NO890656L - Toerr filmfotoresist til dannelse av en formbar maske og fremgangsmaate til anvendelse paa et trykt kretskort eller lignende. - Google Patents

Description

Foreliggende oppfinnelse angår tørre filmer som danner masker der maskene kan tilpasse seg uregelmessige flater og den angår en fremgangsmåte til dannelse av slike formbare masker. Et trekk ved foreliggende oppfinnelse gjelder en tørr film som innbefatter et fotobllled-dannende lag som kan fremkalles og herdes for å danne en permanent loddemaske over et trykt kretskort eller lignende og en fremgangsmåte til dannelse av en loddemaske på et trykt kretskort eller lignende ved anvendelse av den tørre film.

En loddemaske er et hardt, permanent lag av ikke-ledende materiale som dekker overflaten av et trykt kretskort eller lignende med innkapsling av lederne i selve det trykte kort. Med loddemaske menes her et hardt, permanent lag som tilfredsstiller slipemotstands-prøver som er fastlagt i IPC-SM-840A, tabell 12, Summary of Criteria for Oualification/ Conformance (Institute for Interconnecting and Packaging Electronic Circuits). Loddemasken er mønstret for helt å dekke kretsene bortsett fra de partier som skal være frilagt, for eksempel for lodding til en annen komponent. Loddemasker blir i typiske eksempler dannet av et lag av et fotobilleddannende materiale som påføres på overflaten av det trykte kretskort. Det fotobllled-dannende lag blir eksponert med aktinisk stråling som blir mønstret ved hjelp av en mal eller en sjablon. Etter eksponeringen blir det fotobllled-dannende lag fremkalt i et organisk oppløsningsmiddel eller en vanndig oppløsning som vasker vekk enten de eksponerte eller ueksponerte deler av laget (avhengig av om det fotobllled-dannende materiale er positivt virkende eller negativt virkende). Den del av laget som blir tilbake på overflaten blir så herdet for eksempel med varme og/eller ultrafiolett lys for å danne en hard permanent loddemaske som har til formål å beskytte de trykte kretser under kortets levetid.

En tidligere kjent fremgangsmåte til påføring av laget av fotobllled-dannende materiale på kretskortets overflate er å påføre materialet i flytende form og deretter enten la det tørke eller la materialet herdne delvis for å danne et halvstabilt lag.

Det er knyttet en rekke fordeler til påføring av et fotobllled-dannende lag på et kretskort som en tørr film i stedet for som væske. Særlig er tørre filmer frie for organisk oppløsningsmiddel og man unngår dermed faremomentet som fyller oppløsninsmidlet på arbeidsplassen og man opphever behovet for utstyr som skal beskytte de nærmestliggende arbeidsforhold og de mer generelle omgivelser fra utslipp av organisk oppløsningsmiddel. I et typisk eksempel omfatter en tørr film et dekkark av bæremateriale som er noe fleksibelt, men som har tilstrekkelig stivhet til å gi styrke til et lag av fotobllled-dannende materiale som ligger over en sideflate av dekkarket. Dekkarket kan være laget av polyestermateriale så som polyetylen tereftalat (PET), for eksempel det som selges under navnet MELINEX^.

For å beskytte det fotobllled-dannende lag og for å gjøre det mulig å rulle sammen den tørre film, er det vanlig at den frilagte flate av det fotobllled-dannende lag dekkes med et løstagbart beskyttende ark, for eksempel et ark av polyetylen. Et eksempel på slik tørr film selges under navnet LAMINAR DM<R>av Dynachem Division of Morton Thiokol, Inc.

Fremgangsmåten til anvendelse av en slik tidligere kjent tørr film er stort sett som følger: Det beskyttende ark fjernes fra laget av fotobllled-dannende materiale like før påfø-ringen av den tørre film på overflaten av det trykte kretskort. Dette kan for eksempel gjøres ved hjelp av automatisk utstyr som trekker av og ruller opp det beskyttende ark etterhvert som den tørre film vikles av en rull. Den tørre film påføres overflaten av kretskortet med det fotobilled-dannende lag i direkte kontakt med kortets overflate. Ved hjelp av varme, vakuum og mekanisk trykk blir det fotobllled-dannende lag øyeblikkelig laminert til overflaten av kortet. Dekkarket forblir liggende på det fotobllled-dannende lag og beskytter dette lag mot påvirkning fra oksygen og mot skade fra håndtering. Dekkarket gjør det også mulig å plassere en sjablon (eller mal) direkte på toppen av den tørre film for kontaktkopiering hvis kontaktkopiering skal benyttes (noe som vanligvis foretrekkes når det gjelder å oppnå best mulig billedoppløsning). Den tørre film eksponeres med mønstret aktinisk stråling gjennom PET dekkarket. På dette tidspunkt blir det understøttende dekkark av PET fjernet, slik at fremkalleren får adgang til det eksponerte fotobllled-dannende lag. Alt etter sammensetningen av det fotobllled-dannende lag, blir laget fremkalt med organisk oppløsningsmiddel, vanndig fremkaller eller semivanndig fremkaller. Med semivanndig fremkaller menes her en fremkaller som har omtrent 90$ eller mer som volum enn vanndig oppløsning, der resten er et organisk oppløsnings-middel så som 2-butoxy etanol og andre glykol etere. Det fotobllled-dannende lag kan være enten positivt virkende, og da blir de eksponerte deler fjernet av fremkalleren, eller negativt virkende, og da blir de ueksponerte deler fjernet av fremkalleren. De fleste fotobllled-dannende lag for fremstilling av loddemasker er negativt virkende. De fleste fotobllled-dannende materlallag krever en viss herding etter fremkallingen for å gjøre laget hardt og permanent, slik at det kan tjene som en loddemaske. Alt etter sammensetningen av det fotobllled-dannende lag, kan herding foregå med varme og/eller ultrafiolett lys.

Selv om det oppnås en rekke fordeler ved bruk av tørre filmer, sammenlignet med belegning av kretskort med en flytende forbindelse, har man visse problemer med loddemasker som er dannet av tørre filmer og det er disse problemer foreliggende oppfinnelse omhandler.

På grunn av at dekkarket på en vanlig tørr film er forholdsvis stiv, kan det fotobllled-dannende lag ikke helt forme seg etter de uregelmessige omriss man har i det trykte kretskort der kretslederne stikker opp fra den plane flate av selve kortet. På grunn av dette må tykkelsen av det fotobllled-dannende lag være noe større enn høyden på lederne der disse stikker over overflaten av kortet. Hvis for eksempel lederne stikker 75>j over overflaten av kortet, vil i et typisk eksempel det fotobllled-dannende lag være omtrent IOOjj tykt og når det er laminert til kortet, vil omtrent 25jj av det fotobllled-dannende materiale ligge over de øvre flater av lederne.

Et uheldig resultat av at loddemasken er tykkere enn høyden på lederne, er at forhøyede områder av loddemasken finnes mellom de deler av kretsen som det fotobllled-dannende materiale skal fjernes fra under fremkallingen av loddemasken, for eksempel de deler av lederne som en komponent skal loddes fast til. Forhøyede områder er særlig problema-tiske når det gjelder komponenter som blir overflatemontert på det trykte kretskort. Typiske komponenter innbefatter en rekke kontaktstifter som hver skal loddes til en frilagt del av en leder i kretskortet. Hvis komponenten ikke passer nøyaktig til kortet, vil den hvile på overflaten av det fotobllled-dannende materiale, uten at tilstrekkelig binding oppstår mellom stiftene og lederne. Det ville da være ønskelig med lave partier eller "daler" i stedet for de forhøyede partier som finnes mellom frilagte deler av ledere.

Noen vanlige ledere er smalere ved foten enn på toppen og i dette tilfelle får man små overheng som er rettet utad langs hver side av hver leder (ofte betegnet som "soppform"). Med både flytende blandinger og vanlige tørre filmer har man luftfylte hulrom under slike overheng. Luft som er inne-sluttet i overhengene kan skape oksydasjon av lederne og kan føre til eventuelle skader i loddemasken.

