NL9200327A

NL9200327A - Offset-gecompenseerde bemonsterinrichting en werkwijze voor de bediening daarvan.

Info

Publication number: NL9200327A
Application number: NL9200327A
Authority: NL
Original assignee: Sierra Semiconductor Bv
Priority date: 1992-02-21
Filing date: 1992-02-21
Publication date: 1993-09-16
Also published as: JPH07504290A; CA2130467A1; DE69300819D1; US5506526A; WO1993017436A1; ATE130459T1; KR950700593A; EP0627118B1; DE69300819T2; EP0627118A1

Description

Offset-gecompenseerde bemonsterinrichting en werkwijze voor de bediening daarvan.

De uitvinding betreft een bemonsterinrichting voor het bemonsteren van een ingangssignaal, omvattend tenminste een verschilversterker met een omkeeringang, met een met een referentiespanning (of aarde) verbonden niet-omkeeringang en met een uitgang, een eerste capaciteit waarvan de ene zijde via een eerste schakelaar met de ingangsspanning kan worden verbonden, een tweede capaciteit waarvan de ene zijde via een tweede schakelaar met de uitgang van de verschilversterker kan worden verbonden.

Een dergelijke inrichting is bekend uit US-A-4.439.693. De werking van deze bekende inrichting zal eerst worden besproken aan de hand van fig. 1a en b, die zijn ontleend aan fig. 3a en b van genoemd octrooi-schrift. De bekende inrichting heeft tot doel te voorkomen, dat de off-set-spanning die op de ingang van de verschilversterker 10 aanwezig is, van invloed is op het uitgangssignaal Vout van de bemonsterinrichting. Daartoe voert deze bekende inrichting twee stappen uit. In de eerste stap (fig. 1a) worden de uitgang en de omkeeringang van de verschilversterker 10 met elkaar verbonden en wordt de resulterende offset-span-ning van de verschilversterker opgeslagen op zowel de eerste capaciteit Cin als de tweede capaciteit CF. De eerste capaciteit Cin is verbonden tussen de omkeeringang en het te bemonsteren ingangssignaal, terwijl de tweede capaciteit CF dan is verbonden tussen de omkeeringang en de referentiespanning (of aarde). In de tweede stap wordt de direkte verbinding 44 tussen de uitgang en de omkeeringang van de verschilversterker verwijderd en de tweede capaciteit CF tussen de uitgang en de omkeeringang van de verschilversterker geschakeld. Daardoor wordt een spanning even groot als de offset-spanning, maar van tegengestelde polariteit als de oorspronkelijke offset-spanning, bij de op de ingang van de verschilversterker aanwezige offset-spanning opgeteld, zodat de invloed van de offset-spanning wordt geneutraliseerd.

Tijdens de compensatiefase wordt dus in deze bekende inrichting de uitgangsspanning van de schakeling gelijk gemaakt aan de offset-spanning. Omdat vlak daarvoor de vorige bemonsterde waarde nog op de uitgang aanwezig was, moet de uitgangsspanning dus een in het algemeen grote spanningsstap maken. Daarom moeten hogere eisen worden gesteld aan de snelheid van de toegepaste verschilversterker. Omdat de uitgangsspanning van de bekende schakeling gedurende de compensatiefase gelijk is aan de offset-spanning, kan voorts geen tijdcontinu laagdoor- laatfilter worden toegepast om het oorspronkelijke signaal terug te winnen. Tijdens de compensatiefase is het uitgangssignaal immers geen functie van het ingangssignaal, zodat het uitgangssignaal van een eventueel toegepast laagdoorlaatfilter aanzienlijk zou afhangen van de off-set-spanning. Derhalve kan de bekende schakeling alleen daar worden toegepast, waar het uitgangssignaal van de bemonsterinrichting alleen tijddiscreet wordt behandeld en de waarde van het uitgangssignaal tijdens de compensatiefase zelf geen rol speelt.

Voorts is in de schakeling van de stand van de techniek de nauwkeurigheid afhankelijk van de mate waarin de twee capaciteiten met elkaar overeenkomen. Een nauwkeurigheid van 0,01% wordt geclaimd, maar deze moet alleen al vanwege de beperkte relatieve gelijkheid ("match-ing") van capaciteiten op een chip (typische waarde: 0,1%) slechter zijn.

