.

Door de grotere dikte wordt door de hoofdmagneet een groter magnetisch veld veroorzaakt dan door de hulpmagneet. De dikkere hoofdmagneten van het 5 ene segment liggen tegenover dunnere hulpmagneten van het andere segment zodat een compacte opbouw wordt verkregen.

Een nog verdere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat elke permanent magneet een uniforme dikte heeft.

10 Hierdoor wordt een nagenoeg constant magnetisch veld door de permanent magneten naar de segmenten geleid.

Een weer andere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de schijfvormige segmenten permanent magneten zijn die in een zich dwars op de rotatie-as uitstrekkende richting zijn 15 gepolariseerd.

De schijfvormige elementen kunnen op eenvoudige wijze worden voorzien van sterkere en zwakkere magnetische gedeeltes die respectievelijk de hoofdmagneten en hulpmagneten vormen. Door het op elkaar stapelen van afwisselend radiaal en axiaal gepolariseerde magneten kan op eenvoudige wijze het 20 eerste element worden gevormd.

Een nog verdere uitvoeringsvorm van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de schijfvormige segmenten zijn voorzien van twee half-cirkelvormige delen die aan weerszijden van een zich door de rotatie-as uitstrekkend vlak zijn gelegen, waarbij de half-cirkelvormige delen in 25 tegengestelde richtingen zijn gepolariseerd, welke richtingen zich dwars op het vlak uitstrekken.

Nabij het vlak gelegen zijden van de magneten vormen de hulpmagneten, terwijl de op afstand van het vlak gelegen zijden de hoofdmagneten vormen.

Dergelijke eerste schijfvormige segmenten zijn relatief eenvoudig te 30 vervaardigen.

De uitvinding heeft ook betrekking op een componentplaatsingsinrichting voorzien van een dergelijke verplaatsingsinrichting, waarbij het eerste element is voorzien van een zich in axiale richting uitstrekkende luchtdoorvoeropening voor het, in bedrijf, aan een uiteinde aanbrengen voor een onderdruk voor het opnemen 35 van een component.

Een dergelijke componentplaatsingsinrichting is geschikt voor het opnemen en plaatsen van componenten op bijvoorbeeld een substraat zoals een PCB. De 5 luchtdoorvoeropening strekt zich bij voorkeur uit door middelpunten van de segmenten.

De uitvinding zal nader worden toegelicht aan de hand van de tekening waarin 5 fig. lA en ïB een schematisch uitgeslagen aanzicht van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding en een grafiek met de magnetische flux tijdens rotatie tonen, fig. 2A en 2B een schematisch uitgeslagen aanzicht van de verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding en een grafiek met de magnetische 10 flux tijdens translatie tonen, fig. 3 een perspectivisch aanzicht van een uitvoeringsvorm van een eerste element van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding toont, fig. 4 een schematisch uitgeslagen aanzicht van het in fig. 3 weergegeven eerste element toont, 15 fig. 5A-5C perspectivische aanzichten van andere uitvoeringsvormen van segmenten voor het in fig. 3 weergegeven eerste element toont, fig. 6 een vooraanzicht van een andere uitvoeringsvorm van een eerste element van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding toont, fig. 7A-7B dwarsdoorsneden van een andere uitvoeringsvorm van magneten 20 voor een eerste element van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding tonen, fig. 8A en 8B een langsdoorsnede en dwarsdoorsnede van een tweede element van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding tonen.

In de figuren zijn overeenkomende onderdelen voorzien van eenzelfde 25 verwijzingscijfer.

Fig. 1A-2A tonen een schematisch uitgeslagen aanzicht van een cilindervormig raster 1 van een eerste element van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding. Het raster 1 omvat rijen 2, 3 en kolommen 4, 5. De rijen 2, 3 strekken zich in omtreksrichting 0 uit, terwijl de kolommen 4, 5 zich in Z-richting 30 uitstrekken. De rijen 2, 3 en de kolommen 4, 5 strekken zich dwars op elkaar uit.

