PL211200B1 - Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału - Google Patents
Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiałuInfo
- Publication number
- PL211200B1 PL211200B1 PL380223A PL38022306A PL211200B1 PL 211200 B1 PL211200 B1 PL 211200B1 PL 380223 A PL380223 A PL 380223A PL 38022306 A PL38022306 A PL 38022306A PL 211200 B1 PL211200 B1 PL 211200B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- wollaston prism
- light wave
- modulated
- phase difference
- light
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 210000004087 cornea Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
(12) OPIS PATENTOWY (19) PL (11) 211200 (13) B1 (21) Numer zgłoszenia: 380223 (51) Int.Cl.
G01N 21/23 (2006.01) G01B 9/02 (2006.01) G01J 9/02 (2006.01) (22) Data zgłoszenia: 17.07.2006 (54) Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału
| (73) Uprawniony z patentu: | |
| POLITECHNIKA WROCŁAWSKA, Wrocław, PL | |
| (43) Zgłoszenie ogłoszono: | |
| 21.01.2008 BUP 02/08 | (72) Twórca(y) wynalazku: |
| PIOTR KURZYNOWSKI, Wrocław, PL JAN MASAJADA, Nadolice Wielkie, PL | |
| (45) O udzieleniu patentu ogłoszono: | |
| 30.04.2012 WUP 04/12 | (74) Pełnomocnik: |
| rzecz. pat. Regina Kozłowska |
PL 211 200 B1
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału, w szczególności anizotropowego ośrodka liniowo dwójłomnego, stosowane do badania dwójłomności kryształów, polimerów, ciekłych kryształów.
Znany jest z polskiego opisu patentowego nr 182663 sposób pomiaru dwójłomności materiału optycznie jednoosiowego w układzie optycznym z liniowo spolaryzowaną zbieżną wiązką promieniowania elektromagnetycznego. Sposób polega na tym, że z badanego materiału optycznie jednoosiowego wycina się płaskorównoległą próbkę tak, aby oś optyczna była prostopadła do jej powierzchni czołowych, następnie w układzie pomiarowym konoskopu umieszcza się ją bezpośrednio przed liniowym analizatorem, którego oś przepuszczania jest równoległa lub prostopadła do płaszczyzny polaryzacji wiązki promieniowania, powierzchniami czołowymi prostopadle do osi symetrii wiązki promieniowania i przepuszcza przez nią liniowo spolaryzowaną zbieżną wiązkę promieniowania elektromagnetycznego, po czym w obrazie konoskopowym próbki mierzy się średnice dwóch izochromat, a następnie dwójłomność materiału próbki wyznacza się z odpowiedniej zależności. Sposób polega również na tym, że z badanego materiału optycznie jednoosiowego wycina się płaskorównoległą próbkę tak, aby oś optyczna była równoległa do jej powierzchni czołowych, następnie w układzie pomiarowym konoskopu umieszcza się ją bezpośrednio przed liniowym analizatorem, którego oś przepuszczania jest równoległa lub prostopadła do płaszczyzny polaryzacji wiązki promieniowania, powierzchniami czołowymi prostopadle do osi symetrii wiązki promieniowania i przepuszcza się przez nią liniowo spolaryzowaną wiązkę promieniowania elektromagnetycznego, po czym w obrazie konoskopowym próbki mierzy się odległości pomiędzy dwoma izochromatami w kierunku równoległym do osi optycznej oraz odpowiednio w kierunku prostopadłym do tej osi, a następnie dwójłomność materiału próbki wyznacza się również z odpowiedniej zależności.
Z polskiego opisu zgłoszenia patentowego nr 323398 znany jest sposób badania struktury wewnętrznej dwójłomnej warstwy przezroczystej, stosowany do badania dwójłomności kryształów, polimerów, ciekłych kryształów, jak również struktury wewnętrznej rogówki oka. Sposób polega na tym, że wiązkę światła laserowego polaryzuje się, generuje różne stany polaryzacji, rozszerza i kieruje na badaną warstwę. Po przejściu przez warstwę wiązkę światła laserowego analizuje się przy różnych kątach azymutu, rejestruje natężenie światła, następnie wiązkę światła przekształca na sygnał elektryczny, zamienia na sygnał cyfrowy, zapamiętuje, poddaje obróbce cyfrowej oraz wyznacza rozkłady kąta azymutu i opóźnienia fazowego badanej warstwy.
