Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie do osa¬ dzania elementarnego krzemu w atmosferze gazu reakcyjnego za posrednictwem zewnetrznie stero¬ wanego przelacznika.Tego rodzaju urzadzenie opisane jest w opisie patentowym DT-OS 21.33 863 (VPA 71/1112). Urza¬ dzenie to dziala na zasadzie tak zwanego sterowa¬ nia z odcieciem fazowym, poniewaz przeplyw be¬ dacego do dyspozycji pradu przemiennego przery¬ wany jest co najmniej jednokrotnie w czasie kaz¬ dego okresu drgan, a do nosnika pretowego nie jest doprowadzane napiecie w czasie dluzszym, niz to wynika z samego tylko przejscia wielkosci prze¬ miennej przez wartosc zerowa, a mianowicie w czasie trwajacym az do momentu, gdy na skutek wyzwolenia przelacznika elektronicznego podczas danego okresu drgan do nosnika znowu doprowa¬ dzone -zostanie napiecie.Urzadzenie, jakie rozpatrywane jest w opisie pa¬ tentowym DT-OS 21 33 8-63, jest w stanie zapewnic stabilna temperature nosnika pretowego, pomimo jego opadajacej charakterystyki pradowo -.napiecio¬ wej. Poniewaz jednak przeplyw pradu grzejnego zostaje wywolany w okresach pomiedzy przejscia¬ mi napieca grzejnego przez wartosci zerowe, wy¬ stepuja wiec obciazenia zaklócajace zródla napie¬ cia przemiennego, to znaczy sieci elektroenerge¬ tycznej dostarczajacej wymaganej energii elektrycz¬ nej. Tego rodzaju obciazen da sie, jak wiadomo, uniknac przez zastosowanie tak zwanego przelacz- 10 15 25 nika napiecia zerowego, który, w przeciwienstwie do ukladu sterowania z odcieciem fazowym, prze¬ lacza przelacznik elektroniczny w stan zalaczenia jedynie w momentach czasu odpowiadajacych przejsciem napiecia grzejnego przez wartosci zero¬ we. Takie przelaczniki napiecia zerowego opisane sa, na przyklad, w publikacji SIEMENS-BAUTEL- LE-INFOHMATIONEN 10 (1972) zeszyt 1, strony od 1 do 4, oraz w czasopismie FUNKSCHAU (1974) zeszyt 20, strony 669, 670. Nalezy równiez wziac pod uwage i to, ze w celu utrzymania stalosci temperatury na powierzchni nosnika pretowego, w trakcie trwania procesu wytracania pólprzewod¬ nika niezbedne beda znacznie rózniace sie miedzy soba wartosci pradów i napiiec. Tak wiec, ogólnie rzecz biorac, na poczatku procesu wytracenia a wiec wówczas, gdy nosnik pretowy jest juz roz¬ grzany do temperatury wytracania, niezbedna jest stosunkowo mala amplituda pradu przy duzym napieciu, a pózniej potrzebna jest duza amplituda pradu przy imalym napieciu.Przedmiotem wynalazku jest urzadzenie da oka¬ dzania elementarnego krzemu ma powierzchna nos¬ nika pretowego wykonanego z elementarnego krze¬ mu umieszczonego w atmosferze gazu reakcyjnego, z którego wytracany jest krzem elementarny, na¬ grzanego do temperatury osadzania, zawierajace zródlo pradu grzejnego, transformator mocy grzej¬ nej z jednym uzwojeniem pierwotnym i kilkoma uzwojeniami wtórnymi, polaczonymi z obwodem 120 0813 120 081 pradowym nosnika pretowego poprzez sterowany zewnetrznie przelacznik elektroniczny, czujnik pra¬ du grzejnego przeplywajacego przez nosnik pre¬ towy, wytwarzajacy sygnaly bedace odwzorowa¬ niem chwilowych wartosci pradu elektrycznego 5 przeplywajacego przez nosnik pretowy, wlacznik elektroniczny zalaczony w obwodzie pradu grzej¬ nego oraz elektroniczny uklad sterujacy sprzezony z czujnikiem pradu grzejnego, sterowanym ze¬ wnetrznie przelacznikiem elektronicznym oraz 10 wlacznikiem elektronicznym zalaczonym w obwo¬ dzie pradu grzejnego.Zgodnie z wynalazkiem sterowany zewnetrznie przelacznik elektroniczny zawiera pierwsze ze¬ wnetrznie sterowane elektroniczne elementy prze- 15 laczajace, z których kazdy jest wlaczony odpo¬ wiednio miedzy drugim wyprowadzeniem jednego z uzwojen wtórnych transformatora mocy grzej¬ nej, a. pierwszym wyprowadzeniem nastepnego z (uzwojen 'transformatora (mocy grzejnej, drugie 20 zewnetrznie sterowane elektroniczne elementy przelaczajace, z których kazdy jest wlaczony od¬ powiednio miedzy pierwszym wyprowadzeniem kazdego nastepnego uzwojenia wtórnego transfor¬ matora mocy grzejnej a pierwszym wyprowadze- 25 niem pierwszego uzwojenia wtórnego transforma¬ tora mocy grzejnej polaczonym z jednym z wypro¬ wadzen obwodu grzejnego nosnika pretowego oraz trzecie zewnetrznie sterowane elektroniczne ele¬ menty przelaczajace, z których kazdy jest wlaczo- 30 ny miedzy drugim wyprowadzeniem kazdego uzwojenia wtórnego transformatora mocy grzejnej a drugim wyprowadzeniem otowodtu grzejnego nos¬ nika pretowego, przy czym miedzy tym drugim wyprowadzeniem oibwodu grzejnego, do którego sa 35 dolaczone trzecie elementy przelaczajace, a drugim wyprowadzeniem nosnika pretowego, którego pierwsze wyprowadzenie jest polaczone z czujni¬ kiem wlaczony jest glówny obwód pradowy wlacz¬ nika elektronicznego, którego obwód sterujacy jest 40 sprzezony z elektronicznym ukladem regulacyjnym, sprzezonym równiez z czujnikiem pradu gTzejnego, dolaczonym do tego samego zródla pradu grzej¬ nego, do którego jest dolaczone uzwojenie pier¬ wotne transformatora mocy grzejnej, którego 'inne 46 uzwojenie wtórne wlaczone szeregowo iz przelacz¬ nikiem jest dolaczone równolegle do nosnika pre¬ towego.Elektroniczny uklad regulacyjny jest polaczony z blokiem sterujacym, sprzezonym z czujnikiem so pradu grzejnego oraz z zadajnikiem uprzednio ustalonej wartosci pradu grzejnego.Obwody sterujace zewnetrznie sterowanych elek¬ tronicznych elementów przelaczajacych sa sprze¬ zone z ukladem regulacyjnym sprzezonym z czuj- 55 nikiem pradu grzejnego oraz z wlacznikiem elek¬ tronicznym wlaczonym w obwodzie pradu grzej¬ nego przeplywajacego przez nosnik pretowy.Czujnik pradu grzejnego jest zrealizowany w ukladzie przekladnika pradowego, odznaczajacego 60 sie malymi stratami, którego (uzwojenie pierwotne jest wlaczone ^szeregowo w obwodzie pradu grzej¬ nego nosnika pretowego, a uzwojenie wtórne jest dolaczone dio wejscia Ibloku stepujacego ukladu regulacyjnego. « Blok sterujacy zawiera dwie wlaczone na wejs¬ ciu diody luminescencyjne zalaczone w ukladzie prostownika dwupolówkowego, sprzezone z jednym wspólnym odbiornikiem optoelektrycznym, którego sygnal wyjsciowy jest odwzorowaniem wartosci skutecznej natezenia prajdu grzejnego, przeplywa¬ jacego przez czujnik pradu grzejnego. • Na wyjsciu urzadzenia optoelektrycznego wlaczo¬ ny jest wzmacniacz, na którego wyjsciu wlaczony jest filtr wygladzajacy.Urzadzenie wtórne czujnika pradu- grzejnego, zrealizowanego w ukladzie przekladnika prado¬ wego jest polaczone z prostownikiem mostkowym, na którego wyjsciu jest .wlaczony detektor szczy¬ towy, na którego wyjsciu uzyskuje sie sygnal pro¬ porcjonalny do wartosci amplitudy pradu grzej¬ nego, doprowadzany do pierwszego wejscia elek¬ trycznego ukladu mnozacego, którego drugie wejs¬ cie jest sprzezone z obwodem pradowym nosnika pretowego oraz ze zródlem pradu grzejnego, do którego to drugiego wejscia doprowadzany jest sygnal odwzorowujacy zaleznosc (m/zn)1/^, gdzie m — liczba drgan na sekunde pradu przeplywaja¬ cego przez nosnik pretowy, a n — czestotliwosc napiecia sieci zasilajacej, i którego wyjscie, na którym uzyskuje sie sygnal proporcjonalny do ilo¬ czynu IQ (m/2n)V2, gdzie JQ — amplituda pradu grzejnego, jest dolaczone do wejscia regulatora ukladu sterujacego, którego wyjscie jest sprzezone z obwodem sterujacym wlacznika elektronicznego zalaczonego w obwodzie pradowym nosnika preto¬ wego.Miedzy wyjsciem ukladu mnozacego a wejsciem bloku sterujacego zalaczony jest element sumuja¬ cy. Do prostownika mostkowego dolaczony jest licznik impulsów, którego wyjscie jest polaczone z wejsciem mikroprocesora, którego drugie wejs¬ cie jest polaczone poprzez licznik i prostownik mostkowy z uzwojeniem wtórnym transformatora dolaczonego do zródla pradu grzejnego. Wejscie bloku sterujacego jest polaczone z wyjsciem za- dajnika uprzednio ustalonej wartosci natezenia pradu grzejnego. Zadajnik uprzednio ustalonej wartosci natezenia