NO854629L - Elektromekanisk film, samt fremgangsmaate ved fremstilling derav. - Google Patents

Description

Den foreliggende oppfinnelse vedrører en dielektrisk film for omforming av energien i et elektrisk felt eller magnetfelt til mekanisk energi, eller for omforming av mekanisk energi til elektrisk energi, en fremgangsmåte for fremstilling av filmen og en anordning som i det vesentlige utgjøres av filmen.

Der er tidligere kjent flerskiktfilmer som omfatter bobler eller som er rynkete, og som ytterst har et glatt, f.eks. elektrisk ledende skikt. Slike filmer er imidlertid tenkt brukt som innpakningsmateriale og er vesentlig tykke. Enn videre har man ikke innsett potensialet hos tilstrekkelig tynne flerskiktfilmer som elektromekanisk anordning.

Den foreliggende oppfinnelse har som mål å fremskaffe en dielektrisk og elastisk film, med hvilken man kan reali-sere de mest ulike elektromagnetiske anordninger og måle-givere. For å få de elektrostatiske og elektromagnet-

iske krefter så store som mulig over den elastiske filmen, er det vesentlig at filmskiktene er mest mulig tynne.

De elektrostatiske og elektromagnetiske krefter er omvendt proporsjonale med andre potensen av elektrodenes og de elektriske ledningers innbyrdes avstand.. På den annen side vokser gjennomslagsholdfastheten hos både plastfilmen og dennes porøsitet når avstanden reduseres (Pashens lov). Det er f.eks. mulig å fremstille små

(lave) luftbobler i filmens elastiske materiale i tykkelsesretningen ved å orientere, dvs. strekke ut en eks-panderende film både i lengde- og bredderetningen, slik at boblene antar formen av en plan skive eller plate. Karakteristisk for en dielektrisk film ifølge oppfinnelsen er i hovedsaken det at et homogent elastisk film-

skikt med cellestruktur blir orientert med todimensjonal utstrekning, og er i det minste delvis på en eller begge sider belagt med et elektrisk ledende skikt.

Tykkelsen av filmer av denne type er f.eks. 10xl0~^<m>, og

og spenningsfastheten 100x10^ V/m. Den elektrostatiske kraft over filmen er direkte proporsjonal med annen potens av spenningen som virker over filmen, og trekkraft-en mellom på begge sider av filmskiktet fremskaffede strøm-slynger er direkte proporsjonal med annen potens av strøm-styrken. Ved filmen ifølge oppfinnelsen vil størrelser som kraft, trykk, filmens overflate og tykkelse, styrken av det elektriske felt og spenning være knyttet til hverandre, f.eks. ved følgende ligninger:

hvor A = filmens flateareal og h = filmens tykkelse, idet de andre størrelsene representerer med sine symboler vel-kjente fysikalske størrelser, er dielektrisitetskon-stanten, hvis benevning er F/m. Slik det fremgår av form-elen (I) binder filmen ifølge oppfinnelsen sammen et stort antall forskjellige størrelser. Når filmen kobles inn som en del av en elektrisk målekrets, kan man altså ved hjelp av filmen følge med en meget mangesidig mengde av årsaks- og virkningsforhold mellom ulike variabler. Med den ovenfor angitte filmtykkelse oppnår man således med et (10 pm) filmskikt en kraft på 100 kN/m<2>med 1 kV spenning og en momentan kraft på 100 kN/m<2>ved hjelp av et magnetfelt og en strøm på 10A. Ved plassering av flere filmskikt på hverandre blir bevegelsesstrekningen forsterket.