Z polskiego opisu zgłoszenia patentowego nr 323400 znane jest urzą dzenie do badania struktury wewnętrznej dwójłomnej warstwy przezroczystej. Urządzenie charakteryzuje się tym, że wiązka światła z lasera poprzez polaryzator, płytkę ćwierćfalową i kolimator pada na badaną warstwę, przez którą przechodzi i rozprasza się na matówce. Następnie ponownie przechodzi przez badaną warstwę, analizator i jest kierowana do kamery, z której sygnał elektryczny przez kartę obrazową jest przesyłany do komputera.
Znane jest też z polskiego opisu zgłoszenia patentowego nr 323401 urządzenie do badania struktury wewnętrznej dwójłomnej warstwy przezroczystej, w którym wiązka światła z lasera poprzez polaryzator, płytkę ćwierćfalową i kolimator, badaną warstwę i analizator jest kierowana do kamery, z której sygnał elektryczny przez kartę obrazową jest przesyłany do komputera.
Układy pomiarowe dwójłomności materiału znane są z opisów patentowych USA nr US5604591, brytyjskiego nr GB732004 i japońskiego nr JP2102404. Układy te składają się z polaryzatora i analizatora, których kierunki przepuszczania światła, czyli kąty azymutu są ortogonalne. Między polaryzator i analizator wstawione są zarówno elementy kompensacyjne, takie jak pryzmat Wollastona, jak i badany obiekt dwójł omny pod ką tami azymutu ±45°. Wskutek tego rejestrowany rozkł ad natężenia światła na wyjściu układu ma charakter prążków interferencyjnych. W szczególności, środki czarnych prążków tworzą układ równoległych lub prawie równoległych linii. Metody analizy bazują na badaniu odstępstw od wyjściowej prostoliniowej struktury prążkowej obrazu.
Istota sposobu według wynalazku polega na tym, że tworzy się monochromatyczną płaską falę świetlną z użyciem źródła światła wraz z kolimatorem, biegnącą wzdłuż osi optycznej układu, którą polaryzuje się liniowo w polaryzatorze. Po czym falę świetlną moduluje się zmienną różnicą faz wnoszoną przez pierwszy pryzmat Wollastona, a jako różnicę faz w płaszczyźnie prostopadłej do kierunku propagacji fali proporcjonalną do zmiennej różnicy faz wnoszonej przez pierwszy pryzmat Wollastona przyjmuje się różnicę faz między jej składowymi x i y w tej płaszczyźnie. Tak zmodulowaną falę kieruje
PL 211 200 B1 się na płytkę płaskorównoległą wykonaną z badanego materiału dwójłomnego. Po czym falę świetlną moduluje się ponownie zmienną różnicą faz wnoszoną przez drugi pryzmat Wollastona, przy czym kierunki obu modulacji fali świetlej zgodne są z kątami azymutów pryzmatów i wynoszą odpowiednio α1 = 45° i α2 = 0°. Następnie wytwarza się pole interferencyjne w wyniku przejścia fali świetlnej przez analizator i rejestruje się kamerą siatkę w postaci wirów optycznych, stanowiących izolowane punkty o zerowej wartości natężenia światła, o nieokreślonej fazie fali świetlnej w tych punktach.
Korzystnie w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą wykonaną z materiału dwójłomnego następuje przesunięcie wirów optycznych spowodowane różnicą faz wnoszoną przez badany materiał dwójłomny, przy czym przesunięcie to jest proporcjonalne do różnicy faz.
Korzystnym jest również to, że w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą wykonaną z materiału dwójłomnego następuje obrót tych wirów optycznych, przy czym kąt obrotu jest proporcjonalny do kąta azymutu ośrodka dwójłomnego.
Istota układu według wynalazku polega na tym, że wzdłuż wiązki światła ma zestawione źródło światła, kolimator, polaryzator ustawiony pod kątem azymutu aP =0°, pierwszy pryzmat Wollastona ustawiony pod kątem azymutu α1 = 45°, drugi pryzmat Wollastona ustawiony pod kątem azymutu α2 = 0°, analizator ustawiony pod kątem azymutu aA = 45° oraz kamerę podłączoną do komputera, przy czym pomiędzy pierwszym pryzmatem Wollastona i drugim pryzmatem Wollastona jest umieszczona płytka płaskorównoległa wykonana z badanego materiału dwójłomnego.
