PL215126B1 - Pasta przewodząca - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest pasta przewodząca, mająca zastosowanie zwłaszcza w technologii grubowarstwowych mikroukładów elektrycznych i elektronicznych do wytwarzania optycznie transparentnych warstw przewodzących prąd elektryczny, nanoszonych na dowolne podłoża.

Znane sposoby wytwarzania optycznie transparentnych elektrod na skalę masową ograniczają się głównie do pokrywania transparentnego podłoża warstwami składającymi się ze związków tlenku cyny z tlenkiem indu, w skrócie ITO, lub z tlenkiem antymonu, w skrócie ATO, z wykorzystaniem najczęściej technik naparowywania próżniowego, osadzania chemicznego lub pirolizy. Jednak sposoby te są praco- i czasochłonne oraz wymagają zastosowania ograniczonej grupy materiałów podłożowych, wytrzymałych na wysokie temperatury i ciśnienia oraz umożliwiających dobrą przyczepność naniesionej polikrystalicznej warstwy ITO lub ATO.

W elektronice ważną rolę spełniają warstwy przewodzące uzyskane techniką grubowarstwową. W znanych sposobach w celu osiągnięcia ich niskiej rezystancji powierzchniowej i dobrej przyczepności do podłoży ceramicznych, szklanych lub polimerowych stosuje się pasty przewodzące, zawierające proszki metali, takich jak srebro lub nikiel, stopy metali najczęściej szlachetnych oraz wypełniacze węglowe, takie jak sadza, grafit lub włókna węglowe, stanowiące zawiesinę proszków w osnowie polimerowej, zapewniającej przyczepność do podłoża.

Wytwarzanie warstw przewodzących techniką grubowarstwową polega na nanoszeniu na podłoże metodą sitodruku pasty przewodzącej i poddaniu jej obróbce termicznej, bądź polimeryzacji w celu uzyskania trwałej warstwy. Tak otrzymane warstwy mimo grubości rzędu 20 - 30 μm są z reguły nieprzeźroczyste, a jedyną możliwość uzyskania transparentności optycznej osiąga się poprzez pocienienie warstwy lub poprzez uzyskanie nieciągłości warstwy w postaci ażurowego wzoru, co zawsze prowadzi do znaczącego wzrostu rezystancji warstwy.

Znane sposoby wytwarzania warstw przewodzących polegają na wykorzystaniu w roli fazy przewodzącej dodatków w postaci proszków, włókien lub płatków metali, proszków lub płatków grafitu, proszków sadzy, włókien węglowych lub innych struktur proszkowych wykazujących przewodnictwo elektryczne pojedynczych cząstek. Jednym z takich materiałów są nanorurki węglowe, będące alotropowymi odmianami struktur węgla, zbudowanymi z pojedynczych płaszczyzn grafenowych, czyli jednoatomowych płaszczyzn grafitowych, zwiniętych w cylindry, odznaczających się wysokim przewodnictwem elektrycznym i termicznym. Pod względem budowy rozróżnia się nanorurki jednowarstwowe, w skrócie zwane SWCNT od angielskiego Single Walled Carbon Nanotubes, zbudowane z pojedynczej warstwy grafenowej i wielowarstwowe, zbudowane z kilku, a czasem kilkudziesięciu warstw grafenowych, zwane w skrócie odpowiednio OWCNT od angielskiego Oligo Walled Carbon Nanotubes i MWCNT od angielskiego Multi Walled Carbon Nanotubes.

Jednakże bezpośrednie wprowadzenie nanorurek węglowych do tradycyjnych procesów technologicznych okazało się niemożliwe ze względu na słabe możliwości przetwarzania i dodawania tych struktur do znanych materiałów. Główną barierą są rozmiary nanorurek i silne wiązania międzycząsteczkowe, spowodowane rozwiniętą powierzchnią.

Ze zgłoszenia patentowego Stanów Zjednoczonych nr WO2008057615 znane są warstwy przewodzące zawierające nanorurki węglowe. Warstwy te charakteryzują się niską rezystancją powierzchniową i wysoką transmitancją optyczną w paśmie widzialnym, jednakże wytwarzane są techniką wielokrotnego rozpylania zawiesiny aerografem na dowolne podłoże lub przez pokrywanie zanurzeniowe w zawiesinie, pozwalające na całkowite pokrycie powierzchni podłoża. Nie jest możliwe wybiórcze drukowanie ścieżek obwodów elektrycznych. Dodatkowo nanorurki lub otrzymane warstwy są domieszkowane jonowo poprzez zastosowanie wybranych związków chemicznych, co ma zasadniczy wpływ na wzrost przewodnictwa gotowych warstw. Zastosowane zawiesiny nie nadają się do wytwarzania warstw techniką grubowarstwową przez nanoszenie sitodrukiem ze względu na jej właściwości reologiczne, w tym wymaganą pseudoplastyczność.

