NO872990L - Mikrofilterfolie av uorganisk materiale og fremgangsmaate for fremstilling av denne. - Google Patents

Mikrofilterfolie av uorganisk materiale og fremgangsmaate for fremstilling av denne. Download PDF

Info

Publication number
NO872990L
NO872990L NO872990A NO872990A NO872990L NO 872990 L NO872990 L NO 872990L NO 872990 A NO872990 A NO 872990A NO 872990 A NO872990 A NO 872990A NO 872990 L NO872990 L NO 872990L
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
microfilter
foil
inorganic material
relief
skin
Prior art date
Application number
NO872990A
Other languages
English (en)
Other versions
NO872990D0 (no
Inventor
Christian Ehrsam
Thomas Ruegg
Original Assignee
Sulzer Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sulzer Ag filed Critical Sulzer Ag
Publication of NO872990D0 publication Critical patent/NO872990D0/no
Publication of NO872990L publication Critical patent/NO872990L/no

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D69/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D69/02Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor characterised by their properties
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D67/00Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0039Inorganic membrane manufacture
    • B01D67/0053Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes
    • B01D67/006Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods
    • B01D67/0062Inorganic membrane manufacture by inducing porosity into non porous precursor membranes by elimination of segments of the precursor, e.g. nucleation-track membranes, lithography or laser methods by micromachining techniques, e.g. using masking and etching steps, photolithography
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0015Production of aperture devices, microporous systems or stamps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2323/00Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/02Hydrophilization
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2325/00Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/02Details relating to pores or porosity of the membranes
    • B01D2325/022Asymmetric membranes
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S264/00Plastic and nonmetallic article shaping or treating: processes
    • Y10S264/48Processes of making filters
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S264/00Plastic and nonmetallic article shaping or treating: processes
    • Y10S264/70Processes for forming screens or perforating articles

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Catalysts (AREA)