Zaletą nowego układu jest to, że wytwarza on wiry optyczne, zwane dalej znacznikami, które charakteryzują się większą stabilnością niż odpowiednie znaczniki generowane np. w różnego rodzaju interferometrach optycznych, ponieważ powstają one w jednej wiązce światła. Wynika to z tego, że przejście jednej fali świetlnej przez pryzmat Wollastona można traktować w efekcie jako interferencję dwóch fal własnych tego elementu, biegnących w tych samych kierunkach i różniących się azymutem, a zatem kąt między falami tworzącymi pole interferencyjne jest stały i nie podlega takim fluktuacjom jak kąt między frontami falowymi w układach czysto interferencyjnych. Deformacja czoła fali świetlnej w którymkolwiek miejscu przedstawionego układu przejawia się w zmianie położenia znaczników, prostymi metodami można zatem określić tą deformację śledząc ruch danego znacznika. Zmiany te można obserwować nie tylko gdy deformacja ma charakter globalny (dotyczy na przykład zmiany kierunku biegu wiązki świetlnej), ale i lokalny, przy czym w tym przypadku należy zadbać o to, by siatka znaczników na wyjściu układu optycznego była dostatecznie gęsta. Regulacji gęstości dokonuje się przez odpowiedni dobór kąta klina w każdym z pryzmatów Wollastona - im większy ten kąt tym gęstsza siatka znaczników.
Dodatkową zaletą układu do generacji wirów optycznych jest to, że można elementy tego układu połączyć na stałe, np. poprzez sklejenie. I tak, gdy przedmiotem badań jest anizotropowy ośrodek liniowo dwójłomny, na trwale mogą być połączone następujące elementy polaryzator i pierwszy pryzmat Wollastona oraz drugi pryzmat Wollastona i analizator. Dzięki temu stabilność układu pomiarowego jeszcze bardziej wzrasta.
Przedmiotem wynalazku w przykładzie realizacji jest uwidoczniony na rysunku, który przedstawia schemat blokowy układu do pomiaru dwójłomności materiału optycznie jednoosiowego.
P r z y k ł a d 1
Sposób pomiaru dwójłomności materiału, polega na tym, że tworzy się monochromatyczną płaską falę świetlną z użyciem źródła światła Z wraz z kolimatorem K biegnącą wzdłuż osi optycznej układu, którą polaryzuje się liniowo w polaryzatorze P. Po czym falę świetlną moduluje się zmienną różnicą faz wnoszoną przez pierwszy pryzmat Wollastona W1, a jako różnicę faz w płaszczyźnie prostopadłej do kierunku propagacji fali proporcjonalną do zmiennej różnicy faz wnoszonej przez pierwszy pryzmat Wollastona W1 przyjmuje się różnicę faz między jej składowymi x i y w tej płaszczyźnie. Tak zmodulowaną falę kieruje się na płytkę płaskorównoległą PP wykonaną z badanego materiału dwójłomnego, przy czym w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą PP następuje przesunięcie wirów optycznych spowodowane różnicą faz wnoszoną przez badany materiał dwójłomny, przy czym przesunięcie to jest proporcjonalne do różnicy faz. Po czym falę świetlną moduluje się ponownie zmienną różnicą faz wnoszoną przez drugi pryzmat Wollastona W2, przy czym kierunki obu modulacji fali świetlej zgodne są z kątami azymutów pryzmatów W1, W2 i wynoszą odpowiednio α1 = 45° i α2 =0°. Następnie wytwarza się pole interferencyjne w wyniku przejścia fali świetlnej przez analizator A, po czym rejestruje się kamerą D siatkę w postaci wirów optycznych,
PL 211 200 B1 stanowiących izolowane punkty o zerowej wartości natężenia światła, o nieokreślonej fazie fali świetlnej w tych punktach.
P r z y k ł a d 2
Sposób pomiaru dwójłomności materiału przebiega jak w przykładzie pierwszym z tą różnicą, że w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą PP wykonaną z materiału dwójłomnego następuje obrót tych wirów optycznych, przy czym kąt obrotu jest proporcjonalny do kąta azymutu ośrodka dwójłomnego.
P r z y k ł a d 3
Układ do pomiaru dwójłomności materiału ma wzdłuż wiązki światła zestawione źródło światła Z, kolimator K, polaryzator P ustawiony pod kątem azymutu aP = 0°, pierwszy pryzmat Wollastona W1 ustawiony pod kątem azymutu a1 = 45°, drugi pryzmat Wollastona W2 ustawiony pod kątem azymutu a2 = 0°, analizator A ustawiony pod kątem azymutu a,. =45° oraz kamerę D podłączoną do komputera C. Pomiędzy pierwszym pryzmatem Wollastona W1 i drugim pryzmatem Wollastona W2 jest umieszczona płytka płaskorównoległa PP wykonana z badanego materiału dwójłomnego.