Foreliggende oppfinnelse omhandler en forbedret tørr film til dannelse av en loddemaske, der man unngår noen av problemene ved både flytende påføring og vanlige tørre filmer. Oppfinnelsen angår også en fremgangsmåte til anvendelse av en tørr film for påføring av et fotobllled-dannende lag som kan utføre en loddemaske eller kan være en primær billed-dannende fotoresist på en overflate, særlig en ujevn overflate. Tørr film som bærer en primær billed-dannende resist kan påføres ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen og gir da en over-ordentlig god tilpasning for pletteringsoperasjoner ved loddepunkter.

I henhold til et trekk ved oppfinnelsen har man kommet fram til en tørr film for dannelse av en loddemaske på et trykt kretskort eller lignende. Den tørre film innbefatter et dekkark laget av fleksibelt, men stort sett ikke formbart materiale som gjør den tørre film formbestandig, men tillater oppvikling av denne i en rull. På en sideflate av dekkarket finnes det et tynt lag av materiale som her er betegnet som topplag og som fortrinnsvis er oppløslig i fremkalleren for det fotobllled-dannende materiale. Det fotobllled-dannende materiale danner et lag på den annen side av topplaget. Et avtagbart ark (som er valgfritt, men i høyeste grad å foretrekke) beskytter laget av fotobllled-dannende materiale. Det materialet som benyttes i topplaget kleber selektivt til laget av fotobllled-dannende materiale i forhold til klebingen til dekkarket, slik at dekkarket kan fjernes fra topplaget og derved la dette være tilbake som et beskyttende belegg for laget av fotobllled-dannende materiale.

For å danne en loddemaske i henhold til et trekke ved foreliggende oppfinnelse, blir det beskyttende avtagbare ark på den tørre film plukket vekk og den frilagte flate av laget av fotobllled-dannende materiale klebes til en mindre del av overflaten av det trykte kretskort. Dekkarket fjernes og etterlater seg topplaget som et beskyttende belegg på laget av fotobllled-dannende materiale. På dette tidspunkt blir laget av fotobllled-dannende materiale fast laminert til overflaten av kortet under anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk, noe som former det fotobllled-dannende materlallag etter omrisset av kretskortets overflate og vil stort sett kapsle Inn lederne. Det fotobllled-dannende materlallag blir deretter eksponert med mønstret aktinisk stråling gjennom topplaget. En fremkaller benyttes for å fjerne enten eksponerte eller ikke-eksponerte deler av det fotobllled-dannende materlallag og etterlater seg de gjenværende deler av laget laminert til kretskortet. Deretter blir de deler av det fotobllled-dannende materlallag som er tilbake på kretskortet herdet, for eksempel med varme og/eller ultrafiolett lys. En lignende prosess er hen-siktsmessig for påføring og fremkalling av et formbart primært billed-dannende fotoreslstlag, selv om varme og herding ved ultrafiolett lys ikke benyttes.

I henhold til en modifisert utførelse av foreliggende oppfinnelse blir, etterat det fotobilleddannende materlallag er heftet til en mindre del av kortets overflate, for eksempel langs den forreste og bakerste kant, den tørre film laminert til kortet med varme, vakuum og mekanisk trykk. Dekkarket blir deretter fjernet. På dette tidspunkt blir de gjenværende lag av den tørre film igjen vakuum-laminert med varme, vakuum og mekanisk trykk for å forme de gjenværende lag av den tørre film etter omrissene av kortets overflate.

Vanligvis blir den annen laminering utført i en kortere tid.

I henhold til en annen utførelse av foreliggende oppfinnelse blir, etterat det fotobllled-dannende materlallag er heftet til en mindre del av overflaten av kortet, for eksempel langs den forreste og den bakre kant, den tørre film laminert med varme, vakuum og mekanisk trykk til kortet, dekkarket blir deretter fjernet. På dette tidspunkt blir de gjenværende lag av den tørre film formet etter omrissene av kortet ved mekanisk trykk, utøvet av oppvarmede ruller som føres over kortets overflate.

Oppfinnelsen er kjennetegnet ved de i kravene gjengitte trekk og vil i det følgende blir forklart nærmere under henvisning til tegningene der: Figur 1 viser et snitt gjennom en vanlig tørr film som anvendes til dannelse av en loddemaske, under påføring på et trykt kretskort,

figur 2A er et snitt gjennom en tørr film i henhold til oppfinnelsen, benyttet til dannelse av en loddemaske,

figur 2B viser fjernelse av dekkarket fra en tørr film som er heftet til et trykt kretskort,

figur 3A er et snitt gjennom en leder på et trykt kretskort, dekket av en loddemaske som er dannet med et tidligere kjent flytende fotobllled-dannende materiale,

figur 3B er et snitt gjennom en alternativ leder på et trykt kretskort dekket med en loddemaske laget med et tidligere kjent flytende fotobllled-dannende materiale,

figur 4A er et snitt gjennom en leder på et trykt kretskort dekket med en loddemaske av en tidligere kjent vanlig tørr film,

figur 4B viser et snitt gjennom en alternativ utførelse av en leder på et trykt kretskort over hvilken det er lagt en loddemaske av en tidligere kjent vanlig tørr film,

figur 5A er et snitt gjennom en leder på et trykt kretskort, kapslet inn med en loddemaske dannet av en tørr film ifølge foreliggende oppfinnelse,

figur 5B er et snitt gjennom en alternativ leder på et trykt kretskort innkapslet med en loddemaske laget av en tørr film ifølge foreliggende oppfinnelse,

figurene 6-9 er fotografier av perpendikulære skiver av et trykt kretskort med en loddemaske dannet ved bruk av en tørr

film ifølge foreliggende oppfinnelse, der fotografiene er tatt i en vinkel på 60° i forhold til planet for kortet for derved å vise både tverrsnittet av kortet og utsiden av fotomasken. Figur 6 er en 300x forstørrelse av en 50p leder dekket med en 50>j loddemaske. Figur 7 er en 750x forstør-relse av en 75p leder, dekket med en 50jj loddemaske. Figur 8 er en 300x forstørrelse av en 50jj leder med tverrstilte overheng og dekket med en 50>j loddemaske. Figur 9 er en 100x forstørrelse av 50jj ledere dekket med en 50jj loddemaske.

Figur 10 er en 300x forstørrelse av en primær fotoresist påført ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen på et kretskort med ledere,

figur 11 er en skjematisk gjengivelse av bruken av en rulle for å tilpasse lagene av tørr film som dekkarket er fjernet fra, til overflaten av et kort og

figurene 13A, 13B og 13C viser skjematisk en vakuum påfø-ringsanordning med plate og rekkefølgen av operasjoner.

På figur 1 er det vist et kretskort 10 som er dekket med en tidligere kjent tørr film 12. Kretskortet omfatter et kort 14 av ikke-ledende materiale for eksempel laget av epoksy og med strømledere som 16 som utgjør den trykte krets. Den tørre film omfatter et dekkark 18 av fleksibelt stort sett ikke formbart materiale som kan være en polyester så som polyetylen tereftalat, et lag 20 av fototbllled-dannende materiale som til slutt behandles for å bli loddemaske og et beskyttende ark 22 laget for eksempel av polyetylen.

I et typisk eksempel trekkes den tørre film fra en rull 2 (figur 11) til kretskortet (10). Like før påføringen på overflaten av kretskortet blir det beskyttende ark 22 plukket vekk som vist for eksempel ved oppvikling på en samlerull 4 (figur 11). Idet det fotobllled-dannende lag påføres overflaten av kretskortet 10 blir det laminert til dette med varme, mekanisk trykk og vakuum. Selv om dekkarket 18 er fleksibelt, er det ikke direkte formbart og det bibeholder derfor sin flate utstrekning når den tørre film 12 påføres kretskortet 10. Det fotobllled-dannende materlallag 20 formes under lamineringen ved dens kontaktflate mot kretskortet der lederne 16 stikker ut. Imidlertid forblir den flate av det fotobllled-dannende materlallag som er i kontakt med dekkarket 18 flat eller plan. For å sikre at det fotobllled-dannende materlallag 20 helt omslutter lederne 16, må materiallaget være tykkere enn høyden på lederne over kretskortet 14, målt fra det ikke-ledende materiale. Standard krav er at tykkelsen av loddemasken over alle deler av lederne skal være minst 18jj. Fordi størstedelen av lederne er hevet 50jj eller mer over overflaten av kortet 14, må det fotobllled-dannende materlallag vanligvis være 68jj eller tykkere. Vanlige tørre filmer 12 til fremstilling av loddemasker har vanligvis fotobllled-dannende lag som er lOOp tykke.