Description

Oppfinnelsen angår en mikrofilterfolie av uorganisk materiale, spesielt av metall, i henhold til det selvstendige patentkravs ingress, og en fremgangsmåte for fremstilling av denne.
En slik mikrofilterfolie er et såkalt overflate- eller silfilter som egner seg som filtreringsmedium for tverr-strømsfiltrering. Da ingen filterkake avsetter seg på fil-treringsmediumet ved denne prosess, er en kontinuerlig filtrering mulig. Porene for denne mikrofilterfolie kan være mindre enn bakterier hvis cellestørrelse minst er 0,2 um. Derfor er en kontinuerlig kimfraskillende filtrering mulig.
Den kimfraskillende filtrering er en fysikalsk prosess som gjør det mulig å fjerne bakterier og andre mikro-organismer fra væsker og gasser.
Anvendelsesområder er for eksempel den farmasøytiske industri, kosmetikkindustrien, drikkevareindustrien og bioteknologien.
Bortsett fra for filtreringen for å fjerne kim kan et slikt mikrofilter også anvendes for finklaring og for høy-rensing av væsker og gasser, for eksempel innen mikro-elektronikken.
Metalliske mikrofilterfolier er kjente fra US patent 4575406. De metalliske mikrofilterfolier skal da frem-stilles ved en fremgangsmåte ved hvilken et lysømfintlig lakkskikt blir påført på et substrat med plan overflate. Efter belysning med et interferensmønster som dannes ved hjelp av monokromatiske og koherente lysbølger fra en laser, og efter påfølgende fremkalling dannes et relieff på det lysømfintlige lakkskikt.
Dette relieff har gitterlignende fordelte fordypninger
i lakkskiktet. I et påfølgende prosesstrinn blir relieffets overflate dekket med et elektrisk ledende skikt, og fordypningene skal da enten forbli utildekket eller dersom de likeledes er blitt tildekket, skal de senere fylles med et isolasjonsmateriale.
Derefter blir filterfolien fremstilt ved en galvanoplastisk prosess hvor substratet blir neddykket i et elektro- lysebad. Over fordypningene dannes da porer i det elektro-lytisk dannede skikt. Da dette skikt ikke bare vokser i høyden, men også i sideretningen over fordypningene, oppviser de dannede porer innsnevringer, dvs. at deres minste diameter befinner seg inne i filterskiktet. Derved blir det umulig å unngå tilstopping av porene under bruk av filteret fordi små partikler som er blitt filtrert ut, kan avsette seg i porene og på lignende måte som ventillegemer på et ventilsete hemme gjennomstrømningen av filtratet.
En ytterligere ulempe ved fremstillingen av de kjente mikrofiltere består i forurensningsrisikoen som ved elektro-lytiske prosesser bare lar seg unngå med stor innsats på grunn av forurensninger fra elektrolysebadet. Også ved fremstilingen av lakkrelieffet, spesielt når fordypningene blir fylt opp med isolasjonsmateriale, er det fare for at forurensninger vil avsette seg på relieffets ledende skikt. Derved kan porer med ujevn størrelse bli dannet eller det kan endog hende at på flekker som omfatter to eller flere porer, vil overhodet intet metallskikt bli bygget opp.
Det tas derfor ved oppfinnelsen sikte på å tilveiebringe en mikrofilterfolie av uorganisk materiale, spesielt metall, som oppviser en ytterst jevn fordeling av porene, idet porene vidtgående har samme størrelse og idet en tilstop-ningsrisiko under bruk av filteret i det minste blir nesten fullstendig unngått.
Denne oppgave er blitt løst med en mikrofilterfolie med de særpreg som er angitt i det selvstendige patentkravs karakteriserende del.
Den foreliggende fremgangsmåte for fremstilling av et filter ifølge oppfinnelsen er særpreget ved de trekk som er angitt i hovedfremgangsmåtekravets karakteriserende del. Fordelaktige utførelsesformer henholdsvis videreutviklinger av oppfinnelsen er angitt i de uselvstendige patentkravs karakteriserende deler.
Mikrofilterfolien har en asymmetrisk oppbygning, dvs. at det ferdige filter bare er funksjonsdyktig i én retning.
Folien kan bestå av et metall, som f.eks. gull, nikkel eller titan, eller av en legering, for eksempel av gull og palladium, eller også av et annet uorganisk materiale, som f.eks. titannitrid.
Oppfinnelsen vil nedenfor bli nærmere beskrevet under henvisning til de på de vedføyede Figurer viste utførelses-eksempler.
Av Figurene viser
Fig. la og lb to interferensmønstre som er blitt dannet i et lysømfintlig lakkskikt sett ovenifra, og som begge er blitt fremstilt ved anvendelse av to belysninger, Fig. lc og ld viser skjematisk dellengdesnitt gjennom en mikrofolie på et substrat i forskjellige fremstillingsstadier, Fig. le viser perspektivisk et utsnitt av en ferdig mikrofilterfolie, Fig. 2a viser et dellengdesnitt gjennom et relieff-lignende, lysømfintlig lakkskikt som er blitt dannet på
en støttestruktur,
Fig. 2b viser perspektivisk et delutsnitt av den ferdige mikrofilterfolie på støttestrukturen, og Fig. 3 viser et dellengdesnitt gjennom en variant av en mikrofilterfolie efter belegningen.
De interferensmønstre som er vist på Fig. la og lb er blitt dannet ved anvendelse av en lyskilde med monokromatisk lys. For dette formål blir ved hjelp av spesiell optikk to koherente stråleknipper med samme intensitet overlagret og projisert på et lysømfintlig lakkskikt. Det er kjent som lyskilde å anvende laserstråler som oppfyller begge betingelser hva gjelder koherens og monokromati.