Zasada działania układu jest następująca: źródło światła Z wraz z kolimatorem K tworzy monochromatyczną płaską falę świetlną biegnącą wzdłuż osi optycznej układu i padającą na polaryzator P. Za ostatnim z wymienionych elementów fala świetlna jest liniowo spolaryzowana i po przejściu przez pryzmat Wollastona W1 jej różnica faz (rozumiana jako różnica faz między jej składowymi x i y) w płaszczyźnie prostopadłej do kierunku propagacji fali jest proporcjonalna do zmiennej różnicy faz wnoszonej przez pryzmat W1. Po przejściu przed drugi pryzmat W2 fala modulowana jest również zmienną różnicą faz wnoszoną przez ten pryzmat, przy czym kierunki modulacji zgodne są z kątami azymutów pryzmatów W1 i W2, wynoszącymi odpowiednio a = 45°, 0°. Po przejściu światła przez analizator A powstaje pole interferencyjne, rejestrowane przez kamerę D, którego najważniejszą cechą jest istnienie w nim siatki tzw. wirów optycznych, tzn. izolowanych punktów o zerowej wartości natężenia światła, charakteryzujących się tym, że faza fali świetlnej w tych punktach jest nieokreślona. Jest to odpowiednik amplitudowego złożenia dwóch układów prążków interferencyjnych, jakie tworzą pryzmaty Wollastona umieszczone w odpowiedni sposób pomiędzy liniowym polaryzatorem a liniowym analizatorem.
Wstawienie pomiędzy pryzmaty Wollastona W1 i W2 płytki płaskorównoległej PP wykonanej z takiego ośrodka, powoduje zmianę położenia znaczników pola interferencyjnego: różnica faz wnoszona przez ośrodek dwójłomny - przesunięcie znaczników proporcjonalne do tej różnicy, natomiast zmiana kąta azymutu ośrodka dwójłomnego - obrót tych znaczników. Jeżeli znaczniki rozmieszczone są w polu interferencyjnym dostatecznie gęsto to możliwe jest również lokalne badanie właściwości anizotropowych tych ośrodków. Różnica pomiędzy dotychczas stosowanymi układami polaryskopowymi a przedstawionym polega na tym, że do identyfikacji właściwości ośrodka wykorzystuje się ruch wirów optycznych, podczas gdy w klasycznych metodach stosowano metody rejestracji wielu obrazów interferencyjnych przy zmiennych parametrach układu polaryskopowego, takich jak zmienne azymuty polaryzatora P, analizatora A i anizotropowych płytek fazowych, umieszczonych w układzie w tym samym miejscu jak pryzmaty Wollastona w przedstawionej w niniejszym patencie metodzie. Polaryskopowy układ do generacji wirów optycznych pozwala zmierzyć właściwości ośrodka anizotropowego jedynie przy dwóch rejestracjach obrazów interferencyjnych: przed i po wstawieniu w bieg wiązki świetlnej ośrodka anizotropowego przy stałych położeniach elementów układu rejestrującego.
Claims (4)
- Zastrzeżenia patentowe1. Sposób pomiaru dwójłomności materiału, w którym falę świetlną polaryzuje się i moduluje, a zmodulowaną falę kieruje się na badany materiał dwójłomny, po czym falę świetlną moduluje się ponownie, znamienny tym, że tworzy się monochromatyczną płaską falę świetlną z użyciem źródła światła (Z) wraz z kolimatorem (K) biegnącą wzdłuż osi optycznej układu, którą polaryzuje się liniowo w polaryzatorze (P), po czym falę świetlną moduluje się zmienną różnicą faz wnoszoną przez pierwszy pryzmat Wollastona (W1), a jako różnicę faz w płaszczyźnie prostopadłej do kierunku propagacji fali proporcjonalną do zmiennej różnicy faz wnoszonej przez pierwszy pryzmat Wollastona (W1) przyjmuje się różnicę faz między jej składowymi x i y w tej płaszczyźnie, tak zmodulowaną falę kieruje się na płytkę płaskorównoległą (PP) wykonaną z badanego materiału dwójłomnego, po czym falę świetlną moduluje się ponownie zmienną różnicą faz wnoszoną przez drugi pryzmat Wollastona (W2), przyPL 211 200 B1 czym kierunki obu modulacji fali świetlej zgodne są z kątami azymutów pryzmatów (W1, W2) i wynoszą odpowiednio α1 = 45° i α2 = 0°, następnie wytwarza się pole interferencyjne w wyniku przejścia fali świetlnej przez analizator (A), po czym rejestruje się kamerą (D) siatkę w postaci wirów optycznych, stanowiących izolowane punkty o zerowej wartości natężenia światła, o nieokreślonej fazie fali świetlnej w tych punktach.