pradu grzejnego zawiera zródlo napiecia stalego, do którego dolaczony jest poten-. cjomefcr, przy czym wejscie bloku sterujacego jest polaczone z suwakiem potencjometru. Do drugiego wyjscia mikroprocesora dolaczone sa obwody ste¬ rujace zewnetrznie sterowanych elektronicznych elementów przelaczajacych zalaczonych miedzy uzwojeniami wtórnymi transformatora imocy grzej¬ nej a obwodem pradowym nosnika pretowego.Miedzy drugim wyjsciem mikroprocesora a ob¬ wodami sterujacymi zewnetrznie sterowanych ele¬ ktronicznych elementów przelaczajacych zalaczony jest blok wylacznika pirogowego. Do drugiego wyjs¬ cia mikroprocesora dolaczony jest obwód sterujacy silnika krokowego sprzezcnego z zespolantiprzela- czajacymi, których zlacza sa laczone z elektroda¬ mi sterujacymi przelaczajacych elementów elektro¬ nicznych w zaleznosci od programu sterowania przelaczeniami tych elementów ustalonego przciz mi¬ kroprocesor na podstawie odebranej i przetworzo¬ nej informacji, dotyczacej warunków przeprowa¬ dzania procesu osadzania krzemu, przy czym zes-12B«*1 poly pirzelaczaja^e sa polaczone z jednym z bie¬ gunów zródla napiecia wyzwalajacego, którego drugi biegun jest polaczony ze wspólnym punktem obwodu grzejirego. Jato zródlo napiecia wyzwala¬ jacego wykorzystana jest zródlo napiecia stalego.Przedmiot wynalazku jest blizej objasniony na podstawie przykladu wykonania przedstawionym na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia schemat ide'Owy transformatora mocy wykorzystywanego jako zródlo pradu do nagrzewania nosnika preto¬ wego, w polaczeniu z przewidzianym do nagrze¬ wania nosnikiem pretowym i niezbednymi prze¬ lacznikami elektronicznymi, fig. 2 i fig. 3 — przy¬ klad realizacji przelacznika napiecia zerowego na¬ dajacego sie do sterowania napieciem zerowym z wykorzystaniem okreslonej liczby okresów drgan, a fig. 4 i fig. 5 — schematy ideowe ukladów ste¬ rowania urzadzeniami przedstawionymi ma fig. 1, fig. 2 i fig. 3. Nie przedstawione sa natomiast gra¬ ficznie ani naczynie, w którym zachodzi reakcja, ani material, z którego powstaje gaz. Oba te ele¬ menty moga byc zrealizowane w sposób znany na przyklad z opisu wynalazku przedstawionego w opisie patentowym DT-PS 1220 391 (VPA 62/2701).W przedstawionym na fig. 1 w postaci schematu ideowego urzadzeniu wedlug wynalazku nosnik pretowy 1, który w szczególnosci moze byc pretem krzemowym, jest polaczony ze zródlem pradu grzejnego, za posrednictwem elektrod stykajacych sie z dwoma jego krawedziami czolowymi szere¬ gowo z przewodzacym taki sam prad, jaki przeply¬ wa przez nosnik pretowy, zewnetrznie sterowanym przelacznikiem elektronicznym 10 oraz czujnikiem 21. Prad grzejny przeplywa przez oiciinek obwicdu grzejnego miedzy punktami A i B dostarczany z pewnej liczby uzwojen wtórnych transformatora mocy 2 do zestawu skladajacego sie z preta krze¬ mowego 1, czujnika 21 i przelacznika elektronicz¬ nego 10, przy czym uzwojenie pierwotne 3 tego transformatora jest zasilane ze zródla napiecia przemiennego 9, w szczególnosci z publicznej za¬ silajacej sieci elektroenergetycznej. Wtórne uzwo¬ jenia 4, 5, 6, 7 transformatora mocy 2 przeznaczone do zasilania nosnika pretowego 1 pradem ele¬ ktrycznym sa wzgledem siebie calkiem identyczne.Uzwojenia te zalaczane sa do nosnika pretowego 1 i zalaczonych w szereg z nim elementów 10 i 21 za pomoca przedstawionych na fig. 1 zewnetrznie sterowanych przelaczników elektronicznych od 11 do 20.W przykladzie wykonania przedstawionym na fig. 1 przewidziane zostalo jeszcze jedno uzwoje¬ nie wtórne 8, które za pomoca przelacznika 22 moze zostac podlaczone do nosnika pretowego 1, wzglednie moze byc znowu od niego odlaczone.Uzwojenie 8 jest zaprojektowane w taki sposób, ze moze ono doistarczyc do punktów laczeniowych C i D napiecie znacznie wyzsze od napiecia uzys¬ kiwanego z uzwojen 4, 5, 6 i 7. Stosuje sie je, przy wspomaganiu procesu nagrzewania nosnika pretowego {poprzez zalaczenie znajdujacego sie w nosniku dodatkowego zródla promieniowania; na przyklad promiennika podczerwieni) celem do¬ datkowego nagrzewania nosnika pretowego 1, któ¬ ry poczatkowo ma temperature pokojowa. Uzwoje- 10 15 28 30 35 40 45 50 53 60 nie 8 zostaje, za posredniefewem przelacznika 22, odlaczone od nosnika 1, jak tylko napiecie kolejno po sobie wlaczanych uzwojen wtórnych 4, 5, 6, 7, przeznaczonych do zasilania nosnika pretowego 1 pradem roboczym, wystarczy do tego, aby nagrzac nosnik pretowy 1 az do zadanej temperatury wy¬ tracenia wynoszacej, w przypadku krzemu, okolo 1000—4300QC.Na ogól do zasilania pradem roboczym nosnika pretowego wykonanego z krzemu o drtugosci, na przyklad 6 m, ze zródla napiecia przemiennego B, wystarcza transformator mocy 2, którego uzwoje¬ nie pierwotne obliczone jest na moc, na przyklad, równa 600 kVA i którego kazde uzwojenie wtórne 4, 5, 6, 7 obliczone jest na maksymalne napiecie 150 V i maksymalna moc równa okolo 150 kVA.Uzwojenie wtórne 8 jost jako takie zbyteczne. Jesli chce sie takie uzwojenie przewidziec, wówczas za¬ leca sie obliczac i projektowac je na napiecie 2kV i moc równa 100 kVA.Do zasilania nosnika pretowego pradem Tobo- czym stosuje sie z reguly, cztery uzwojenia wtórne, chociaz i tutaj istnieja mozliwosci stosowania róz¬ nych wariantów rozwiazan. Jednakze po to, aby uniknac zaklócajacych harmonicznych wyzszego rzedu, uzwojen wtórne, jako przeznaczone do wy¬ twarzania pradu grzejnego niezbednego podczas procesu wytracania i doprowadzanego — za po¬ srednictwem przelacznika napiecia zerowego — do nosnika pretowego., którym jest, na przyklad, pret krzemowy, powinny byc wzgledem siebie identycz¬ nie zaprojektowane. Oznacza to, ze w stosunku do uzwojenia pierwotnego 3 transformatora 2 powin¬ ny one wykazywac jednalkcwe wartosci -rezystan¬ cji dla pradu stalego, jednakowe wspólczynniki samoindukcji, jednakowe wartosci pojemnosci wlasnej i jednakowe 'Wartosci indukcyjnosci wza¬ jemnej.W przedstawionym na ffiig. 1 urzadzeniu wedlug wynalazku przewidziana jest pewna liczba zew¬ netrznie stepowanych przelaczników elektrcrniicz- . nyeh od 10 do 20. Ich zadaniem jest regulacja i sterowanie pradem grzejnym plynacym przez pret krzemowy 1. Regulacja ta odbywa sie, po pierwsze, poprzez doprowadzenie zmiennych okre¬ sów drgan napiecia przypadajacych na jednostke czasu. Idzie lu o doprowadzenie do nosnika pre¬ towego 1 drgan napiecia przemiennego o czestotli¬ wosci równej n drganiom na sekunde, które to na¬ piecie wywoluje powstawanie przeplywu pradu grzejnego. Po drugie, wspomniane sterowanie i re¬ gulacja pradu grzejnego odbywa sie równiez po¬ przez oddzialywanie na amplitude tego. napiecia, wzglednie na wartosc bedacej do dyspozycji mocy elektrycznej. Odzialywanie to odbywa sie poprzez odpowiednie laczenie dolaczanych do nosnika pre¬ towego 1 uzwojen wtórnych transformatora mocy 2.Zadanie pierwsze* realizuje sie przez zastosowa¬ nie znanego sposobu sterowania napieciem zero¬ wym z wykorzystaniem sposobu sterowania napie¬ ciem zerowym z wykorzystaniem okreslonej liczby okresów drgan.Zadanie drugie — poprzez zastosowanie wylacz¬ nika progowego, który uwidoczniono na fig 1 przelaczniki elektroiniczine 11 — 20 laczy w zalez-1201 7 iiosci od kazdorazowego zapotrzebowania napiecio¬ wego i pradowego w odpowiednie grupy w taki spos6b, ize napiecie elektryczne bedace do dyispo- zycji w (punktach laczeniowych A i B wspólnie ze sterowaniem napieciem zerowym z wykorzysta- 5 ndern okreslonej licaby okresów drgan jest w sta¬ nie dostarczyc do nosnika pretowego 1 wymagany prad grzejny. Jesli chce ,sie, na przyiklad dolaczyc do nosnika pretowego 1 polaczone szeregowo wszy¬ stkie uzwojenia wtórne 4, 5, 6, 7, wówczas prze- io laczniki 11, 12, 13, 20, jak równiez przelacznik 10, musza -sie znaijdowac w stanie przewodzenia nato¬ miast pozostale przelaczniki musza sie znajdowac w stanie odciecia. Ten stan