NO870190L - Skillevegg-lukker. - Google Patents

Description

Denne oppfinnelse vedrører generelt et lukkesystem for en beholder for forsendelse, lagring og anvendelse av giftige og korrotive flytende kjemikalier og særlig et lukkesystem for totalt å forsegle kjemikalier av ultrahøy renhet av den type som anvendes ved fremstilling av halvleder og optiske fiberanordninger.

Det er veletablert at den vellykkede fremstilling av halvlederanordninger er avhengig av bruken av råmaterialer med høy renhet. Pålitelighetsforbedringer og forbedringer i de grunnleggende fysiske parametre, slik som overgangs-lekkasje, flatbåndsspenningsskifte, minoritetsbærerlevetid etc. illustrerer nødvendigheten av å opprettholde en høy grad av renhet i råmateriale. Sikten hos brukbare komponenter er også avhengig av råmaterialerenhet. Fremstilling av halvlederanordninger er en høyvolums, lav enhetskostnadsprosess. Konkurrerende press medfører en drastisk pristæring for en gitt halvlederanordning inntil den høye volum, lavkostnads-likevektstilstand oppnås. Ettersom kvaliteten og anordning-ens svikt er meget avhengig av renheten av råmaterialer, krever likevekts- eller den profiterbare tilstanden en konstant råmaterialerenhet.

Substanser som anvendes ved fremstilling av halvleder og optiske fiberanordninger innbefatter fosforoksyklorid, fosfortriklorid, trikloretan, tetraetylortosilikat, silisium-tetrabromid, fosfor-tribromid, arsentriklorid etc. Disse kjemikalier er generelt i flytende form og er risikofylte i varierende grad. De krever derfor en minimum eller null frileggelse overfor arbeidere som håndterer disse.

I de Forente Stater er slike korrosive materialer, klasse B gifter og lignende gjenstand for regulering fra samferdsels-departementet og andre regjeringskontorer. Bestemmelser, helse og sikkerhetsfaktorer må vurderes ved forsendelse, lagring og anvendelse av disse flytende materialer.

Innenfor halvlederprcduksjonsindustrien, blir disse kjemikalier ordinært fjernet fra en beholder ved å føre en inert gass gjennom væskene. Gassen blir mettet med dampene av kjemikaliet ved bobling gjennom væsken. Gassen går ut av beholderen, idet den fører de kjemiske damper til en diffu-sjonsovn eller til en tynnfilmsreaktor.

Standardbeholderen som anvendes for lagring, forsendelse og bruk av flytende materialer i halvleder og optisk fiberfrem-stilling er en bobler som produseres av asignataren for den foreliggende oppfinnelse og som er beskrevet i US-patentene 4.134.514 og 4.298.037. Bobleren innbefatter en generelt sylindrisk beholder som er delvis fylt med det flytende kjemikaliet og hermetisk avtettet til å gi fullstendig isolasjon av kjemikaliet fra omgivelsen. Bobleren innbefatter et innløpsrør og et utløpsrør. Hvert av innløps- og utløpsrørene omfatter en brytforsegling av kvarts og en ytre forsegling som strekker seg over røret for å hindre adgang ned til beholderen.

Bobleren anvendes ved først å bryte eller å fjerne de utvendige eller ytre forseglinger og forbinde innløpsrøret med en bæregasstilførsel og utløpsrøret til et system til å motta den kjemiske substansen som befinner seg i bobleren. Innløps- og utløpsavstengningsventiler festes til rørene, og avstandene mellom innløps- og utløpsrørene mellom de respektive ventiler og de innvendige brytbare forseglinger spyles så med tørr, ren inert gass til å fjerne atmosfærisk fuktighet som kan ha samlet seg der. De innvendige forseglinger kan så brytes.

Selv om bobleren som er beskrevet ovenfor er tilfredsstill-ende for å opprettholde integriteten hos kjemikalier av ultrahøy renhet og å beskytte miljøet fra forurensning, er bobleren kostbar å produsere, å bryte forseglingen av kvarts er en betydelig faktor i kostnaden. Ettersom minst den indre forseglingen må brytes til å fjerne kjemikaliet fra bobler- beholderen, krever bobleren kostbar oppussing for påfølgende ny bruk.

Følgelig er der et behov innenfor teknikken for en relativt enkel og rimelig boblerlukker til å tilveiebringe fullstendig oppbevaring av en korrosiv kjemikaliesubstans under lagring, forsendelse og bruk. Der er også et behov innenfor teknikken for et boblerlukkerorgan som eliminerer nødvendigheten for kostbar oppussing før ny bruk, som er enklere å fremstille og som forenkler fyllingen og forseglingen av kjemikaliet av ultrahøy renhet i bobleren og letter sikker håndtering av bobleren og det omsluttede kjemikalium.