Warstwy przewodzące zawierające nanorurki węglowe, znane z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US2008171193A1, charakteryzujące się przewodnictwem elektrycznym i wysoką transmitancją optyczną w paśmie widzialnym, wytwarzane są metodą rozpylania aerografem, wylewanie, nanoszenie odśrodkowe, filtrowanie na membranach, bądź naparowywanie zawiesiny nanorurek w żywicy organicznej na dowolne podłoże. Żywica zawiera związki polimerów przewodzących, takich jak politiofen i dodatkowy dyspersant w postaci nanoproszków metali. Po naniesieniu z takiej warstwy usuwany jest nośnik organiczny poprzez podgrzanie, wypłukanie rozpuszczalnikiem, trawienie kwaPL 215 126 B1 sem lub w inny sposób. Taka zawiesina nie nadaje się do zastosowania w technologii grubowarstwowej przy nanoszeniu sitodrukiem ze względu na jej właściwości reologiczne, w tym wymaganą pseudoplastyczność.

Zastosowanie polimerowej zawiesiny przewodzącej, zawierającej nanorurki węglowe, do wytwarzania elektrod transparentnych znane jest z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US2008088219A1. Warstwy otrzymane z tej zawiesiny charakteryzują się przewodnictwem elektrycznym i wysoką transmitancją optyczną w paśmie widzialnym, jednak osnową dla nanorurek węglowych jest polimer przewodzący prąd elektryczny - roztwór polietylenodioxytiofenu, w skrócie PEDOT - który wymieszany jest z nanorurkami węglowymi w proporcjach wagowych od 1:0,005 do 1:100. Warstwę wytwarzano poprzez nanoszenie odśrodkowe, rozpylanie, odsączanie lub walcowanie. Grubość otrzymanej warstwy - około 150 nm. Po procesie nanoszenia jest ona dodatkowo domieszkowana związkami zwiększającymi przewodnictwo polimerowej osnowy.

Polimerowe warstwy przewodzące, zawierające nanorurki węglowe, znane są również z publikacji Carroll D., Czerw R., Webster S., Synthetic Metals 155, 2005, 694 - 697. Warstwy odznaczają się przewodnictwem elektrycznym oraz wysoką transmitancją optyczną w paśmie widzialnym, ale osnową dla nanorurek węglowych jest polimer przewodzący prąd elektryczny. Zawiesina składa się z jednowarstwowych nanorurek węglowych SWCNT oraz polietylenodioxytiofenu, w skrócie PEDOT. Warstwy wytworzone jedynie z polimeru PEDOT są już warstwami przewodzącymi z rezystancją powierzchniową 1 GQ/j, zaś dodanie 1% SWCNT jedynie zmniejsza wartość rezystancji powierzchniowej do 10 ΜΩ/ί.

Z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US20080018232A1 znana jest metoda wytwarzania elektrod transparentnych, zawierających nanorurki węglowe, stosowanych do ogniw fotowoltaicznych. Otrzymane warstwy charakteryzują się przewodnictwem elektrycznym oraz wysoką transmitancją optyczną w paśmie widzialnym, jednak sposób ich wytwarzania polega na odfiltrowaniu polimerowej zawiesiny nanorurek na specjalnej membranie oraz dalszym naniesieniu odfiltrowanego materiału nanorurek węglowych na docelowe podłoże metodą druku stemplowego lub tamponowego.

Z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US2008049380A1 znane są warstwy zawierające około 10 - 20% wagowo mieszaniny dwóch rodzajów nanorurek węglowych w alkoholu metylowym i glicerynie, przy czym co najmniej jeden rodzaj nanorurek jest modyfikowany powierzchniowo. Warstwy te odznaczają się przewodnictwem elektrycznym, ale z powodu wysokiej zawartości nanorurek nie są transparentne optycznie. Otrzymywane są przez nanoszenie metodą wylewania zawiesiny lub przez nanoszenie odśrodkowe na metaliczne podłoże, a następnie odparowanie rozpuszczalników alkoholowych w celu wytworzenia usieciowanej struktury nanorurek węglowych. Same warstwy nie mają na celu przewodzenia prądu elektrycznego, gdyż jest to realizowane poprzez metaliczne podłoże. Taka zawiesina nie nadaje się do zastosowania w technologii grubowarstwowej przy nanoszeniu sitodrukiem ze wzglądu na właściwości reologiczne, w tym wymaganą pseudoplastyczność.

