PL206356B1 - Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej - Google Patents

Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej

Info

Publication number
PL206356B1
PL206356B1 PL372039A PL37203904A PL206356B1 PL 206356 B1 PL206356 B1 PL 206356B1 PL 372039 A PL372039 A PL 372039A PL 37203904 A PL37203904 A PL 37203904A PL 206356 B1 PL206356 B1 PL 206356B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
microwave
discharge
reactor
plasma
gas
Prior art date
Application number
PL372039A
Other languages
English (en)
Other versions
PL372039A1 (pl
Inventor
Krzysztof Krawczyk
Krzysztof Schmidt-Szałowski
Edward Reszke
Original Assignee
Politechnika WarszawskaPolitechnika Warszawska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika WarszawskaPolitechnika Warszawska filed Critical Politechnika WarszawskaPolitechnika Warszawska
Priority to PL372039A priority Critical patent/PL206356B1/pl
Publication of PL372039A1 publication Critical patent/PL372039A1/pl
Publication of PL206356B1 publication Critical patent/PL206356B1/pl

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest reaktor plazmochemiczny przeznaczony do prowadzenia reakcji chemicznych zwłaszcza pod ciśnieniem atmosferycznym w plazmie wyładowania mikrofalowego oraz sposób prowadzenia procesów w plazmie mikrofalowej.
Plazma nierównowagowa wykorzystywana jest w wielu dziedzinach techniki np. w przemyśle opakowań, w elektronice, w analizie chemicznej, w obróbce powierzchni, w technice oświetleniowej, w procesach odpylania gazów i w procesie uzdatniania wody. Jednym z rodzajów plazmy nierównowagowej jest plazma mikrofalowa, która szczególnie nadaje się do prowadzenia reakcji o wysokich energiach aktywacji np. do rozkładu szczególnie trwałych zanieczyszczeń gazowych oraz do wytwarzania powłok węglowych (o strukturze diamentu) z węglowodorów.
Plazma mikrofalowa cechuje się stosunkową wysoką energią elektronów wynoszącą od 1 do kilkunastu elektronowoltów oraz wysoką temperaturą wynoszącą ok. 4000K. Źródłem energii promieniowania mikrofalowego są magnetrony mikrofalowe. Energia promieniowania mikrofalowego doprowadzana jest do reaktora z magnetronu za pomocą falowodu. Najistotniejsze różnice między plazmą wyładowania mikrofalowego i innymi rodzajami plazmy wyładowań elektrycznych to wysoka koncentracja cząstek aktywnych oraz duża gęstość plazmy przy znacznej energii elektronów.
Znane są obecnie dwa sposoby prowadzenia procesów chemicznych w fazie gazowej w wyładowaniu mikrofalowym. Pierwszy sposób polega na wzbudzeniu bezelektrodowej plazmy wyładowania mikrofalowego w wyniku absorpcji energii mikrofalowej skoncentrowanej w objętości zjonizowanego gazu, zwykle pod zmniejszonym ciśnieniem. Drugi sposób wzbudzania plazmy mikrofalowej polega na wytworzeniu w obszarze reaktora silnego pola elektrycznego za pomocą dodatkowej elektrody (wyładowanie jednoelektrodowe typu torch). Przepuszczany gaz ulega jonizacji, w wyniku czego następuje przebicie elektryczne i uformowanie się wyładowania elektrycznego w formie płomienia plazmowego. Takie rozwiązanie wymaga stosowania odpowiednich zabezpieczeń uniemożliwiających uszkodzenie generatora mikrofal wskutek pojawienia się nadmiernej energii fali odbitej. Wadą metody jest konieczność stosowania jedynie niewielkich przepływów gazu.
Okazało się, że zwiększenie wydajności przemian chemicznych jest możliwe poprzez połączenie działania wyładowania mikrofalowego z wyładowaniem elektrycznym, powodującym wstępną jonizację gazu roboczego. Zastosowanie źródła jonów w przestrzeni, w której tworzy się wyładowanie mikrofalowe ułatwia inicjację plazmy mikrofalowej i pozwala na prowadzenie procesu pod ciśnieniem atmosferycznym lub zbliżonym do atmosferycznego.
W reaktorze wg wynalazku jako dodatkowe ź ródł o jonów umoż liwiają cych inicjację wył adowania mikrofalowego zastosowano wyładowanie ślizgowe. Znany sposób generowania plazmy w wyładowaniu ślizgowym polega na tym, że przez przestrzeń znajdującą się między co najmniej dwoma elektrodami przepuszcza się gaz o odpowiednio dużej szybkości liniowej przepływu. Przepływający gaz powoduje przemieszczanie się powstałej w miejscu, w którym odległość między elektrodami jest najmniejsza, ścieżki wyładowania, i w którym następuje inicjacja wyładowania. W niewielkiej odległości od końców elektrod wyładowanie zanika. W miejscu, w którym odległość między elektrodami jest najmniejsza, pojawia się kolejne wyładowanie.