På figur 2A er det vist en tørr film 21 i henhold til foreliggende oppfinnelse. Denne tørre film 21 innbefatter også et dekkark 18, et lag 20 av et fotobllled-dannende materiale som kan behandles for å danne en hard permanent loddemaske og et valgfritt, men foretrukket beskyttende ark 22. I tillegg innbefatter den tørre film 21 et topplag 24 mellom dekkarket 18 og det fotobllled-dannende materlallag

20. Materialet for topoplaget 24 er valgt slik at det har selektiv vedheftning til det fotobllled-dannende materlallag 20, sammenlignet med dets vedheftning til dekkarket 18, hvorved dekkarket kan plukkes løs fra de gjenværende lag 20, 24 av tørr film som er heftet til kretskortet og etterlate seg topplaget 24 som beskyttelse for det fotobllled-dannende materlallag 20. Topplaget 24 er laget av et materiale som er valgt på grunn av dets tetthet mot oksygengjennomtrengning, slik at det beskytter det underliggende lag av fotobllled-dannende materiale 20 mot oksygensperring under den frie radikale fotopolymerisering i eksponeringstrinnet. Videre er topplaget også valgt slik at det er oppløslig i fremkalleren for det fotobllled-dannende materiale slik at topplaget fjernes under fremkalllngsprosessen. Det er imidlertid mulig at topplaget ikke er oppløslig i fremkalleren og i så tilfelle må topplaget fjernes i et trinn som går foran fremkallingen. Materialet i topplaget er videre valgt for å være gjennomsiktig, ha styrke og fleksibilitet.

Tørr film for påføring av fotoresistlag med lignende oppbygning er beskrevet i US-PS 4.530.896 og i amerikansk patentansøkning S.N. 06/931.396 fra 14. november 1986 og det vises til disse publikasjoner som referanse. Patent

nr. 4.530.896 er begrenset til påføring av meget tynne resistbelegg. Primære fotoresistmaterialer blir i typiske tilfeller påført et metallbelagt underlag for å bestemme mønsteret for kretslederne på et trykt kretskort. I hver av de nevnte publikasjoner er det forklart at en tørr film i rekkefølge skal ha et dekkark, et mellomliggende lag som virker som et topplag etterat dekkarket er fjernet, et fotoresistmateriallag og et (valgvis) beskyttende ark.

Selv om rekkefølgen av lag tilsvarer den for den tørre film ifølge oppfinnelsen, er det flere årsaker til at det ikke er nærliggende for en gjennomsnitlig fagmann på området at det ville være fordeler ved en tørr film til fremstilling av loddemaske, med samme lagoppdeling.

En hovedfordel med en tørr film for påføring av et primært billed-dannende fotoresistlag på et underlag, er at det forholdsvis tykke dekklag må fjernes før billed-dannelsen som i høy gad forbedrer den oppnåelige oppløsning av bildet. Selv om lignende fordeler ved oppløsningen oppnås med en tørr film til dannelse av en loddemaske, er oppløsningen av bildet av betydelig mindre betydning når det gjelder loddemasker enn når man står overfor primære fotoresistmaterialer .

Hovedf ordelene ved en tørr film for loddemasker med denne lagdelte oppbygning, oppnås ved påføringen av loddemasken ved den nye fremgangsmåte Ifølge oppfinnelsen. Den nye fremgangsmåte ifølge oppfinnelsen fører til at det fotobllled-dannende materlallag 20 som til slutt danner loddemaske, føyer seg nøye og tett inntil omrissene av overflaten av et kretskort som er uregelmessig på grunn av de forhøyede ledere. I motsetning til dette er primære billeddannende fotoresistlag vanligvis påført en så godt som plan flate. Ved tett tilpasning av det fotobilleddannende materlallag 20 til kretskortets oveflate, får man en god innkapsling av lederne 16. Dessuten kan det benyttes meget tynnere fotobllled-dannende materlallag 20 enn tidligere tørre filmer som er benyttet til dannelse av loddemasker.

På samme måte som for den vanlige tørre film 12, blir først det beskyttende ark 22 plukket fra det fotobllled-dannende materlallag 20 og den frilagte flate av det fotobllled-dannende materlallag påføres over en flate på det trykte kretskort som vist på figur 2A. I motsetning til det man gjør ved vanlig tørr film 12, behøver den tørre film 21 ifølge oppfinnelsen ikke nødvendigvis være helt laminert til kortet på det tidspunkt da filmen påføres. I stedet benyttes et lett trykk for å hefte den tørre film 21 til kortet. Man kan benytte enten kaldhefting eller varmhefting. Ved kaldhefting menes i almindelighet arbeid ved romtemperatur, for eksempel 20 - 25°C. Varmhefting kan foregå ved tempera-turer opp til rundt 70°C. I henhold til et trekk ved oppfinnelsen blir den tørre film 21 ikke heftet til hele overflaten, men bare til et parti som er tilstrekkelig til å gi den nødvendige vedhefting til kortet, slik at det blir mulig å fjerne dekkarket 18 uten at de øvrige lag 20, 24 av den tørre film fjernes fra kretskortet 10. Ved heftingen ligger bare en liten del, for eksempel 5# eller mindre av hele overflate-området av den tørre filmn over kortet og det finnes passasjer mellom den tørre film 21 og kortet 10 for senere fjernelse av luft ved utøvelse av vakuum. Hvis filmen legges på med en maskin, kan for eksempel den forreste og bakre kant heftes til kortet. Hvis det legges på manuelt, er det tilstrekkelig med hefting i hjørnene. Mekanisk trykk, for eksempel det som lett kan utøves med en finger, er tilstrekkelig for vedheftingen.

Som et eksempel på hvorledes vedheftingen kan foretas mekanisk, skal det Igjen vises til figur 11. Et kretskort 10 føres her fra venstre mot høyre av drivruller 23 og de tørre filmer 21 bringes til å bevege seg sammen med overflaten av kortet. Ikke-drevne ruller 25 beveger seg frem og tilbake og opp og ned i den retning som er vist med de dobbelte piler 6 mellom vertikalstilling i kontakt med den tørre film og vertikale stillinger i avstand fra overflaten. Når den forreste kant av kretskortet er i flukt med rullen 25, bringes rullen 25 i kontakt med den tørre film og presser denne mot og hefter den til kortets foreste kant. Rullen 25 blir med en gang trukket tilbake til kortet for å gjøre det mulig for midtpartiet av dette å passere uberørt av rullene. Rullene 25 blir igjen ført tilbake i kontakt med kortet for å hefte fast de tørre filmer 21 ved den bakre kant av kortet 10.

På dette tidspunkt fjernes dekkarkene 18. Fordi bare en liten del av hvert område av den tørre film 21 er heftet til kretskortet 10, viser figur 2B en foretrukket måte å fjerne dekkarket 18 på, idet dette trekkes tilbake i et plan parallelt med planet for kretskortet 10 (i motsetning til at det løftes stort sett perpendikulært, noe som ville ha tilbøylighet til å trekke løs også det fotobilleddannende lag 20 fra kretskortet 10).

Med dekkearket 18 fjernet, blir det fotobllled-dannende lag 20 med topplaget 24 nu vakuumlaminert ved en forhøyet temperatur til kortet. Et vakuum på minst 0,3 millibar benyttes og fortrinnsvis et vakuum på minst 1 millibar. Lamineringstemperaturene ligger fra omtrent 40°C til omtrent 100°C, der et område på 55°C til omtrent 80°C er å foretrekke. Fordi dekkarket 18 er fjernet, vil de to gjenværende lag (det fotobllled-dannende lag 20 og topplaget 24) lett forme seg til omrissene i den uregelmessige flate på kretskortet 10.