Z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US6359383B1 znana jest metoda wytwarzania struktur elektroluminescencyjnych, wykorzystujących efekt polowej emisji elektronów z opisywanych warstw nanorurek węglowych, nanorurek diamentowych i diamentopodobnych, nanoszonych metodą sitodruku. Warstwy te zawierają od 20 do 80% wagowych nanorurek węglowych, co powoduje, że nie są one transparentne optycznie. Zastosowane nanorurki nie mają określonych wymiarów charakterystycznych poza średnicą w granicach 30 - 50 nm, co przy zastosowaniu nawet minimalnej ich zawartości 20% nie pozwala na otrzymanie warstw transparentnych optycznie.

Z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych nr US20030122111 znana jest metoda wytwarzania warstw przewodzących zawierających nanorurki węglowe, transparentnych optycznie. Warstwy zawierają od 0,001 - 1% jedynie nanorurek jednowarstwowych o średnicy poniżej 3.5 nm. Jako materiał osnowy stosowane są różne polimery jednak autorzy nie wspominają o polimerach z grupy akryli w tym polimetakrylanów. W opisie otrzymywania warstw wymienione są jedynie metody nanoszenia techniką wylewania i techniką natrysku. Nie podano przykładów otrzymywania warstw przewodzących elektrycznie i transparentnych optycznie techniką sitodruku.

Z publikacji M. Jakubowska i in., Kompozyty 8:2, 2008, znane są materiały kompozytowe, zawierające 0,1 - 1% nanorurek węglowych o średnicy 40 - 50 nm i długości 3 - 5 μm oraz 99,0 - 99,9% żywicy polimerowej do zastosowania w mikroukładach elektronicznych, wytwarzanych techniką grubowarstwową. Takie materiały pozwoliły na wytworzenie warstw przewodzących elektrycznie i jednocześnie transparentnych optyczne na szklanych podłożach.

Celem wynalazku było opracowanie pasty przewodzącej, zawierającej nanorurki węglowe w roli fazy przewodzącej oraz żywicę polimerową, w roli ich osnowy i w roli fazy wiążącej warstwę do podło4

PL 215 126 B1 ża, do nakładania metodami prostymi do wdrożenia, zwłaszcza technika sitodruku - na dowolne podłoża, w tym elastyczne.

Okazało się, że spełnia te wymagania pasta według wynalazku o określonych, znanych proporcjach pomiędzy żywicą polimerową a materiałem nanorurek węglowych, ale o bardzo dokładnie określonej geometrii stosowanych nanostruktur. Istotne jest zastosowanie nanorurek o ściśle określonych proporcjach długości do średnicy. Bardziej dokładnie niż samymi wymiarami wynikającymi z przeprowadzonych badań, geometrię określa się współczynnikiem długości do średnicy struktury.

Pasta przewodząca według wynalazku charakteryzuje się tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie współczynnika długości do średnicy w granicach 12500:1 - 125:1 przy zachowaniu statystycznego rozkładu wymiaru charakterystycznego długości w granicach 5 - 50 μm.

Korzystnie pasta według wynalazku zawiera nanorurki o statystycznym rozkładzie długości w granicach 5 - 30 μm, najkorzystniej 5 - 15 μm.

Korzystnie pasta według wynalazku zawiera nanorurki o statystycznym rozkładzie współczyn n ika długości do średnicy w granicach 7500:1 - 125:1, najkorzystniej 5000:1 - 250:1.

Odtworzenie wynalazku bazuje na zastosowaniu nanorurek o określonych proporcjach długości do średnicy, które są charakterystyczne dla nanostruktur jakimi są nanorurki węglowe. Przykłady oraz zastrzeżenia opisujące fizyczne wymiary nanorurek wynikają z przeprowadzonych badań. Jednak do pełnego opisu konieczne jest określenie geometrii stosowanych nanostruktur, a tą można opisać bardziej dokładnie współczynnikiem długości do średnicy struktury, niż samymi wymiarami. Opisywane wysokie wartości współczynnika długości do średnicy możliwe są do uzyskania jedynie dla nanostru ktur i to one zapewniają uzyskanie charakterystycznych właściwości elektrycznych i optycznych opisywanych we wniosku. Charakterystyczną cechą oligo- i wielowarstwowych nanorurek jest to że w przeciwieństwie do jedno- i dwuwarstwowych, w procesie ich otrzymywania powstają nanorurki o różnych średnicach a nie jednej ustalonej i można to opisać jedynie zakresem wymiarów oraz zakresem proporcji długości do średnicy.