I henhold til begge utførelsesformer fås relieffstruk-turer med opprettstående tapper 1 og 1<1>og groper eller trau 3 og 3' som ligger mellom disse. Interferensmønstrene blir fremstilt ved anvendelse av to belysninger som over-lagres korsvis og ved anvendelse av strekgittere, hvorved i det tilfelle som er vist på Fig. la, den annen gitter-orientering er dreiet med en vinkel a på 90° i forhold til den første. Derved blir efter fremkallingen tapper med et kvadratisk tverrsnitt med avrundede hjørner dannet.
Det interferensmønster som er vist på Fig. lb er blitt dannet på samme art og måte som ifølge Fig. la, bortsett fra at de to gitterorienteringer omslutter en vinkel a' som er større enn 90°. Derved dannes tapper med lange tverrsnitt.
En annen mulighet består i å danne interferensmønstre
i et lysømfintlig lakkskikt ved å anvende tre monokromatiske og sammenhengende stråler. I dette tilfelle er bare én belysning nødvendig for å danne et punkt gitter.
Fig. lc-le viser enkelte fremstillingsstadier for en mikrofilterfolie, idet det skal startes med et interferens-mønster ifølge Fig. la.
Ifølge Fig. lc er et lysømfintlig lakkskikt 5 blitt på-ført på et substrat, i henhold til eksemplet en glassplate 6. kikttykkelsen er for eksempel ti ganger så stor som en porediameter. Selv om den foreliggende oppfinnelse også skal omfatte det tilfelle at et gjennomsiktig glass anvendes som substrat, er det spesielt fordelaktig å benytte filterglass eller å påføre et lysabsorberende skikt på glassubstratets bakside. På denne måte unngås en refleksjon av de innfallende stråler når interferensmønstret dannes, hvilket ellers kunne ha ført til en variasjon av belysningsintensiteten og dermed et avvik fra detønskede relieff.
Fig. lc viser at relieffet av lakkskiktet som er blitt dannet efter belysningen og fremkallingen, og for dette er den ønskede formgivning bestemt av lengden og intensiteten for belysningen og den påfølgende fremkalling. Dette relieff oppviser slanke tapper 1 som smalner av oppad og som har mellomliggende trau 3 og sadler 4. Tapphøyden er for eksempel to til tre ganger større enn tappenes midlere diameter .
I et prosesstrinn som ikke er vist, blir relieffet overtrukket med en hud som består av et uorganisk materiale, ved katodeforstøvning eller pådampning i vakuum. Derefter blir tappene som er overtrukket med huden 7, 7' som for eksempel består av metall, knekket av, som vist på Fig. Id, og derefter fjernet.
Da lakken er sprø, brytes tappene lett av. Således kan de for eksempel knekkes av ved overstryking med elastiske fibre som for eksempel er anbragt på en roterende valse, hvorved hvert punkt blir overstrøket minst én gang. Ved av-knekkingen dannes ingen glatte, men ujevne, kantpartier, og dette gjør det vanskelig for små partikler å sette seg fast ved filtrering.
Det er også mulig, for eksempel ved hjelp av elektro-polering, å fjerne metallet som er blitt påført på tappenes spisser.
Fig. le viser perspektivisk et delutsnitt av den ferdige mikrofilterfolie 7 efter at den lysømfintlige lakk er blitt fjernet.
På issene av de avstumpet kjegleformige forhøyninger 8 befinner porene 9 seg. Fig. le viser på den venstre side et snitt gjennom porene, og det fremgår av dette at porenes minste tverrsnitt befinner seg på foliens overflate og at porenes tverrsnitt øker i retning henimot baksiden. På den venstre side av Fig. le er vist et snitt gjennom trau 3. Fig. 2a viser i et lengdesnitt et utsnitt gjennom et relieff som er blitt dannet av lysømfintlig lakk og som har tapper l<11>og sadler 4<1>' i overensstemmelse med dem som er vist på Fig. lc. Bortsett fra dette forløper de trauformige fordypninger helt opp til substratets 10 overflate. Des-suten har også substratet 10 en annen utførelses form enn utførelsesformene i henhold til Fig. lc-ld. I det foreliggende tilfelle består substratet av en sillignende støtte-struktur med steg 11 som for eksempel er blitt fremstilt galvanoplastisk og som er festet på en plan plate 12. Mellom-rommene for silen er fylt med et lysabsorberende materiale. På de steder hvor silens steg 11 blir frilagt for lys-ømfintlig lakk, fås faste forbindelser mellom mikrofilterfolien og silen som derved blir filterets støttestruktur (se Fig. 2b). Fig. 3 viser i et lengdesnitt et utsnitt av en mikrofilterfolie som er blitt fremstilt ved en fremgangsmåte som er forskjellig fra fremgangsmåten som ble benyttet for fremstillingen av mikrofilterfoliene i henhold til Fig. lc-le. Dannelsen av interferensmønstret i det lysøm-fintlige lakkskikt 13 som er påført på en plan glassplate 14, foregår på samme måte som i henhold til det første ut- førelseseksempel. I det foreliggende tilfelle blir imidler-tid relieffet utformet med hullignende fordypninger 15 ved kortere belysningstider. Huden 16 av et uorganisk materiale som er blitt påført på relieffet, blir perforert, dvs. at porene blir åpnet, derved at hele huden 16 blir trukket av
i pilretningen, hvorved det uorganiske materiale som er blitt utskilt i de hullignende fordypninger 15, ved avrivning blir tilbake i disse fordypninger.