Ved vanlig vakuum-laminering blir i tillegg til varme og vakuum, mekanisk trykk utøvet mot den tørre film. I det som kalles "klapp-ned" (figur 13) metoden, blir et bånd og/eller en plate benyttet for å presse den tørre film mot kortet. Kommersielle eksempler på laminatorer som benytter mekanisk trykk i tillegg til varme og vakuum, er modellene 724 og 730 som selges av Dynachem Division of Morton Thiokol, Inc.

Et vakuumlaminerings-apparat 100 av denne type er kort beskrevet under henvisning til figurene 13A, 13B og 13C. Apparatet innbefatter en øvre stasjonær plate 102 og en nedre bevegelig plate 104. Til den øvre plate 102 er det knyttet et øvre ettergivende bånd 106, mens det for den nedre plate 104 er anordnet et nedre ettergivende bånd 108. Den nedre plate 104 har en brønn 109 som bærer et kretskort 10 med tørr film. Forseglingsanordninger i form av en 0-ring 112 finnes på den nedre plate 104 for hermetisk lukking av brønnen 109 når den nedre plate bringes i anlegg mot den øvre plate 102 og det tilhørende bånd 106. På figurene 13A, 13C er det også vist et mellomlagsstykke 108. Mellomlagsstykket er også laget av ettergivende materiale og benyttes for tilpasning til kretskort av forskjellige tykkelser. Flere mellom-lagsstykker kan benyttes innbefattende mellomlagsstykket mellom den øvre plate 102 og det øvre bånd 106. I et typisk tilfelle blir den nedre plate 104 bevegelig frem og tilbake både horisontalt og vertikalt. Med den nedre plate 104 ute av horisontal flukt med den øvre plate 102, anbringes kretskortet 10 som er belagt med tørr film, i brønnen 109 på toppen av det nedre bånd 108. Når den nedre plate 104 beveges vertikalt i flukt med den øvre plate 102, får man den tilstand som er vist på figur 13A. Deretter beveges den nedre plate oppad inntil man får kontakt mellom O-ringen 112 og den øvre plate 102 og det tilhørende bånd 106 (figur 13B). Det er ikke vist anordninger for utøvelse av vakuum i området ved brønnen 109, der kretskortet 10 befinner seg. Heller ikke er det vist anordninger som skal skape vakuum mellom den øvre plate 102 og dett øvre bånd 106. Etterat brønnområdet 109 er blitt forseglet, utøves vakuum både på brønnområdet 109 og mellom den øvre plate 102 og det øvre bånd 106. På dette tidspunkt hviler kretskortet 10 bare mot det nedre bånd 108. Vakuumet i brønnområdet 109 tjener til å fjerne luft fra hulrommene mellom de tørre filmlag 20, 24 og overflaten av kretskortet og trekker lagene av tørr film mot overflatene av dette kort. I en kort periode, ved enden av hver arbeids-syklus, avlastes vakuumet fra området mellom den øvre plate 102, og det øvre bånd 106. Vakuumet i brønnområdet 109 bringer det øvre ettergivende bånd 106 til "smekk-ned" mot kortet 10 og presser dette og de tørre filmlag mellom de øvre og nedre bånd 106, 108 som vist på figur 13C. Sluttelig avlastes vakuumet fra brønnområdet 109 og den nedre plate 104 fjernes vertikalt og deretter horisontalt fra den øvre plate 102, for å gjøre det mulig å fjerne det laminerte kort.

Under nedklemningen overføres mekanisk trykk til den tørre film av båndene som er av ettergivende materiale. Det ettergivende materialet i båndene er en type gummi, for eksempel silikongummi eller en annen type av ettergivende polymerisk materiale. Overflaten av hvert bånd som kommer i kontakt med den tette film, er teksturisert på vanlig måte for å hindre en vakuumbinding i å danne seg mellom båndet og dekkarket. Ved tidligere kjente fremgangsmåter ville en slik binding føre til at dekkarket og eventuelt underliggende lag rives bort fra kortet når flaten og båndet trekkes tilbake. Teksturiseringen av båndene kan være i form av overflateruhet i selve det polymeriske materialet eller teksturiseringen kan fremkomme ved hjelp av et grovt gummiert tekstil på den flate som er i berøring med den tørre film. Ved fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen der de øvrige lag 20, 24 av den tørre film 21 er laminert til kortet etterat dekkarket er fjernet, har det vist seg at vanlige bånd med grove kontaktflater er lite fordelaktige hvis de etterlater et negativt avtrykk på de gjenværende lag av den tørre film. For å unngå dette, er nye halvmatte bånd blitt utviklet og de har en meget fin tekstur. Igjen vil teksturen hindre en vakuum-binding i å danne seg mellom båndets flate og de øvrige lag av den tørre film. Den fine oveflatetekstur vil dessuten ikke etterlate seg noe avtrykk på de gjenværende myke lag 20, 24 av den tørre film. Foretrukket materiale i båndet er silikongummi, fortrinnsvis forsterket med tekstil, for eksempel glassfiber.

Under vakuum-lamineringen blir gjenværende lag 20, 24 formet tett inntil kretskortet, noe som fører til flere fordeler som best vil forstås under henvisning til figurene 3A, 3B, 4A, 4B, 5A og 5B, samt fotografiene som er figurene 6-9. Som man ser er det tynne lag som utgjør topplaget 24 helt intakt under tildannelsesprosessen, et resultat som ikke nødven-digvis kunne forutses.

Figur 3A viser en loddemaske som opprinnelig ble påført som et væskeformet fotobllled-dannende materiale. Siden det er tale om en væske, er laget stort sett formet over det ujevne omriss i kretskortet. På toppen av hver leder 16, har laget stort sett ensartet tykkelse, mens det 1 områdene 26 ved ombøyninger av lederene, d.v.s. tverrkantene, tynnes ut i høy grad og det typiske er en tykkelse på omtrent 50$ av tykkelsen for det lag som dekker den flate overside av lederene. Ofte er laget 20 i områdene 26 av ombøyningene ennu tynnere i forhold til de deler av laget som befinner seg på lederenes flate overside.