Den foreliggende oppfinnelse omfatter, i en form, en beholder for kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse overfor luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger. Beholderen er et kar som består av gass- og dampugjennomtrengelig materiale, typisk kvarts, nikkel eller annet materiale eller kombinasjoner av materialer som er kjemisk inerte overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri. Karet omfatter minst en ledning som forløper derfra, idet den ledningen står i forbindelse med det innvendige. Typisk har kar av denne type som vurderes to eller tre ledninger, typisk to. Av og til anvendes en ledning for fylling og blir senere ikke brukt. Karet kan også innbefatte brønner og annen struktur for måling av temperatur, oppvarming av kjemikaliet etc, hvorav samtlige er sammensatt av kjemisk inert materiale, med hensyn til det oppbevarte kjemikaliet. Beholderen inneholder også tetningsmidler som er festet til enden av ledningen, en avstengning av dens ende og forsegling av enden mot inngang av luft og damp. Tetningsmidlet omfatter en flerlags sandwich av tetningsmaterialer som danner en sperre mot innføringen av luft og damp inn i karet. Denne sanwich av materialer omfatter et første lag som består av et materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikaliet. Dette første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være istand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål. Det første laget eller bunnlaget, ved at det er i kontakt med den åpne enden av ledningen og avtetter den enden, er typisk laget av et edelmetall, tantal eller en fluorkarbonpolymer, slik som polytetrafluoretylen, solgt under handelsnavnet "teflon". Uttrykket polytetrafluoretylen vil antas her generelt å beskrive denne klasse av polymerer, selv om der er variasjoner i slike fluorkarbonpolymerer. Det andre laget av tetningsmiddel er sammensatt av et ettergivende materiale, slik som silikongummi, butylgummi, syntetisk gummi av typene viton, hycar og neopren, syntetisk polymer av typen kalrez, hvor samtlige henvises til her som syntetiske gummipolymerer. Disse materialer kjennetegnes ved at de er istand til å bli gjennomtrengt av en skarp nål, og når gjennomtrengt griper de den ytre omkrets av nålen i en fluidiumstett tetning. Midler er tilveiebragt for på sikker måte å feste tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidiumstett teningsforhold til denne. Typisk er en krymper, utformet med et sirkulært senterhull og som griper inn i et spor eller en krave i den ytre omkrets av ledningen, tilveiebrakt som festemidlet for tetningsmidlet, men et hvilket som helst passende festemiddel kan anvendes. Egnede klebemidler, eller støpemasser kunne eksempelvis anvendes.

I en foretrukket utførelsesform er et tredje lag bestående av kjemisk inert materiale tilveiebragt på den øvre eller ytre siden av sandwich-tetningsmidlet. Dette tredje lag kan være av hvilket som helst av de inerte materialer som er nevnt og typisk ville være dannet av polytetrafluoretylen eller et inert metall slik som tantal. De første og tredje lag kan være ialt vesentlig identiske, bortsett fra deres forhold til hverandre og til karet og ledningen, eller de kan være forskjellige. Eksempelvis kan man anvende et polytetrafluor-etylenmateriale for det første laget og et metall for det tredje eller omvendt.

I nok en mer foretrukket utførelsesform av oppfinnelsen, tilveiebringes et fjerde lag mellom det andre og tredje laget. Det fjerde laget er i alt vesentlig identisk med det andre laget, typisk og, hvorvidt det er laget av det samme materialet eller ikke, også griper nålen og danner et tettende forhold med denne. I denne utførelsesform er festemidlet en krympefester som har partier som strekker seg innad mellom det andre og fjerde lag hos tetningsmidlet og som har et krympet parti som danner inngrep i et spor eller en krave i omkretsen av karets ledninger.

En fremgangsmåte for å håndtere korrosive kjemikalier og kjemikalier i hvilke ultrahøy renhet er essensiell eller viktig, involverer også fyllingen av en beholder av den type som er beskrevet og tetningen av den beholderen med forseglingen av den type som er beskrevet. I en form forestiller oppfinnelsen en beholder som beskrevet i kombinasjon med den ventil montert på ledningen i fluidumstett forhold med denne. Ventilen omfatter et legeme som har en passasje derigjennom som omslutter tetningsmidlet og også har en passasje som står i forbindelse med en ledning på utsiden. Disse to passasjer kommuniserer med hverandre til å tillate innføring av gass eller fluidum med høy renhet inn i beholderen eller fjerning av gass eller fluidum av høy renhet fra beholderen. Ventillegemet danner en ventildannende passasje som opptar et ventildannende organ som avtetter passasjen ved en ende. Det ventildannende organet er montert for bevegelse i den ventildannende passasjen til å åpne og lukke ventilen. En hul nål som har en skarp ende dannet på en fri ende, eller en ende, opptas derfor også i den ventildannende passasjen. Det ventildannende legemet, det ventildannende organ er således konstruert, montert med hensyn til hverandre og anordnet at, ved bevegelse av det ventildannende organ i den ventildannende passasje i en forutbestemt retning, tvinger det ventildannende organet det skarpe punktet på nålen gjennom tetningsmidlet som derved åpner en fluidiumsbane gjennom tetningsmidlet fra det innvendige i beholderen til den ventildannende passasjen. Dette muliggjør innføring av fluidum inn i eller fjerning av fluidum fra beholderen. I en foretrukket utførelsesform av denne kombinasjonen, understøttes nålen innenfor ventilpassasjen ved hjelp av middel som tillater den å bevege seg frem og tilbake og tette mot veggene hos ventilpassasj en.

I et aspekt ved oppfinnelsen, er en enestående ventilkon-struksjon tilveiebragt. Ventilen omfatter legemet som har de beskrevne passasjer, ventilorganet og nålen, sammenstilt og i kombinasjon med hverandre slik at ved bevegelse av det ventildannende organet i en retning, tvinges nålen mot den spisse enden derav, hvorved tillates tvingningen av nålen, når ventilen er i bruk, gjennom et forseglingsmiddel som er sammenlignbart med eller det samme som det som er tidligere beskrevet. Ny ventil vil typisk innbefatte middel for å sikre ventilen på enden av en ledning, for å sikre ledninger til ventilen etc., slik som er konvensjonelt innenfor ventilproduksjon. En foretrukket form av denne ventil omfatter en skive som er festet til en ende av nålen, idet skiven posisjonerer nålen i ventilpassasjen, avtetter ventilpassasjen og opprettholder nålen i posisjon før og under og etter bruk.