Fordi konstruksjonen er både kapasitiv og induktiv kan man tilføre effekt til konstruksjonen med størst mulig raskhet, og med minimalt effekttap. Ved tilvirkning av filmen, f.eks. av polypropen oppnår man gode mekaniske og elektriske egenskaper og en høy holdfasthet i andre retninger utenom i filmens tykkelsesretning, der filmen er mest mulig elastisk. Filmens elastisitetsmodul kan reguleres ved regulering av porøsiteten, f.eks. boblenes størrelse, form og antall. På denne måte kan også filmens brede re-sonansområde i tykkelsesretningen reguleres. En slik film

kan anordnet i flere skikt anvendes i bevegelseselement,

og som vibrasjonsflater i frekvensområdet 0-100 MHz.

Kjennetegnende trekk ved andre hensiktsmessige utførel-sesformer for filmen ifølge oppfinnelsen, fremgår av de vedføyde patentkrav.

Karakteristisk for en fremgangsmåte for fremstilling av

den dielektriske film ifølge oppfinnelsen er i hovedsaken det at fremstillingen finner sted ved følgende trinn: den ekspanderbare plast sprøytes i en plastbearbeidings-maskin til et rør, i hvilket der på grunn av ekspandering-en dannes porøsitet med ønsket tetthet gjennom produktet, det oppvarmede rør utvides todimensjonalt for fremskaffelse av ønsket veggtykkelse og orientering,

de ytre flater metalliseres og røret kappes opp til film.

Den ovenfor omtalte fremstillingsprosess er en kontinuerlig såkalt blåsefilmprosess, som anvendes generelt for fremstilling av plastfilmer. For dannelse av flerskikts-fiImer og for fremstilling av bevegelseselement anvendes der en teknikk som blir brukt ved fremstilling av kondensatorer og trykte kretser.

Karakteristisk for andre passende utførelsesformer for fremstillingen av film ifølge oppfinnelsen, fremgår av de ved-føyde patentkrav.

Oppfinnelsen vil i det følgende bli beskrevet i ytterlig-ere detalj under henvisning til de vedføyde tegningsfigurer. Fig. 1 viser basiskonstruksjonen av filmen ifølge oppfinnelsen . Fig. 2a - 2c viser en løsning ifølge en utførelsesform for oppfinnelsen for plassering av spennings- og strømelek-trodene i flerskiktskonstruksjonen. Fig. 3a og 3b viser en løsning ifølge en annen utførelses-form av oppfinnelsen for fremskaffelse av en kapasitiv og induktiv flerlagskonstruksjon. Fig. 4 viser en løsning ifølge en tredje utførelsesform for oppfinnelsen for fremskaffelse av bevegelseselement. Fig. 5a og 5b viser en løsning ifølge en fjerde utførelses-form for oppfinnelsen for fremskaffelse av en lydaktiv flate. Fig. 6 viser en løsning ifølge en femte utførelsesform for oppfinnelsen for fremskaffelse av en fremadskridende bølgebevegelse. Fig. 7 viser en fremgangsmåte for fremstilling av filmen ifølge oppfinnelsen.

På fig. 1 er plastmatrisen A ved den dielektriske film

i henhold til oppfinnelsen blitt belagt på begge sider med metallfilmer B, som kan være ubrutte eller ha et fer-dig mønster. I plastmatrisen, som f.eks. kan være av polypropen, er der tildannet flate bobler eller celler C, som har fått sin form ved todimensjonal orientering av plastmatrisen. Typisk tykkelse av det ferdige filmpro-dukt er 10 um.

På fig. 2a er der vist en konstruksjon fremstilt av en film ifølge oppfinnelsen, hvor både de elektrostatiske og elektromagnetiske krefter virker i samme retning.

På begge sider av filmen 1 er der påtrykket ledninger 2, ved hvilke strømmene (Il og 12) som går via punktene Ul, U2, U3 og U4, danner ifølge pilen en elektrostatisk og elektromagnetisk kraft F over filmskiktet. Kraften F trekker sammen konstruksjonen når strømmen på forskjellige sider av filmen går i samme retning (fig. 2b) og utvider konstruksjonen når strømmen går i forskjellig retning (fig. 2c), hvilket innebærer at elementet lades ut.