Istotnym elementem reaktora wg wynalazku jest komora reakcyjna, w której jednocześnie zachodzi wyładowanie ślizgowe i wyładowanie mikrofalowe. W dolnej części reaktora umieszczono dwie elektrody, które generują wyładowanie ślizgowe jonizując gaz przechodzący przez stalową dyszę umieszczoną między elektrodami. W górnej części reaktora, w kierunku przepływu gazu, znajduje się komora, w której występuje silne pole elektryczne wytworzone przez promieniowanie mikrofalowe (częstotliwość 2,45GHz) generowane przez magnetron i doprowadzone przez falowód. Po włączeniu przepływu gazu roboczego i zasilania wyładowania ślizgowego włącza się zasilanie magnetronu generującego promieniowanie mikrofalowe o ustalonej mocy. Dzięki połączeniu obu typów wyładowań nie jest konieczne stosowanie elementów zabezpieczających głowicę magnetronu przed uszkodzeniem przez falę odbitą gdyż jej powstawanie jest ograniczone dzięki absorpcji energii mikrofalowej w plazmie wytwarzanej w wyładowaniu ślizgowym. Jonizacja gazu w wyładowaniu ślizgowym ułatwia też inicjację wyładowania mikrofalowego. Inicjacja plazmy mikrofalowej jest polepszana dzięki zagęszczeniu linii sił pola elektrycznego w wyniku umieszczenia w falowodzie, w osi przepływu gazu, elektrody inicjującej wykonanej z przewodnika umieszczonego w ceramicznej obudowie.
Na rysunku przedstawiono reaktor w ujęciu schematycznym.
PL 206 356 B1
P r z y k ł a d I.
Reaktor według wynalazku posiada komorę reakcyjną 1 o średnicy wewnętrznej 40 mm, w której zachodzi wyładowanie ślizgowe i wyładowanie mikrofalowe. W dolnej części reaktora umieszczono dwie elektrody 2, które generują wyładowanie ślizgowe jonizując gaz przechodzący przez stalową dyszę 3 umieszczoną między elektrodami 2. W górnej części reaktora, w kierunku przepływu gazu, znajduje się komora, w której występuje silne pole elektryczne wytworzone przez promieniowanie mikrofalowe (częstotliwość 2,45 GHz) generowane przez magnetron 4 i doprowadzone przez falowód 5. Po włączeniu przepływu gazu roboczego i zasilania wyładowania ślizgowego włącza się zasilanie magnetronu generującego promieniowanie mikrofalowe o ustalonej mocy. Inicjacja plazmy mikrofalowej następuje w wyniku umieszczenia w falowodzie, w osi przepływu gazu, elektrody inicjującej 6 wykonanej z przewodnika umieszczonego w ceramicznej obudowie 7. Strumień gazowych reagentów doprowadza się do reaktora króćcem 8. Przez reaktor przepuszczano mieszaninę podtlenku azotu w powietrzu przy natężeniu przepływu 0,5 Nm3/h. Po ustaleniu warunków pracy wyładowania ślizgowego będącego źródłem jonów w przestrzeni reakcyjnej następowało włączenie generatora mikrofal i inicjacja plazmy mikrofalowej. Reaktor w części wyładowania ślizgowego zasilany był prądem o częstotliwości 50 Hz ze źródła o mocy 200 W. Część mikrofalowa zasilana była promieniowaniem mikrofalowym o mocy 100W. Stwierdzono, że zastosowana metoda pozwala zwiększyć przemianę podtlenku azotu do NO. Przyrost ten wynosił ok. 50%.
P r z y k ł a d II
Stosowano reaktor jak w przykładzie I do rozkładu tetrachlorometanu z tym, że przez reaktor przepuszczano mieszaninę tetrachlorometanu w powietrzu przy natężeniu przepływu 1 Nm3/h. Reaktor, w części wyładowania ślizgowego zasilany był prądem o częstotliwości 50 Hz ze źródła o mocy 500 W. Część mikrofalowa zasilana była mocą 150 W przy częstotliwości 2,450 GHz. Stwierdzono, że zastosowanie układu według wynalazku pozwala na całkowitą przemianę wprowadzonego tetrachlorometanu.
P r z y k ł a d III.
Stosowano reaktor jak w przykładzie II do rozkładu tetrachlorometanu z tym, że przez reaktor przepuszczano mieszaninę tetrachlorometanu w powietrzu przy natężeniu przepływu 1,5 Nm3/h. Reaktor, w części wyładowania ślizgowego zasilany był prądem o częstotliwości 50 Hz ze źródła o mocy 700 W. Część mikrofalowa zasilana była promieniowaniem mikrofalowym o mocy 150 W. Stwierdzono, że przez zastosowanie układu według wynalazku uzyskano istotny wzrost sprawności przemiany tetrachlorometanu z 65% do 93%.