En form av oppfinnelsen forestiller også en fremgangsmåte for å motta et kjemikalium av den type som er beskrevet i en beholder av den type som er beskrevet, og montere ventilen til beholderen, og bevege det ventildannende organet og derved åpne det innvendige av beholderen til å motta eller å avgi fluidum. Det vil være tydelig fra den foregående omtale at der er mange nye og meget fordelaktige sider ved oppfinnelsen. Oppfinnelsen forestiller således en ny ventil, en ny beholder, et nytt forseglingsmiddel, en ny kombinasjon av disse, og fremgangsmåter for å anvende samme. Figur 1 er et tverrsnittriss av en boble og beholder for korrosive flytende kjemikalier som viser en innløpsventil og en utløpsventil som er koblet til denne. Figur 2 er ret tverrsnittriss av innløps- og utløpsventilene som viser skillevegglukkeren ifølge oppfinnelsen fastholdt mellom en stamme som strekker seg fra boblebeholderen og et ventillegeme, og

Figur 3 er et tverrsnittriss som viser skilleveggen i figur 1 gjenommtrengt av en nål i ventillegemet.

I den etterfølgende diskusjon skal oppfinnelsen beskrives som en kombinasjon og som en fremgangsmåte for å anvende kombinasjonen og de forskjellige komponenter derav, idet det forstås at de individuelle komponenter også har en nyhet, og at variasjoner og tilpasninger av ideene og hovedtrekkene ved oppfinnelsen kan gjøres uten å avvike fra dens omfang.

Det skal først vises til figur 1 som viser en fullstendig beholder av den type som forestilles ved denne oppfinnelse.

Beholderen innbefatter et kar 10 som er laget av et materiale som er inert overfor kjemikalier som skal oppbevares deri, som er ugjennomtrengelig for gass og damp og som er tilstrek-kelig sterkt til å tillate rimelig håndtering og forsendelse. Slike beholdere lages typisk av kvarts, men kan lages av andre materialer. Eksempelvis, ved visse anvendelser, kan karet lages av nikkel eller tantal. Karet kunne teoretisk også lages av et edelmetall, men dette ville være urimelig kostbart. I visse anvendelser kunne karet være laget av en sandwich av flere materialer. Eksempelvis, hvis passende kvalitetsstyring og produksjonssikring kan opprettholdes, ville det være mulig å tilveiebringe en beholder av metall-belagt polymer, eksempelvis nikkelbelagt polytetrafluoretylen. Likeledes, hvis passende kvalitet kan oppnås, vil det være mulig å lage den som en beholder av et metall som ikke behøver å være fullstendig motstandsdyktig overfor kjemikaliet, belagt innvendig med polytetrafluoretylen. Begge av disse løsninger er attraktive i ide, men møter den alvorlige utfordring at det er meget vanskelig hvis ikke upraktisk å opprettholde kvalitetssikringsstandarder slik at en risiko for en lekkasje eller nålehull eller tynt område i polytetrafluoretylenen fullstendig unngås. Karet innbefatter minst en ledning som strekker seg derfra og i forbindelse med det innvendige derav. En slik ledning er vist ved 12 som innbefatter en forlengelse 14 som går nesten til bunnen av karet med en åpning ved bunnen av forlengelsesledningen 14. Dette anvendes, typisk, i en boblerkonfigurasjon for bobling av gass av ultrahøy renhet gjennom kjemikaliet som befinner seg i karet og å fjerne den dampladede gass fra en annen ledning 18 som også står i forbindelse med karets indre. Kar av denne type er beskrevet i det tidligere nevnte United States Patent, idet det forstås at figur 1 er noe forenklet og skjematisk viser karkonstruksjonen.

Tar man ledningen 12 som typisk for ledninger som kan dannes på karet som del av beholderen, er en slik ledning fortrinnsvis av en tykkvegget konstruksjon og har dannet i den ytre periferi derav to ringformede spor 2 0 og 22 eller kraver eller en av hver. Sporet 20 anvendes til å forbinde ventilen og sporet 22 anvendes til å forbinde tetningsmidlet, alt slik det vil bli beskrevet i nærmere detalj i det etter-følgende. Beholderen innbefatter også tetningsmiddel som er i en sandwich-løsning bestående av lag 30, 32, 34 og 36, som alle holdes på plass ved hjelp av festemiddel 40. Ikke alle av disse lag er nødvendigvis nødvendige, men den foretrukne utførelsesform innbefatter de beskrevne lag.

Laget 30 må være av et materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium. Dette kan lages av et edelmetall, et kjemisk motstandsdyktig metall eller en kjemisk motstandsdyktig polymer. I tillegg til edelmatallene, som danner utmerkede tettninger, men er meget kostbare, kan man anvende tantal som har en meget høy motstand overfor kjemiske angrep fra de fleste kjemiske reagenser. Man kan også anvende visse polymere materialer, generelt betegnet her som polytetrafluoretylen eller fluorkarbonpolymerer. En polymer av denne type selges under varemerket TEFLON av Du Pont Chemical Company. Sammenlignbare eller hensiktsmessige fluorkarbonmaterialer kan oppnås fra et antall kilder. Fluorkarbonmaterialene har den utpregede fordel at de danner utmerkede forseglinger under trykk, at de kaldflyter til å overensstemme med konfigurasjonen av åpningen som de må tette. Metallene kaldflyter også i en viss grad, men ofte kreves større kraft for å danne en tett tetning. Edel-metallene og tantal har den fordel at de er, for alle praktiske formål, totalt ugjennomtrengelige for gass, mens fluorkarbonpolymerene ikke er fulstendig gassugjennom-trengelige. For foreliggende formål hvor arealet er lite og tykkelsen kan være vesentlig og hvor en sandwichkonstruk-sjon anvendes, kan imidlertid fluorkarbompolymerer vurderes som i alt vesentlig gass og dampugjennomtrengelige innenfor sammenhengen og innenfor begrensningene for den foreliggende oppfinnelse.