Både kapasitansen og induktansen vokser omvendt propor-sjonalt som en funksjon av filmens tykkelse, hvilket innebærer at konstruksjonens elektriske resonansfrekvens er nesten direkte proporsjonal med tykkelsen. Ved matning av en konstant likespenning til den ene ende av en fire-pols krets ifølge figurene 2b og 2c, kan de spenningsend-ringer som oppstår på grunn av filmens tykkelsesvariasjon-er måles ved den andre ende av firepolskretsen.

Ved forskjellige bevegelseselementer er det hensiktsmessig at strømmen ikke lenger sirkulerer etter at konstruksjonens kondensatorer er oppladet, idet den konstante kraft og posisjon da bibeholdes bare ved hjelp av det elektriske felt. Derved forbrukes der minimalt lite effekt. For oppnåelse av denne virkning kan firepolskretsen styres på mange forskjellige måter, f.eks. med likestrøm eller vek-selstrøm.

I forbindelse med bevegelseselementer er det også nødven-dig å få tilbakekobling om bevegelsens størrelse. Det finner sted ved å måle f.eks. fra samme tilslutninger U1-U4, via hvilke filmens styring finner sted, konstruksjonens kapasitans,LC-kretsens tidskonstant, resonansfrekvens eller faseforskjell mellom strøm og spenning med en målefrekvens som tilføres sammen med styrespenningen.

Når kapasitansen endrer seg vil spenningen over konstruksjonens induktive komponent endre seg. I steden for spen-ningsendring kan man måle også matestrømmens endring. Disse fremgangsmåter er hensiktsmessige å bruke når man anvender filmkonstruksjonen, f.eks. for mottagning av lyd-bølger i audio- eller ultrafrekvensområdet.

På fig. 3a er der vist en konstruksjon som er dannet av to på hverandre anordnede filmskikt, slik at ledningsmønst-eret blir liggende mellom to likedannede skikt, mens skikt-enes ytre flater utgjøres av et ledende flatebelegg. Induktansen fremkommer på den måte som flukslinjene 3 viser. Det er naturligvis mulig å forme og koble elektrodene i konstruksjonen på mange forskjellige måter. Skiktene kan styres separat, og elektrodene kan oppdeles i blokker som styres hver for seg. Man kan anvende krefter som bare er fremkommet av et elektrisk eller magnetisk felt. Det er også mulig å utforme elektrodene slik at de danner visse figurer, slik at der fremskaffes tilsvarende formforand-ringer i konstruksjonen.

På fig.- 3b er der vist ekvivalentkoblingen for et filmelement 4 i henhold til fig. 3a, såvel som den seriekobling av elementet 4 som fremkommer av foldingen.

På fig. 4 er der vist et bevegelsesorgan som er fremskaffet av kapasitive og induktive bevegelseselementer 5 av ovenfor angitte type, av forskjellig størrelse. Bevegelses-elementene blir styrt koblet enten parallellt eller separat ved hjelp av en elektronikkenhet 6. I elektronikkenheten 6 finnes de nødvendige elektroniske brytere for styringen, transistorer eller tyristorer samt en liten mikro-prosessor, som får tilført styreordrene via serietilslut-ningen 7. Bevegelsesorganets styring i elektronikkenheten er oppdelt, f.eks. i fire selvstendige hovedblokker, ved hjelp av hvis styring er fremskaffet bevegelser i X-, Y-og Z-retningene. Målespenningen 8 blir tilført elektro-lyttkondensator- og akkumulatorenheten 9, hvorfra der kan tas raske strømtopper.