roboczy przelaczników od 11. do 20 wykorzystywany jest zwykle podczas 15 nagrzewania lub bezposrednio po nagrzaniu preta do temperatury wytracania, poniewaz stan ten, w przypadku nosnika pretowego 1 o malej poczatko¬ wo srednicy i duzej rezystancji, jest najbardziej korzystny do dostarczania wymaganego pradu 23 grzejnego. Tein stan roboczy w dalszym ciagu ni¬ niejszego tekstu okreslany bedzie symbolem „I".Gdy w trakcie procesu wytracania srednica nos¬ nika pretowego 1 zwieksza sie, a w zwiazku z tym jego rezystancja i zapotrzebowaimie napieciowe 23 troche sie zmniejszaja, jedno uzwojenie wtórne — najprosciej uzwojende 7 — moze zostac odlaczone od nosnika pretowego 1 tak, iz bedzie on zasilany pradem grzejnym jedynie z trzech uzwojen, w na¬ szym przykladzie z uzwojen 4, 5, 6. Ten stan ro- 3c boczy w dalszym ciagu niniejszego tekstu bedzie oznaczony cyfra rzymska „XI". Stan ten jest osiagany wówczas, gdy, na przyiklad, przelaczniki 11, 12, 19 i 10 .sa w stanie przewodzenia, natomiast pozositale przelaczniki sa odciete (nie przewodza 35 pradu elektrycznego).Jiesli w trakcie procesu wytracania rezystancja elektryczna preta krzemowego 1 nadal sie zmniej¬ sza, wówczas do zasilania tego preta wystarcza juz tylko szeregowe polaczenie dwóch uzwojen. Ponie- 40 waz wzrasta jednaik stale .pobór mocy, z reguly kazdorazowo laczy sie wzajemnie szeregowo dwa uzwojenia wtórne transformatora mocy, a wiec, na przyklad, uzwojenia 4 i 5 oraz uzwojenia 6 i 7.Powstale w ten sposób grupy uzwojen wtórnych 45 laczy sde wzajemnie równolegle i podlacza do nos¬ nika pretowego 1. Ten stan roboczy oznaczony jesit symbolem „III". Moze on byc, na przyklad, zrealizowany wówczas, gdy przelaczniki 11, 13, 18, 15, 20 i 10 sa wprowadzone w stan przewodzenia, 50 a pozostale przelaczniki — w stan odciecia (gdy nie przewodza pradu elektrycznego).Jak wynika z fig. 1, uzwojenia 4, 5, 6, 7 moga byc róiwniez i pojedynczo podlaczane do preta krzemowego. W tym przypadku do preta krzemo- 53 wego doprowadzona zostaje najmniejsza moc, a takze i najmniejsze napiecie. Po to, aby uzwoje¬ nie 4 podlaczyc do preta 'krzemowego 1, musi przewidziec jedynie przelacznik 17, podczas gdy pozostale przelaczniki od 11 do 16 i od 18 do 20 60 musza sie znajidbwac w stanie odcietym. Jesli do preta 1 powinno byc pojedynczo dolaczone jedno z pozostalych uzwojen 5 albo 6 albo 7, wówczas wszystkie przelaczniki od 11 do 20 — za wyjatkiem dwóch sasiadujacych ze sótoa zalaczonych w ob- aj 8 wodzie tego uzwojenia przelaczników — powinny sie znajdowac w stanie odcietym. Ten stan robo¬ czy, przy. którym do preta krzemowego 1 dolacza¬ ne jest kazdorazowo jedno tylko uzwojenie, wyko¬ rzystywany Jest rzadko — w przypadku stosowania krótkich nosników pretowych.'Przelacznik 10 nie ima zadnego wplywu ma-wy¬ bór zespolu (grupy) uzwojen wtórnych dolaczanego za kazdym razem do preta krzemowego 1. Ten przelacznik sluzy me do ustalania amplitudy pradu grzejnego, lecz do ustalania liczby drgan napiecia na sekunde przykladanego do preta krzemowego, a wiec, mówiac inaczej, sluzy ten przelacznik 10 do sterowania napieciem zerowym z wykorzysta¬ niem okreslonej liczby okresów drgan napiecia.Odpowiada to temu, ze w urzadzeniu przedstawio¬ nym na fiig. 1 w procesie wytracania przelacznik 10 musi byc przelaczany nieporównanie czesciej, niz przelaczniki od 11 do 20.Nalezy zwrócic uwage na to, ze przelacznik 10 jest zbedny wówczas, gdy jego funkcje zostana przeniesione na przelacznik od 11 do 20. Mozli¬ wosc ta jest blizej wyjasniona w powiazaniu z fig. 4 i fiig. 5. Oznacza, to/ ze uklad sterowania napieciem zerowym z wykorzystaniem okreslonej liczby okresów drgan napiecia musi byc na prze¬ mian podlaczany do jednego z przewodzacych prad przelaczników od 11 do 20, znajdujacych sie w poszczególnych pozycjach przelaczeniowych, zgod¬ nie ze stanami roboczymi oznaczanymi cyframi rzymskimi od I do IV. W przeciwnym przypadku dla kazdego przelacznika powinien byc przewidzia¬ ny taki uklad sterowania. Poza tym tyrystor .10, który w stanie roboczym IV, a czasem i w stanie roboczym III, przewodzi calkowity prad grzejny, nie jest tanim przyrzadem.Ponadto mozna równiez zaprojektowac, aby uklad sterowania napieciem zerowym z wykorzy¬ staniem okreslonej liczby okresów drgan napiecia, w stanach roboczych, w których do preta krzemo¬ wego 1 podlaczane sa co najmniej dwa równo¬ legle ze soba polaczone uzwojenia Wtórne, stoso¬ wac jedynie w odniesieniu do czesci podlaczonych do nosnika pretowego 1 uzwojen wtórnych 4, 5, 6, 7. Byloby to mozliwe do zrealizowania, na przy¬ klad, w stanie roboczym IV poprzez odpowiednie sterowanie jednym lub dwoma przelacznikami wybranymi sposród przelaczników 17, 18 i 19.Wówczas uzyskuje sie warunki pracy, w których napiecie dostarczane przez jedno lub dwa uzwoje¬ nia z liczby uzwojen 4, 5, 6 i 7 ciagle podlaczone jest do nosnika pretowego 1, podczas gdy napiecie dostarczane przez pozostale uzwojenia podlega ste¬ rowaniu.Przy dalszym omówieniu przykladu realizacji wynalazku poczatkowo sie zaklada, ze przelacznik 10 jest zalaczony w ukladzie i ze jest on przewi¬ dziany wylacznie w ukladzie sterowania napieciem zerowym z wykorzystaniem okreslonej liczby okresów drgan napiecia. Temu zalozeniu odpo¬ wiada równiez fakt, ze przelacznik 10 zawsze wy¬ stepuje w urzadzeniach przedstawionych na fig. 2, 3, 4, 5. W przypadku rezygnacji z przelacznika elektronicznego 10 w urzadzeniach przedstawio¬ nych na fig, 2, 3, 4, 5, jego funkcje mu©i przejac <120 OM co najmniej jeden z przelaczników, ad 17 do 20.I wreszcie mozna zaprojektowac, aby uklad stero¬ wania napieciem zerowym z wykorzystaniem okreslonej liczby okresów drgan napiecia przewi¬ dziec równiez i w obwodzie uzwojenia pierwotnego transformatora mocy 2.Jako przelaczniki oznaczone symbolami od 10 do 20 moga wchodzic w gre zewnetrznie sterowane, a wiec co najmniej ¦" trójbieguriowe, przelaczniki pólprzewodnikowe, przy czym takie, które poprzez doprowadzenie do nich odpowiedniego napiecia pomocniczego sa, pod wzgledem doprowadzanego do nich napiecia grzejnego, podlegajacego stero¬ waniu, zaprojektowane w taki sposób, ze jedynie poprzez przylozenie do nich odpowiedniego napie¬ cia ;sterujacego moga cne zostac przelac¦jieiie \.lz stanu odciecia, ' w którym nie przewodza pradu eilektrycizinego,w. stan przewodzenia.W przeciwnym przypadku, ze wzgledu .na s-truik-, ture pnpn tych przelaczników, nastepuje przy kaz¬ dym kolejnym przejsciu napiecia przez wartosc zerowa, samoczynne przelaczenie zwrotna tych przelaczników w stan,nieprzawodzenia przy braku napiecia sterujacego. W szczególnosci do tego celu nadaja sie trój- lub czteroelektrodowe tyrystory, pólprzewodnikowe, szczególnie tyrystory o iden¬ tycznych parametrach zalaczone wzajemnie prze- ciwrównolegle, zrealizowane korzystnie jako ukla¬ dy monolityczne — tak zwane triaki. Przelacznik 10, poprzez odiDowiednie doprowadzenie do niego impulsów sterujacych w momentach czasu odpo¬ wiadajacym' przejsciem napiecia grzejnego przylo¬ zonego do preta krzemowego 1 przez wartosci zerowe, niusi byc,; wówczas przelaczany w stan przewodzenia i to" w taki sposób, aby byly prze¬ puszczane 1 doprowadzane do preta krzemowego 1 jedynie .calkowite okresy drgan pradu, przemien¬ nego.Uklad sterowania napieciem zerowym z , wyko¬ rzystywaniem okreslonej liczby okresów,.drgan na¬ piecia, *który - moze byc nazwany równiez, ukladem sterowania^ oscylacyjnego, -moze . byc zrealizowany w rozmaitej postaci. Zawsze jest jednak istotne, to, afoy z pradu grzejnego wyprowadzane byly takie impulsy'elektryczne, które pojawiaja sie synchro¬ nicznie w momentach przejsc pradu grzejnego, plynacego przez nosnik pretowy 1, przez wartosci zerowe i 'które iwyztwalaja przelacznik elektro¬ niczny 10.Korzystna mozliwosc realizacji tego zadania przedstawiona jest na fig. 2, a inna mozliwosc realizacji zadania tego rodzaju jest przedstawiona na fig;. 