Et andre lag 32 er også tilveiebrakt. Dette lag er av et ettergivende tetningsmateriale, generelt referert til her ganske enkelt som syntetiske gummipolymerer. Silikongummi, butylgummi, viton, hycar, neopren og kalrez, blant andre, kan hensiktsmessig anvendes i denne oppfinnelse. Disse materialer kjennetegnes ved at de kan gjennomtrenges og når gjennomtrengt av eksempelvis en hul nål, avtetter de rundt den ytre omkrets av nålen i en tett i alt vesentlig gass-ugj ennomtrengelig tettning.

I den foretrukne utførelsesform er minst et ytterligere lag, og fortrinnsvis to tilveiebrakt. Tredjelaget, som er identifisert her som nummer 36 i Figur 2, er meget foretrukket. Dette lag kan være identisk med laget 30, og vil normalt være dette. Det kan avvike, ved at det kan være laget av metall mens laget 30 er laget av polymer, eller omvendt, laget 30 kan være laget av metall mens laget 36 er laget av polytetrafluoretylen, eksempelvis. Hensikten med laget 36 er å tilveiebringe en kjemisk inert ytre eller øvre overflate. Som man vil se,-hvis, i kombinasjonen, ventilen ikke fulstendig avtetter rundt nålen, kan denne overflate frilegges overfor kjemikaliet som befinner seg i karet. I den mest foretrukne utførelsesform, tilveiebringes et fjerde lag 34 mellom de andre og tredje lag 32 og 36. Det fjerde laget er typisk det samme eller i alt vesentlig identisk med lag 32, eller i minste har den samme tetning, ettergivnings-karakteristika, selv om det kan lages av et forskjellig materiale.

Hele tetningsmidlet som nettopp beskrevet blir på sikker måte festet til endene av ledningen og avstenger endene av ledningen ved hjelp av et festemiddel vist ved 40. Festemidlet, i den foretrukne utførelsesform er en krympefester som har et parti som strekker seg mellom lagene 2 og 3 hos tetningsmidlet og har et annet parti som krympes og griper inn i spor 22 som holder tetningsmidlet tett i tettende forhold med endene av ledningene. Krympefesteren har typisk en åpning gjennom hvilken nålen kan forløpe når den trenger gjennom forseglingen, slik det vil bli beskrevet i det etterfølgende. Ved passende valg av materialer og tykkelser, er det også mulig å anvende en krympningshette som dekker hele området over det andre laget, hvorved tilveiebringes en ytterligere gass og dampsperre under håndtering. Eksempelvis kan en krympåre laget av nikkel med et fortynnet senterområde på toppen anvendes som en gassperre under overføring, og som del av tetningsmidlet.

Prosessen ifølge denne oppfinnelse omfatter fylling av karet med kjemikaliet som skal oppbevares deri, i fravær eller i alt vesentlig fravær av luft eller damp som vil reagere med dette eller ha tendens til å bidra til urenheter hos dette, og så å forsegle til å tilveiebringe beholderen som beskrevet med tetningsmidlet som del derav.

Kombinasjonen av denne oppfinnelse forestiller også sammen-stillingen av en ventil, generelt vist ved 50, over enden av ledningen i et fludiumstett tettende forhold. Ventilen 50 innbefatter et ventillegeme 52 som har dannet deri en ledning 54 til å tillate innføringen i eller fjerningen av fludiumet fra en ventildannende passasje 5 6 som strekker seg gjennom ventillegemet. Passasjen 56 har også et gjenget parti 58 og et redusert parti 60 som danner en skulder med et forstørret parti 62. Det forstørrede partiet 6 2 strekker seg over tetningsmidlet og festes på plass slik det vil bli beskrevet. Skulderen 64, mellom partiene 60 og 62 hos passasjen avtetter mot det tredje laget av tetningsmidlet, hvorved det tilveiebringes en gasstett, kjemisk inert oppbevaring for kjemikaliet som skal oppbevares i karet. Ventillegemet har et utvendig gjenget parti 6 6 som gjenge-messig danner inngrepet med en holdemutter 68, hvilken har et parti 70 som strekker seg inn i sporet 20. En pakning eller bøssing 72 tilveiebringes for å sikre en fullstendig gasstett tetning mellom ventilen og ledningen, omsluttende tetningsmidlet innenfor ventilpassasjen. Ventilen innbefatter også et ventildannende organ 80, i den foretrukne konfigurasjon, generelt langstrakt med en øvre ende 82 som kan være i form av et håndtak, heksagonalt eller firkantet hode, eller en hvilken som helst annen konfigurasjon for å tillate gripning og dreining derav. Også dannet på det ventildannende organet er gjenget 84 som danner inngrepet i et gjenget parti 78 på ventilpassasjen i ventillegemet. En tetningspakning 83, eller en "0"ring tetning utvides ved hjelp av kappen 85 mot skaftet 80, hvorved det dannes en gasstett tetning. Et forstørret parti 86 tetter også mot veggene av ventilpassasjen når ventilen er i bruk. Ved dreining av det ventildannende organet 82, vil det bevege seg innad eller utad, frem og tilbake, i det ventildannende organet. Et meget viktig og vesentlig trekk ved denne oppfinnelse er plasseringen av en nål i den ventildannende passasjen. Nålen 90 har typisk en skarp ende ved en ende, en fri ende, vist hosliggende tetningsmidlet. I den foretrukne utførelses-form er støttemiddel 92 også tilveiebrakt. Dette støtte-middel sentrerer nålen, holder den i posisjon og avtetter mot veggene hos den ventildannende passasjen.