Claims (14)

1. Mikrofilterfolie av uorganisk materiale, spesielt metall, med åpne porer, som oppviser en rasterlignende anordning og som er blitt dannet ved hjelp av ett med monokromatisk og koherent lys dannet interferensmønster ved belysning av et lysømfintlig lakkskikt,idet mikrofilterfolien har en asymmetrisk oppbygning og er forsterket med støtte-struktur med åpne porer hvis åpninger er større enn mikro-filterfoliens porer, karakterisert ved at den filtrerende overflate oppviser et relieff med enkelte forhøyninger, at poreåpningene befinner seg på forhøyningenes isser, og at porekanalenes tverrsnitt øker i filtratets strømningsretning.
2. Mikrofilterfolie ifølge krav 1, karakterisert ved at porene nesten alle har samme størrelse og har en midlere diameter av 0,1-1 um.
3. Mikrofilterfolie ifølge krav 2, karakterisert ved at foliens skikttykkelse er i det vesentlige lik den midlere porediameter.
4. Mikrofilterfolie ifølge krav 2, karakterisert ved at avstanden mellom naboporer utgjør fra to til fem ganger den midlere porediameter .
5. Mikrofilterfolie ifølge krav 2, karakterisert ved at de enkelte pore-åpninger i to retninger som forløper loddrett i forhold til hverandre oppviser samme diameter.
6. Mikrofilterfolie ifølge krav 2, karakterisert ved at poreåpningene alle oppviser to diametre som ikke er like hverandre i to i forhold til hverandre loddrett forløpende retninger.
7. Mikrofilterfolie ifølge krav 6, karakterisert ved at poreåpningene er slisseformig utformet.
8. Mikrofilterfolie ifølge krav 1, karakterisert ved at poreåpningene har ujevne render.
9. Mikrofilterfolie ifølge krav 1, karakterisert ved at poreåpningene ligger i ett plan.
10. Mikrofilterfolie ifølge krav 9, karakterisert ved at substratet for fremstilling av mikrofilterfolien er en glassplate som reflekterer høyst 3% av det innfallende lys.
11. Fremgangsmåte for fremstilling av en mikrofilterfolie ifølge krav 1, karakterisert ved at på lakkskiktet som er forsynt med relieffet, blir en hud av uorganisk materiale som virker som et overtrekk på lakkskiktet dannet, og at denne hud derefter perforeres ved stedvis fjerning av det uorganiske materiale for å danne poreåpningene.
12. Fremgangsmåte ifølge krav 11, karakterisert ved at det lysømfintlige skikt blir forsynt med et relieff av opprettstående tapper, trau og sadler og at huden av uorganisk materiale som er blitt påført på relieffet, perforeres ved at de belagte tapper brekkes av.
13. Fremgangsmåte ifølge krav 11, karakterisert ved at det lysømfintlige skikt blir forsynt med et relieff av hullignende fordypninger og at huden av uorganisk materiale som er blitt påført på relieffet perforeres ved at hele huden blir trukket av fra relieffet, hvorved det uorganiske materiale som skilles ut i. de hullignende fordypninger ved avrivning blir tilbake i disse fordypninger.
14. Fremgangsmåte ifølge krav 11, karakterisert ved at huden av uorganisk materiale dannes ved katodeforstøvning.
NO872990A 1986-07-23 1987-07-17 Mikrofilterfolie av uorganisk materiale og fremgangsmaate for fremstilling av denne. NO872990L (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH2945/86A CH671709A5 (no) 1986-07-23 1986-07-23

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NO872990D0 NO872990D0 (no) 1987-07-17
NO872990L true NO872990L (no) 1988-01-25