Het is een doelstelling van de uitvinding om een bemonsterinrichting te verschaffen met offset-compensatie en een continu aanwezig ("low glitch") uitgangssignaal. Daartoe heeft een bemonsterinrichting volgens de uitvinding het kenmerk, dat de bemonsterinrichting tevens omvat een derde schakelaar waarvan de ene zijde is verbonden met de ingangsspanning en de andere zijde met de genoemde ene zijde van de tweede capaciteit, een vierde schakelaar waarvan de ene .zijde is verbonden met de genoemde ene zijde van de eerste capaciteit en de andere zijde met de uitgang van de verschilversterker, een vijfde schakelaar waarvan de ene zijde is verbonden met de andere zijde van de eerste capaciteit, alsmede met de ene zijde van een zesde schakelaar waarvan de andere zijde is verbonden met de referentiespanning, terwijl de andere zijde van de vijfde schakelaar is verbonden met de omkeeringang van de verschilversterker, een zevende schakelaar waarvan de ene zijde is verbonden met de andere zijde van de tweede capaciteit, alsmede met de ene zijde van een achtste schakelaar waarvan de andere zijde met de referentiespanning is verbonden, terwijl de andere zijde van de zevende schakelaar eveneens met de omkeeringang van de verschilversterker is verbonden.

Door toepassing van deze maatregelen wordt een hogere graad van offset-compensatie bereikt, terwijl het uitgangssignaal van de bemonsterinrichting althans nagenoeg continu aanwezig is. De bemonsterinrichting volgens de uitvinding kan daarom zowel tijddiscreet als tijdcontinu worden toegepast.

Voorts betreft de uitvinding een werkwijze voor de bediening van de schakelaars in deze bemonsterinrichting,.die het kenmerk heeft, dat voor het bemonsteren van de ingangsspanning de volgende stappen worden uitgevoerd: a. het sluiten of gesloten houden van de eerste, de tweede, zesde en zevende schakelaars en het openen of geopend houden van de overige schakelaars; b. het openen van de zesde schakelaar; c. het sluiten van de vijfde schakelaar; d. het openen van de eerste schakelaar; e. het openen van de tweede en zevende schakelaars; f. het sluiten van de vierde en achtste schakelaars.

Het belangrijkste voordeel dat hiermee wordt bereikt is, dat voortdurend op de uitgang van de bemonsterinrichting een spanning aanwezig blijft, die althans nagenoeg overeenkomt met een bemonsterde waarde. Tijdens de compensatie-fase wordt bij de aanwezige uitgangs-spanning (dat wil zeggen de vorige bemonsterde waarde) namelijk de off-set-spanning opgeteld en wordt niet, zoals in de stand van de techniek, de uitgangsspanning vervangen door de offset-spanning. Omdat de offset-spanning (kenmerkende waarde < 5 mV) in het algemeen veel geringer is dan de bemonsterde spanning, is de spanningsverandering aan de uitgang tijdens de compensatie-fase dus veel geringer dan in de inrichting volgens de stand van de techniek. Daarom hoeven aan de toegepaste ver-schilversterker minder hoge eisen wat betreft de snelheid ("slew rate") te worden gesteld. Bovendien kan daarom aan de uitgang een tijdcontinu laagdoorlaatfilter worden toegepast. Voorts heeft de verhouding tussen beide capaciteiten vrijwel geen invloed op de nauwkeurigheid van de schakeling.

In een eerste voorkeursuitvoeringsvorm zijn de eerste, derde, zesde en achtste schakelaars significant groter dan de overige schakelaars om de ingangsspanning sneller te kunnen bemonsteren.

In een andere voorkeursuitvoeringsvorm heeft de bemonster-inrich-ting volgens de uitvinding het kenmerk, dat de eerste schakelaar bestaat uit een parallelschakeling van een eerste relatief grote schakelaar en een eerste relatief kleine schakelaar en de derde schakelaar bestaat uit een parallelschakeling van een derde relatief grote schakelaar en een derde relatief kleine schakelaar.

Een werkwijze voor de bediening van de schakelaars in deze laatstgenoemde uitvoeringsvorm volgens de uitvinding heeft het kenmerk, dat het openen van de eerste, uit twee parallelle schakelaars bestaande schakelaar in stap d plaatsvindt in twee substappen: d1. het openen van de eerste relatief grote schakelaar; d2. het openen van de eerste relatief kleine schakelaar.