3. Oba zaznaczone przyklady realizacji wy¬ zej postawionego zadania beda w dalszym ciaga niniejszego tekstu pokrótce opisane. Najpierw opi¬ sane zostanie rozwiazanie wedlug schematu przed¬ stawionego na fig. 2.Wazna czescia skladowa 'tego rozwiazania jest uklad wykonany z czterech jednakowych diod pól¬ przewodnikowych 23-i bedacy dwupolówkoiwym pro¬ stownikiem pracujacym w' ukladzie. . mostkowym, w jednej z przekatnych, którego zalaczone jest zlacze eanlter-baza tranzystora 25, na przyklad tranzystora pnp, zabocznikowane rezystorem 24 o stalej Rezystancji, podczas gdy do drugiej pr§er ia; 10 15- 20 35 45 50 60 65 katnej mostka zalaczone jest. zjródlo napiecia $, do którego- zalaczane jert uzwojenie pierwotne transformatora mocy 2, jak to jest pokazane,-na fig. 1„ albo inne zródlo napiecia wyprowadzonego z - pradu grzejnego za posrednictwem transforma¬ tora, które w tym przypadku jest napieciem po- : mocniczym. Przy tym to naciecie pomocnicze do-- prowadzone jest, w szczególnosci, poprzez rezystor - ograniczajacy 23a. Do diod 23 prostownika pracu¬ jacego w ukladzie mostkowym napiecia jest dopro¬ wadzane, a rezystor bocznikujacy L 24 dobrany w takii sposób, ze w ohwiodlzie kolektora 'tranzystora 25 prad nie plynie jtyliko wówczas, _gdy jedna z czterech diod 23 nie przewodzi pradu elektrycz¬ nego, a wiec podczas przejac napiecia .zasilajacego zredla 9 przez wartosci zerowe.Szeregowo,z .lcolektcxera. tranzystora.. .25,. poprzez , rezystor 2&) zalaczana .Jest .baza, .tranzystora 26, bedacego - tranzystorem. komplementarnym, w .sto-. siuruku do tranzystora 25. Zlacze. emiter.-Jaaza. tran- zystora 26 jest. zaboeznikowane ^rezystorem £5l.Rezystory -Zfa3 25b twprza dzielnik napiecia. Ten dzielnik ^na^iecia^25a, 25b tak samo jak i emiter tranzystora 3$ — w danym przykladzie wykonania ; trainzystpira jtypu njpn — jest zasilany ze zródla napiecia zasilajacego prostownik pracujacy w ukla¬ dzie mostkowym, skladajacy sie z diod 23, przy czym to zasilanie dzielnika odbywa sie za posred¬ nictwem ukladu, ogranicznika napiecia utworzo¬ nego z , rezystora ,25, dipdy. prostowniczej 254 i diody .Zenera 25a. ../. : . ¦" Podporzadkowanie .ukladowe poszczególnych ele¬ mentów, jak. równiez .pbUczainie _. wartosci ich re¬ zystancji, dokonane jest w Jfafei spospb, ze przez tranzystor 26 prad plynie tylko . wówczas, gdy w obwodzie kiolcktcra tranzystora 25 sterujacego potencjalem bazy tranzystora Z6, prad" nie plynie.Na kolektorze tranzystora komplementarnego 26,; podczas kazdego przejscia^nadecia zródla znillaja-" cego 9 przez wartosci zerowe, oraz syncrn*onlcz!iTegó z tym i napieciem napiecia grzejnego, " zasilajacegó, poprzez punkt; A, pret krzemowy' 1, pojawiaja sie impulsy, które za posrednictwem stopnia"wzmac-' niacza zbudowanego na tranzystorze 27 i 23 "sa doprowadzane do obwodu uzwojenia pierwotnego transformatora 29. Uzwojenie wtórne transforma¬ tora 29 jest dolaczone do elektrody sterujacej triaka 10 i/lub do co najmnjej jednego z przela.cz'- ników od-11 do ,20.. ; ;.Przedstawione na fig. 2, a dotychczas nie" wy¬ mienione elementy, a joianojwicie rezystory 2«a, 26b, tworzace dzielnik najjiiecia Oraz' rezystory 2Sa, 27b sluza do doprowadzenia fiapiecia" zasilajacego do tranzystorów 27, 28. Ponadto rezystor 2€li bier¬ nika napiecia 26a, 26b ma za zadanie fcapeWnic polaczenie ukladu z regulatorem 30, który z?e swej - strony, obciazony jestt czujnikiem 21 reagujacym na prad grzejny oraz zadajnikiem'wartosci zada¬ nej rr strzalka S. .Inny przelacznik napiecia zerowego przedstawio¬ ny jest na fig. 3. Zródlo napiecia sieciowego 9 pod¬ laczone, jest do obwodu szeregowego skladajacego sie z diody Zemera 31 i rezystora 31a, któfy to obwód szeregowy zabocznikowahy jest kondensa¬ torem 33a. Obwó 11 12 dy Zenera 31 i rezystora 31a jest obliczany w taki sposób, ze podczas- kazdego pólokresu napiecia przemiennego dostarczanego przez zródlo 9 docho¬ dzi do przetbictia diody Zenera 31. W obwodzie skla- dadacyiffi.sie z diody prostowniczej 32 i kondensa- 5 tora 33 bocznikujacego szeregowo zalaczone diode Zenera 31 d diode prostownicza 33* uzyskuje sie napiecie stalopradowe.Impulsy .pojawiajace sie na diodzie 31 sa impul¬ sami prostokatnymi, których zibocza sa zsynehroni- a0 zowanez przejsciami napiecia grzejnego przylo¬ zonego do preta krzemowego 1 przec wartosci ze¬ rowe. Za posrednictwem czlonków rózniczkujacych skladajacych sie z rezystorów 35, 35a oraz kon¬ densatorów5 36a, 37a doprowadzane sa do baz 13 i emiterów komplementarnych w stoisuniku do sie¬ bie tranzystorów 36, 37 krótkie impulsy sterujace.Tranzystory 36, 37 wzmacniaja te impulsy i dopro¬ wadzaja je-do uzwofjemia pierwotnego transforma¬ tora 29, którego uzwojenie wtórne polaczone jest 20 z 'elektroda sterujaca przelacznika 10.Kondensator 36a i zlacze baza-kolektor tranzys¬ tora 36' i rezystor 35a sa zaibocznikowane przez zlacze emiter-kolektor 34 tranzystora 34, który jest tranzystorem takiego samego typu, jak tranzy- 25 stor 36, a wiec tranzystorem komplementarnymi w stosunku do tranzystora 37. Do bazy tego tran¬ zystora 34- doprowadzane jest napiecie sterujace z regulatora 30 sterowanego, z kolei, przez czuj¬ nik 12, przez który przeplywa taki sam prad grzej- 30 ny, jaki przeplywa przez nosnik (pretowy 1, oraz przez zadajhik wartosci zadanej (strzalka S).W dalszym ciagu niniejszego teksitu regulator 30 zostaje opisany dokladniej.Nalezy zwrócic uwage na fakt, iz pomimo moz¬ liwosci realizacyjnej przedstawionej w oparciu o schematy uiklaidów podanych na fig. 4 i fig. 5, istnieje jeszcze caly szereg innych mozliwosci rea¬ lizacyjnych nadajacych isie do wykorzystania.Jedna z takich mozliwosci realizacyjnych zapew¬ nia, na przyklad, sterowanie za pomoca urzadzenia skladajacego sie z dwóch jednakowych zalaczonych p-rzeciwrówinolegle polaczonych diod lumaneiscen- cyjnyoh, które ze 'swej strony, pracuja na jeden wspólny fototranzystor, wytwarzajacy wówczas 45 napieciowy sygnal stalopiradowy, którego poziom jest proporcjonalny do wartosci skutecznej nateze¬ nia pradii grzejnego przeplywajacego przez czuj¬ nik 21. Napiecie wyjsciowe fototranzystora jest wykorzystywane nastepnie jako wartosc biezaca 50 w x procesie regulacja, istnieje równiez jaszcze inna mozliwosc realizacji procesu sterowania, mianowi¬ cie oparta na wykorzystywaniu watcmikirzy, któ¬ rych zasada dzialania oparta jest na zjawisku HalTa. 55 l^ytwairzane ,przez takiie urzadzenie napiecia, proporcjonalne do kwadratu wartosci skutecznej natezenia pradu, wykorzystywane jest nastepnie jako wielkosc biezaca do regulacji samoczynnej.Jednakze zaproponowanie szczególnie korzystnego 60 rozwiazania tego zagadnienia jest celem kolejnego wynalazku, opartego na calkiem innej zasadzie fi¬ zycznej. W celu lepszego zrozumienia przedmiotu rozwazan, celowym wydaje sie przedstawienie po¬ nizszych krótkich spostrzezen analitycznych. 