PL226772B1 - Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO - Google Patents
Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnOInfo
- Publication number
- PL226772B1 PL226772B1 PL402754A PL40275413A PL226772B1 PL 226772 B1 PL226772 B1 PL 226772B1 PL 402754 A PL402754 A PL 402754A PL 40275413 A PL40275413 A PL 40275413A PL 226772 B1 PL226772 B1 PL 226772B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- substrate
- growth
- hydrothermal method
- layer
- zno
- Prior art date
Links
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000002061 nanopillar Substances 0.000 title abstract description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 58
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 claims abstract description 12
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 claims description 9
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 7
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002060 nanoflake Substances 0.000 abstract 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 4
- 239000011858 nanopowder Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical group [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 229940057499 anhydrous zinc acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001652 electrophoretic deposition Methods 0.000 description 1
- 210000002257 embryonic structure Anatomy 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004692 metal hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 239000012974 tin catalyst Substances 0.000 description 1
- YZYKBQUWMPUVEN-UHFFFAOYSA-N zafuleptine Chemical compound OC(=O)CCCCCC(C(C)C)NCC1=CC=C(F)C=C1 YZYKBQUWMPUVEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJWUNCQRNNEAKC-UHFFFAOYSA-L zinc acetate Chemical compound [Zn+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O DJWUNCQRNNEAKC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229960000314 zinc acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
Przedmiotem wynalazku jest hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków tlenku cynku na podłożu o strukturze krystalograficznej wurcytu lub na warstwie zarodkującej o takiej strukturze osadzonej na podłożu. Podłoże takie umieszcza się w mieszaninie reakcyjnej o pH 6,5-12, zawierającej co najmniej jeden prekursor tlenu, i co najmniej jeden prekursor cynku. Następnie temperaturę mieszaniny podnosi się do temperatury powyżej 25°C, i przez co najmniej 1 sekundę prowadzi się wzrost nanos łupków ZnO.
Description
Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków tlenku cynku na podłożu o lub na osadzonej na podłożu warstwie o strukturze krystalograficznej wurcytu zarodkującej wzrost. Podłoża zawierające takie nanosłupki przeznaczone są do zastosowania w czujnikach pomiaru stężeń gazów i cieczy, w ogniwach fotowoltaicznych a także w przyrządach optoelektronicznych.
W literaturze opisane są różne sposoby wytwarzania nanosłupków ZnO.
Na przykład w publikacji: E. Wolska, B. S. Witkowski, M. Godlewski, ZnO Nanopowders by a Microwave Hydrothermal Method - Influence of the Precursor Type on Grain Sizes, Acta Physica Polonica A, Vol. 119, No. 5, 2011, opisany jest wzrost nanostruktur ZnO w postaci nanoproszków metodą hydrotermalną wspomaganą mikrofalowo. W opisanym sposobie, nanoproszki takie otrzymuje się z mieszaniny reakcyjnej zawierającej rozpuszczalnik oraz prekursory tlenu i cynku. Mieszaninę taką umieszcza się w reaktorze a następnie w warunkach podwyższonego ciśnienia i przy podwyższonej temperaturze prowadzi się wzrost. Wzrost zachodzi w całej objętości, a wytworzone struktury (nanoproszki) nie są przymocowane do żadnego podłoża, co utrudnia ich praktyczne wykorzystanie.
W publikacji: Satoshi Yamabi and Hiroaki Imai, Growth conditions for wurtzite zinc oxide films in aqueous solutions, J. Mater. Chem., 2002, 12, 3773-3778 znajduje się opis techniki przygotowania podłóż zarodkujących do wzrostu nanosłupków ZnO polegającej na wytworzeniu warstwy zarodkującej o grubości 100 nm poprzez przędzenie roztworu metoksyetanolu zawierającego dwuwodny octan cynku i monoetanoloaminę, a następnie wygrzewanie w temperaturze 60°C przez 24 godziny.
Z kolei z pracy: Ki-Woong Chae, Qifeng Zhang, Jeong Seog Kim, Yoon-Ha Jeong and Guozhong Cao, Low-temperature solution growth of ZnO nanotube arrays, Beilstein J. Nanotechnol. 2010, 1, 128-134 znany jest sposób przygotowania podłoża zarodkującego poprzez wytworzenie na nim, metodą osadzania elektroforetycznego, warstwy zarodkującej ZnO a następnie wygrzanie jej w temperaturze 500°C przez 30 minut. Na tak przygotowanym podłożu prowadzi się następnie proces wzrostu nanosłupków, który jest procesem powolnym i trwa zwykle od 10 do 20 godzin.