Med det ovenfor omtalte gjenkoblingsprinsipp som baserer seg på en måleteknikk, avhengig av filmens bevegelse, kan bevegelsesorganet styres meget nøyaktig, og dessuten kan belastningsvariasjonene kompenseres automatisk. Elementet 5 blir styrt fortrinnsvis ved hjelp av "on/off"- instruk- sjoner. Derved blir effekttapene små, og den styrende elektronikk enkel. Fordi bevegelsesorganet danner en lang vektarm, kan små og nøyaktige bevegelser fremskaffes ved styring av de elementer som befinner seg ved vektarmens ende. På denne måte er til og med treghetskreftene mini-male. En slik bevegelse fremskaffes gjennom styring, f.eks. av alle elementer i en halvblokk suksessivt i rask takt, slik at styringen innledes fra roten av bevegelsesorganet og fortsetter mot enden med passende hastig-het for minimering av en for stor bevegelse og styrings-effekten. En stor fordel ved slike bevegelsesorganer er den at den elektriske ladning hos de forskjellige elementer kan overføres til andre elementer eller til strømkil-den uten at mye energi går tapt.

Bevegelseselementer av denne type er også lette, men stød-ige. Konstruksjonens spesifike vekt er lkg/dm^ og kraften lkN dersom stykket er kubeformet. Bevegelsen er herved ca. 2 cm i lengderetningen av stykket. Momentan effekt kan til et slikt stykke tilføres nesten i en uendelig mengde, i fall konstruksjonens induktans reduseres til et minimum.

På fig. 5a er der vist en bevegelses- og lydaktiv flate

10 som er fremstilt av en film. En akustisk mappe av denne type kan pålimes veggflater 11 og anvendes som høyttaler eller mikrofon. Også selve filmrullen 12 kan anvendes som vibrasjonskilde og mottager. Ved styring av en slik akustisk flate kan ovennevnte tilbakekoblingsmetode for måling av bevegelsens størrelse anvendes. På denne måte oppnår man en best mulig lydgjengivelse. Ved måling av filmens bevegelse ved hjelp av ovennevnte metoder, og ved anvendelse av dette som tilbakekoblingssignal til forsterkeren som styrer filmen, som kan være selektiv i forhold til lydfrekvenser, kan man fremskaffe en akustisk flate som reflekterer visse frekvenser tilbake, og opptrer "mykt" ved andre frekvenser.

Ifølge fig. 5b kan selv det lydtrykk som råder ved filmen måles med et piezoelektrisk filmskikt 13, som finnes på et isoleringsskift 14. Signalet forsterkes i en forsterker 15, og anvendes som et tilbakekoblingssignal til forsterkeren 16 som styrer den lydaktive flate 10. På denne måte skaffes der en tilbakekobling fra lydens trykk, slik at det lydtrykk som virker ved flaten nøyaktig følger det styrende lydsignal 17.

Dersom referansesignalet er null, vil overflaten oppføre seg som en fullstendig myk overflate , fordi kretsen strever med å holde det signal som kommer fra målefilmen 13, på null. En slik overflate vil jo ikke reflektere tilbake noe lyd i det hele tatt, eller i fall forsterkeren 16 er selektiv, bare lyd av en viss frekvens vil bli reflektert fra overflaten. Slike overflater kan benyttes for korri-gering av akustikken i konsertsaler eller for støydemp-ning.

Ved styring av slike akustiske flater bør der anvendes en konstant forspenning som styresignalet varierer over og under. De magnetiske krefter bør minimeres, ifall konstruksjonen ikke blir formagnetisert, f.eks. ved magneti-sering av de ytterste filmskikt. Overflatene blir i den forbindelse fremskaffet av filmer med rikelig innblanding av ferromagnetiske stoffer. Ferromagnetiseringen kan og-så erstattes med f.eks. en kontinuerlig likestrøm i strøm-kretsen på den ene flate av filmen. Den ovenfor nevnte anordning kan foruten i lydfrekvensområdet også anvendes i ultralydområdet som sender og mottager. Til filmen kan der tilføres meget store ultralydpulser, f.eks. 100 kW/m<2>.