Pasta według wynalazku korzystnie zawiera nanorurki oligowarstwowe i/lub wielowarstwowe ze względu na ich metaliczne przewodnictwo elektryczne. Nanorurki oligowarstwowe to struktury których średnica zewnętrzna jest mniejsza od 8 nm.

W przypadku zastosowania nanorurek jednowarstwowych muszą to być nanorurki o strukturze zapewniającej przewodnictwo metaliczne.

Pasta według wynalazku korzystnie zawiera nanorurki o statystycznym rozkładzie średnicy w granicach 4 - 40 nm, najkorzystniej 5 - 20 nm.

Wchodząca w skład pasty według wynalazku żywica polimerowa - tak jak w znanych pastach pełni jednocześnie rolę osnowy nanorurek oraz fazy wiążącej warstwę do podłoża.

Żywice polimerowe odznaczają się spadkiem lepkości w funkcji wzrostu prędkości ścinania, co jest typowym zjawiskiem dla past tiksotropowych i pseudoplastycznych stosowanych w procesie sitodruku. Zjawiska te pozwalają na efektywny transfer przez sito podczas druku, a przy ustąpieniu sił ścinających zwiększenie lepkości zapewnia trwałe odwzorowanie topologii elementu, bez nadmiernej rozpływności na podłożu. Wartości lepkości żywic i właściwości tiksotropowe oraz pseudoplastyczne pozwalają na otrzymanie past kompozytowych z nanorurkami węglowymi zdatnych do nanoszenia procesem sitodruku na dowolne podłoże. Najczęściej stosuje się żywice polimerowe z grupy metakrylanów, korzystnie z grupy kopolimerów metakrylanów, zwłaszcza kopolimeru metakrylanu metylu z metakrylanem butylu oraz żywice polimeryzujące pod działaniem czynników zewnętrznych, korzystnie promieniowania ultrafioletowego i/lub temperatury, zwłaszcza złożone z mieszaniny polimeru metakrylanu metylu, zawierającego grupy karboksylowe i estrowe z monomerami i oligomerami polieteroakrylowymi oraz wolnymi rodnikami będącymi inicjatorem polimeryzacji.

Pasta według wynalazku służy do wytwarzania transparentnych optycznie warstw przewodzących prąd elektryczny, mających zastosowanie zwłaszcza w wyświetlaczach elektroluminescencyjnych, ciekłokrystalicznych wyświetlaczach LCD, z efektem zimnej emisji polowej elektronów FED, w ekranach dotykowych, ekranach zakłóceń elektromagnetycznych oraz w ogniwach fotowoltaicznych, jak również w roli elektrod w czujnikach chemicznych i biomedycznych.

Warstwy uzyskane przez naniesienie pasty według wynalazku charakteryzują się grubościami w zakresie od 2 μm do 15 μm, charakterystycznymi dla warstw uzyskiwanych techniką sitodruku, mają niską rezystancję powierzchniową i dobrą przyczepność do podłoży ceramicznych, szklanych lub polimerowych, również elastycznych. W przypadku tych ostatnich, takich jak folie poliestrowe, ważna jest ich dobra przyczepność do podłoża nie tylko w stanie statycznym, ale i przy cyklicznych odkształcePL 215 126 B1 niach. Są odporne na uszkodzenia zmęczeniowe, wynikające z cyklicznych zmian naprężenia podczas odkształceń dynamicznych.

Podane niżej przykłady ilustrują rozwiązanie według wynalazku w konkretnych przypadkach jego wykonania. Dla porównania i wykazania wpływu na właściwości uzyskanych warstw zastosowania w składzie pasty zbyt dużej ilości nanorurek węglowych, bądź innego niż według wynalazku statystycznego rozkładu ich długości lub też rodzaju zastosowanej żywicy polimerowej przedstawiono przykłady 1, 2, 6, 7, 8 i 12.

P r z y k ł a d 1. Pasta, składająca się z 99,5% wagowych żywicy polimerowej nitrocelulozy i 0,5% wagowych nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 5 - 15 μm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, nie wykazywały przewodnictwa elektrycznego w zakresie pomiarowym do 50 ΜΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 65%.