0 35 49 Jak wiadomo, wartosc skuteczna pradu grzejne¬ go zwiazana jest z wartoscia biezaca tego pra¬ du I(t) nastepujaca zaleznoscia: skut T Jo (t), dt (1) gdzie, w odniesieniu do poprzednich przypadków, uzasadnionym jest przyjac dla I(t): I(t) = IQ min (2rth •t), (2) przy czym IQ jest amplituda, a n - czestotliwoscia drgan napiecia dostarczanego przez zródla 9 na¬ piecia przemiennego, lub pradu grzejnego I okres czasu T przyjeta jest 1 sekunda.Przelaczniki napiecia zerowego, zgodnie z fig. 1 i fig. 3, powoduja jednakze to, ze z calkowitej licz¬ by drgan n (równej na przyklad 50) napiecia do¬ starczanego przez zródla napiecia grzejnego, tylko m (m < n) drgan napiecia wywoluje przeplyw pra¬ du grzejnego przez pret krzemowy, mówiac inaczej oznacza ta, ze w czasie trwania (n — m) drgan na¬ piecia w ciagu jednej sekundy prad grzejny nie plynie. Tak wiec dla tego okresu za wartosc I(t) nalezy przyjmowac nie wartosc okreslona wzorem I(t) = IQ sin 2jtn • t, lecz I(t) = 0. Wartosc calki nie¬ oznaczonej wynosi: / sin2 • 2« n • t • dt = 1 [2tc n • t - cos 2 • 2t: n • t (2ti nt) • sin (2* nt)] Z tego faktu wynika, ze calke nalezy obliczac w przedziale od t = 0 do t — • Otrzymujemy stad: Iskut ¥ 2-n Przy wyprowadzaniu równania amplituda IQ byla przyjmowana za wartosc niezmienna w czasie, cho¬ ciaz z pewnoscia jest ona zalezna w duzym stop¬ niu od czaisu t. Jednakze ta zalleznosc nie jest tak duza, aby mozna bylo ja zauwazyc podczas czaisu trwania jednego drgania napiecia tak, iz- przy okreslaniu wartosci skutecznej IgJnit amplituda IQ moze byc rozpatrywana jako wielkosc niezalezna od czasu.Poniewaz czestotliwosc n jest wielkoscia uprzed¬ nio zadana, do celów regulacji zachodzi potrzeba, po pierwsze, dozoru (sledzenia) amplitudy IQ i, po drugie dozoru i kontroli liczby m przepuszczonych drgan napiecia na sekunde. Za pomoca tych wiel¬ kosci zostanie wyprowadzone napiecie stale V wy¬ kazujace wlasnosci analogowe w stosunku do war¬ tosci skutecznej Iskut pradu grzejnego I(t), przy czym te wlasnosci analogowe w szczególnosci prze¬ jawiaja sie w proporcjonalnosci. To napiecie sta¬ le V zostaje nastepnie porównane w urzadzeniu regulacji z napieciem stalym VQ wytwarzanym przez zadajmik wartosci zadanej, a uzyskane na¬ piecie róznicowe uzyte jest do sterowania zastoso¬ wanego przelacznika napiecia zerowego, w szcze¬ gólnosci przelacznika napiecia zerowego, wykona¬ nego wedlug fig. 2 lub fig. 3.Tego rodzaju urzadzenie jest korzystnie skon¬ struowane wedlug ukladu przedstawionego na fig. 4. Czujnik 21 przedstawiony na fig. 1, fig. 2 i fig. 3, przeznaczony do próbkowania pradu grzej-ir nego przeplywajacego przez pret krzemowy 1, pra¬ cuje na potrzeby urzadzenia odpowiedniego - dla - wyprowadzenia wielkosci proporcjonalnej do amplitudy IQ, takze przydatnego do wyznaczania m i n. Za pomoca tego urzadzenia okresla sie na- 5 stepnie, zgodnie ze wzorem (3), stale napiecie elefc- tryczne proporcjonalne do Iskut. Napiecie--to jest zatem wyzej wspomnianym napieciem V, które, jesli rzecz rozpatrywac dokladnie, jest wielkoscia zmienna wczasie. 10 Czujnik 21 celowym jest realizowac w postaci transformatora elektrycznego o malych stratach.Do uzwojenia pierwotnego tego transformatora doprowadzone sa prady I(t) plynace przez pret krzemowy 1. Jego uzwojenie wtórne 21a zalaczane 15 jest do dwupolówkowego ukladu prostowniczego, w szczególnosci do prostownika pracujacego w ukladzie mostkowym 38. Ten prostownik 38 w po¬ laczeniu z prostownikiem 39 korzystnie dioda pro¬ stownicza, kondensatorom 40 i rezystorem stalym 20 41 dolaczonym równolegle do kondensatora 40, tworza detektor wartosci szczytowej* Odbywa sie to w tak;i sposób, ze na rezystorze wyjsciowym 41 pojawia sie napiecie u ~ IQ proporcjonalne do amplitudy pradu grzejnego I(t), plynacego w uzwo- « jeniu pierwotnym czujnika 21. Napiecie to dopro¬ wadzane jest do wejscia ukladu mnozacego 42, w szczególnosci do hybrydowego ukladu mnoza¬ cego.Wyprostowane napiecie pojawiajace sie na wyjs- 30 ciu prostownika 38 jest jednak miara nie tylko IQ lecz równiez i liczby m drgan napiecia przepusz¬ czonych przez przelacznik napiecia zerowego wy¬ konany zgodnie z fig. 2 lub fig. 3. Z tej przyczyny liczby impulsów napieciowych na sekunde, wytwo- w rzone przez prostownik pracujacy w ukladzie mostkowym 38 sa poza tym zliczane. Do tego celu sluzy licznik impulsów 43, który uizyskana w ten sposób informacje o licitese m doprowadza, w po¬ staci cyfrowej, do miniaturowego urzadzenia kom- 40 puterowego 44.-\ Drugi czujnik 45 zrealizowany równiez w posta¬ ci transformatora, jest przeznaczony do regulacji czestotliwosci n drgan napiecia, przeznaczonego do zapewnienia procesu sterowania z wykorzystaniem 45 okreslonej liczby okresów drgan napiecia, jak i pradu grzejnego I, przy czym napiecie to jest dostarczane, na przyklad, ze zródla napiecia 9.W tym celu ten czujnik 45 podlaczony jest do zród¬ la napiecia 9 zasilajacego transformator mocy 2 50 lub do zródla napiecia synchronicznego z napie¬ ciem zródlem napiecia 9, Oddzialywuje on podczas procesu wytracania, za posrednictwem prostowni¬ ka mostkowego 45 na drugi licznik impulsów 48, który czestotliwosc n drgan napiecia nieizjbedna do 55 uzyskania Iskut zgodnie ze wzorem (2), doprowa¬ dza, w postaci cyfrowej, do drugiego wejscia juz wspomnianej maszyny cyfrowej 44. Maszyna cyf¬ rowa 44 powinna byc tak zaprojektowana i zapro¬ gramowana,; aby z liczb m i n przekazywanych 6tt przez liczniki impulsów 43 i 46 dostarczala, w po¬ staci napiecia elektrycznego, informacje o liczbie proporcjonalnej do wielkosci (m/2n)i/z.Napiecie to doprowadzane jest do drugiego wejs¬ cia ukladu mnozacego 42, na wyjsciu którego po- M lt jawia sie napiecie stale V proporcjonalne do war- tosci skutecznej pradu grzejnego I(t). To napiecteV~ doprowadzane, jest za posrednictwem reizysfora stalego 47 do wejsciauwzmaeniaciza regulacyjnego 30, poniewaz jest on w taki sam sposefo jak ele¬ ment 30 przedstawiony na fig. 2 i fig. 3, podlaczo- ny bezposrednio do rezystora. 26a,-wzglednie tran¬ zystora 34 i w ten sposób steruje ukladem przed- . stawionym na fig. 2 wzglednie na fig. 3. Rezystor 47 sluzy równoczesnie jako. czlon su¬ mujacy dla odniesienia naipiecia- stalego V do war-. tosci zadanej Vó, w sensie tworzenia róznicy, i to w taki sposób, ze napiecie* stereujace* pojawiajace sie na wyjsciu wzmacniacza regulacyjnego - 30 - i przeznaczone dla przelacznika napiecia zero-.. wego, tak dlugo nie zmienia-stanu- roboczego tego przelacznika, a wiec i liczby m, jak dlugo spelr. nione jest równanie V=VQ. .Jako zadajnik wartosci zadanej sluzy zródlo na¬ piecia stalego 48a, podlaczone do potencjometru.48,- którego slizgacz poprzez rezystor 49 podlaczony. jest do czlonu sumujacego 47 ukladu regulacyjne¬ go, w sensie tworzenia róznicy pomiedzy napieciem. stalym doprowadzonym ze zródla 48a i napieciem stalym pojawiajacym sie'na wyjsciu ukladu mno¬ zacego42. Zadajnik wartosci zadanej 48 sklada sie ze. zród-., la napiecia stalego 48a oraz z.-patencjoaie!tr!U~4S,~ którego suwak podlaczony jest poprzez rezystor.43...Napiecie V^ dostarczane przez zadajnik wartosci. zadanej jest transformowane, w-sensie tworzenia, róznicy, przy wykorzystaniu napiecia. V, wytwo-.. rzonego przez uklad mnozacy 42.Zadajnik wartosci zadanej 48 celowym jest po-, nadto uzaleznic od takiego parametru roboczego preta krzemowego 1, który jest podtrzymywany. niezmiennym podczas procesu .wytracania. W cha-. rakterze takiego parametru moze byc .wykorzysta¬ na temperatura powierzchn-L preta krzemowego 1,^ która korctroluje- sie za pomoca nie pirzedstaiwio- , nego: na rysunku pirometru -optoelekrotnicznego (optoelektronicznego termoirrteitru do pomiaru wy¬ sokich temperatur), na przyklad, za pomoca foto¬ diody pracujacej wzakresie promieniowania pod¬ czerwonego. Ten optoelektroniczny pircmeitr ste¬ ruje polozeniem suwaka potencjometru, znajduja¬ cego sie w zadajniku wartosci zadanej 43, w zalez¬ nosci od danych, dostarczanych przez pirometr, przy czym w taki sposób, ze przy obnizeniu isie" temperatury powierzchni — temperatury warstwy zewnetrznej — preta krzemowego 1, napiecie od¬ niesienia VQ zwieksza sie, zas przy wproscie tej temperatury napiecie odniesienia VQ zmniejsza sie.Daje sie to uzyskac, na przeklad, wówcaas, . gdy wytwarzany przez pirometr prad elektryczny wy¬ korzystany zostaje do wysterowania silnia po¬ mocniczego — serwomotoru — w szczególnosci sil¬ nika krokowego, przy czym w taki* sposób, azeby silnik dokonywal kolejnego nastepnego kroku jedy¬ nie - przy zmianie wartosci pradu pirometru, a oprócz tego, aby kierunek obrotu wirnika zmie¬ nial sie kazdorazowo jednoznacznie i zgodnie ze znakiem zmiany wartosci pradu.Mikromaszyna cyfrowa 44, wzglednie licznik im¬ pulsów 43 zliczaja liczbe