På fig. 6 er der vist styring av et bevegelseselement 18 med f.eks. en trefaset spenning, slik at der fremskaffes en fremoverskridende bølgebevegelse mellom platene 19, idet et væskeformig eller gassformet medium 20 kan pumpes ved hjelp av bølgebevegelsen. Pumpehastigheten og mengden kan reguleres ved regulering av svingningens amplitude og frekvens. Det bevegelsesaktive element 18 kan også fremstilles i form av et rør, idet rørsystemet kan benyttes for pumping av væsker. Elementer som danner de nevnte slags bølgebevegelser kan også anvendes som bevegelsesmotorer for bevegelse i en væske ved hjelp av bølgebevegelse.

Foruten de ovennevnte tilpasninger kan filmen ifølge oppfinnelsen også finne anvendelse i forbindelse med målinger som baserer seg på kapasitansendringer. Fordi filmens kapasitans beror på filmens tykkelse, vil der som tillemp-ningsanordninger for måling av virkningen av en ytre kraft på grunn av endringer som finner sted i kapasitansen, komme på tale i det minste trykkgivere, tangenter og trykknapp-matriser. På samme måte kan filmen anvendes som et organ som registrerer temperaturendringer, fordi gassen i filmens gassbobler utvides ifølge temperaturen, slik at filmens kapasitans endrer seg på tilsvarende måte. Også et væske-formet emne som ved en viss temperatur har gassform,

kan komme på tale. En film som er basert på dette, kan anvendes i temperaturgivere og i forbindelse med anordninger som er basert på varmestråling, f.eks. infrarødradar og billeddannelsesmatriser som fungerer i det infrarøde området.

Ved fremstilling av filmen av et konstant oppladbart og polariserbart materiale, f.eks. polytetrafluoretylen,

kan man fremskaffe anordningen med hvilken der skaffes en spenning tilsvarende tykkelsesendringen, ifølge kondensa-torligningen Q = CU. Når filmens ladning Q holdes konstant, forandres de av filmens tykkelsesendringer for-årsakede kapasitansvariasjoner direkte til spenningen som virker over filmen. Av filmen kan der i den forbindelse fremskaffes transformatorer, der en primærfilm overfører energien til den sekundære film ved hjelp av vibrasjoner. F.eks. ved parametertransformasjoner danner sekundærfilmen sammen med induktansen en resonanskrets,

til hvilken primærfiImen pumper energi slik det er kjent fra parameterforsterkningsteknikken.

De lokale endringer som inntreffer i filmen, kan avføles ved at der dannes en matriseskive, der de lokale endringer som finner sted i filmen, fremskaffes eller registrer-es fra filmens kanter, f.eks. ved hjelp av impedansmåling-er. Matriseskiven dannes således av selvstendig adresserbare elementer, som har sin egen betydning og kode, f.eks. for den datamaskin som driver matrisen. Et eksempel på dette er den allerede nevnte trykknappmatrise. Et annet viktig tilpasningsområde fremkommer når den gass som befinner seg i filmen, ioniseres ved hjelp av en veksel-spenning, slik at filmmatrisen kan anvendes i billedma-triser for utforming av bilde.

På fig. 7 er der skjematisk vist en fremstillingsteknikk for en film ifølge oppfinnelsen som er særegen med hen-syn til å være tofaset og kontinuerlig.

Blåseformingen i en piastmatrise, dvs. plastens ekspandering, kan fremskaffes på to forskjellige måter. Ved den såkalte kjemiske ekspandering blandes et ekspansjonsstoff i plasten som ved oppvarming danner f.eks. nitrogenbobler. Ved den såkalte "gas-injection"-teknikk pumpes der inn i piastekstruderen, f.eks. freongass, som utvidelsesgass for porøsitet eller bobler når trykket synker utenfor ekstrud-eren.