Kombinasjonen som er blitt beskrevet, kan nå beskrives i den utstrekning hva angår dens operasjon. Idet det først er vist til Figur 2, dannes kombinasjonen, ifølge fremgangsmåten ved denne oppfinnelse, ved å feste ventilen på ledningen i et gassavtettet forhold, som beskrevet. Det ventildannede organet dreies så eller på annen måte aktiveres, og beveges i en forutbestemt retning, nedad som vist i Figur 2. Ettersom det beveger seg nedad, trenger nålen 9 0 gjennom tetningsmidlet. Den fulle nedre posisjon av ventilen er vist i Figur 3, som er delvis tverrsnittet av den delen av ventilen som er nødvendig for å vise nålens posisjon. Som det sees av Figur 3 trenger nålen gjennom tetningsmidlet og åpner ledningspassasjen til den ventildannende passasjen, hvorved det tillates innføring i eller fjerning av væske til eller fra karet. Typisk vil det ventildannende organet bli trukket ut en liten distanse for å tillate fluidum å strømme fra karet, gjennom nålen, inn i ventilpassasjen og så gjennom forbindelsespassasjen 54. Ved en betraktning . av oppfinnelsen, mottar således brukeren av oppfinnelsen en beholder, som beskrevet, fester en ventil, som er beskrevet, til denne, og opererer ventilen, som beskrevet, hvorved det oppnås adgang til kjemikaliet som befinner seg deri, eller fyller karet, ettersom det er formålstjenlig for brukeren.

Slik det vil forstås fra den foregående beskrivelse, konstru-eres skilleveggen som en sandwich, som har et bunnlag av totalt inerte materialer, slik som et kjemisk forenlig, ikke-reaktivt metall, eksempelvis tantal eller et edelmetall og/eller fluorkarbonpolymer, slik som teflon. Topplaget i sandwichen bør lages av en bøyelig, dampugjennomtrengelig, kjemisk forenlig forbindelse, slik som silikongummi, butylgummi, viton, hykar, neopren, kalraz, etc. som oppviser gode tetningskarakteristika. Bunnlaget for skilleveggen bør være det eneste laget som er eksponert mot det oppbevarte kjemikalium. Selve skilleveggen er tett festet til stammen med en krymper, utformet med en sirkulær senterholder for hindret nålbevegelse og optimale tetningskarakteristika.

En ytterligere skillevegg plasseres på toppen av krymper og skilleveggløsningen, som nettopp beskrevet, til å muliggjøre ytterligere oppad tetning. Skilleveggen holdes fast på plass med en enkel beskyttende plasthette under lagring eller transport, eller med ventil når bobleren er i bruk. Denne sekundære tetningsskillevegg lages av det samme materialet som det som er beskrevet og er konstruert i en lignende sandwich-type konstruksjon, under anvendelse av et lag av fullstendig inert materiale, slik som edelmetall eller tantal, eller en fluorkarbonpolymer, og en tettende ugjennomtrengelig forbindelse, slik som silikongummi, alt slik som beskrevet hittil. Ved denne løsning plasseres den sekundære skillevegg med sin inerte side opp, utad fra kjemikaliet og sin tetnings side ned mot krymperen. På denne måte tillates kjemikaliet kun å danne kontakt med inert materiale og således opprettholdes dets ultra-renhet.

Ifølge en utførelsesform av oppfinnelsen, leveres to ventiler for styring av strømmen av bæregass inn i og ut av bobleren. Ventilene anses som innløps og utløpsportene hos bobleren og fremstilles av et materiale som er fullstendig forenlig med den ultrahøye renhetsnatur hos kjemikaliet, slik som en fluorkarbonpolymer, eksempelvis teflon. Ventilene som anvendes som innløp eller utløp er såkalte "toveis"-ventiler, som er utstyrt med en bevegelig, innvendig hul nål for å tillate bæregassen å passere gjennom nålen. Nålen er fortrinnsvis laget av kvarts, edelmetall, slik som platina, tantal eller fluorkarbon polymerbelagt rustfritt stål. Toppen av nålen er festet til og orientert med ventillegemet ved hjelp av en liten nålstøtteplate, typisk laget av kvarts, edelmetall, tantal eller fluorkarbonpolymer, for å lette riktig direktiv ledning av nålen. Nålen er laget med et 90 graders kutt over toppen, mens bunnspissen har ca. et 22 graders avfasningspunkt for lett skilleveggjennomtrengning eller et konisk punkt med en sideport som åpner til å lette skilleveggjennomtrengning uten skilleveggstreng (cord) kutting og eventuell forurensning.

Ventilen er konstruert til å tillate den hule nålen å hvile på den øvre skilleveggen før åpning. For bruk dreies ventilstammen nedad, hvilket tvinger nålen til å trenge gjennom skilleveggene. Etter gjennomtrengning, dreies ventilstammen oppad til stoppingen, hvorved nålen og støtte- platen forlates i sitt bunnsted og klargjør åpning i ventil-kammeret for å muliggjøre innføringen og utslippet av gasser eller fluidum. Lekkasje til og fra utsiden hindres gjennom den øvre innvendige ventiltetning og tetningen av skilleveggløsningen.