m drgan przepuszczanego« pradu. I(t) na aakuinda,:Liczba .m moze praktycznie przybierac kazda-.waktosc tfówna. dowolnej; liczbie ca^owKa} dodatniej^.zawartej miedzy 0 i n, Jesli teraz, dla danej kombinacji - polaczen uzwojen wtórnych fcansformatora mocy 2 podlaczonych- do pratarkrzeimoiwego 1, nie wystarcza juz mozliwosci regulacyjnej. p*adu. grzejnego, okreslanej przez przewoznik naciecia zerowego, a wiec przez zimia- ny wartosci m, dla utczyimania temperatury po¬ wierzeniu < prejta krzemowego 1 na niezmiennym poziomie, wówczas musi zostac wytworzona nowa wartosc amplitudy pradu grzejnego I0. Odbywa sie ,to przczc-utworzenie nowej kombinacji polaczen uzwojen,wtórnych dostarczajacych iprad grzejny tak, aby znowu zaistnial swobodny, nie zajety ofoszar manipulacji w zakresie, regulacji wedlug warto¬ sci :JXL .... ;¦'/ Celowym jest wiec zadac uprzednio zakres war¬ tosci dla m? okreslony dwiema . wartosciami nij i *$a w .Mórym to zakresie m moze sie zmieniac, przy czym zmiany, te nie powinny wymagac zmia¬ ny w zródle dostarczajacym napiecia grzejnego dla pretu krzemowego i winny spelniac zaleznosc: 0 < ml < m < m2 W przypadku, gdy wartosc m przekracza dolna granice mv wówczas poprzez odpowiednie oddzia¬ lywanie na .tyrystory oznaczone liczbami od 11 do 20, do preta krzemowegp 1, dolaczany zostaje taki zespól uzwojen .wtórnych, iz napiecie doprowadzo¬ ne, do preta. obniza sie. Jesli m, przeciwnie, prze¬ kracza górna granice m^, wówczas nalezy sie po¬ starac, w odpowiedni sposób, q zwiekszenie war¬ tosci tego napiecia.W.tym celu mikromaszyna cyfrowa ,44 wyposa¬ zona jest w .takie urzadzenie, które . kontroluje równiez róznice miedzy liczbami min i przy przekroczeffiiu przez m górnej wzglednie dolnej granicy, to jest zadanego przez równanie (3) maksi¬ mum lub minimum,, uruchawa urzadzenie steru¬ jace 50 przeznaczone do odpowiedniego przelacza¬ nia tyrystorów od 11 do ?0. Urzadzenie sterujace 50 przedstawione jest,na fig. 5.*W poipnzednich rozdzialach opisu zostaly zdefi¬ niowane cztery rózne stany robocze od I do IV w! zaleznosci ód'\ stanu: poszczególnych tyrystorów 11 do 20. W sposób bardziej przejrzysty stany te moga byc zilustrowane za pomoca tabeli.Tabela 1 &tan robo¬ czy 1 II III IV Przelacznik 11- 12 X X X X —1 X — — 13 14.*!- — X — — — X 15 16 _J_ — X X — — X 17 — -- —, X 18 — — X X 19 — X — X 20 X — X X Un 4V 3V 2V V Symbol „X" w rubrykach tabeli oznacza, ze od¬ powiedni przelacznik znajduje sie w stanie prze¬ wodzenia.Przejscie od jednego stanu roboczego do drugie¬ go moze odbywac sie w scisle okreslonej kolejno- w w sci. A wiec najpierw urzadzenie powinno byc za¬ laczone tak, aby to zalaczenie odpowiadalo usta¬ wieniu urzadzenia w stan roboczy I. Zgodnie z do¬ swiadczeniem, niezbedna wartosc liczby m zmniej- 5 sza sie wówczas tak, ze przy obnizeniu sie war¬ tosci m ponizej dolnej granicy mr mozna przela¬ czyc sie na zespól (kombinacje) polaczen B, w któ¬ rym to przypadku dochodzi do osiagniecia zalozo¬ nego celu przy m = m2. Ten sam proces powtarza ™ sie az do wykorzystania kolejno wszystkich sianów roboczych od I do IV.^ W ostatniej kolumnie tablicy podane jest napie¬ cie grzejne Un odpowiadajace ustawieniu przelacz¬ ników elektronicznych 11 do 20 w pozycjach za- 15 znaczonych symbolem „X" celem uzyskania usta¬ lonego stanu pracy. To napiecie jest doprowadzone do nosnika pretowego 1, przy czym symbolem U oznaczone jest napiecie dostarczane przez jedmo z uzwojen wtórnych 4 — 7.Przy uwzglednieniu zaleznosci (3) widac ponadto, ze napiecie wytwarzane przez mikromaszyne cyf¬ rowa 44 w kazdym z tych stanów pracy przelacz¬ ników 11 do 20 powoduje przejscie takiej samej maksymalnej wartosci liczby drgan napiecia (m2/2n)% i takiei samej minimalnej wartosci licz¬ by drgan napiecia (m1/zn)1/2. Wystapienie^ tej war¬ tosci ekstremalnej napiecia doprowadzonego do ukladu mnozacego 42 maszyny cyfrowej 44 zwia¬ zane jest z wlaczeniem sygnalu sterujacego prze¬ lacznikiem progowym 50, a takze zwiazane z obec¬ noscia urzadzenia sprzezonego z maszyna cyfro¬ wa 44.Poniewaz przy zmianie stanów pracy uwidocz¬ nionych w tablicy stanami roboczymi I—IV, w ko¬ lejnosci przedstawionej w tablicy, od I w kierun¬ ku do IV lub odwrotnie, potrzebna jest wlasciwie za kazdym razem przejscia tylko o jeden skok, wystaircza wiec, jesli pojawiaja sie tylko dwa ro¬ dzaje sygnalów, które jednoznacznie okreslaja kie- 1 runek zadanego przejscia, a zatem sygnal ruchu do przodu i sygnal ruchu do tylu. Jesli na przy¬ klad, przelaczniki 11 do 20 znajduja sie w stanie okreslajacym stan roboczy II, wówczas przy zaistnieniu zmniejszania sie wartosci grankz- 1 nej mv wytworzy sie sygnal ruchu do przodu, którego zadaniem jest doprowadzenie do tego, aby wylacznik progowy 50 realizowal stan roboczy III, w którym do nosnika pretowego doprowadza sie napiecie, wskazane w kolejnej nizszej pozycji ostat¬ niej kolumny tabeli. Jesli natomiast wartosc m wzrasta powyzej wartosci granicznej m2, wówczas niezbedny jest sygnal ruchu do tylu, po to, aby zrealizowac stan pracy I charakteryzujacy sie kolejnym wyzszym napieciem przylozonym do nos¬ nika pretowego, w wyniku czego zachodzi potrze¬ ba odpowiedniego ustawienia przelaczników elek¬ tronicznych 11 do 20.Przedstawiony na fig. 5 wylacznik progowy 50 stanowi inny przyklad realizacji wylaczników tego rodzaju, który jest znacznie prostszy od wielu wspólczesnych typów przelaczników. W szczegól¬ nosci jest prostszy od rozwiazania wylacznika pro¬ gowego wykonanego z zastosowaniem scalonych ukladów, logicznych. W praktyce tego rodzaju Wlspólozeisine rozwiazania konstrukcyjne wylacznika17 liftWl- 18 progowego* w oparciu o uklady scalone bylyby chyba preferowane w zastosowaniu, na przyklad, do budowy rejestrów przekuwajacych.Elektrody sterujace tyrystorów 11 do 20, przed¬ stawionych na fig. 1, oznaczone sa na fig. 5 sym¬ bolami Zn - do Zon., Za posrednictwem oscbnych polaczen elektrycznych kazda z tych elektrod jest polaczona indywidualnie z przyporzadkowanym tej elektrodzie, sterujacej elementem stykowym Kn, K12, K13 ..,. K20. Te elementy stykowe sa . roz- mieiszczone na scisle okreslonym elemencie geome¬ trycznym, korzystnie na wykonanej z materialu izolacyjnego listwie stykowej 51, która, na przy¬ klad, jest zamocowana na stale.Na nosniku izolacyjnym, przemieszczajacym sie wzgledem' elementów stykowych Kn do K20 znaj¬ duja sie zespoly polaczen elektrycznych, które sa niezbedne do zapewnienia mozliwosci realizacji stanów roboczych od I do IV. Te polaczenia elek¬ tryczne sa oznaczone symbolami liczbowymi: 52, 53, 54, 55, przy czym zespól 52 sluzy do zapewnie¬ nia stanu roboczego I, zespól 53 — stanu Robocze¬ go II, zespól 54 — stanu roboczego III, a zespól 55 — stanu roboczego IV.Kazdy z tych zespolów 52 do 55 sklada sie ze sciezki przewodzacej S, od której odchodza odga¬ lezienia do elementów stykowych su do s20, które, w zaleznosci od tego, jaki stan pracy nalezy za¬ pewnic, sa laczone z odpowiednimi elementami stykowymi Ku do K20, tworzac zlacze przewo¬ dzace.Za pomoca zespolu laczeniowego 52 realizowany jest stan roboczy I, przy czym w tym stanie ro¬ boczym element stykowy sn laczy sie z elementem stykowym Ku, elementem s12 — z elementem K12, element s. 13 z elementem K13, a element s, *20 z elementem K2Q. W analogiczny sposób realizo¬ wany jest stan roboczy II, gdy zespól laczeniowy 53 zapewnia odpowiednie polaczenia elementów stykowych sn, s12 i s19 z elementami stykowymi 40 Kv K12 i K19 na listwie 51. Stan roboczy realizo¬ wany jest tak samo, to znaczy poprzez zapewnienie polaczenia elementów stykowych au, a13, a15, alg i a2Q zespolu 54 z odpowiednikami przyporzadko¬ wanymi elementami .stykawyiTii Kn, K13, K15, K18 i K^ zespolu 5.1. Stan roboczy IV realizowany, jest poprzez zapewnienie polaczenia miedzy elementa¬ mi stykowymi a14, a15, a16, a17, a1B, a19, a20 