På fig. 7 er plastekstruderens munnstykke betegnet med hen-visningstall 21, til hvilket der pumpes gass ifølge gas-in jection-metoden ved pilen 22. Ved tilvirkningens første trinn sprutes ekstrudated ut til et rør 23 med veggtykkelse ca. 0,4 mm, idet der i røret dannes runde gassbobler med ca- 10 jum diameter på en avstand frahverandre på 10 um. Der blir således anordnet ca. 20 på hverandre anordnede bobler relatert til rørveggens tykkelse. Plastens bear- beidingsegenskaper blir forbedret med graden av krystalli-sering, av hvilken grunn den sprutede plast varmebehandles på passende måte for avhjelping av krystalliseringen, i dette tilfelle ved at man lar den avkjøle ved hjelp av av-kjølingsorganet 24.Trekkanordningen 25 fungerer som trans-portør for røret, idet den på figuren viste innsnevring av røret utført av trekkanordningen, ikke er nødvendig. Ved tilvirkningsprosessen ifølge fig. 7 går blåseluften fra munnstykket 28 gjennom hele prosessen.

Prosessens andre trinn begynner med oppvarmingen av røret

i en oppvarmingsovn 26, hvoretter røret blir orientert bi-aksialt og gis den ønskede veggtykkelse ved oppblåsing og trekking av røret 27 i tverrretningen ca. 5-dobbelt og i lengderetningen ca. 8-dobbelt i forhold til røret 23, idet veggtykkelsen blir ca. 10 jam. Blåseluften eller gassen får man fra munnstykket 28, idet matningstrykket nå

får det oppvarmede rør til å utvide seg. På grunn av en passende varmebehandling vil boblene ikke briste, men innsnevres samtidig som det omgivende matrisematerialet tøyer seg og tynnes ut uten å briste. De i forbindelse med utvidelsen tilpassede bobler blir i den forbindelse ca. 0.25 jum høye, ca. 80 jum lange og ca. 50/um brede. Boblenes totale teoretiske spenningsholdfasthet er av stør-relsesorden 1600 V og matrisematerialets tilsvarende ca. 2500 V, slik at der lett oppnås en holdfasthet på 1000 V DC/AC med en 10/um film.

Det skal noteres at alle plastsorter ikke krever mellom-kjøling og oppvarming av røret 23. Denne varmebehandling tar jo sikte på en økning av krystalliseringen, idet de plastsorter som i tilstrekkelig grad krystalliseres under transporten som følger etter sprøytestedet, kan anordnes til å utvide seg direkte, bare man sørger for å ha en tilstrekkelig høy temperatur.

Tilslutt rulles filmen opp på en rulle for belegning med det ledende skikt, noe som kan finne sted ved vakumfor-gassing, påsprøytning eller ved mekanisk trykk. Det kan også komme på tale dannelse av såkalte flerskiktsfilmer, der de ytterste skiktene består av elektrisk ledende plast, og blir tilsluttet den ekspanderbare matriseplasten allerede i formingstrinnet av røret 23. Foruten at belegningen er nødvendig for funksjonen av filmen ifølge oppfinnelsen, er den også av stor betydning som en effektiv sperre for

gassavsondring.

For en fagmann på området er det klart at oppfinnelsens forskjellige tilpasningsformer ikke er begrenset til de ovenfor angitte eksempler, men kan variere innen rammen av de etterfølgende patentkrav. Således kan hovedkompo-nentene ved filmens fremstilling bestå av de fleste termo-plastsorter som matrisemateriale, og av de fleste gasser som boblefyllmateriale. Filmene kan også fremstilles som flerskiktsfilmer av forskjellige slag, og spesielt tynne filmer fremkommer ved fordampning av væske som befinner seg i filmmatrisen før filmen blir belagt, slik at man derved får meget små gassbobler.

Claims (15)

1. Dielektrisk film for omforming av energi hos et elektrisk felt eller et magnetfelt til mekanisk energi eller for omforming av mekanisk energi til elektrisk energi, karakterisert ved at et homogent elektrisk filmskikt (A) med cellestruktur (C) er orientert ved todimensjonal utstrekning og i det minste delvis på den ene eller begge sider er belagt med et elektrisk ledende skikt (B).