Integriteten hos kjemikaliet av ultrahøy renhet garanteres ved å tillate kjemikaliet å kontakte kun fullstendig inerte materialer, f.eks. kvarts, edelmetall, tantal eller fluorkarbonpolymer .

Det vil forstås at det foregående er den foretrukne utfør-elsesf orm av oppfinnelsen og at variasjoner hos denne kan foretas uten å avvike fra omfanget og innholdet i denne søknad eller oppfinnelsens ide.

Denne oppfinnelse finner industriell anvendelse ved fremstil-lingen av halvlederanordninger og, nærmere bestemt, ved tilveiebringelse, forsendelse og håndtering av dopings og andre kjemiske reagenser for halvlederindustrien.

Claims (26)

1. Beholder for halvlederbehandlingsreagenser av ultrahøy renhet som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved kombinasjonen: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikalier som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, (b) tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning som avstenger enden derav og avtetter enden mot avsetning av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikaliet, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og (ii) et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det, i bruk, lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tetningsforhold til denne.

2. Apparatur som angitt i krav 1 , karakterisert ved at det første laget består av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikaliet.

3. Apparatur som angitt i krav 1, karakterisert ved at det første laget består av polytetrafluoretylen.

4. Beholder for kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved i kombinasj on: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med innvendig dertil, og (b) tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning som avstenger enden derav og avtetter enden mot innføring av luf-t-og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikaliet og ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, (ii) et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det, i bruk, lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (iii) et tredje lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og i alt vesentlig ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte tredje lag kjennetegnes ved at det er sammensatt av og konstruert til å være lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne.

5. Apparatur som angitt i krav 4, karakterisert ved at minst ett av de første og tredje lag er bestående av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikaliet.

6. Tetning som angitt i krav 5, karakterisert ved at det andre laget er bestående av syntetisk gummipolymer.

7. Apparatur som angitt i krav 4, karakterisert ved at minst ett av de første og tredje lag er bestående av polytetrafluoretylen.

8. Tetning som angitt i krav 7, karakterisert ved at det andre laget er sammensatt av syntetisk gummipolymer.

9. Beholder for halvlederreagenser av høy renhet som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved i kombinasjon: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, og (b) tetningsmiddel som er festet til enden av den nevnte ledning avstengende enden derav og avtettende enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og i alt vesentlig ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp, hul nål, (ii) et andre lag sammensatt av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, (iii) et tredje lag sammensatt av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte tredje lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og (iv) et fjerde lag mellom det andre og tredje lag, idet det fjerde lag er således sammensatt og konstruert at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold med denne.

10. Apparatur som angitt i krav 9, karakterisert ved at minst ett av de første og tredj e lag er sammensatt av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikalium.

1 1 . Apparatur som angitt i krav 10, karakterisert ved at de andre og fjerde lag er sammensatt av syntetisk gummipolymer.

12. Apparatur som angitt i krav 11, karakterisert ved at festemidlet danner inngrep med tetningsmidlet mellom andre og fjerde lag.

13. Apparatur som angitt i krav 9, karakterisert ved at minst ett av de første og tredj e lag er sammensatt av polytetrafluoretylen.

14. Apparatur som angitt i krav 13, karakterisert ved at de andre og tredje lag er sammensatt av syntetisk polymergummi.

15. Apparatur som angitt i krav 14, karakterisert ved at festemidlet danner inngrep med tetningsmidlet mellom andre og fjerde lag.

16. Apparatur som angitt i krav 15, karakterisert ved at ledningen omfatter et ringformet spor som er formet i den ytre omkrets av denne, og at festemidlet omfatter et ringformet krympefesteorgan som innbefatter et første parti som strekker seg mellom de andre og fjerde lag av tetningsmidlet, og en mellomliggende hylsedel rundt et parti av hylsen og et parti av ledningen, og en krymperdel som strekker seg inn i det ringformede sporet i ledningen.

17. Kombinasjonen av en beholder for halvlederbehandlende reagenser som må beskyttes mot frileggelse overfor luft, og fra innstrømning av gass eller damp som befinner seg deri, karakterisert ved at nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendig dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetning av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer innbefat-tende et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne, og middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne, en ventil montert på nevnte ledning i fluidumstett forhold med denne, idet nevnte ventil omfatter et legeme som har en ventildannende passasje dergjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje for forbindelse med en ledning på utsiden i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ opptatt i den ventildannende passasjen og som avtetter nevnte passasje, idet det ventildannende organet er montert for bevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannede passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i en forbestemt retning tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen hos nålen gjennom tetningsmidlet til åpning av en fluidumsvei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen.

18. Kombinasjonen av en beholder for reagenser for fremstilling av halvledere som må beskyttes mot frileggelse overfor luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetning av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og middel som på sikker måte tetter tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne, en ventil montert på nevnte ledning i fluidumstett forhold til denne, idet nevnte ventil omfatter et legeme (52) som har en ventildannende passasje (56-60) dergjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje (54) for å kommuni-sere med en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ (80-88) mottatt i den ventildannende passasjen og avtettende nevnte passasje,.idet det ventildannende organet er montert for frem og tilbakebevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål (90) som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel (92) som understøtter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakebevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støtte-midlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen innenfor bestemt retning, tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen hos nålen gjennom tetningsmidlet, hvorved det åpnes en fluidumstett vei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, nålen og støttemidlet er bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium.

19. Kombinasjon som angitt i krav 18, karakterisert ved at tetningsmidlet omfatter et tredje lag dannet av materiale som er inert overfor det oppbevarte kjemikaliet, idet det tredje laget omfatter det ytre laget av tetningsmidlet, og struktur i det ventildannende legemet festet mot det tredje laget i fluidumstett tettende forhold.