Door het toepassen van deze maatregelen worden de gevolgen van de klokoverspraak ("clock feedthrough") voor de eerste (of tweede) schakelaar verminderd: door eerst alleen de grote schakelaar te openen wordt het schakeleffect van de grote schakelaar via de nog gesloten kleine schakelaar kortgesloten. Door daarna pas de kleine schakelaar te openen resteert alleen een veel minder groot schakeleffect van deze kleine schakelaar.

De uitvinding zal hieronder nader worden toegelicht aan de hand van een tekening, die is bedoeld ter illustratie en niet ter beperking van de uitvindingsgedachte. In de tekening tonen:

Fig. 1a en b een bemonsterinrichting bekend uit de stand van de techniek;

Fig. 2 een bemonsterinrichting volgens de uitvinding,

Fig. 3 een realisatie in MOS-technologie van het gedeelte van fig. 2 met betrekking tot de schakelaars en de capaciteiten;

Fig. 4a t/m 4f een overzicht van de werking van de inrichting volgens fig. 2;

Fig. 5 een mogelijk spanningsverloop aan de uitgang van de inrichting volgens fig. 2.

De bemonsterinrichting volgens fig. 2 bestaat uit een verschilver-sterker A, capaciteiten C1 en C2 en schakelaars S110, S111, S120, S121, S210, S211, S220 en S221. Ter vervolmaking van de schakeling zijn de schakelaars S110, S121, S210 en S221 in een voorkeursuitvoering rela tief grote schakelaars, zodat zij een lage weerstand in geleidende toestand vertonen om de capaciteiten C1 en C2 snel op te laden tot de in-gangsspanning Vi. De overige schakelaars kunnen kleiner worden uitgevoerd dan S11Q, S121, S210 en S221, omdat indien zij zich in de gelei dende toestand bevinden in de meeste gevallen toch de verschilversterker A de snelheidsbeperkende factor vormt.

De nauwkeurigheid van de bemonsterinrichting wordt beïnvloed door de klokoverspraak die ontstaat bij het inschakelen van S111 en S211 en die bij het uitschakelen van S110 en S210. Dit effect wordt kleiner naarmate deze schakelaars kleiner zijn, bijvoorbeeld de minimale afmetingen bezitten. In veel gevallen is een minimale afmeting van S110 en S210 niet wenselijk voor de bemonsteringssnelheid van de schakeling. Dit kan worden opgelost door een parallelschakeling van een grote schakelaar (S110L, S210L) en een schakelaar met minimale afmetingen (S110S, S210S). Tijdens het uitschakelen van deze schakelaarcombinatie wordt eerst de grote schakelaar uitgeschakeld, iets later gevolgd door het uitschakelen van de kleine schakelaar. Op deze manier worden de scha-keleffecten van de grote schakelaar 'eerst kortgesloten door de kleine schakelaar, waarna de kleine schakelaar wordt geopend. De bediening van deze schakelaars zal hierna aan de hand van fig. 4a t/m 4f verder worden toegelicht.

Om de onnauwkeurigheid ten gevolge van klokoverspraak verder terug te dringen kunnen de capaciteiten C1 en C2 relatief groot worden uitgevoerd en bijvoorbeeld 15 pF bedragen.

Schakelaars S110L/S110S en S210L/S210S zijn aan een einde verbonden met de ingangsspanning vi. Het andere einde van de schakelaars S110L/S110S is enerzijds verbonden met de capaciteit C1 en anderzijds met een einde van schakelaar S111. Schakelaar S111 is aan diens andere einde met de uitgang van de verschilversterker A verbonden. De andere zijde van C1 is verbonden met het ene einde van schakelaar S120, alsmede met het ene einde van schakelaar S121. Het andere einde van schakelaar S121 is vast met een referentiespanning, bijvoorbeeld aarde, verbonden. Het andere einde van schakelaar S120 is verbonden met de om-keeringang van de verschilversterker A, wiens niet-omkeeringang de referentiespanning (of aarde) ontvangt.

Het andere einde van de schakelaars S210L en S210S is verbonden met zowel het ene einde van schakelaar S211 als met het ene einde van capaciteit C2. Het andere einde van schakelaar S211 is verbonden met uitgang van de verschilversterker A. Het andere einde van capaciteit C2 is verbonden met het ene einde van schakelaar S220 en met het ene einde van schakelaar S221. Het andere einde van schakelaar S220 is verbonden met de omkeeringang van de verschilversterker A, terwijl het andere einde van schakelaar S221 is verbonden met de referentiespanning (of aarde).