Claims (2)

1. Reaktor do prowadzenia reakcji chemicznych w plazmie mikrofalowej, składający się z komory reakcyjnej ze źródłem mikrofal doprowadzanych do strefy reakcji poprzez falowód oraz dodatkowej elektrody inicjującej, znamienny tym, że zawiera dodatkowo dwie elektrody (2) zasilane prądem, umieszczone w komorze reakcyjnej (1) przed strefą działania promieniowania mikrofalowego w stosunku do kierunku przepływu gazu.
2. Sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej polegający na poddaniu gazu działaniu promieniowania mikrofalowego o ustalonej mocy, znamienny tym, że gaz przed strefą działania promieniowania mikrofalowego poddaje się wstępnie procesowi zjonizowania za pomocą wyładowania typu ślizgowego.
PL372039A 2004-12-31 2004-12-31 Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej PL206356B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL372039A PL206356B1 (pl) 2004-12-31 2004-12-31 Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL372039A PL206356B1 (pl) 2004-12-31 2004-12-31 Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL372039A1 PL372039A1 (pl) 2006-07-10
PL206356B1 true PL206356B1 (pl) 2010-07-30

Family

ID=38739740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL372039A PL206356B1 (pl) 2004-12-31 2004-12-31 Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL206356B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL372039A1 (pl) 2006-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6661178B1 (en) Metastable atom bombardment source
KR101174202B1 (ko) 유전체 배리어 방전 가스의 생성 장치
US6238629B1 (en) Apparatus for plasma treatment of a gas
EP1715937B1 (en) Methods and apparatuses for treating a fluorocompound-containing gas stream
US20030000823A1 (en) Emission control for perfluorocompound gases by microwave plasma torch
JP2007522935A5 (pl)
CA2395180A1 (en) Segmented electrode capillary discharge, non-thermal plasma apparatus and process for promoting chemical reactions
TWI400010B (zh) 形成電漿之裝置及方法
US6451252B1 (en) Odor removal system and method having ozone and non-thermal plasma treatment
WO2007105411A1 (ja) プラズマ発生装置及びそれを用いたプラズマ生成方法
US7521026B2 (en) Field-enhanced electrodes for additive-injection non-thermal plasma (NTP) processor
Timmermans et al. The behavior of molecules in microwave-induced plasmas studied by optical emission spectroscopy. 2: Plasmas at reduced pressure
JP4817407B2 (ja) プラズマ発生装置及びプラズマ発生方法
Barkhordari et al. Technical characteristics of a DC plasma jet with Ar/N2 and O2/N2 gaseous mixtures
WO2020127565A1 (en) Apparatus for treating materials with plasma
Kim et al. CF/sub 4/decompositions using streamer-and glow-mode in dielectric barrier discharges
Cross et al. High kinetic energy (1–10 eV) laser sustained neutral atom beam source
Bang et al. Methane-augmented microwave plasma burner
Li et al. Characteristic Investigation of an Atmospheric-Pressure Microwave N 2–Ar Plasma Torch
PL206356B1 (pl) Reaktor do prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej oraz sposób prowadzenia procesów chemicznych w plazmie mikrofalowej
Yoshiki Generation of air microplasma jet and its application to local etching of polyimide films
Gasparik et al. Effect of CO2 and Water Vapors on NO x Removal Efficiency under Conditions of DC Corona Discharge in Cylindrical Discharge Reactor
KR101692218B1 (ko) 휘발성 유기 화합물 제거용 유전체 장벽 플라즈마 반응 장치 및 이를 이용한 휘발성 유기 화합물의 제거방법
RU2486719C1 (ru) Способ очистки, деструкции и конверсии газа
Veeraiah et al. Characterization of plasma based on the electrode size of atmospheric pressure plasma jet (APPJ)

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Decisions on the lapse of the protection rights

Effective date: 20101231