- 2. Sposób, według zastrz. 1, znamienny tym, że w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą (PP) wykonaną z materiału dwójłomnego następuje przesunięcie wirów optycznych spowodowane różnicą faz wnoszoną przez badany materiał dwójłomny, przy czym przesunięcie to jest proporcjonalne do różnicy faz.
- 3. Sposób, według zastrz. 1, znamienny tym, że w zmodulowanej fali świetlnej w wyniku przejścia przez płytkę płaskorównoległą (PP) wykonaną z materiału dwójłonmego następuje obrót tych wirów optycznych, przy czym kąt obrotu jest proporcjonalny do kąta azymutu ośrodka dwójłomnego.
- 4. Układ do pomiaru dwójłomności materiału, zawierający zestawione wzdłuż wiązki światła, źródło światła, polaryzator i analizator, a pomiędzy polaryzator i analizator wstawiony element kompensacyjny w postaci pryzmatu Wollastona i badany obiekt dwójłomny, znamienny tym, że wzdłuż wiązki światła ma zestawione źródło światła (Z), kolimator (K), polaryzator (P) ustawiony pod kątem azymutu aP =0°, pierwszy pryzmat Wollastona (W1) ustawiony pod kątem azymutu a1 =45°, drugi pryzmat Wollastona (W2) ustawiony pod kątem azymutu α2 = 0°, analizator (A) ustawiony pod kątem azymutu aA = 45° oraz kamerę (D) podłączoną do komputera (C), przy czym pomiędzy pierwszym pryzmatem Wollastona (W1) i drugim pryzmatem Wollastona (W2) jest umieszczona płytka płaskorównoległa (PP) wykonana z badanego materiału dwójłomnego.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL380223A PL211200B1 (pl) | 2006-07-17 | 2006-07-17 | Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL380223A PL211200B1 (pl) | 2006-07-17 | 2006-07-17 | Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL380223A1 PL380223A1 (pl) | 2008-01-21 |
| PL211200B1 true PL211200B1 (pl) | 2012-04-30 |
Family
ID=43028189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL380223A PL211200B1 (pl) | 2006-07-17 | 2006-07-17 | Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL211200B1 (pl) |
-
2006
- 2006-07-17 PL PL380223A patent/PL211200B1/pl not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL380223A1 (pl) | 2008-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102696735B1 (ko) | 순시 엘립소미터 또는 스케터로미터 및 이와 관련된 측정 방법 | |
| US6469788B2 (en) | Coherent gradient sensing ellipsometer | |
| EP0831295B1 (en) | Optical differential profile measurement apparatus and process | |
| JP7716977B2 (ja) | スナップショットエリプソメータ | |
| Millerd et al. | Modern approaches in phase measuring metrology | |
| KR20100134609A (ko) | 물체의 표면 형태를 측정하기 위한 장치 및 방법 | |
| JP6622733B2 (ja) | 偏光解析装置および光スペクトラムアナライザ | |
| TW201617598A (zh) | 複折射測定裝置、複折射測定方法、膜檢查裝置及膜檢查方法 | |
| CN109341519A (zh) | 用于确定结构中的兴趣区域的参数的方法和系统 | |
| JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
| Ivanov et al. | Impact of corpus callosum fiber tract crossing on polarimetric images of human brain histological sections: ex vivo studies in transmission configuration | |
| CN109187368A (zh) | 一种基于多通道测量的液晶偏振特性实时检测系统及方法 | |
| KR100293008B1 (ko) | 액정프리틸트각의측정방법및액정프리틸트각의측정장치 | |
| US6710881B1 (en) | Heterodyne interferometry for small spacing measurement | |
| CN101762891B (zh) | 液晶单元的光学特性测量系统及其方法 | |
| RU2638582C1 (ru) | Двухканальная интерферометрическая система для исследования ударно-волновых процессов | |
| RU2638580C1 (ru) | Лазерный доплеровский измеритель скорости | |
| US6449049B1 (en) | Profiling of aspheric surfaces using liquid crystal compensatory interferometry | |
| JPH11337321A (ja) | 位相シフト干渉縞の同時計測方法及び装置 | |
| GB2109545A (en) | Surface profile interferometer | |
| PL211200B1 (pl) | Sposób pomiaru dwójłomności materiału i układ do pomiaru dwójłomności materiału | |
| JP2011257190A (ja) | 実時間測定分岐型干渉計 | |
| JPH0580083A (ja) | 集積回路の試験方法および装置 | |
| CN103189711A (zh) | 用于光侦测的仪器和方法 | |
| KR101373709B1 (ko) | 3차원 필름의 주축과 위상차의 측정장치 및 측정방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Decisions on the lapse of the protection rights |
Effective date: 20090717 |