Family

ID=4245168

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO872990A NO872990L (no) 1986-07-23 1987-07-17 Mikrofilterfolie av uorganisk materiale og fremgangsmaate for fremstilling av denne.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4801379A (no)
EP (1) EP0254103B1 (no)
JP (1) JPS6331516A (no)
AT (1) ATE73687T1 (no)
CH (1) CH671709A5 (no)
DE (1) DE3777480D1 (no)
DK (1) DK230187A (no)
FI (1) FI871954A7 (no)
NO (1) NO872990L (no)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3742770A1 (de) * 1987-12-17 1989-06-29 Akzo Gmbh Mikro-/ultrafiltrationsmembranen mit definierter porengroesse durch bestrahlung mit gepulsten lasern und verfahren zur herstellung
JPH02189227A (ja) * 1989-01-17 1990-07-25 Sumiyoshi Kinzoku Kogyo Seisakusho:Kk 太陽光線により作動する換気装置
US5190653A (en) * 1990-10-30 1993-03-02 Kraft General Foods, Inc. Coffee brewer filtration device
US5443886A (en) * 1991-09-30 1995-08-22 Kimberly-Clark Corporation Hydrosonically embedded soft thin film materials
US5314737A (en) * 1991-09-30 1994-05-24 Kimberly-Clark Corporation Area thinned thin sheet materials
US5269981A (en) * 1991-09-30 1993-12-14 Kimberly-Clark Corporation Process for hydrosonically microaperturing
US5256360A (en) * 1992-03-25 1993-10-26 Panasonic Technologies, Inc. Method of manufacturing a precision micro-filter
GB9207054D0 (en) * 1992-03-31 1992-05-13 Gillette Co Methods of manufacturing perforated foils
US5726026A (en) * 1992-05-01 1998-03-10 Trustees Of The University Of Pennsylvania Mesoscale sample preparation device and systems for determination and processing of analytes
US5370830A (en) * 1992-09-23 1994-12-06 Kimberly-Clark Corporation Hydrosonic process for forming electret filter media
US5336452A (en) * 1992-09-23 1994-08-09 Kimberly-Clark Corporation Process for hydrosonically area embossing thin thermoplastic film materials
US5384044A (en) * 1993-09-07 1995-01-24 Techniweave, Inc. Fluid separation devices and methods of making same
US5642781A (en) * 1994-10-07 1997-07-01 Baker Hughes Incorporated Multi-passage sand control screen
US5624560A (en) * 1995-04-07 1997-04-29 Baker Hughes Incorporated Wire mesh filter including a protective jacket
US5922210A (en) * 1995-06-16 1999-07-13 University Of Washington Tangential flow planar microfabricated fluid filter and method of using thereof
DE19532481C2 (de) * 1995-09-02 1999-08-12 Braun Gmbh Filtermittel zur Filtration von Extraktionsgetränken, insbesondere von Espresso
US5598890A (en) * 1995-10-23 1997-02-04 Baker Hughes Inc. Completion assembly
US5611399A (en) * 1995-11-13 1997-03-18 Baker Hughes Incorporated Screen and method of manufacturing
WO1998030315A1 (en) * 1997-01-10 1998-07-16 Ellipsis Corporation Micro and ultrafilters with controlled pore sizes and pore size distribution and method for making
DE19812850C2 (de) * 1998-03-24 2003-06-18 Leibniz Inst Fuer Festkoerper Metallisches Feinstfiltermedium zum Abfiltern von Feststoffen aus Fluiden und Verfahren zu seiner Herstellung
EP0964305A1 (en) * 1998-06-08 1999-12-15 Corning Incorporated Method of making a photonic crystal
GB9922198D0 (en) * 1999-09-20 1999-11-17 Isis Innovation Porous filter element and method of fabrication thereof
US7785098B1 (en) 2001-06-05 2010-08-31 Mikro Systems, Inc. Systems for large area micro mechanical systems
CA2448736C (en) * 2001-06-05 2010-08-10 Mikro Systems, Inc. Methods for manufacturing three-dimensional devices and devices created thereby
US7141812B2 (en) * 2002-06-05 2006-11-28 Mikro Systems, Inc. Devices, methods, and systems involving castings
DE10219584A1 (de) * 2002-04-26 2003-11-20 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung von Mikrosieben
US20050112432A1 (en) * 2002-08-27 2005-05-26 Jonah Erlebacher Method of plating metal leafs and metal membranes
US6805972B2 (en) * 2002-08-27 2004-10-19 Johns Hopkins University Method of forming nanoporous membranes
DE10313201A1 (de) * 2003-03-21 2004-10-07 Steag Microparts Gmbh Mikrostrukturierte Trennvorrichtung und mikrofluidisches Verfahren zum Abtrennen von flüssigen Bestandteilen aus einer Flüssigkeit, die Partikel enthält
NL1024250C2 (nl) * 2003-09-09 2005-03-10 Fluxxion B V Vervaardiging van een microzeef, en microzeef en inrichting met een microzeef.
FR2894157B1 (fr) * 2005-12-06 2008-01-18 Commissariat Energie Atomique Membrane permeable repoussant un ou plusieurs liquides
WO2008024070A1 (en) * 2006-08-22 2008-02-28 Agency For Science, Technology And Research Microfluidic filtration unit, device and methods thereof
US9315663B2 (en) * 2008-09-26 2016-04-19 Mikro Systems, Inc. Systems, devices, and/or methods for manufacturing castings
WO2013043122A1 (en) * 2011-09-19 2013-03-28 Nanyang Technological University A reinforced filter with a metallic filtering layer
US8813824B2 (en) 2011-12-06 2014-08-26 Mikro Systems, Inc. Systems, devices, and/or methods for producing holes