På figur 3B er det vist en loddemaske 20 som dekker en soppformet leder 16' med overheng 28 på hver side. Ikke bare er loddemasken tynn i områdene 26 ved ombøyningene, men et tomt luftfylt rom 30 blir tilbake under hvert overheng 28. Figur 4A viser en loddemaske laget av et fotobllled-dannende materlallag 20 av vanlig tørr film 12. Utsiden av loddemasken har den flate form av dekkarket 18 som ble fjernet etter lamineringen, mens den laminerte flate stort sett er formet etter de uregelmessige omriss av kretskortet 10. Loddemasken som er vist på figur 4A er tilfredsstillende når det gjelder innkapsling av lederene 16. Det skal imidlertid påpekes at tykkelsen av det fotobllled-dannende materlallag 20 og loddemasken som dannes av dette, nødvendigvis er større enn høyden på lederene, noe som krever forholdsvis store mengder fotobllled-dannende materiale til utforming av laget. Denne tykkelse representerer en begrensning når det gjelder oppløsningen som kan oppnås i fotobildet. Figur 4B viser en loddemaske som er resultatet av et fotobllled-dannende lag 20 av vanlig tørr film og dekker soppformede ledere 16' med tverrstilte overheng 28. Selv om tykkelsen av loddemasken over lederen 16' er tilstrekkelig, har man luftfylte tomrom 30 under overhengene 28. Figurene 5 og 5B viser loddemasker fremstilt av fotobllled-dannende materlallag 20 i tørre filmer 21 som er fremstilt ifølge foreliggende oppfinnelse. Under lamineringen som følger fjernelse av dekkarket, vil de øvrige lag 20, 24 i den tørre film 21 i stor utstrekning forme seg etter de uregelmessige overflateomriss i kretsskortet. I hvert tilfelle (5A og 5B) var tykkelsen på det fotobllled-dannende lag 20 som ble benyttet til forming av fotomasken lik eller mindre enn høyden på lederen 16 eller 16'. Imidlertid ble overflaten av kretskortet helt dekket av loddemasken med lederene 16 eller 16' helt innkapslet og Innkapslet med tilstrekkelig tykkelse. Man skal merke seg at f otomaskedelene i områdene 26 ved ombøyningene på lederene stort sett er like tykke som fotomaskedelene over den øvre flate av lederene. Når det anvendes en tørr film 1 henhold til foreliggende oppfinnelse, har den resulterende loddemaske tykkelser i områdene 26 av ombøyningene på lederene, som er minst omtrent 70% av tykkelsen på loddemasken over den øvre plane flate av lederene (over mer enn 90% av lederenes lengde). Man skal også merke seg på figur 5B, der en leder 16<*>har overheng 28, at laget 20 tilpasser seg så tett under vakuum/varmelami-nering at det stort sett fjerner luftfylte tomrom fra undersiden av overhengene 28. Selv om betydelig deformasjon av det fotobllled-dannende materlallag 20 er nødvendig for å få til denne tilpasning, bevarer topplaget 24 sin helhet under lamineringen. Etter lamineringen dannes loddemasken ved behandling av laget av fotobllled-dannende materiale på vanlig måte. En sjablon legges over de øvrige lag 20, 24 av den tørre film og topplaget 24 hindrer sjablonen i å klebe seg fast. ;Det fotobllled-dannende materlallag 20 blir eksponert med mønstret aktinisk stråling gjennom det beskyttende topplag 24. Selv om oppløsningen i almindelighet ikke er så kritisk ved fremkalling av loddemasker som den er ved fremkalling av fotoresistlag, vil tynnheten i topplaget 24 som i typiske tilfeller ligger mellom 2 - 3 jj (i motsetning til dekkarket som i typiske tilfeller ligger rundt 25 jj , gjennom hvilket de fotobllled-dannende materlallag 20 på vanlige loddemaske-dannende tørre filmer 12 må eksponeres) bidra til bedre oppløsning. Videre bidrar det til forbedret oppløsning at tykkelsen på selve det fotobllled-dannende materlallag 20 er mindre enn tidligere. Som påpekt ovenfor, må i en vanlig loddemaske-dannende tørr film 20 som skal eksponeres gjennom dekkarket 18, det billed-dannende materlallag dekke ledere 16 med en høyde på 50 jj eller mer og de fotobllled-dannende materlallag er omtrent 20 jj tykke. Fordi det fotobllled-dannende materlallag 20 i den tørre film i henhold til oppfinnelsen kan formes etter overflateomrissene for kretskortet 10, vil en tykkelse på 50 jj eller mindre være tilstrekkelig til å dekke ledere med en høyde på 50 jj og til og med opp til omtrent 75 jj over den flate overflate av kortet 14. Naturligvis er en ytterligere fordel de bety delig reduserte mengder av kostbart fotobllled-dannende materiale som benyttes i laget 20. ;Ennu en fordel ved et tynt fotobllled-dannende lag som er godt formbart, er at loddemasken som dannes i områdene mellom lederene 16, hovedsaklig ved eller under lederenes høyde. Med vanlige loddemasker finnes det forhøyede områder mellom lederene. Slike forhøyede områder kan resultere i at den komponent som skal loddes fast, sitter høyere på loddemasken og hindrer stifene på komponenten i å bli tilstrekkelig godt loddet til de frilagte partier av lederene. Som et alternativ kan de høyere områder under tilbakestrømningen resultere i at noen av pinnen på en loddrett komponent bryter kontakten og får komponenten til å reise seg opp på en ende, noe som kalles "gravstenfenomenet". Utilstrekkelig loddet kontakt og "gravstenfenomenet" unngås når man har "daler" i stedet for høytliggende områder mellom frilagte deler av lederene. ;Etter eksponering med aktinisk stråling, fremkalles lagene 20 og 24, idet fremkalleren fjerner topplaget 24 og de ønskede partier av det fotobllled-dannende lag 20. ;I tillegg har en loddemaske med tørr film i henhold til denne oppfinnelse samme evne til "teltdannelse" gjennom hull som vanlige primærbilled-flimer eller loddemaske-flimer. Dette er en meget viktig del av prosessen og kan ikke reproduseres med enkle prosesser med flytende materialer. ;I almindelighet vil en ytterligere herding følge etter fremkallingen for å herde loddemasken. I typiske tilfeller blir varme og/eller ultrafiolett lys benyttet til denne herding. ;Foreliggende oppfinnelse er ikke i første rekke rettet mot materialene som de forskjellige ark og lag dannes av og det skal igjen vises til US-PS 4.530.896. Dekkarket 18 er vanligvis laget av en polyester så som PET og er i almindelighet minst 20 p tykt eller tykkere, helt opp til 75 n. ;PET, hvis materialet benyttes for bærearket er fortrinnsvis overflatebehandlet for å gi de nødvendige hydrofile egenskaper eller fuktevinkel slik at det ikke hefter seg sterkt til topplaget. Fuktevinkelen eller kontaktvinkelen for materialet i dekkarket er fortrinnsvis minst 60° og helst 75° eller mindre. Et egnet PET dekkark selges under han-delsbetegnelsen Melinex-393 av ICI. Dette er et PET materiale som er overflatebehandlet på en side for å forbedre dets hydrofile egenskaper, d.v.s. øke dets fuktevinkel. ;Andre egnede dekkarkmaterialer innbefatter, men er ikke begrenset til, polyamider, polyolefiner, vinyl polymerer, og cellulose estere. ;En hvilken som helst fotobilled dannende forbindelse som egner seg til dannelse av loddemasker er egnet til utførelse av oppfinnelsen. ;Det beskyttende ark 22 velges slik at det kan fjernes fra laget 20 av fotobilled dannende materiale og er i et typisk eksempel et polyetylenark mellom omtrent 15jj og omtrent 35p tykt. ;Topplaget 24 er dannet av et materiale som gir den nødvendige selektive vedheftning. Topplaget er 1 et typisk eksempel fra omtrent lp til omtrent 12jj tykt og særlig mellom 2y> og omtrent 5jj. Når det anvendes et PET dekkark og et foto-bllleddannende materiale som kan fremkalles 1 en vanndig eller alkalisk vanndig fremkaller, består et egnet topplag hovedsaklig av (a) mellom 10 vektprosent og 100 vektprosent av enten polyvlnylalkohol som er hydrolisert til minst omtrent 75% eller en kopolymer som er dannet ved kopolymerl-sering av mellom omtrent 95 og omtrent 99 molarprosent av polyvlnyl acetat og mellom omtrent 1 og omtrent 5 molar prosent av alkylester av alkylsyre og hydrolisert til minst rundt 75%, (b) opp til omtrent 90 vektprosent av hydroxyetyl cellulose, og (c) opp til omtrent 10 vektprosent av et mykningsmiddel. Hydroxyetyl cellulose benyttes fortrinnsvis i en mengde på minst 25 vektprosent og ennu mer fordelaktig i en mengde på minst 50 vektprosent. ;De ovenfor beskrevne kopolymerer selges under varebetegnelsen VINOL-118 M av Air Products, og 4 vektprosents oppløsninger av disse kopolymerer har viskositeter som ligger fra omtrent 5 til omtrent 65 centipois ved 20°C. PVC homopolymerer med tilsvarende viskositet er også brukbare. Kommersielt tilgjengelige PVA materialer selges også av Air Products. ;Et mykningsmiddel, hvis det benyttes, har tilbøylighet til å senke klebetemperaturen for materialet i topplaget og klebetemperaturer under omtrent 100°C er blitt oppnådd ved bruk av slike mykningsmidler. Et topplagmateriale med en lavere klebetemperatur er lettere å binde til det fotobilleddannende lag. Mykningsmidlene er fortrinnsvis forbin-delser med lav molekylvekt, d.v.s. under omtrent 100 med to eller flere hydroksylgrupper så som glycerin, etylen glykol og propylen glykol. Selv om mykningsmidlene på en ønsket måte senker klebetemperaturen, vil de også øke gjennomtreng-ningen av oksygen i topplaget. Av den grunn bør mengder av mykningsmidler på mer enn 10 vektprosent fortrinnsvis unngås. ;Andre egnede materialer for topplaget innbefatter, men er ikke begrenset til, gruppen som består av polyvinyl eter-maleiske anhydrid kopolymerer, vann-oppløslige cellulose etere, vann-oppløslige salter av karboksyelkylcellulose, vann-oppløslige salter av karboksyalkyl stivelse, polyvinyl alkohol, polyvinyl pyrrolidon, forskjellige polyakrylamider, forskjellige vannoppløslige polyamider, vannoppløslige salter av polyakryl syre, gelatin, etylenoksyd polymerer, forskjellige stivelser og lignende. ;Fremgangsmåten til dannelse av den tørre film foregår etter kjente fremgangsmåter. Topplaget og de fotobllled-dannende materlallag blir i på hverandre følgende lag påført dekkarket ved fremgangsmåter som for eksempel pårulling eller ved sprøyting av oppløsninger eller dispersjoner av materialene. ;I en variant av fremgangsmsåten til utførelse av den oppfinnelse som er beskrevet ovenfor, kan en tørr film lamineres både før og etter den fjernes fra dekkarket. I tilfeller der det fotobllled-dannende lag har omtrent samme tykkelse eller er tynnere enn lederne (eller andre ujevnheter i kortet), kan man vente at lederne (eller andre ujevnheter i kortet) kan trenge igjennom det fotobllled-dannende lag. Det har imidlertid vist seg i slike tilfeller at vanlig laminering av slik film ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk nedklemming på vanlig måte resulterer i vedheftning av det fotobllled-dannende lag til oversidene av lederne (eller andre forhøyninger) uten at lederne (eller forhøy-ningene) trenger gjennom det fotobllled-dannende lag. Vedhef tningen av den tørre film over et større område av kortet letter bindingen til dette når dekkarket fjernes. En andre vakuumlaminering med varme, vakuum og mekanisk nedklemming etter at dekkarket er fjernet, får laget av fotobllled-dannende materiale (og topplaget) til å føye seg etter omrissene av den ujevne flate av kortet. I en typisk prosedyre vil lamineringen etter at dekkarket er fjernet, ta omtrent halvparten av den tid det tar å laminere før dekkarket er fjernet, d.v.s. 30 sek. før den annen laminering, sammenlignet med 60 sek. for de første lamineringer. Ytterligere vedheftning som foregår ved den første laminering kan vise seg å være særlig fordelaktig når det anvendes automatisk utstyr for fjernelse av dekkarket. Som en ytterligere variant av fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen kan man i stedet for å bruke en lamineringsprosess med varme/ ;vakuum, etter fjernelse av det beskyttende ark 22 og dekkarket 18, benytte en rulle som utøver mekanisk trykk for ;å forme det fotobllled-dannende lag 20 (og topplaget 24) til omrissene av kortets overflate for å oppnå det samme formål. ;På flg. 12 er det skjematisk vist anvendelse av rullen for å forme det fotobllled-dannende lag 20 og topplaget 24 til kortets omriss. På den skjematiske tegning beveges kortet 20 og lagene 20, 24 med tørr film fra venstre mot høyre under en ikke-drevet rulle 25 med rullen 1 trykkanlegg mot topplaget 24. Som ved de fremgangsmåter som er beskrevet ovenfor, blir den tørre film først heftet fast. Den tørre film blir deretter fortrinnsvis vakuum-laminert til kortet 10. I det tilfelle der den tørre film har et tynt fotobllled-dannende lag 20, i forhold til høyden på lederne, sitter lagene 20, 24 for den tørre film for størstedelen på toppflaten av lederne 16 som vist ved venstre side av fig. 12. Etter å ha passert rullen 45, vil det fotobllled-dannende materiale 20 og topplaget 24 være tilpasset omrissene av kortet 10 med lederne 16 som vist på høyre side av fig. 12. Lagene 20, 24 presses ned over hele overflaten av kortet 10, idet kortet passerer under rullen. Som et alternativ kunne en rulle trekkes over overflaten av et stillestående kort. ;Rullen 45 som benyttes for dette formål bør utøve et trykk på mellom 1 bar og omtrent 6 bar. Rullen 45 er varmet opp alt etter den spesielle anvendelse til mellom 40 og 110°C og stort sett i området 60 til 80°C. Overflaten på formerullen 45 har en viss ettergivenhet, fortrinnsvis i form av et polymerisk materiale med en Shore A hardhet på mellom 60 og 80. Overflaten av rullen er glatt. Den innbyrdes hastighet på rullen 45 og kortet 10 vil variere alt etter anvendelsen, generelt mellom omtrent 1 meter og omtrent 10 meter pr. sekund der 3 meter pr. sekund er typisk. ;Oppfinnelsen vil nu bli beskrevet mer i detalj i form av bestemte eksempler. ;EKSEMPEL 1;En tørr film ble preparert i overensstemmelse med oppfinnelsen, med et dekkark som er et 50p tykt ark av PET, et 2,5jj topplag som er 10 vektprosent av den hydroliserte polyvinyl-acetat/acrylsyre kopolymer som er beskrevet ovenfor og 90 vektprosent hydroksyetyl cellulose, et fotobllled-dannende materiale i form av et lag som er 50jj tykt og et polyetylen beskyttelsesark 25jj tykt. Det fotobllled-dannende materiale har den følgende formel: ;Bestanddeler:; ; EKSEMPEL 2;En tørr film ble tilberedt i overensstemmelse med eksempel 1, der det ble anvendt LAMINAR<R>DM til dannelse av laget av fotobllled-dannende materiale. ;EKSEMPEL 3;Plater med kobberledere og plater med tinn/blyledere ble renset på vanlig måte. Den tørre film eksempel 2 ble påført kortene både manuelt og med et automatisk system. Manuelt ble det beskyttende polyetylenark fjernet og de fire hjørner av filmen ble heftet fast ved nedtryknlng ved hjelp av fingrene. Med bruk av et bånd for å få et grep på dekkarket, ble dette fjernet ved at PET dekkarket ble trukket i et plan parallelt med kortet overflate. I den automatiserte variant ble en Dynachem modell 360 laminator benyttet. Dynachem utstyret anvender en "ikke kontakt" metode som automatisk fjerner det beskyttende polyetylenark, hefter fast den forreste kant av den tørre film og derefter hefter fast den bakre kant av denne film. Dette blir gjort på begge sider av kortene. Deretter blir dekkarket fjernet. ;Lamineringen foregikk ved en platetemperatur på 70°C med en syklustid på 60 sekunder og et vakuum på 2 millibar. Mekanisk nedklemming foregikk i 6 sekunder ved et vakuum på 0,3 millibar. Kortene ble holdt 20-30 minutter. ;Sjabloner ble lagt over kortene. Ved anvendelse av Colight DMVL-824 ble kortene eksponert 25 sekunder ved 100 mJ/cm<2>målt med Dynachem's integrerende radiometer modell 500, hvorved man oppnådde Stouffer trinn på 8 til 9. Kortene ble holdt i ytterligere 20-30 minutter. Kortene ble fremkalt i 1.0 vektprosent Na2C03*H20 som ga et 2 x brytningspunkt. Kortene ble tørket ved anvendelse av en Chemcut 547 krets-korttørker. Herding foregikk i en Dynachem UVEX herde-enhet, en IL-390 enhet og en høytemperaturovn. Herdetrinnene var slik:

U. V. HERDING

1. UVEX-3 lampe (200 watt/tomme)

2. 3.5 Joules/cm<2>(IL-390) side A.

3. Kjøling til romtemperatur

4. 3.5 Joules/cm<2>(IL-390) side B

5. Kjøling til romtemperatur

TERMISK HERDING

1. Ovnsbaking ved 150°C i 60 minutter.

EKSEMPEL 4

Figur 6 viser en loddemaske formet av et 50p tykt lag som innkapsler en 50jj tykk leder. Figur 7 viser en loddemaske formet av et 50jj tykt lag som kapsler inn en leder som er 75jj høy. God dekning sees i områdene ved knærne. Figur 8 viser en loddemaske formet av et 50jj tykt lag som kapsler inn en 50jj høy leder med overheng. Loddemaskemate-rlalet fyller som man ser områdene under overhengene. Figur 9 viser en loddemaske formet av et 50jj tykt lag som kapsler inn en 50jj høy leder. Man ser tilpasningen av loddemasken til omrissene i kretskortet.

Selv om oppfinnelsen særlig gjelder og hovedsaklig er beskrevet anvendt på en tørr film som bærer et lag av fotobllled-dannende materiale som kan herdes til en loddemaske, kan oppfinnelsen generelt sett anvendes til en tørr film med et hvilket som helst billed-dannende middel, innbefattende primær fotoresist som påføres en uregelmessig flate, særlig en flate der lederne stikker opp fra en ellers plan flate. Det kan også være ønskelig å benytte fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen til påføring av et lag av primær fotoresist på en kobberflate med ujevnheter som skyldes "fatglass". Det er tilfeller for eksempel der det er ønskelig å legge et fotoresistlager over en formgitt krets som allerede er dannet og deretter føye til eller trekke fra eksisterende kobbermønstere eller "tab plate gold fingers".

EKSEMPEL 5

En tørr film ble preparert i overensstemmelse med eksempel 1 ved anvendelse av Laminar<R>AX som utgjorde et fotobllled-dannende materlallag. Resist ble laminert over hevede koblingsører som i eksempel 3 og eksponert med et bilde på massivt kobber 7-9 i en Stouffer<R>21 trinn følsomhetsføler. En dekket leder ses på figur 10. Den eksponerte plate ble deretter fremkalt i en Chemcut 547 dursjfremkaller inne-holdende 91 liter vann, 3 vekt-% kalium karbonat og 1 til 5% Butyl Cellosolv<R>som frila omtrent 3/4 av hvert koblingsøre. Fremkallertemperaturen ble holdt på mellom 27-33°C. Etter inngående skylling, ble kortet påført et 0.30 MIL nikkellag fulgt av 30 min. forgylling i et Technic RC-80 bad. Resistmaterialet ble deretter strippet av i en 3-5% NaOH ved 54-60°C. De forgyldte ører ble deretter undersøkt for vekedannelser i de områder rundt hvilke resistmaterialet hadde tilpasset seg. Ingen spor av gull eller nikkel ble funnet noe sted over de forgyldte områder. En kontrollprøve som ikke ble vakuumlaminert på denne måte viste en vekevirk-ning på omtrent 25% ved ørene.

Den gode tilpasning som fåes med den laminerte tørre film ifølge foreliggende oppfinnelse kan også oppnås med en tørr film som omfatter et lag av fotodannende materiale, støttet av et dekkark av deformerbart materiale, for eksempel varmeformbar vakuumfilm. En slik film kan påføres på samme måte som vanlig film, idet varme/vakuumlaminering foretas enten under eller etter anbringelsen på kretskortet. Dekkarket må i dette tilfelle også kunne tilpasses tilsvarende. Man kan imidlertid støtte på problemer når det gjelder håndteringen av de mer fleksible ark.

I en variant av fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen blir, etterat dekkarket er fjernet og før vakuum/varmelamineringen, et fleksibelt ark for eksempel av Tedlar eller Teflon, lagt over topplaget. Under vakuum lamineringen vil det fleksible ark føye seg etter topplaget, men kan fjernes og blir fjernet før eller etter eksponering for å muliggjøre fremkallingen. En årsak til påføringen av et fleksibelt ark er at man da forlenger den tillatte tidsperiode mellom laminering og eksponering av det fotobllled-dannende lag. Fleksibelt arkmateriale kan være et polymerisk materiale eller et tynt papirark.

Selv om fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen er beskrevet hovedsaklig med henvisning til en tørr film omfattende et dekkark, et topplag på dekkarket og et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, kan fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen utøves under anvendelse av en vanlig tørr film omfattende et dekkark og et fotobllled-dannende materlallag for eksempel enten en primær billed-dannende fotoresist eller en loddemaskeformende fotobllled-dannende forbindelse som er i direkte kontakt med dekkarket. En slik vanlig tørr film kan etter valg ha beskyttende ark som dekker det fotobllled-dannende materlallag. Fremgangsmåten kan utøves med en vanlig tørr film under forutsetning av at laget av fotobllled-dannende materiale hefter seg til en overflate med tilstrekkelig vedheftning i forhold til vedheftningen mellom det fotobllled-dannende materiale og dekkarket til at dekkarket kan fjernes fra det fotobllled-dannende materlallag og etterlate seg dette lag bundet til overflaten. Etterat dekkarket er fjernet, kan det fotobllled-dannende materlallag dekkes med et ark av fleksibelt materiale for eksempel Tedlar eller Teflon (polytetrafluoretylen). Slike fleksible materialer letter kontaktkoplering og hindrer det fotobllled-dannende materlallag i å klebe til deler av vakuum-laminatoren. Som et alternativ kan båndene 1 vakuum-laminatoren bestå av fleksible materialer. Det fotobllled-dannende materlallag er laminert til overflaten med varme og vakuum som former det fotobllled-dannende materlallag til overflaten. Det fototbilled-dannende materlallag eksponeres med mønstret aktinisk stråling for eksempel ved av-kontaktkopiering som for eksempel med en Tamarack Exposure sourse. Hvis et fleksibelt ark er anvendt, blir det fjernet enten før eller etter eksponeringen. Det fotobllled-dannende lag blir deretter fremkalt. Hvis det fotobllled-dannende lag er et materiale som danner en loddemaske, blir det herdet.

EKSEMPEL 6

Det følgende er en spesifikasjon for et fint teksturert ettergivende bånd ifølge foreliggende oppfinnelse. Produktets oppbygning: Silikongummi (metylvinyl)

balansert belagt på fiberglass tekstil med matt finish på en

side.

Produktets farge: Rød.

Produktets særpreg: a. Fin matt finish på en side,

glatt på den annen.

b. Dimensjonen stabilitet.

c. Høy bruddstyrke.

d. Høy temperaturmotstand og slippegenskaper for silikon.

FYSISKE EGENSKAPER

Selv om oppfinnelsen er beskrevet under henvisning til visse foretrukne utførelsesformer, vil modifikasjoner som er nærliggende for fagfolk på området ikke avvike fra oppfin-nelsens omfang.

Claims (11)

1. Fremgangsmåte til forming av en loddemaske på overflaten av et trykt kretskort eller lignende, karakterisert ved at den omfatter: (A) tilveiebringelse av en tørr film som omfatter (1) et dekkark, (2) et topplag på dekkarket og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, hvilket fotobllled-dannende materiale er herdbart etter eksponering og fremkalling til en hard permanent loddemaske som ligger over det trykte kretskort, hvilket topplag er selektivt vedheftende til det fotobllled-dannende materiale sammenlignet med dets vedheftning til dekkarket; (B) vedheftning av det nevnte fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort, (C) fjernelse av dekkarket fra topplaget slik at det fotobllled-dannende materlallag forblir vedheftet overflaten av kretskortet mens topplaget dekker og beskytter dette, (D) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort under anvendelse av varme og vakuum for å føye det fotobllled-dannende materlallag og topplaget nøye til overflaten av kretskortet, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materialet for fjerne enten eksponerte eller ueksponerte deler fra det trykte kretskort, slik at enten ueksponerte eller eksponerte partier blir tilbake på det trykte kretskort, og (G) herding av de gjenværende deler av det fotobllled-dannende materlallag for å danne en hard permanent loddemaske som beskytter det trykte kretskort.

2 . Trykt kretskort omfattende et flatt ikke-ledende eller halvledende kort, ledere som er hevet over overflaten av kortet, hvilke ledere har plane oversider og tverrstående knær, og en loddemaske som dekker hoveddelen av kretskortet innbefattende lederene, karakterisert ved at loddemasken har en gjennomsnitlig tykkelse på stort sett lik eller mindre enn høyden på lederene, der tykkelsen av loddemasken i området ved de tverrstilte knær er minst 70% av tykkelsen av loddemasken over lederenes toppflater over omtrent 90% av lederenes lineære utstrekning.

3. Fremgangsmåte til frembringelse av et fotobllled-dannende lag på overflaten av en bærer, karakterisert ved at den omfatter: (A) frembringelse av en tørr film med (1) et dekkark, (2) et topplag på dekkarket, og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, hvilket topplag er selektivt vedheftende til det fotobllled-dannende materiale i forhold til vedheftningen til dekkarket, (B) vedheftning av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (C) fjernelse av dekkarket fra topplaget, slik at det fotobllled-dannende materlallag blir tilbake vedheftet til bærerens overflate med topplaget som tildekning og beskyttelse av det fotobllled-dannende materlallag, (D) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate ved anvendelse av varme og vakuum for å forme det fotobllled-dannende materlallag og topplaget til bærerens overflate, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, og (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materialet for fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort, slik at det blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier på bærerens overflate.