Elke rij 2 omvat afwisselend hoofdmagneten 6 en hulpmagneten 7 die in een zich dwars op het vlak van de tekening uitstrekkende richting zijn gepolariseerd, waarbij de noordpolen N, n zichtbaar zijn. Tussen de rijen 2 zijn rijen 3 gelegen. Elke rij 3 omvat afwisselend hoofdmagneten 8 en hulpmagneten 9 die in een zich 35 dwars op het vlak van de tekening uitstrekkende richting zijn gepolariseerd, waarbij de zuidpolen Z, z zichtbaar zijn. De rijen 2, 3 zijn versprongen ten opzichte van elkaar gelegen zodat in elke kolom 4 tussen hoofdmagneten 6 van verschillende 6 rijen 2 een hulpmagneet 9 van een tussen de rijen 2 gelegen rij 3 is gelegen. Hierdoor is elke kolom 4 voorzien van afwisselend hoofdmagneten 6 en hulpmagneten 9, waarvan de polen N, z zichtbaar zijn. Elke kolom 5 is afwisselend voorzien van hulpmagneten 7 en hoofdmagneten 8, waarvan de polen n, Z 5 zichtbaar zijn. De hulpmagneten 7, 9 zijn minder sterk dan de hoofdmagneten 6, 8, waardoor het van de hulpmagneten 7, 9 afkomstig magnetisch veld zwakker is.

De verplaatsingsinrichting omvat verder een tweede element die is voorzien van een aantal eerste langgestrekte spoelen 10 die zich evenwijdig aan en tegenover de kolommen 4, 5 uitstrekken. In fig. lA is een dergelijke spoel 10 schematisch 10 weergegeven. Het tweede element is verder voorzien van een aantal tweede langgestrekte spoelen 11 die zich evenwijdig aan de rijen 2, 3 uitstrekken. In lig. 2A is een dergelijke spoel 11 schematisch weergegeven.

In fig. 1B is in een grafiek de flux <&0 uitgezet tegen een rotatiehoek 0 van het eerste element ten opzichte van het tweede element. De rotatie van het eerste 15 element ten opzichte van het tweede element wordt tot stand gebracht door het afwissend bekrachtigen van de spoelen 10 op een op zich bekende wijze. Hierbij komt afwisselend een kolom 4 of kolom 5 tegenover de in lig. lA weergegeven spoel 10. De flux <&e varieert hierbij tussen een maximale en minimale waarde.

In fig. 2B is in een grafiek de flux <ï>z uitgezet tegen een translatie van het 20 eerste element ten opzichte van het tweede element in Z-richting. De translatie van het eerste element ten opzichte van het tweede element wordt tot stand gebracht door het afwissend bekrachtigen van de spoelen 11 op een op zich bekende wijze. Hierbij komt afwisselend een rij 2 of een rij 3 tegenover de in fig. 2A weergegeven spoel 11. De flux <&z varieert hierbij tussen een maximale en minimale 25 waarde.

Doordat elke kolom 4, 5 tegengesteld gepolariseerde hoofdmagneten en hulpmagneten omvat, terwijl elke rij 2, 3 hoofdmagneten en hulpmagneten omvat die in dezelfde richting zijn gepolariseerd, is de maximale flux ¢,, kleiner dan de maximale flux <ï>z.

30 Fig. 3 toont een perspectivisch aanzicht van een eerste element 21 van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding die is voorzien van een aantal schijfvormige segmenten 22, 23 en tussen de segmenten 22, 23 gelegen permanent magneten 24. Fig. 5A toont een perspectivisch aanzicht van een segment 22, 23 dat van zacht magnetisch materiaal is vervaardigd. Zoals duidelijk zichtbaar in fig 5A, 35 omvat elk segment 22, 23 een cirkelvormige schijf die aan twee tegenover elkaar gelegen zijden is voorzien van afgevlakte, rechte randen 25. Tussen de randen 25 zijn boogvormige randen 26 gelegen.