P r z y k ł a d 2. Pasta, składająca się z 99,5% wagowych żywicy polimerowej kopolimeru chlorku winylu i eteru izobutylowego winylu i 0,5% nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 5 - 15 μm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 1 ΜΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 60%.

P r z y k ł a d 3. Pasta, składająca się z 99,5% wagowych żywicy polimerowej jako 34% roztwór kopolimeru metakrylanu metylu z metakrylanem butylu w octanie karbitolu butylowego i 0,5% wagowych nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 5 - 15 μm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 6,3 kΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 20%.

P r z y k ł a d 4. Pasta, składająca się z 99,9% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 3, i 0,1% nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 3. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 950 kΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 75%.

P r z y k ł a d 5. Pasta, składająca się z 99,0% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 3 i 1% nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 3. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 1,6 kΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 14%.

P r z y k ł a d 6. Pasta, składająca się z 95% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 3 i 5% nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 3. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 130 Ω i nie wykazywały transparentności optycznej.

P r z y k ł a d 7. Pasta, składająca się z 99,5% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 3 i 0,5% nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 500 - 1000 nm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 120 Ω i nie wykazywały transparentności optycznej.

P r z y k ł a d 8. Pasta, składająca się z 99,9% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 3 i 0,1% nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 500 - 1000 nm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, nie wykazywały przewodnictwa elektrycznego w zakresie pomiarowym do 50 ΜΩ. Ich transmitancja optyczna wynosiła 70%.

P r z y k ł a d 9. Pasta, składająca się z 99,5% wagowych żywicy polimerowej, będącej mieszaniną polimeru metakrylanu metylu zawierającego grupy karboksylowe i estrowe z oligomerami polieteroakrylowymi polimeryzującymi pod wpływem wolnych rodników uwalnianych z fotoin icjatorów aktywowanych promieniowaniem UV oraz 0,5% nanorurek węglowych o statystycznym rozkładzie wymiarów charakterystycznych w zakresie 5 - 20 nm dla średnicy i 5 - 15 μm dla długości. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję wielkości 30 kΩ i transmitancję optyczną 43%.

P r z y k ł a d 10. Pasta, składająca się z 99,9% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 9 i 0,1% nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 9. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na elastyczne podłoże w postaci folii poliestrowej, miały rezystancję 1,46 ΜΩ i transmitancję optyczną 82%.

PL 215 126 B1

P r z y k ł a d 11. Pasta, składająca się z 99,0% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 9 i 1% wagowych nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 9. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na szklane podłoże, miały rezystancję 3,25 kQ i transmitancję optyczną 19%.

P r z y k ł a d 12. Pasta, składająca się z 95% wagowych żywicy, takiej jak w przykładzie 9 i 5% wagowych nanorurek węglowych, takich jak w przykładzie 9. Warstwy w postaci ścieżek o wymiarach 1x1 mm, naniesione techniką sitodruku na elastyczne podłoże w postaci folii poliestrowej, miały rezystancję 50 Ω i nie wykazywały transparentności optycznej.

Claims (8)

1. Pasta przewodząca, składająca się z 99,0-99,9% wagowych żywicy polimerowej, zwłaszcza z grupy polimetakrylanów i z grupy żywic polimeryzujących pod działaniem czynników zewnętrznych, takich jak promieniowanie ultrafioletowe i/lub temperatura, oraz 0,1 - 1,0% wagowych nanorurek węglowych, do nakładania na podłoża zwłaszcza techniką sitodruku, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie współczynnika długości do średnicy w granicach 12500:1 do 125:1 przy zachowaniu statystycznego rozkładu wymiaru charakterystycznego długości w granicach 5 - 50 μm.

2. Pasta według zastrz. 1, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie współczynnika długości do średnicy w granicach 7500:1 - 125:1.

3. Pasta według zastrz. 1 albo 2, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie współczynnika długości do średnicy w granicach 5000:1 - 250:1.

4. Pasta według zastrz. 1, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie długości w granicach 5 - 30 μm.

5. Pasta według zastrz. 1 albo 4, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie długości w granicach 5-15 μm.

6. Pasta według zastrz. 1, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie średnicy w granicach 4 - 40 nm.

7. Pasta według zastrz. 1 albo 6, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe o statystycznym rozkładzie średnicy w granicach 5 - 20 nm.

8. Pasta według zastrz. 1, znamienna tym, że zawiera nanorurki węglowe oligo- i/lub wielowarstwowe.