4 . Fremgangsmåte til frembringelse av en loddemaske på overflaten av et trykt kretskort eller lignende, karakterisert ved (A) frembringelse av en tørr film som omfatter et dekkark og et lag av fotobllled-dannende materiale på dekkarket, hvilket fotobllled-dannende materiale er herdbart etter eksponering og fremkalling til en hard permanent loddemaske som ligger over det trykte kretskort , (B) fastheftning av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort, (C) fjernelse av dekkarket fra det fotobllled-dannende materlallag slik at dette lag blir tilbake heftet til overflaten av kretskortet, (D) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort ved bruk av varme og vakuum for å forme det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av kortet, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort og å etterlate ueksponerte eller eksponerte partier på dette, og (G) herding av de gjenværende deler av det fotobllled-dannende materlallag til en hard permanent loddemaske som beskytter det trykte kretskort.

5. Fremgangsmåte til frembringelse av et fotobllled-dannende lag på overflaten av en bærer, karakterisert ved: (A) frembringelse av en tørr film omfattende et dekkark og et lag av fotobllled-dannende materiale på dekkarket, (B) heftning av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (C) fjernelse av dekkarket fra det fotobllled-dannende materlallag slik at dette lag blir tilbake heftet til bærerens overflate, (D) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate ved anvendelse av varme og vakuum for å forme det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, og (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort, mens enten ueksponerte eller eksponerte partier blir tilbake på overflaten av bæreren.

6. Fremgangsmåte til frembringelse av en loddemaske på overflaten av et trykt kretskort eller lignende, karakterisert ved : (A) frembringelse av en tørr film bestående av (1) et dekkark, (2) et topplag på dette ark, og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, hvilket fotobllled-dannende materiale er herdbart etter eksponering og fremkalling til en hard permanent loddemaske som ligger over det trykte kretskort, hvilket topplag er selektivt vedheftende til det fotobllled-dannende materiale i forhold til dets vedheftning til dekkarket, (B) vedheftning av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort, (C) laminering av det fotobllled-dannende lag til overflaten av det trykte kretskort ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk, (D) fjernelse av dekkarket fra topplaget slik at det fotobllled-dannende materlallag blir tilbake heftet overflaten av kretskortet der topplaget dekker og beskytter dette, (E) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk for å forme det fotobllled-dannende materlallag og topplaget til overflaten av kortet, (F) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, (G) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort slik at det blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier på dette og (H) herding av de gjenværende partier av det fotobllled-dannende materlallag til en hard permanent loddemaske som beskytter det trykte kretskort.

7. Fremgangsmåte til frembringelse av et fotobllled-dannende lag på overflaten av en bærer, karakterisert ved: (A) frembringelse av en tørr film omfattende (1) et dekkark, (2) et topplag over dekkarket og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, hvilket topplag er selektivt vedheftet til det fotobllled-dannende material lag i forhold til dets vedheftlng til dekkarket, (B) hefting av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (C) laminering av det fotobllled-dannende materlallag på bærerens overflate ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk, (D) fjernelse av dekkarket fra topplaget slik at det fotobllled-dannende materlallag blir tilbake heftet til bærerens flate med topplaget som tildekning og beskyttelse for det fotobllled-dannende materlallag, (E) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens flate under anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk for forming av det fotobllled-dannende materlallag og topplaget til bærerens overflate, (F) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling og (G) fremkalling av det fotobllled-dannende materlallag for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra bærerens overflate, slik at enten ueksponerte eller eksponerte partier blir tilbake på denne flate.

8. Fremgangsmåte til forming av et fotobllled-dannende lag på overflaten av en bærer, karakterisert ved : (A) frembringelse av en tørr film omfattende et dekkark og et lag av fotobllled-dannende materiale på dekkarket, (B) hefting av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (C) fjernelse av dekkarket fra det billed-dannende materlallag slik at dette blir tilbake heftet til bærerens overflate, (D) utøvelse av trykk på det fotobllled-dannende materiale ved føring av en oppvarmet rulle over dette for derved å bringe det fotobllled-dannende lag til å forme seg etter overflaten av bæreren, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling og (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra bærerens overflate slik at det blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier på denne flate.

9. Fremgangsmåte til forming av loddemaske på overflaten av et trykt kretskort eller lignende, karakterisert ved: (A) frembringelse av en tørr film omfattende (1) et dekkark og (2) et lag av fotobllled-dannende materiale på dekkarket, hvilket materiale kan herdes etter eksponering og fremkalling for å danne en hard permanent loddemaske som ligger over det trykte kretskort, (B) vedheftning av det fotobllled-dannende materlallag til overflaten av det trykte kretskort, (C) fjernelse av dekkarket fra det fotobllled-dannende materlallag slik at dette blir tilbake heftet til overflaten av kretskortet, (D) utøvelse av trykk på det fotobllled-dannende materlallag ved hjelp av en oppvarmet rulle som føres over dette for å bringe det fotobllled-dannende materlallag til å forme seg etter overflaten av det trykte kretskort, (E) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, (F) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort, slik at det blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier på kretskortet og (G) herding av de gjenværende partier av det fotobilled- dannende materlallag som dermed utgjør en hard, permanent loddemaske som beskytter det trykte kretskort .

10. Fremgangsmåte til frembringelse av et fotobllled-dannende lag på overflaten av en bærer, karakterisert ved: (A) frembringelse av en tørr film, omfattende (1) et dekkark, (2) et topplag på dekkarket og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget, hvilket topplag er selektivt vedheftende til det fotobllled-dannende materialet i forhold til dets vedheftning til dekkarket, (B) heftning av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate, (C) laminering av det fotobllled-dannende materlallag til bærerens overflate ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk, (D) fjernelse av dekkarket fra topplaget slik at det fotobllled-dannende materlallag blir tilbake heftet til bærerens overflate med topplaget som dekke og beskyttelse for det fotobllled-dannende materlallag, (E) utøvelse av trykk på det fotobllled-dannende materlallag ved hjelp av en oppvarmet rulle som føres over dette slik at det fotobllled-dannende materlallag bringes til å forme seg etter overflaten på bæreren, (F) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling og (G) fremkalling av det fotobllled-dannende materlallag for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra bærerens overflate slik at det på denne blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier.

11. Fremgangsmåte til forming av en loddemaske på overflaten av et trykt kretskort eller lignende, karakterisert ved : (A) frembringelse av en tørr film omfattende (1) et dekkark, (2) et topplag på dekkarket og (3) et lag av fotobllled-dannende materiale på topplaget hvilket materiale kan herdes etter eksponering og fremkalling for å danne en hard permanent loddemaske som ligger over det trykte kretskort, hvilket topplag er selektivt heftende til det fotobllled-dannende materiale sammenlignet med dets vedheftning til dekkarket, (B) vedheftning av det fotobllled-dannende materiale til overflaten av det trykte kretskort, (C) laminering av det fotobllled-dannende lag til overflaten av det trykte kretskort ved anvendelse av varme, vakuum og mekanisk trykk, (D) fjernelse av dekkarket fra topplaget, slik at det fotobllled-dannende materlallag blir tilbake heftet til overflaten av kretskortet med topplaget som dekke og beskyttelse av dette, (E) utøvelse av trykk på det fotobllled-dannende materlallag ved hjelp av en oppvarmet rulle som føres over dette og bringer det fotobllled-dannende materlallag til å forme seg etter overflaten av det trykte kretskort, (F) eksponering av det fotobllled-dannende materlallag med mønstret aktinisk stråling, (G) fremkalling av det fotobllled-dannende materiale for å fjerne enten eksponerte eller ueksponerte partier fra det trykte kretskort slik at det på dette blir tilbake enten ueksponerte eller eksponerte partier og (H) herding av de gjenværende partier av det fotobilled- dannende materlallag for å danne en hard permanent loddemaske som beskytter kretskortet.