7

Het eerste element 21 is langwerpig en roteerbaar om een rotatie-as 27. Elke permanent magneet 24 is gepolariseerd in een zich evenwijdig aan rotatie-as 26 uitstrekkende richting P, waarbij de polarisatie-richtingen P van aan weerszijden van een segment 22 gelegen permanent magneten 24 van elkaar af zijn gericht en 5 de polarisatie-richtingen P van aan weerszijden van een segment 23 gelegen permanent magneten 24 naar elkaar toe zijn gericht. Hierdoor fungeren de segmenten 22 als zuidpolen z, Z en de segmenten 23 als noordpolen n, N, waarbij de magnetische veldlijnen zich vanaf de randen 25, 26 dwars op de rotatie-as 27 uitstrekken. Doordat de segmenten 22, 23 rechte randen 25 hebben die dichter 10 nabij de rotatie-as 27 en derhalve verder van de om het eerste element 21 heen gelegen spoelen van het tweede element zijn gelegen, is het magnetisch veld van de randen 25 zwakker dan van de gebogen randen 26. De rechte randen 25 vormen zwakkere hulpmagneten met een pool n, z terwijl de boogvormige randen 26 hoofdmagneten met een pool N, Z vormen. De als zuidpool functionerende 15 segmenten 22 zijn ten opzichte van de als noordpool functionerende segmenten 23 over 90 graden om de rotatie-as gedraaid, zodat in axiale richting hulpmagneten met de ene polariteit tussen hoofdmagneten met de andere polariteit zijn gelegen. Dit is duidelijk zichtbaar in fig. 4, waarin een uitgeslagen aanzicht van het eerste element 21 is weergegeven. De werking van een van het eerste element 21 voorziene 20 verplaatsingsinrichting is vergelijkbaar met de aan de hand van de fig. 1A-2B beschreven verplaatsingsinrichting.

Fig. 5B en 5C tonen alternatieve uitvoeringsvormen van de segmenten 22, 23, waarbij bij de in fig. 5B weergegeven segment 28 zich tussen boogvormige randen 26 V-vormig ingesneden rechte randen 29 uitstrekken. De V-vorm is in een 25 evenwijdig aan de rotatie-as uitstrekkend vlak gelegen. Bij het in fig. 5C weergegeven segment 30 is tussen de boogvormige randen 26 een V-vormige insnijding 31 gelegen, waarbij de V-vorm in een zich dwars op de rotatie-as uitstrekkend vlak is gelegen. Door de verschillende vormen zullen de magneetlijnen anders verlopen. Door berekeningen of experimenteel kan bij elke vorm het verloop 30 van de magnetische flux bij rotatie om de rotatie-as 27 alsmede bij translatie in een zich evenwijdig aan de rotatie-as 27 uitstrekkende richting worden bepaald. Door het verminderen van het verschil in flux bij verplaatsing in de ene richting zal een toename in het verschil in flux en derhalve een toename in de optredende krachten bij verplaatsing in de andere richting optreden.

35 Fig. 6 toont een andere uitvoeringsvorm van een eerste element 41 van een verplaatsingsrichting volgens de uitvinding, dat is voorzien van een aantal schijfvormige segmenten 42, 43 en tussen de segmenten 42, 43 gelegen permanent 8 magneten 44. De segmenten 42, 43 zijn van zacht magnetisch materiaal vervaardigd. Het eerste element 41 is langwerpig en roteerbaar om een rotatie-as 45. Elk segment 42, 43 is voorzien van twee in axiale richting gezien dikkere gedeeltes 46 en tussen de dikkere gedeeltes 46 gelegen dunnere gedeeltes 47. De dikkere 5 gedeeltes 46 van de segmenten 42 zijn tegenover de dunnere gedeeltes 47 van de segmenten 43 gelegen en vice versa. Hierdoor hebben de tussen de segmenten 42, 43 gelegen permanent magneten 4 in omtreksrichting gezien een nagenoeg constante dikte. Elke permanent magneet 44 is gepolariseerd in een zich evenwijdig aan rotatie-as 45 uitstrekkende richting P, waarbij de polarisatie-richtingen P van 10 aan weerszijden van een segment 42 gelegen permanent magneten 44 van elkaar af zijn gericht en de polarisatie-richtingen P van aan weerszijden van een segment 43 gelegen permanent magneten 44 naar elkaar toe zijn gericht. Hierdoor fungeren de segmenten 42 als zuidpolen Z en de segmenten 43 als noordpolen N, waarbij de magnetische veldlijnen zich vanaf de segmenten 42, 43 dwars op de rotatie-as 45 15 uitstrekken. Aangezien het magnetisch veld van de dikkere gedeeltes 46 sterker is dan van de dunnere gedeeltes 47, vormen de dikkere gedeeltes 46 van de segmenten de hoofdmagneten terwijl de dunnere gedeeltes de hulpmagneten vormen. In axiale richting gezien zijn de hulpmagneten met de ene polariteit tussen hoofdmagneten met de andere polariteit zijn gelegen.