Wadą tego sposobu są trudności w przygotowaniu podłoża zawierającego odpowiednie zarodki a ponadto bardzo wolny wzrost samych nanosłupków.
Z publikacji: Sang-Woo Kim, Shizuo Fujita, Shigeo Fujita, ZnO nanowires with high aspect ratios grown by metalorganic chemical vapor deposition using gold nanoparticles, Applied Physics Letters 86, 153119, 2005, znany jest sposób wytwarzania nanosłupków, w którym wzrost prowadzony jest metodą MOCVD (ang. Metal Organic Chemical Vapor Deposition). W sposobie tym, najpierw na krzemowe podłoże, metodą powlekania wirowego nanosi się z roztworu, nanocząstki złota. Nanocząstki złota stanowią katalizator dla wzrostu słupków ZnO zgodnie z mechanizm wzrostu para-ciecz-ciało stałe (VLS) (ang. Vapour-Liquid-Solid). Następnie przy określonej szybkości przepływu gazów w komorze reakcyjnej, obniżonym ciśnieniu, w temperaturze ok. 550°C prowadzi się wzrost nanosłupków (nanocząstki złota płyną na froncie wzrostu). Wytwarzanie nanosłupków metodą MOCVD wymaga dosyć złożonego układu, który zapewniałby precyzyjną kontrolę parametrów procesu.
Z publikacji P. X. Gao, Y. Ding, and Z. L. Wang, Crystallographic Orientation-Aligned ZnO Nanorods Grown by a Tin Catalyst, Nano Letters 2003 Vol. 3, No. 9 1315-1320 znany jest sposób wytwarzania dobrze zorientowanych nanosłupków ZnO metodą Vapor Transport Deposition. Metoda ta jest dosyć szybka, lecz wymaga stosowania zaawansowanej aparatury, a sam proces wzrostu prowadzony jest w wysokiej temperaturze (ok. 1150°C) i wymaga katalizatora wzrostu (w tym przypadku jest to cyna).
Z patentu, według zgłoszenia P.400284 znany jest sposób wytwarzania nanosłupków ZnO na podłożu. Według tego sposobu, najpierw podłoże, korzystnie krzemowe, zawierające na powierzchni metaliczne kulki eutektyczne lub metaliczną warstwę zarodkującą wzrost, umieszcza się w mieszaninie reakcyjnej o pH 6,5-12. Przy czym mieszanina ta zawiera rozpuszczalnik, co najmniej jeden prekursor tlenu, i co najmniej jeden prekursor cynku. Następnie temperaturę mieszaniny reakcyjnej podnosi się do temperatury 50-95°C i przez co najmniej 1 minutę, prowadzi się wzrost nanosłupków ZnO. Korzystnie jest jeżeli prekursorem tlenu w mieszaninie reakcyjnej jest woda, a prekursorem cynku jest azotan cynku lub octan cynku.
Wadą tego sposobu jest konieczność odpowiedniego przygotowania podłoża, które musi na powierzchni zawierać metaliczne struktury (warstwę lub kulki), zarodkujące wzrost. Wymaga to zaangażowania dodatkowej aparatury i komplikuje proces technologiczny.
PL 226 772 B1
Celem wynalazku jest opracowanie taniego, prostego i szybkiego sposobu wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO na podłożach o strukturze krystalograficznej wurcytu. Sposobu, który gwarantowałby równomierne rozmieszczenie nanosłupków na podłożu z zachowaniem orientacji krystalograficznej oraz charakteryzowałby się dużą powtarzalnością.
Sposób według wynalazku polega na tym, że wzrost nanosłupków ZnO prowadzi się umieszczając podłoże lub podłoże z osadzoną warstwą zarodkującą wzrost w mieszaninie reakcyjnej o pH 6,5-12, zawierającej rozpuszczalnik, co najmniej jeden prekursor tlenu i co najmniej jeden prekursor cynku. W sposobie tym, podłoże o strukturze krystalograficznej wurcytu lub podłoże z osadzoną na nim warstwą zarodkującą wzrost, która ma strukturę krystalograficzną wurcytu umieszcza się w mieszaninie reakcyjnej o temperaturze do 25-50°C, na czas od 1 do 60 sekund.