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2230868A (en) * 1936-06-26 1941-02-04 Theodore C Kuhlman Method of manufacturing reticulated metal sheets
US2226381A (en) * 1938-04-22 1940-12-24 Edward O Norris Inc Process of producing electrolytic foraminous sheets
US3291871A (en) * 1962-11-13 1966-12-13 Little Inc A Method of forming fine wire grids
DE1303000B (no) * 1966-07-06 1971-01-28
US4402571A (en) * 1981-02-17 1983-09-06 Polaroid Corporation Method for producing a surface relief pattern
US4575406A (en) * 1984-07-23 1986-03-11 Polaroid Corporation Microporous filter

Also Published As

Publication number Publication date
FI871954L (fi) 1988-01-24
CH671709A5 (no) 1989-09-29
ATE73687T1 (de) 1992-04-15
US4801379A (en) 1989-01-31
NO872990D0 (no) 1987-07-17
FI871954A0 (fi) 1987-05-04
DK230187A (da) 1988-01-24
EP0254103B1 (de) 1992-03-18
DE3777480D1 (de) 1992-04-23
FI871954A7 (fi) 1988-01-24
EP0254103A1 (de) 1988-01-27
DK230187D0 (da) 1987-05-05
JPS6331516A (ja) 1988-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO872990L (no) Mikrofilterfolie av uorganisk materiale og fremgangsmaate for fremstilling av denne.
US4575406A (en) Microporous filter
DE60207554T2 (de) Aufnahmekorb für eine ophtalmische linse
US9405043B2 (en) Mold and process for production of mold
JPWO2005109042A1 (ja) 光学素子及びその製造方法
CA2426643A1 (en) Polymer valve prostheses by dip coating
EP3708384A1 (fr) Element d&#39;habillage ou cadran d&#39;horlogerie ou de bijouterie en materiau conducteur
RU2015117522A (ru) Оптическая подложка, полупроводниковое светоизлучающее устройство и способ их производства
EP3870453B1 (fr) Élément de sécurité pour un document-valeur, son procédé de fabrication et document-valeur qui le comporte
CH713311A2 (fr) Procédé de réalisation d&#39;un motif sur une pièce horlogère et pièce horlogère.
FR2516448A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;une trame d&#39;imprimerie tournante a zones epaissies
FR2872589A1 (fr) Procede de realisation d&#39;un element optique transparent, composant optique intervenant dans ce procede et element optique ainsi obtenu
EP3034461B1 (fr) Fabrication d&#39;un composant horloger multi-niveaux
NO874410L (no) Innretning for understoettelse av metallisk mikrofilterfolie.
WO2007010124B1 (fr) Composant optique pixellise a parois apodisees, son procede de fabrication et son utilisation dans la fabrication d&#39;un element optique transparent
US7651000B2 (en) Sieve material of metal, and method for its production
EP0860732A1 (fr) Procédé de fabrication de cellules électro-optiques, notamment à cristaux liquides, ou de cellules photovoltaiques électrochimiques
EP3212384B1 (fr) Procede d&#39;impression en trois dimensions
DE102015008655A1 (de) Sicherheitselement mit farbfilterndem Gitter
KR20000015950A (ko) 프레넬 렌즈 다이에 확산 라이저를 설치하는 방법
FR2803396B1 (fr) Procede de formation d&#39;un microrelief concave dans un substrat, et mise en oeuvre du procede pour la realisation de composants optiques
CA2457899C (fr) Capteur d&#39;image couleur sur substrat transparent et procede de fabrication
EP1275751A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines optisch wirksamen Schichtsystems
EP0141335A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Röntgenmaske mit Metallträgerfolie
FR2560399A1 (fr) Procede de fabrication d&#39;un pochoir