zespo¬ lu 55 z przyporzadkowanymi elementami stykowy¬ mi K14 — K20 zespolu 51.Odstepy i wzajemne rozmieszczenie elementów stykowych Kn — K20 na listwie 51 odpowiadaja odstepom i rozmieszczeniu elementów stykowych ^l"8^ lzeiSiP°iów 52 — 55, a geometria i ksztalty tych elementów zapewniaja pewny i niezawodny styk miedzy elementami zespolu 53 i odpowiednimi laczonymi elementami zespolów 53 i odpowiedni¬ mi laczonymi elementami zespolów 52 — 55. Tak wiec poprzez proste przamieiszczenie skokowe zeis- polów stykowych 52 — 55 zapewnia sie doprowa¬ dzenie sygnalów sterujacych G do odpowiednich elektrod sterujacych Zn — Z20, odpowiednich tyry¬ storów przelaczajacych 11 — 20.Zespoly , laczeniowe 52 — 55 moga byc zrealizo pozycji w druga silnikiem krokowym 56 sterowa¬ nym* maszyna- cyfrowa 44. Przy tym w pozycji I silnika 56 do elektrod sterujacych przelaczników elektronicznych 11 — 20 dolaczony jest. zespól la- 5 czeniowy 52 i zgodnie z tym do elektrod steruja¬ cych Zn, Z12, Z13 i Z2a dopirowadizane sa; impulsy sterujace ze zródla G. W nastepnej II pozycji sil¬ nika krokowego 56 do elektrod sterujacych prze¬ laczników elektronicznych 11 — 20 dolaczony jest io zespól laczeniowy 53 i zgodnie z tym- do eleiktrod sterujacych Zn, Z12 i Z19 sa doprowadzane impul¬ sy sterujace. W kolejnej pozycji IH do elektrod sterujacych przelaczników-elektronicznych 11—20 dolaczony jest zespól laczeniowy 54 i zgodnie z tym 15 impulsy sterujace ze zródla G. sa doprowadzane do elektrod sterujacych Zn, Zl3, Z15, Z18, Z20.W ostatniej pozycji IV silnika krokowego 56 rea¬ lizowane jest polaczenie elektrod sterujacych prze- 20 laczników - elektronicznych 11 — 20 ze - zródlem .. G impulsów stertujacych realizowane jest. za pomoca zespolu laczeniowego 55, w wyniku czego impulsy . sterujace sa doprowadzane do elektrod sterujacych ZH —z20- Zródlo G napiecia sterujacego korzystnym jest zalaczyc miedzy wspólnym punktem B urzadzenia a punktem H do którego sa laczone sciezka prze¬ wodzace zespolów laczacych 52 — 55. Dzieki temu. zapewnia sie, ze w momencie przylaczania zosipo- lów laczeniowych 52 — 55 zródla G (napiecia steru¬ jacego dolacza sie jednoczesnie do wszystkich za*- . programowanych . elektrod sterujacych przelaczni¬ ków elektronicznych: Tak wiec jezeli silnik krokowy 56 zostanie usta¬ wiony w pozycji I elementy stykowe a^ a12, a13 i a20 zespolu laczacego 52 wejda w .polaczenie, z przyporzadkowanymi elektrodami sterujacymi .Zu, Z12, Z13 i Z2Q. Oznacza to nastawienie urzadze¬ nia na realizacje stanu roboczego I, gdyz wówczas napiecie sterujace zostaje doprowadzone do elek¬ trod sterujacych -tyrystorów'11, 12, 13; i 20, co jest jednoznaczne z dolaczeniem szeregowych wiszy&t-. kich uzwojen wtórnych 4 — 7 do nosnika pretowe¬ go 1. Tak samo sprawa przedstawia 'sie wówczas, gdy przy ustawieniu silnika krokowego w kolej-.. 45 nych pozycjach II, III i IV do zródla G impulsów sterujacych za pomoca zespolów laczacych 53,, 51 i 55 dolacza sie odpowiednio —- w sposób zapro¬ gramowany — elektrody sterujace tyrystorów 11 — 20, zapewniajac realizacje odpowiednich sta- to nów roboczych II, III lub IV; Z powyzszego wynika, ze kolejno moga zostac zrealizowane wszystkie stany robocze od I do IV.Poniewaz przelaczniki elektroniczne, w ez^zdolno¬ sci tyrystory, przy kazdym przejsciu dojpar^^za- 55 nego do niich napiecia przemiennego p-rzjgE wajElpsc zerowa samoczynnie powracaja do stanu ®fcpjrze- wodzenia, dlatego przy kazdym przejsciu przez wartosc zerowa danego napiecia do tych tyrysto¬ rów, które maja byc utrzymywane w stanie prze- eo wodzenia nalezy doprowadzic odpowiednio spolary¬ zowane napiecie sterujace ze zródla G.Zadanie doprowadzenia impulsów sterujacych, do elektrod sterujacych tyrystorów moze zastac ulatwione, jezeli jako miejsca -przylaczenia prze- 25 30 35 wane na jednej listwie przemieszczanej z jednej w lacznika napiecia zerowego wytwarzanego przez10 immi ukiady przedstawione--na lig. 2 lub fig. 3 beda wybrane- nie punkty E- i J1, jak to zostala przed¬ stawione na tych figurach, lecz punkt B, bedacy wspólnym pnmktam - ukladu przedstawionego na fig. 1, i elektrody -sterujace tyrystorów przedsta¬ wionych na fig, 1. Przy tyim napiecie sterujace z .przelaczników przedstawionych na fig. 2 i fig. 3 doprowadzane jest do elektrod sterujacych tyry¬ storów 11 —20 za posrednictwem urzadzenia prze¬ laczajacego przedstawionego na fig. 5< Dzieki temu przy odpowiednim ustawieniu przelacznika przed¬ stawionego Jia fig. .5 impulsy sterujace wytwarzane ukladem przedstawionym na fig. 2 lub fig. 3 beda jednoczesnie doprowadzane do elektrod sterujacych tych tyrystorów z grupy tyrystorów 11 — 20, które sa przeznaczone do realizacji wybranego stanu pracy. Przy takim rozwiazaniu tyrystor 10 jest zbedny.Jako zródlo .napiecia sterujacego moze zostac za¬ stosowane zródlo Cr napiecia stalego o odpowied¬ nim poziomie. Wówczas zródlo G jest zalaczane miedzy .punktem B zgodnie z fig. 1, który jest wspólnym punktem urzadzenia a punktem H zgod¬ nie z fig* 5. Wówczas jednakze celowym jest zala¬ czenie tyrystora 10, tak, jak to zostalo pokazane na fig. 1* fig. 2 i fig. 3. Przy tym prad grzejny przeplywajacy przez nosnik pretowy 1 przeplywa przez ten grzejnik-jedynie przez n pólokresów w ciagu jednej sekundy, a nie przez m okresów cal¬ kowitych.Impulsy sterujace doprowadzane do elektrod sterujacych tyrystorów, za pomoca których reali¬ zowane jest przejscie z jednego stanu roboczego do drugiego moga byc wyitiwarzane na drodze dwu- polówkowego prostowania napiecia otrzymanego ze zródla zasilania 9 i rózniczkofwania tego napiecia za pomoca ukladu skladajacego sie z kondensatora zabooznikowanego dioda Zenera. W wyniku otrzy¬ mywane sa innjpiuflsy (Sterujace w momentach czasu odpowiadajacych przejsciom napiecia zasilajacego przez zero.Sygnaly przelaczajace wytwarzane przez maszy¬ ne cyfrowa 44 stosowane sa do sterowania silnika krokowego 56. Poszczególne sygnaly przelaczajace wytwarzane w warunkach, gdy ¦m = m1 lub m = m2 przez maszyne cyfrowa 44 sa, korzystnie, impul¬ sami prostokatnymi, przy czym sygnaly ruchu do przodu i sygnaly ruchu do tylu róznia sie jedynie znakiem impulsu. Zgodnie z tym silnik 56 w przy¬ padku oddzialywania na niego impulsu ruchu do przodu przemieszcza sie w jednym kierunku, a w przypadku oddzialywania na niego impulsu ruchu do tylu — przemieszcza sie w drugim kie¬ runku. Oznacza to, ze jesli zalozy sie, ze silnik znajduje sie w pozycji I, wówczas przy prierwiszyan kroku do przodu zostanie on ustawiony w pozycji II, przy drugim — w pozycji III, a przy nastep¬ nym — w pozycji TV. Synchronicznie z tym pro¬ cesem sa realizowane przelaczenia stanów pracy od I do IV. Przy wytwarzaniu przez maszyne cyf¬ rowa 44 sygnalów ruchu do tylu kolejnosc prze¬ laczen bedzie odwrotna: od IV do I pozycji.Mozna równiez zapewnic sterowanie z odcieciem fazowym wedlug rozwiazania ujawnionego w opisie patentowym DT-OS 2133SS3, które to sterowanie 20 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 65 w przypadku malych pradów grzejnych I (w przy¬ padku cienkich nosników pretowych) rozwiazanie alternatywne.Zastrzezenia patentowe 1. Urzadzenie do osadzania elementarnego krze¬ mu na powierzchni nosnika pretowego wykonanego z elementarnego krzemu umieszczonego w atmo¬ sferze gazu reakcyjnego, z którego wytracany jest krzem elementarny, nagrzanego do temperaitury osadzania, zawierajace zródlo pradu grzejnego, transformator mocy grzejnej z jednym uzwoje¬ niem pierwotnym i kilkoma uzwojeniami wtórny¬ mi, polaczonymi z obwodem pradowym nosnika pretowego poprzez sterowany zewnetrzne przelacz¬ nik elektroniczny, czujnik pradu grzejnego prze¬ plywajacego przez nosnik pretowy, wytwarzajacy sygnaly bedace odwzorowaniem chwilowych war¬ tosci pradu elektrycznego przeplywajacego przez nosnik pretowy, wlacznik elektroniczny zalaczony w obwodzie