2. Film som angitt i krav 1, karakterisert ved at filmskiktet (A) består av et ekspandert plast-skikt med vesentlig sluttet cellestruktur (C).

3. Film som angitt i krav 1 eller 2, karakterisert ved at der ved sammenføyning av flere filmskikt (1), f.eks. ved rulling eller sammenbretting er dannet et filmelement for forlengelse av den bevegelses-strekning som står til disposisjon.

4. Film som angitt i krav 1, 2 eller 3, karakterisert ved at filmen er utført med tilslutnings-punkter med fire poler (U1-U4) for tilførsel av strøm (!]_) og for en måleanordning for måling av elementets elektriske egenskaper og for fremskaffelse av et gjenkob-lingssignal for styreelektronikken som styrer filmelementet.

5. Film som angitt i krav 4, karakterisert ved at der på filmens ytterflate er anordet et piezoelektrisk skikt (13), idet det signal som fremskaffes og som motsvarer flatetrykket, anvendes som tilbakekoblingssignal til det styreorgan (16) som styrer filmelementet.

6. Film som angitt i krav 4 eller 5, karakterisert ved at styreorganet som styrer filmen utgjøres av en tilbakekoblet operasjonsforsterker (16).

7. Film som angitt i krav 6, karakterisert ved at den operasjonsforsterker (16) som benyttes som styreorgan, er selektivt koblet i forhold til frekvensen.

8. Film som angitt i et av kravene 2-7, karakterisert ved at de bobler (C) som befinner seg i filmen, er fyllt med ioniserbar gass, og at det ledende flateskikt B) på filmen har fremskaffet separate adresserbare elementer, som hver for seg kan styres for ten-ning av et område motsvarende ledningsmønsteret (2) på elementets overflate.

9. Film som angitt i krav 8, karakterisert ved at filmens ledningsmønster (2) er utformet av gjen-nomskinnlig elektrisk ledende plast.

10. Film som angitt i et av kravene 2-7, karakterisert ved at overflateskiktet på filmen er tildannet ved tangentbordsteknikk til i og for seg kjen-te separate adresserbare elementer, ved hjelp av hvilke en inntruffet deformasjon kan avkjennes separat.

11. Anordning omfattende en film ifølge et av kravene 1-4, karakterisert ved at anordningen (18) er tildannet ved separat styrte og suksessivt kob-lede filmelementer som pumper et medium (20), eller som selv beveger seg i det, hvor elementenes bevegelse styres ved hjelp av delte elektroder (RST) slik at der til elektrodene tilføres en flerfaset spenning og/eller strøm, og at pumpingen eller bevegelsen reguleres ved regulering av spenningens og/eller strømmens amplitude og/eller frekvens.

12. Fremgangsmåte for fremstilling av en dielektrisk film ifølge et av kravene 1-10, karakterisert ved at fremstillingen finner sted i følgende trinn: den ekspanderbare plasten sprø ytes i en piastbearbeidings-maskin til et rør (23), i hvilket der på grunn av ekspan-deringen dannes porøsitet med ønsket tetthet gjennom pro-dukter, det oppvarmede rør (27) utvides todimensjonalt for fremskaffelse av ønsket veggtykkelse og orientering, de ytre flater metalliseres og røret kappes opp til film.

13. Fremgangsmåte for fremstilling av en dielektrisk film som angitt i krav 12, karakterisert ved at plasten ved tilvirkningen ekspanderes til å få en i det vesentlige lukket cellestruktur.

14. Fremstillingsteknikk i henhold til krav 12 eller 13, karakterisert ved at røret (23) etter sprøytingen underkastes en mellomkjøling (24), hvoretter det på nytt (26) varmes opp før utvidelse (27).

15. Fremstillingsteknikk som angitt i krav 12, 13 eller 14, karakterisert ved at metallisering-en av de ytre flater utføres selektivt for fremskaffelse av et visst mønster, f.eks. ved trykning.