Fig. 3 toont een realisatie van de schakeling van fig. 2, afgezien van de verschilversterker A, in CMOS-technologie. Het punt OPNEG is verbonden met de omkeeringang van de verschilversterker A, het punt OPOUT met de uitgang van de verschilversterker A en het punt REF met de referentiespanning (of aarde). Verder spreekt de schakeling van fig. 3 na fig. 2 voor zichzelf en kan een verdere beschrijving daarvan achterwege worden gelaten.

Fig. 4a t/m 4f lichten'de werking van de schakeling volgens fig. 2 en 3 toe. Als uitgangspunt dient de schakeling van fig. 4a, waarin op een gegeven moment een spanning Vi(n) als ingangssignaal aan de bemon-sterinrichting wordt aangeboden, De uitgangsspanning Vo van de verschilversterker A draagt dan nog de spanning Vi(n-1) van het vorige be- monsterde ingangssignaal. Vi(n) wordt opgeslagen op capaciteit C1. Daartoe worden de schakelaars S110L, S110S en S121 gesloten, terwijl schakelaar S120 geopend is. De uitgang van de verschilversterker A is via capaciteit C2 teruggekoppeld naar diens omkeeringang, doordat schakelaars S211 en S220 gesloten zijn. De overige schakelaars zijn alle geopend. Rechts naast fig. 4a zijn de standen van de verschillende schakelaars vermeld. Dit laatste geldt eveneens voor de fig. 4b t/m 4f.

De schakelaar S121 wordt geopend (fig. 4b), zodat de capaciteit C1 niet meer met de referentiespanning (of aarde) is verbonden. Daardoor wordt de spanning over C1 gelijk aan Vi(n) + Vcf121, waarin Vcf121 de spanningsverandering is ten gevolge van de klokoverspraak tijdens het openen van de relatief grote schakelaar S121.

Capaciteit C1 wordt dan via schakelaar S120 verbonden met de omkeeringang van de verschilversterker A (fig. 4c). Na een korte instel-tijd wordt de spanning over C1 gelijk aan Vi(n) - Voff, waarin Voff de offset-spanning over de ingang van de verschilversterker A is. De effecten van de offset-spanning en de klokoverspraak worden opgeslagen in capaciteit C2. Bijgevolg verandert Vo naar: Vo = vi(N-1) + voff + vcf, waarin Vcf de totale spanningsverandering is ten gevolge van zowel de klokoverspraak van schakelaar S121, als van schakelaar S120. De spanningsverandering van de uitgang ligt in de grootteorde van enkele mV. Merk op dat de spanning over capaciteit C1 alleen wordt bepaald door Vi(n) en Voff en niet door de klokoverspraak van schakelaars S121 en S120.

Gedurende de stappen van de fig. 4a, 4b en 4c is capaciteit C1 verbonden met Vi via de relatief grote schakelaar S11OL en de kleine schakelaar S110S. Daarna wordt capaciteit C1 van Vi ontkoppeld in bij voorkeur twee stappen (fig. 4d). Allereerst wordt de relatief grote schakelaar S110L geopend, terwijl de kleine schakelaar S110S nog gesloten blijft. Daardoor wordt het foutsignaal ten gevolge van de klokoverspraak dat nodig is voor het openen van schakelaar S110L kortgesloten via schakelaar S110S. Dit is in fig. 4d met een weerstand R aangegeven. Daardoor blijft de spanning over capaciteit C1 gelijk aan Vi(n)-Voff.

Dan wordt ook schakelaar S110S geopend, zodat capaciteit C1 geheel wordt ontkoppeld van Vi (fig. 4e). Op hetzelfde moment wordt capaciteit C2 ontkoppeld van de verschilversterker A door de schakelaars S211 en S220 te openen. Het openen van schakelaars S110S en S220 veroorzaakt een kleine foutspanning op capaciteit Ct ten gevolge van de klokoverspraak, die echter beperkt kan blijven, omdat schakelaars S110S en S220 minimale afmetingen kunnen bezitten. Capaciteiten C1 en C2 worden bij voorkeur relatief groot gekozen, bijvoorbeeld 15 pF, hetgeen de laatst genoemde foutspanning verder vermindert. Door capaciteiten C1 en C2 relatief groot te kiezen, wordt bovendien de drift van de uitgangsspan-ning gedurende de houd-fase verminderd. Opgemerkt wordt dat het toepassen van een kleine schakelaar S110S parallel aan S110L niet essentieel is voor de uitvinding. Schakelaar S110S (en S210S) kan worden weggelaten. In dat geval vervalt de gehele stap corresponderend met fig. 4d.