pradu grzejnego oraz elektroniczny uklad sterujacy sprzezony z czujnikiem pradu grzejnego, sterowanym zewnetrznie przelaczniikiem elektronicznym oraz wlacznikiem elektronicznym zalaczonym w obwodzie pradu grzejnego, znamien¬ ne tym, ze sterowany zewnetrznie przelacznik elektroniczny (11 — 20) zawiera pierwsze zewnetrz¬ nie sterowane elektroniczne elementy przelaczaja¬ ce (11, 12, 13), z których kazdy jest wlaczony od¬ powiednio miedzy drugim wyprowadzeniem jed¬ nego z uzwojen wtórnych (4, 5, 6) .transformatora (2) mocy grzejnej, a pierwszym wyprowadzeniem nastepnego z uzwojen (5, 6, 7) transformatora (2) mocy grzejnej, drugie zewnetrznie sterowane elek¬ troniczne elementy przelaczajace (14, 15, 16), z któ¬ rych kazdy jest wlaczony odpowiednio miedzy pierwszym wyprowadzeniem kazdego nastepnego uzwojenia wtórnego (5, 6, 7) transformatora (2) mo¬ cy grzejnej a pierwszym wyprowadzeniem pierw¬ szego uzwojenia wtórnego (4) transformatora (2) mocy grzejnej polaczonym z jednym z wyprowa¬ dzen (B) obwodu grzejnego nosnika pretowego (1) oraz trzecie zewnetrznie sterowane elektroniczne elementy przelaczajace (17, 18, 19, 20), z których kazdy jest wlaczony miedzy drugim wyprowadze¬ niem kazdego uzwojenia wtórnego (4, 5, 6, 7) trans¬ formatora (2) mocy grzejnej a drugim wyprowa¬ dzeniem (A) obwodu grzejnego nosnika pretowego (1) przy czym miedzy tym drugim wyprowadze¬ niem (A) obwodu grzejnego, do którego sa dola¬ czone trzecie elementy przelaczajace (17, 18, 19, 20), a drugim wyprowadzeniem nosnika pretowego (1), którego pierwsze wyprowadzenie jest polaczone z czujnikiem (21) wlaczony jest glówny obwód pradowy wlacznika elektronicznego (10), którego obwód sterujacy jest sprzezony z elektronicznym ukladem regulacyjnym, sprzezonym równiez z czuj¬ nikiem (21) pradu grzejnego, dolaczonym do tego samego zródla (9) pradu grzejnego, do którego jest dolaczone uzwojenie pierwotne (3) transformatora (2) mocy grzejnej, którego inne uzwojenia wtórne (8) wlaczone szeregowo z przelacznikiem (22) jest dolaczone równolegle do nosnika pretowego (1). 2. Urzadzenie wedlug zastrz. 1, znamienne tym, ze elektroniczny uklad regulacyjny jest polaczony120 ( 21 z blokiem sterujacym (30), sprzezonym z czujni¬ kiem (21) pradu grzejnego oraz z zadajnikiem uprzednio ustalonei, wartesci pradu grzejnego. 3. Urzadzenie wedlug zastrz. 1 albo 2, znamien¬ ne tym, ze obwody sterujace zewnetrzmie sterowa- 5 nych elektronicznych elementów przelaczajacych (11 — 20) sa sprzezone z . ukladem regulacyjnym sprzezonym z czujnikiem (21) pradu grzejnego oraz z wlacznikiem elektronicznym (10) wlaczanym w obwodzie pradu grzejnego przeplywajacego przez io nosnik pretowy (1). 4. Urzadzenie wedlug zastrz. 3, znamienne tym, ze czujnik (21) pradu grzejnego jest zrealizowany w ukladzie przekladniika pradowego, odznaczaja¬ cego sie malymi stratami, którego uzwojenie picr- 15 wotne jest wlaczone szeregowo w obwodzie pradu grzejnego nosnika pretowego (1), a uzwojenie wtó- ne jest dolaczone do wejscia bloku sterujacego (30) ukladu regulacyjnego. 5. Urzadzenie wedlug zastrz. 4, znamienne tym, 20 ze blok sterujacy (30) zawiera dwie wlaczone na wejsciu dliody lumineiscencyine zalaczone w ukla¬ dzie prostownika dwupo-lówkowego, sprzezone z jednym wspólnym odbiornikiem optoelektrycznym, którego sygnal wyjsciowy jest odwzorowaniem 25 wartosci skutecznej natezenia pradu grzejnego, przeplywajacego przez czujnik (21) pradu grzej¬ nego. 6. Urzadzenie wedlug zastrz. 5, znamienne tym, ze na wyjsciu urzadzenia optoelektrycznego wla- 30 czony jest wzmacniacz, na którego wyjsciu wlaczo¬ ny jest filtr wygladzajacy. 7. Urzadzenie wedlug zustrz. 4, znamienne tym, ze uzwojenie wtórne (21a) czujnika (21) pradu grzejnego, zrealizowanego w ukladzie przekladnika 35 pradowego jest polaczone z prostownikiem mostko¬ wym (38), na którego wyjsciu jest wlaczony detek¬ tor szczytowy (39, 40, 41), na którego wyjsciu uzys¬ kuje sie sygnal proporcjonalny do.wartosci ampli¬ tudy pradu grzejnego, doprowadzany do pierwszej- 40 go wejscia elektrycznego ukladu mnozacego (42), którego drugie wejscie jest sprzezone z obwodem pradowym nosnika pretowego (1) oraz ze zródlem (9) pradu grzejnego, do którego to drugiego wejs¬ cia doprowadizany jest sygnal odwzorowujacy za- 45 leznosc (m/i2n)i/2, gdzie m — liczba drgan na sekun¬ de pradu przeplywajacego przez nosnik pretowy (1), a n — czestotliwosc napiecia sieci zasilajacej, i którego wyjscie, na którym uzyskuje sie sygnal proporcjonalny do iloczynu IQ (m/2n)V2, gdzie 50 IQ — amplituda pradu grzejnego, jest dolaczone do wejscia regulatora (30), polaczonego z blokiem sterujacym (30), wchodzacym w sklad ukladu ste¬ rujacego, którego wyjscie jest sprzezone z obwo¬ dem sterujacym wlacznika elektronicznego (10) za- 55 22 laczonego w obwodzie pradowym nosnika preto¬ wego (1). 8. Urzadzenie wedlug zastrz. 7, znamienne tym, ze miedzy wyjsciem ukladu mnozacego (42) a wej¬ sciem bloku sterujacego (30) zalaczony jest element sumujacy (47). 9. Urzadzenie wedlug zastrz. 7, znamienne tym, ze do prostownika mostkowego (38) dolaczony jest licznik impulsów (43), którego wyjscie jest pola¬ czone z wejsciem mikroprocesora (44), którego drugie wejscie jest polaczone poprzez licznik (46) i prostownik mostkowy (45a) z uzwojeniem wtór¬ nym transformatora (45) dolaczonego do zródla (9) zródla piradu grzejnego. 10. Urzadzenie wedlug zastrz. 7, znamienne tym, wejscie bloku sterujacego (30) jest polaczone z wyjsciem zadajnika uprzednio ustalonej wartosci natezenia pradu grzejnego. 11. Urzadzenie wedlug zastrz. 10, znamienne tym, ze zadajnik uprzednio ustalonej wartosci natezenia pradu grzejnego zawiera zródlo (48a) napiecia sta¬ lego, do którego dolaczony jest potencjometr, przy czym wejscie bloku sterujacego (30) jest polaczone z suwakiem potencjometru (48). 12. Urzadzenie wedlug zastrz. 9, znamienne tym, ze do drugiego wyjscia mikroprocesora (44) dola¬ czone sa obwody sterujace zewnetrznie sterowa¬ nych elektronicznych elementów przelaczajacych (11 — 20) zalaczonych miedzy uzwojeniami wtór¬ nymi (4, 5, 6, 7) transformatora (2) mocy grzejnej a obwodem pradowym (Aft) nosnika pretowego (1). 13. Urzadzenie wedlug zastrz. 12, znamienne tyra, ze miedzy drugim wyjsciem mikroprocesora (14) a obwodami sterujacymi zewnetrznie sterowanych elektronicznych elementów przelaczajacych (11 — 20) zalaczony jest blok (50) wylacznika progowego. 14. Urzadzenie Wedlug zastrz. 12, znamienne tym, ze do drugiego wyjscia mikroprocesora (44) dola¬ czony jest obwód sterujacy silnika krokowego (S6) sprzezonego z zespolami przelaczajacymi (52, 53, 54, 55), których zlacza (an, ..., a20) sa laczone z elektrodami sterujacymi (zn, ... z20) przelaczaja¬ cych elementów elektronicznych (11, ..., 20) w za¬ leznosci od programu sterowania przelacznikami tych elementów (11, ..., 20) ustalonego przez mi¬ kroprocesor (44) na podstawie odebranej i przetwo¬ rzonej informacji, dotyczacej warunków przepro¬ wadzania procesu osadzania krzemu, przy czym zespoly przelaczajace (52, 53, 54, 55) sa polaczone z jednym z biegunów zródla napiecia wyzwalaja¬ cego (G), którego drugi bieeun jest polaczony ze wspólnym punktem (R) obwodu grzejnego. 15. Urzadzenie wedlug zasitrz: H, znamienne tym, ze jako zródlo napiecia wyzwalajacego (G) wyko¬ rzystane jest zródlo napiecia stalego;120 081 Fig.1 w ~ ** D? 9 ,8 ?C \ 1? 15, % % U % 22v ia» CO O- J ^——i — -D c ,^n Fig.3 Fig 4 Rg.2 1C^L 14 J K7q1 26b fr25c (J23ft l-25d ^L^Cl Tf 25# ?23„ «3 -A4 25 *23 2111213 39 -—4i—»¦ 1.2 /U 38 404= D41 -9 m 3« lW 4/ l-f-db 7 30 ••' H-i i IW6a.V'o 48a ti_r— f , 1——11-20 50 Fig.5 h Z12 2-13 Zn Z-15 Zft Zn Z18 Z19 Z2o |C KIT K1PK13' W K#W Xl7*K#Kfl' 16 ? j2afl|a12Ja13j w M 53 fa1lja12 Jai9 .a* (gj % pil 1^13 Ja15 p18 fol) „ffl* g Pa1A^15^16^17]j19)j19feo „IV" W LZGraf. Z-d Nr 2 — 394/83 100+20 egz. A4 Cena 100 zl PL PL PL