PL368785A1 - Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii - Google Patents

Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii

Info

Publication number
PL368785A1
PL368785A1 PL368785A PL36878504A PL368785A1 PL 368785 A1 PL368785 A1 PL 368785A1 PL 368785 A PL368785 A PL 368785A PL 36878504 A PL36878504 A PL 36878504A PL 368785 A1 PL368785 A1 PL 368785A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
imaging
filter
energy
electrons
electro
Prior art date
Application number
PL368785A
Other languages
English (en)
Inventor
Krzysztof Grzelakowski
Original Assignee
Krzysztof Grzelakowski
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krzysztof Grzelakowski filed Critical Krzysztof Grzelakowski
Priority to PL368785A priority Critical patent/PL368785A1/pl
Priority to DE102005031537A priority patent/DE102005031537B4/de
Priority to US11/168,728 priority patent/US7126117B2/en
Publication of PL368785A1 publication Critical patent/PL368785A1/pl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/05—Electron or ion-optical arrangements for separating electrons or ions according to their energy or mass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
    • H01J49/46—Static spectrometers
    • H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
    • H01J49/484—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter with spherical mirrors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
    • H01J2237/151—Electrostatic means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
PL368785A 2004-06-28 2004-06-28 Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii PL368785A1 (pl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL368785A PL368785A1 (pl) 2004-06-28 2004-06-28 Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii
DE102005031537A DE102005031537B4 (de) 2004-06-28 2005-06-27 Abbildender Energiefilter für geladene Teilchen, insbesondere Elektronen
US11/168,728 US7126117B2 (en) 2004-06-28 2005-06-28 Imaging energy filter for electrons and other electrically charged particles and method for energy filtration of the electrons and other electrically charged particles with the imaging energy filter in electro-optical devices

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL368785A PL368785A1 (pl) 2004-06-28 2004-06-28 Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL368785A1 true PL368785A1 (pl) 2006-01-09

Family

ID=35504596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL368785A PL368785A1 (pl) 2004-06-28 2004-06-28 Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7126117B2 (pl)
DE (1) DE102005031537B4 (pl)
PL (1) PL368785A1 (pl)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007024353B4 (de) * 2007-05-24 2009-04-16 Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh Monochromator und Strahlquelle mit Monochromator
FR2957674B1 (fr) * 2010-03-19 2012-06-08 Commissariat Energie Atomique Procede de caracterisation d'un echantillon cristallin par diffusion d'ions ou atomes

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0185789B1 (de) * 1984-12-22 1991-03-06 Vg Instruments Group Limited Analysator für geladene Teilchen
JPH02201857A (ja) * 1989-01-30 1990-08-10 Shimadzu Corp 球面型荷電粒子アナライザ
GB2244369A (en) * 1990-05-22 1991-11-27 Kratos Analytical Ltd Charged particle energy analysers
DE69027602T2 (de) * 1990-08-08 1997-01-23 Philips Electronics Nv Energiefilter für Ladungsträgervorrichtung
EP0772225B1 (en) * 1994-07-15 2003-03-19 Hitachi, Ltd. Electronic energy filter
DE19633496B4 (de) * 1996-08-20 2006-06-08 Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh Monchromator für die Elektronenoptik, insbesondere Elketronenmikroskopie
FR2753303B1 (fr) * 1996-09-12 1998-12-04 Centre Nat Rech Scient Filtre d'energie, microscope electronique a transmission et procede de filtrage d'energie associe
PL338538A1 (en) * 2000-02-20 2001-08-27 Krzysztof Grzelakowski Emission-type electron microscope

Also Published As

Publication number Publication date
US20050285032A1 (en) 2005-12-29
DE102005031537A1 (de) 2006-01-19
DE102005031537B4 (de) 2007-10-11
US7126117B2 (en) 2006-10-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
GB2409180B (en) High conductivity particle filter
PT1859073T (pt) Método para produção de partículas de carbono revestidas e utilização das mesmas em materiais de ânodo para baterias de iões de lítio
EP1811553A4 (en) APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING FINE PARTICLES
IL206034A0 (en) Ion filter for use in a spectrometer and a spectrometer using such a filter
GB0511386D0 (en) Method for introducing ions into an ion trap and an ion storage apparatus
IL183905A0 (en) Solar energy collection apparatus and method
ZA201106428B (en) Multi-field charged particle cancer therapy method and apparatus
EP2189185A4 (en) APPARATUS FOR PROJECTING A BEAM OF PARTICLES AND METHOD FOR PROJECTING A BEAM OF PARTICLES
IL185207A0 (en) Method and apparatus for separating cells
WO2008087384A3 (en) Charged particle analyser and method
SG123585A1 (en) Methods and apparatus for assembling solid oxide fuel cells
ZA200907666B (en) A method for counting and segmenting viral particles in an image
GB0711887D0 (en) Methods and apparatus for electro-optical hybrid telemetry
GB2403845B (en) Method and device for the capture of ions in quadrupole ion traps
GB0618953D0 (en) Method and apparatus for ion fragmentation by electron capture
EP1952133A4 (en) SYSTEM WITH A HIGH IMPEDANCE FOR THE PRODUCTION OF ELECTRICAL FIELDS AND USE METHOD
PL368785A1 (pl) Obrazujący filtr energii dla elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek oraz sposób filtrowania energii elektronów i innych elektrycznie naładowanych cząstek w urządzeniach elektrooptycznych za pomocą obrazującego filtru energii
EP1834284A4 (en) METHOD AND APPARATUS FOR SETTING DIGITAL FILTERS
TWI348719B (en) Electrode for an energy storage device and method for making same
AU2003217702A1 (en) Apparatus and method for separating and collecting particles
IL178900A0 (en) Method and apparatus for airborne particle collection
GB0701265D0 (en) Apparatus and method relating to removal of selected particles froma charged particle beam
EP1636877A4 (en) METHOD AND DEVICE FOR THE ELECTRICAL CONNECTION OF RELATIVELY POSITIONED HIGH VOLTAGE MODULES
GB0409673D0 (en) Method and apparatus for capturing images
TWI339855B (en) Forming method of resist pattern and writing method using electric charge corpuscular ray

Legal Events

Date Code Title Description
DISC Decisions on discontinuance of the proceedings (taken after the publication of the particulars of the applications)