20. Kombinasjon som angitt i krav 19, karakterisert ved at støttemidlet omfatter en skive festet til en ende av nålen, idet nevnte skive danner en tetning med nevnte nål og i reciprokt tettende forhold med den ventildannende passasj en.

21 . Ventil omfattende et legeme (52) som har en ventildannende passasje (56-60) derigjennom og en passasje (54) for kommunisering med en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ (80-88) opptatt i den ventildannende passasjen og avtettende nevnte passasje, idet det ventildannede organet er montert for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannede passasjen, en hul nål (90) som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel (92) som understøtter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støttemidlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i en forbestemt retning beveger det ventildannende organet nålen i retningen av den skarpe spissen hos denne, idet ventillegemet, nålen og støttemidlet er sammensatt av materiale som er kjemisk inert.

22. Ventil som angitt i krav 21, karakterisert ved at støttemidlet omfatter en skive som er festet til en ende av nålen, idet nevte skive danner tetning med den nevnte nål og i reciprokt tettende forhold med den ventildannende passasjen.

23. Fremgangsmåte for å håndtere halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å innføre nevnte kjemikalie i et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikalier som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre derav, og avtetting av karet, idet tetningsmiddel som er festet til enden av nevnte ledning avstenger enden derav og avtetter enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og å gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og middel for på sikker måte å feste tetningsmidlet på enden av legemet i fluidumstett tettende forhold til denne.

24. Fremgangsmåte for å håndtere halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes fra frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å innføre nevnte kjemikalium i et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri> idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, og å avtette nevnte kar med tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning for avstengning av enden derav og avtetning av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål, et andre lag bestående av ettergivende materiale som er således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og et tredje ytre lag bestående av materiale som er inert overfor det oppbevarte kjemikalium, og middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne.

25. Fremgangsmåte for å håndtere halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å innføre nevnte kjemikalium i et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre dertil, og å avtette nevnte kar med tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning for avstengning av enden derav og å avtette enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til å være lett i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål, et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og et tredje, ytre lag bestående av materiale som er inert overfor det oppbevarte kjemikalium, et fjerde lag av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp nål og griper nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne, og middel som forløper mellom andre og fjerde lag til på sikker måte å feste tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne.

26. Fremgangsmåte for håndtering av halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes fra frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å motta nevnte kjemikalium avtettet innenfor et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetting av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter, et første lag sammensatt av .materiale som er kjemisk inert for det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og griper nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne, og middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne, og fastgjør en ventil i gasstett forhold over enden av nevnte ledning, idet nevnte ventil omfatter et legeme som har en ventildannende passasje derigjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje for kommunisering til en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ opptatt i den ventildannende passasjen og som avtetter nevnte passasje, idet det ventildannende organet er montert for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel som understøt-ter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støtte-midlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i den forutbestemte retning, tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen på nålen gjennom tetningsmidlet til åpning av en fluidumsvei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen, idet ventillegemet, nålen og støttemidlet er bestående av et materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, og å bevege det ventildannende organet til derved å tvinge nålen gjennom tetningsmidlet fra innsiden av beholderen til den ventildannende passasjen.

1. Beholder for halvlederbehandlingsreagenser av ultrahøy renhet som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning . av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved kombinasjonen: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelige materiale som er kjemisk inert overfor kjemikalier som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, (b) tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning som avstenger enden derav og avtetter enden mot avsetning av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikaliet, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og (ii) et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det, i bruk, lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tetningsforhold til denne.

2. Apparatur som angitt i krav 1, karakterisert ved at det første laget består av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikaliet.

3. Beholder for kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom opp bevaringsvegger, karakterisert ved i kombinasjon: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med innvendig dertil, og (b) tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning som avstenger enden derav og avtetter enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikaliet og ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, (ii) et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det, i bruk, lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (iii) et tredje lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og i alt vesentlig ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte tredje lag kjennetegnes ved at det er sammensatt av og konstruert til å være lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne.

4. Apparatur som angitt i krav 3, karakterisert ved at minst ett av de første og tredje lag er bestående av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikaliet.

5. Beholder for halvlederreagenser av høy renhet som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved i kombinasjon: (a) et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, og (b) tetningsmiddel som er festet til enden av den nevnte ledning avstengende enden derav og avtettende enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter (i) et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og i alt vesentlig ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp, hul nål, (ii) et andre lag sammensatt av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, (iii) et tredje lag sammensatt av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium og ugjennomtrengelig for gass og damp, idet nevnte tredje lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og (iv) et fjerde lag mellom det andre og tredje lag, idet det fjerde lag er således sammensatt og konstruert at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og (c) middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold med denne.

6. Apparatur som angitt i krav 5, karakterisert v e d at minst ett av de første og tredje lag er sammensatt av metall som er inert overfor det oppbevarte kjemikalium.

7. Apparatur som angitt i krav 5 eller 6, karakterisert ved at ledningen omfatter et ringformet spor som er formet i den ytre omkrets av denne, og at festemidlet omfatter et ringformet krympefesteorgan som innbefatter et første parti som strekker seg mellom de andre og fjerde lag av tetningsmidlet, og en mellomliggende hylsedel rundt et parti av hylsen og et parti av ledningen, og en krymperdel som strekker seg inn i det ringformede sporet i ledningen.