Korzystnie jest jeżeli podłoże jest podłożem z azotku galu lub z tlenku cynku bądź podłożem na którym osadzona jest warstwa zarodkująca wzrost o strukturze krystalograficznej wurcytu, korzystnie podłoże szafirowe z warstwą azotku galu lub podłoże z azotku galu z warstwą tlenku cynku.
Sposób według wynalazku jest bardzo prosty, nie wymaga stosowania skomplikowanej aparatury do kontroli przepływu gazów lub cieczy czy utrzymania wysokiej próżni. Jest procesem bezpiecznym, bo wzrost odbywa się przy stosunkowo niskiej temperaturze i może odbywać się przy ciśnieniu atmosferycznym. Stosowana mieszanina reakcyjna jest prosta do sporządzenia, wymaga jedynie wymieszania prekursorów w wodzie lub w innym rozpuszczalniku. Podłoże nie wymaga przygotowania warstwy zarodkującej, a jedynym wymaganiem jest aby miało strukturę krystalograficzną wurcytu. Wytworzone sposobem według wynalazku nanosłupki ZnO zachowują kierunki krystalograficzne podłoża lub warstwy osadzonej na podłożu.
Wynalazek zostanie bliżej objaśniony na dwóch przykładach wykonania nanosłupków ZnO.
W pierwszym przykładowym sposobie jako podłoża użyto płytki z szafiru grubości 0,5 mm z osadzoną na powierzchni za pomocą epitaksji z fazy gazowej warstwą wysokiej jakości azotku galu o grubości 3 pm. Najpierw przygotowano mieszaninę reakcyjną o pH równym 8. W tym celu, do naczynia wlano wodę dejonizowaną, która spełnia rolę rozpuszczalnika i prekursora tlenu, (ale może to być także rozpuszczalnik alkoholowy) i rozpuszczono w niej prekursor cynku, w postaci bezwodnego octanu cynku. Odpowiednie pH mieszaniny uzyskuje się po dokładnym wymieszaniu, poprzez strącanie wodorotlenku metalu jakim jest wodorotlenek sodu (lub potasu).
W tak przygotowanej mieszaninie umieszczono podłoże. Proces wzrostu nanostruktur prowadzono przez 1 minutę, przy ciśnieniu atmosferycznym, w temperaturze ~40°C.
W rezultacie tak prowadzonego procesu wytworzono na warstwie azotku galu nanosłupki ZnO o wysokości ok. 1 pm w kształcie graniastosłupów prawidłowych sześciokątnych. Nanosłupki tlenku cynku krystalizują w heksagonalnej strukturze krystalograficznej (wurcyt) i są zorientowane w kierunku krystalograficznym [0001] tak samo jak trzy mikronowa warstwa azotku galu, która stanowiła dla nich warstwę zarodkującą wzrost.
W drugim przykładzie wzrost nanosłupków był prowadzony w takiej samej mieszaninie reakcyjnej, w identycznych warunkach temperaturowych i przez taki sam czas ale jako podłoża użyto polikrystalicznego tlenku cynku również zorientowanego w kierunku [0001] i posiadającego strukturę wurcytu.
W rezultacie tego sposobu wytworzono bezpośrednio na podłożu z tlenku cynku nanosłupki ZnO o wysokości ok. 1 pm w kształcie graniastosłupów prawidłowych sześciokątnych. Wytworzone nanosłupki posiadają kierunek krystalograficzny [0001], który został wymuszony przez krystalografię podłoża.
Otrzymane, zarówno w pierwszym jak i w drugim przykładzie nanosłupki związane są z podłożem, w związku z czym mogą być wykorzystywane do praktycznych zastosowań typu sensorowego, fotowoltaicznego czy emisyjnego. Sposób według wynalazku nie wymaga stosowania wysokiej próżni, może być prowadzony na podłożach o dużych rozmiarach, jest szybki i prosty, przez co jest sposobem tanim, wydajnym i doskonale nadaje się do zastosowań na skalę przemysłową.