Gedurende de situatie van fig. 4e is de uitgangsspanning Vo van de bemonsterschakeling gedurende zeer korte tijd onbepaald. Daarom moet de situatie van fig. 4e zo kort mogelijk duren, bij voorkeur minder dan 10 ns. Duurt deze fase minder dan 10 ns, dan zal de eindige, beperkte snelheid van de verschilversterker A voorkomen, dat Vo gedurende deze onbepaalde periode significant kan veranderen.

Fig. 4f toont de laatste stap die nodig is om de uitgangsspanning gelijk te maken aan Vi(n). Daartoe wordt schakelaar S111 gesloten, hetgeen de uitgang van de verschilversterker A met dat einde van capaciteit C1, dat met de ingangsspanning Vi(n) was verbonden, verbindt. Ook deze stap introduceert een spanningsfout ten gevolge van de klokover-spraak, maar ook deze spanningsfout is zeer gering, omdat schakelaar S111 eveneens minimale afmetingen kan hebben. Onder verwaarlozing van de foutspanningen op capaciteit C1 ten gevolge van de klokoverspraak uit de stappen 4e en 4f blijft de spanning over capaciteit C1 dus steeds gelijk aan Vi(n)-Voff. Omdat schakelaar S120 gesloten blijft, wordt de offset-spanning Voff over de ingang van de verschilversterker A opgeteld bij de spanning over de capaciteit C1 en wordt de uitgangsspanning Vo gelijk aan: Vo = Vi(n)-Voff+Voff = Vi(n). Bij het begin van de stappen uitgevoerd in de situatie van fig. 4f wordt het einde van capaciteit C2, dat met de omkeeringang van verschilversterker A was verbonden (fig. 4d) door het sluiten van schakelaar S221 met de refe-rentiespanning (of aarde) verbonden.

De schakeling wordt net zo lang in de situatie van fig. 4f gehouden als de spanning Vi(n) moet worden vastgehouden en een nieuwe waarde Vi(n+1) moet worden bemonsterd. Indien een nieuwe waarde Vi(n+1) moet worden bemonsterd, worden schakelaars S210L en S210S beide gesloten. Daardoor ontvangt het open einde van capaciteit C2 (fig. 4f) deze nieuwe waarde Vi(n+1), die dan dus op capaciteit C2 wordt opgeslagen. De schakeling bevindt zich dan in dezelfde situatie als die van fig. 4a, behalve dat de capaciteiten C1 en C2 van positie zijn gewisseld.

De foutspanning ten gevolge van offset-compensatie van de bemon sterschakeling volgens de uitvinding hangt af van de houd-tijd en de duur van de situaties, zoals getoond in fig. 4c en 4d. Wanneer een houd-tijd van 1 ms wordt aangenomen, een offset-spanning van Voff = 5 mv en een tijdsduur van 2 με tussen de situaties van fig. 4b en fig. 4f, dan zal de foutspanning in het uitgangssignaal Vo bij benadering gelijk zijn aan: (2 ps/1 ms) * 5 mV = 10 μν.

Fig. 5 toont een simulatieresultaat van de werking van de schakeling volgens de uitvinding, waarbij bij elke spanningsverandering van het uitgangssignaal Vo is aangegeven bij welke stap van de fig. 4a t/m 4f deze behoort. De waarden langs de beide assen dienen slechts als voorbeeld en zijn afhankelijk van de afmetingen van de schakelaars, de capaciteitswaarden en de snelheid van de verschilversterker.

De nauwkeurigheid van de schakeling hangt af van de gekozen dimensies. Een nauwkeurigheid binnen het bereik van 100 μν kan worden gerealiseerd. In een vervaardigingsproces met minimale kanaallengten van 1,5 μπι kan de gehele schakeling, inclusief de besturingslogica en houdcapa-citeiten van 15 pF, maar exclusief de verschilversterker A, op een oppervlak van 0,2.10-6 m2 worden gerealiseerd.