20 Fig. 7A-7B tonen dwarsdoorsneden van eerste schijfvormige permanent magneten 51, 61 die in plaats van de zacht magnetische segmenten 23 respectievelijk 22 tussen axiaal gepolariseerde magneten 24 kunnen worden aangebracht. De magneten 24 vormen tweede schijfvormige permanent magneten. De permanent magneten 71, 81 omvatten elk twee delen 52, 62. In elk deel 52, 62 is de magnetische 25 polarisatie parallel, waardoor de magnetische veldlijnen evenwijdig aan elkaar lopen. De magnetische veldlijnen van de twee over een verbindingsvlak 53, 63 met elkaar verbonden delen 72, 82 zijn van elkaar af gericht respectievelijk naar elkaar toe gericht, waardoor nabij het verbindingsvlak 53, 63 de magnetische veldsterkte minder is en daar hulpmagneten n, z zijn gevormd terwijl op afstand van het 30 verbindingsvlak 53, 63 de hoofdmagneten N, Z zijn gelegen. De magneten 51 zijn telkens gelegen tussen twee axiaal gepolariseerde magneten 24, waarvan de polarisatie-richtingen P naar elkaar toe zijn gericht, terwijl de magneten 61 zijn gelegen tussen twee axiaal gepolariseerde magneten 24, waarvan de polarisatie-richtingen P van elkaar af zijn gericht.

35 Fig. 8A en 8B tonen een tweede element 71 van een verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding, welk tweede element 71 is voorzien van een buisvormige houder 72 die zich om een hartlijn 73 uitstrekt. De houder 72 omvat een 9 cilindervormige doorgang 74 waarin een eerste element zoals hierboven beschreven positioneerbaar is. De houder 72 is voorzien van een aantal ringvormige spoelen A, B, C, A’, B’, C’ die zich elk om de hartlijn 73 heen uitstrekken. De spoelen A, B, C, A’, B’, C’ fungeren op eenzelfde wijze als spoel 11 van fig. 2A De spoelen A, B, C, 5 A’, B’, C’ worden volgens een drie-fasesysteem versprongen aangestuurd, waardoor een verplaatsing in een zich evenwijdig aan de hartlijn 73 uittrekkende richting wordt bewerkstelligd..

De houder 72 is verder voorzien van een aantal langgestrekte spoelen D, E, F die zich elk in axiale richting van de cilindervormige doorgang 74 uitstrekken. De 10 spoelen D, E, F fungeren op eenzelfde wijze als spoel 10 van fig. xA. De spoelen D, E, F worden volgens een drie-fasesysteem versprongen aangestuurd, waardoor een rotatie om de hartlijn 73 wordt bewerkstelligd.

Door het tegelijkertijd aansturen van de spoelen A, B, C, A’, B’, C’ en de spoelen D, E, F kan een willekeurige schroefbeweging worden gerealiseerd.

15 De verplaatsingsinrichting volgens de uitvinding is bijvoorbeeld geschikt voor toepassing in een op zich bekende componentplaatsingsinrichting, waarbij zich door het eerste element een langwerpige luchtdoorvoeropening 101 (zie fig. 5A) uitstrekt voor het aanbrengen van onderdruk nabij een uiteinde van het eerste element voor het opnemen van een component.

20 Het is ook mogelijk om de rijen en kolommen een ander hoek dan 90 graden met elkaar te laten insluiten.

Alhoewel het de voorkeur heeft dat het magnetisch veld van de hulpmagneten zwakker is dan het magnetisch veld van de hoofdmagneten, kan bijvoorbeeld in het geval dat de hulpmagneten alleen zijn voorzien tussen hoofdmagneten in rijen met 25 de ene polarisatierichting terwijl in de rijen met de andere polarisatierichting geen hulpmagneten zijn voorzien, het magnetische veld van de hulpmagneten ook sterker zijn.