8. Kombinasjonen av en beholder for halvlederbehandlende reagenser som må-beskyttes mot frileggelse overfor luft, og fra innstrømning av gass eller damp som befinner seg deri, karakterisert ved at nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendig dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetning av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer innbefat-tende et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne, en ventil montert på nevnte ledning i fluidumstett forhold med denne, idet nevnte ventil omfatter et legeme som har en ventildannende passasje dergjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje for forbindelse med en ledning på utsiden i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ opptatt i den ventildannende passasjen og som avtetter nevnte passasje, idet det ventildannende organet er montert for bevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannede passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i en forbestemt retning tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen hos nålen gjennom tetningsmidlet til åpning av en fluidumsvei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen.

9. Kombinasjonen av en beholder for reagenser for fremstilling av halvledere som må beskyttes mot frileggelse overfor luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det innvendige dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetning av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i fluidumstett tetning med denne, og middel som på sikker måte tetter tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne, en ventil montert på nevnte ledning i fluidumstett forhold til denne, idet nevnte ventil omfatter et legeme (52) som har en ventildannende passasje (56-60) dergjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje (54) for å kommuni-sere med en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ (80-88) mottatt i den ventildannende passasjen og avtettende nevnte passasje, idet det ventildannende organet er montert for frem og tilbakebevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål (90) som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel (92) som understøtter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakebevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støtte-midlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen innenfor bestemt retning, tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen hos nålen gjennom tetningsmidlet, hvorved det åpnes en fluidumstett vei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, nålen og støttemidlet er bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium.

10. Ventil omfattende et legeme (52) som har en ventildannende passasje (56-60) derigjennom og en passasje (54) for kommunisering med en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ (80-88) opptatt i den ventildannende passasjen og avtettende nevnte passasje, idet det ventildannede organet er montert for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannede passasjen, en hul nål (90) som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel (92) som understøtter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støttemidlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i en forbestemt retning beveger det ventildannende organet nålen i retningen av den skarpe spissen hos denne, idet ventillegemet, nålen og støttemidlet er sammensatt av materiale som er kjemisk inert.

11. Fremgangsmåte for å håndtere halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å innføre nevnte kjemikalie i et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikalier som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre derav, og avtetting av karet, idet tetningsmiddel som er festet til enden av nevnte ledning avstenger enden derav og avtetter enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og å gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og middel for på sikker måte å feste tetningsmidlet på enden av legemet i fluidumstett tettende forhold til denne.

12. Fremgangsmåte for å håndtere halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes mot frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å innføre nevnte kjemikalium i et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre dertil, og å avtette nevnte kar med tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning for avstengning av enden derav og å avtette enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag bestående av materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til å være lett i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål, et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål og gripe nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne og et tredje, ytre lag bestående av materiale som er inert overfor det oppbevarte kjemikalium, et fjerde lag av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk lett er i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp nål og griper nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne, og middel som forløper mellom andre_og fjerde lag til på sikker måte å feste tetningsmidlet på enden av ledningen i fluidumstett tettende forhold til denne.

13. Fremgangsmåte for håndtering av halvlederbehandlende kjemikalier som må beskyttes fra frileggelse til luft og fra innstrømning av gass eller damp gjennom oppbevaringsvegger, karakterisert ved trinnene å motta nevnte kjemikalium avtettet innenfor et kar bestående av gass og dampugjennomtrengelig materiale som er kjemisk inert overfor kjemikaliet som skal oppbevares deri, idet nevnte kar omfatter minst en ledning som strekker seg derfra i forbindelse med det indre dertil, tetningsmiddel festet til enden av nevnte ledning til avstengning av enden derav og avtetting av enden mot innføring av luft og damp, idet nevnte tetningsmiddel omfatter en flerlags sandwich av materialer som innbefatter et første lag sammensatt av materiale som er kjemisk inert for det oppbevarte kjemikalium, idet nevnte første lag kjennetegnes ved at det er sammensatt og konstruert til lett å være i stand til å gjennomtrenges av en skarp hul nål, og et andre lag bestående av ettergivende materiale således sammensatt og utformet at det i bruk er lett i stand til å bli gjennomtrengt av en skarp hul nål og griper nevnte nål i en fluidumstett tetning med denne, og middel som på sikker måte fester tetningsmidlet på enden av ledningen i fluid umstett tettende forhold til denne, og fastgjør en ventil i gasstett forhold over enden av nevnte ledning, idet nevnte ventil omfatter et legeme som har en ventildannende passasje dergjennom som omslutter tetningsmidlet og en passasje for kommunisering til en utenforliggende ledning i forbindelse med den ventildannende passasjen, et ventildannende organ opptatt i den ventildannende passasjen og som avtetter nevnte passasje, idet det ventildannende organet er montert for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, en hul nål som har en skarp spiss dannet på en fri ende derav opptatt i den ventildannende passasjen, middel som understøt-ter nålen i den ventildannende passasjen for frem og tilbakegående bevegelse i den ventildannende passasjen, idet det ventildannende legemet, det ventildannende organet, støtte-midlet og nålen er således konstruert, montert og anbrakt at ved bevegelse av det ventildannende organet i den ventildannende passasjen i den forutbestemte retning, tvinger det ventildannende organet den skarpe spissen på nålen gjennom tetningsmidlet til åpning av en fluidumsvei gjennom tetningsmidlet til den ventildannende passasjen, idet ventillegemet, nålen og støttemidlet er bestående av et materiale som er kjemisk inert overfor det oppbevarte kjemikalium, og å bevege det ventildannende organet til derved å tvinge nålen gjennom tetningsmidlet fra innsiden av beholderen til den ventildannende passasjen. ■