Zoals hierboven toegelicht is de uitgangsspanning Vo van de bemon-sterinrichting alleen gedurende de fase van fig. 4e gedurende zeer korte tijd onbepaald. In de praktijk zal de uitgangsspanning dan althans nagenoeg dezelfde waarde behouden, als deze tijdens de fase van fig. 4d (of 4c als geen kleine schakelaars S110S en S210S worden toegepast) had. Daarom kan na de bemonsterinrichting volgens de uitvinding een laagdoorlaatfilter worden toegepast om het oorspronkelijke signaal terug te verkrijgen. De bemonsterinrichting volgens de uitvinding kan bijgevolg zowel een tijddiscreet als tijdcontinu signaal leveren.

Claims

1. Bemonsterinrichting voor het bemonsteren van een ingangssignaal, omvattend tenminste een verschilversterker met een omkeer ingang > met een met een referentiespanning (of aarde) verbonden niet-omkeeringang en met een uitgang, een eerste capaciteit waarvan de ene zijde via een eerste schakelaar met de ingangsspanning kan worden verbonden, een tweede capaciteit waarvan de ene zijde via een tweede schakelaar met de uitgang van de verschilversterker kan worden verbonden, met het kenmerk, dat de bemonsterinrichting tevens omvat een derde schakelaar (S210) waarvan de ene zijde is verbonden met de ingangsspanning (Vi) en de andere zijde met de genoemde ene zijde van de tweede capaciteit (C2), een vierde schakelaar (S111) waarvan de ene zijde is verbonden met de genoemde ene zijde van de eerste capaciteit (C1) en de andere zijde met de uitgang van de verschilversterker (A), een vijfde schakelaar (S120) waarvan de ene zijde is verbonden met de andere zijde van de eerste capaciteit (C1), alsmede met de ene zijde van een zesde schakelaar (S121) waarvan de andere zijde is verbonden met de referentiespanning, terwijl de andere zijde van de vijfde schakelaar (S120) is verbonden met de omkeeringang van de verschilversterker (A), een zevende schakelaar (S220) waarvan de ene zijde is verbonden met de andere zijde van de tweede capaciteit (C2), alsmede met de ene zijde van een achtste schakelaar (S221) waarvan de andere zijde met de referentiespanning is verbonden, terwijl de andere zijde van de zevende schakelaar (S220) eveneens met de omkeeringang van de verschilversterker (A) is verbonden.

2. Bemonsterinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de eerste, derde, zesde en achtste schakelaars (S110, S210, S121, S221) significant groter zijn dan de overige schakelaars om de ingangsspanning (Vi) sneller te kunnen bemonsteren.

3. Bemonsterinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de eerste schakelaar (S110) bestaat uit een parallelschakeling van een eerste relatief grote schakelaar (S110L) en een eerste relatief kleine schakelaar (S110S) en de derde schakelaar (S210) bestaat uit een parallelschakeling van een derde relatief grote schakelaar (S210L) en een derde relatief kleine schakelaar (S210S).

4. Bemonsterinrichting volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk, dat de eerste en tweede capaciteit (C1, C2) beide ongeveer 15 pF bedragen.

5. Bemonsterinrichting volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de schakelaars (S110.....S221) zijn vervaardigd in CMOS-technologie.

6. Werkwijze voor de bediening van de schakelaars in de bemonster-inrichting volgens een van de voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat voor het bemonsteren van de ingangsspanning (Vi) de volgende stappen worden uitgevoerd: a. het sluiten of gesloten houden van de eerste, de tweede, zesde en zevende schakelaars (S110, S211, SI21, S220) en het openen of geopend houden van de overige schakelaars (si 11, SI20, S210, S221); b. het openen van de zesde schakelaar (S121); c. het sluiten van de vijfde schakelaar (S120); d. het openen van de eerste schakelaar (S110); e. het openen van de tweede en zevende schakelaars (S211, S220); f. het sluiten van de vierde en achtste schakelaars (S111, S221).

7. Werkwijze volgens conclusie 6, met het kenmerk, dat het openen van de eerste, uit twee parallelle schakelaars (S110L, S110S) bestaande schakelaar (S110) in stap d plaatsvindt in twee substappen: d1. het openen van de eerste relatief grote schakelaar ‘(S110L); d2. het openen van de eerste relatief kleine schakelaar (S110S).