Het is ook mogelijk om de rijen zich in axiale richting te laten uitstrekken.

Het is ook mogelijk om in plaats van een verplaatsing om en evenwijdig aan 30 de rotatie-as, een verplaatsingsinrichting te vervaardigen voor verplaatsingen in een x, y-vlalc, waarbij de rijen zich in x-richting en de kolommen zich in y-richting uitstrekken. De in x-richting uit te oefenen krachten zullen dan kleiner zijn dan de in y-richting uit te oefenen krachten.

Het is ook mogelijk om het eerste element stationair op te stellen en het 35 tweede element ten opzichte van het eerste element te verplaatsen.

Claims (9)

1. Verplaatsingsinrichting voorzien van ten minste een van hoofdmagneten (6, 8) en hulpmagneten (7, 9) voorziene eerste element en een van spoelen (10, 11) 5 voorziene tweede element, welke hoofdmagneten (6, 8) in een raster van rijen (2, 3) en kolommen (4, 5) zijn gelegen, waarbij hoofdmagneten (6, 8) in aan elkaar grenzende rijen (2, 3) en in aan elkaar grenzende kolommen (4, 5) tegengesteld zijn gepolariseerd en versprongen ten opzichte van elkaar zijn gelegen, terwijl ten minste in een aantal rijen (2, 3) tussen de hoofdmagneten (6, 8), hulpmagneten (7, 10 9) met eenzelfde polariteit zijn gelegen, waarbij het magnetisch veld van de hulpmagneten (7, 9) een andere sterkte heeft dan de hoofdmagneten (6, 8), waarbij de spoelen (10, 11) bekrachtigbaar zijn voor het verplaatsen van het eerste element ten opzichte van het tweede element in een zich evenwijdig aan de rijen (2, 3) uitstrekkende richting alsmede in een zich evenwijdig aan de kolommen (4, 5) 15 uitstrekkende richting, met het kenmerk, dat het eerste element is voorzien van een aantal schijfvormige magnetische segmenten (22, 23, 42, 43, 51, 61) en tussen de segmenten gelegen permanent magneten (24, 44), waarbij nabij elkaar gelegen permanent magneten (24, 44) in een zich evenwijdig aan de kolommen uitstrekkende richting tegengesteld zijn gepolariseerd, terwijl de segmenten (22, 23, 20 42, 43, 51, 61) de hoofdmagneten en hulpmagneten vormen.

2. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het eerste element ten opzichte van het tweede element roteerbaar is om een rotatie-as, waarbij kolommen zich evenwijdig aan de rotatie-as uitstrekken, terwijl de rijen 25 zich concentrisch om de rotatie-as heen uitstrekken

3. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de schijfvormige segmenten (22, 23, 42, 43) zacht magnetisch zijn.

4. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat elk segment ten minste twee hoofdmagneten omvat die dichter nabij de spoelen (10, 11) van het tweede element zijn gelegen dan tussen de hoofdmagneten gelegen hulpmagneten.

5. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 3 of 4, met het kenmerk, dat elk 35 segment ten minste twee hoofdmagneten omvat die in axiale richting een grotere dikte hebben dan tussen de hoofdmagneten gelegen hulpmagneten.

6. Verplaatsingsinrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat elke permanent magneet een nagenoeg uniforme dikte heeft.

7. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de 5 schijfvormige segmenten (51, 61) permanent magneten zijn die in een zich dwars op de rotatie-as (27, 45) uitstrekkende richting zijn gepolariseerd.

8. Verplaatsingsinrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat de schijfvormige segmenten zijn voorzien van twee half-cirkelvormige delen die aan 10 weerszijden van een zich door de rotatie-as uitstrekkend vlak zijn gelegen, waarbij de half-cirkelvormige delen in tegengestelde richtingen zijn gepolariseerd, welke richtingen zich dwars op het vlak uitstrekken.

9. Componentplaatsingsinrichting voorzien van een verplaatsingsinrichting 15 volgens een der voorgaande conclusies 2-8, met het kenmerk, dat het eerste element is voorzien van een zich in axiale richting uitstrekkende luchtdoorvoeropening (101) voor het, in bedrijf, aan een uiteinde van het eerste element aanbrengen voor een onderdruk voor het opnemen van een component. 20