Claims (1)
- Zastrzeżenia patentowe1. Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO na podłożu lub na podłożu z warstwą zarodkującą wzrost, w którym podłoże to umieszcza się w mieszaninie reakcyjnej o pH 6,5-12, zawierającej rozpuszczalnik, co najmniej jeden prekursor tlenu, i co najmniej jeden prekursor cynku, znamienny tym, że podłoże o strukturze krystalograficznejPL 226 772 B1 wurcytu lub podłoże z osadzoną na nim warstwą zarodkującą wzrost, która ma strukturę krystalograficzną wurcytu, umieszcza się w mieszaninie reakcyjnej o temperaturze do 25-50°C na czas od 1 do 60 sekund.Hydrotermalny sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że podłożem o strukturze wurcytu jest podłoże z azotku galu.Hydrotermalny sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że podłożem o strukturze wurcytu jest podłoże z tlenku cynku.Hydrotermalny sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że podłożem z warstwą zarodkującą wzrost jest podłoże, korzystnie szafirowe z osadzoną na nim warstwą azotku galu. Hydrotermalny sposób według zastrz. 1, znamienny tym, że podłożem z warstwą zarodkującą wzrost jest podłoże, korzystnie z azotku galu z osadzoną na nim warstwą tlenku cynku.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL402754A PL226772B1 (pl) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL402754A PL226772B1 (pl) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL402754A1 PL402754A1 (pl) | 2014-08-18 |
| PL226772B1 true PL226772B1 (pl) | 2017-09-29 |
Family
ID=51302480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL402754A PL226772B1 (pl) | 2013-02-13 | 2013-02-13 | Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL226772B1 (pl) |
-
2013
- 2013-02-13 PL PL402754A patent/PL226772B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL402754A1 (pl) | 2014-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Guillemin et al. | Formation mechanisms of ZnO nanowires: the crucial role of crystal orientation and polarity | |
| Baruah et al. | pH-dependent growth of zinc oxide nanorods | |
| Zhao et al. | Growth and morphology of ZnO nanorods prepared from Zn (NO3) 2/NaOH solutions | |
| Singh et al. | Effect of heat and time-period on the growth of ZnO nanorods by sol–gel technique | |
| Downing et al. | Hydrothermal growth of ZnO nanorods: The role of KCl in controlling rod morphology | |
| Yu et al. | Shape alterations of ZnO nanocrystal arrays fabricated from NH3· H2O solutions | |
| Wang et al. | Effect of ZnO seed layers on the solution chemical growth of ZnO nanorod arrays | |
| Chee et al. | Optical and structural characterization of solution processed zinc oxide nanorods via hydrothermal method | |
| CN101913907A (zh) | 一种在衬底上制备生长位置精确可控的ZnO纳米/微米棒晶的方法 | |
| Sun et al. | Crystalline ZnO thin film by hydrothermal growth | |
| JP2017128492A (ja) | 結晶性酸化物膜 | |
| Witkowski et al. | Ultra-fast growth of the monocrystalline zinc oxide nanorods from the aqueous solution | |
| Hu et al. | Development of a wet chemical method for the synthesis of arrayed ZnO nanorods | |
| Lin et al. | Epitaxial growth of ZnO nanorod arrays via a self-assembled microspheres lithography | |
| Hong et al. | Position‐Controlled Selective Growth of ZnO Nanorods on Si Substrates Using Facet‐Controlled GaN Micropatterns | |
| KR101248837B1 (ko) | 표면에 나노 세공을 갖는 산화아연 나노로드의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 표면에 나노 세공을 갖는 산화아연 나노로드 | |
| Wei | Zinc oxide nanostructures and porous films produced by oxidation of zinc precursors in wet-oxygen atmosphere | |
| CN104229862B (zh) | 一种制备交叉型氧化锌纳米线阵列的方法 | |
| Nandi et al. | Morphology and photoluminescence of ZnO nanorods grown on sputtered GaN films with intermediate ZnO seed layer | |
| Yu et al. | Synthesis of size-tunable ZnO nanorod arrays from NH3· H2O/ZnNO3 solutions | |
| US10312081B2 (en) | Synthesis of metal oxide surfaces and interfaces with crystallographic control using solid-liquid-vapor etching and vapor-liquid-solid growth | |
| PL226772B1 (pl) | Hydrotermalny sposób wytwarzania zorientowanych nanosłupków ZnO | |
| Le et al. | Nanorod assisted lateral epitaxial overgrowth of ZnO films in water at 90° C | |
| CN101818346A (zh) | 一种取向ZnO纳米棒薄膜及其制备方法 | |
| Sahoo et al. | Hydrothermal growth and characterization of ZnO thin film on sapphire (0001) substrate with p-GaN buffer layer |