PL410160A1 - Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego - Google Patents
Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowegoInfo
- Publication number
- PL410160A1 PL410160A1 PL410160A PL41016014A PL410160A1 PL 410160 A1 PL410160 A1 PL 410160A1 PL 410160 A PL410160 A PL 410160A PL 41016014 A PL41016014 A PL 41016014A PL 410160 A1 PL410160 A1 PL 410160A1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- module
- power supply
- magnetron
- vacuum
- vacuum chamber
- Prior art date
Links
- 238000002061 vacuum sublimation Methods 0.000 title 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Wynalazek ujawnia układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego, przeznaczone do napylania cienkich powłok przeciwzużyciowych na powierzchniach metali. Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego, składający się z modułu komory próżniowej, modułu zasilacza magnetronu, modułu zasilacza gazów technologicznych, modułu pompy próżniowej, modułu chłodzenia wody, modułu sterowania, charakteryzuje się tym, że moduł komory próżniowej (MKP) stanowi jeden z wielu wymiennych modułów, z których każdy dostosowany jest do określonego zakresu gabarytów napylanego elementu i/lub technologii napylania. Urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego, składające się z modułu komory próżniowej, zasilacza magnetronu, zasilacza gazów technologicznych, pompy próżniowej, modułu chłodzenia wody, zasilacza czyszczenia jarzeniowego, zasilacza prądu podkładu, zasilacza grzałek oraz sterownika, charakteryzuje się tym, że stanowi je blok urządzeń (1), moduł chłodzenia wody (2) oraz wymienny moduł komory próżniowej (4) wybrany spośród wielu będących na wyposażeniu urządzenia modułów komór próżniowych (4, 5, 6), z których każdy dostosowany jest do określonego zakresu gabarytów napylanego elementu i/lub technologii napylania.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL410160A PL410160A1 (pl) | 2014-11-17 | 2014-11-17 | Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL410160A PL410160A1 (pl) | 2014-11-17 | 2014-11-17 | Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL410160A1 true PL410160A1 (pl) | 2016-05-23 |
Family
ID=55970658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL410160A PL410160A1 (pl) | 2014-11-17 | 2014-11-17 | Układ modułowy urządzeń do magnetronowego napylania próżniowego i urządzenie modułowe do magnetronowego napylania próżniowego |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL410160A1 (pl) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108992962A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-14 | 深圳普瑞材料技术有限公司 | 一种模块化升华提纯系统 |
-
2014
- 2014-11-17 PL PL410160A patent/PL410160A1/pl unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108992962A (zh) * | 2018-09-30 | 2018-12-14 | 深圳普瑞材料技术有限公司 | 一种模块化升华提纯系统 |
| CN108992962B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-05-31 | 深圳普瑞材料技术有限公司 | 一种模块化升华提纯系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB201714293D0 (en) | Heat exchange systems for turbomachines | |
| MY190619A (en) | Treatment installation and method for treating workpieces | |
| EP3894987A4 (en) | THERMAL CHAMBER FOR A THERMAL CONTROL COMPONENT | |
| PL3577406T3 (pl) | Układy chłodzenia cieczą do urządzeń wytwarzających ciepło | |
| SG11202100149RA (en) | Real-time control of temperature in a plasma chamber | |
| EP3288097A4 (en) | METAL SUBSTRATE AND SEPARATION MASK THEREWITH | |
| PL3599025T3 (pl) | System modułu natrysku chłodziwa dla wyrobów metalowych poddawanych obróbce cieplnej | |
| MX388163B (es) | Composiciones antimicrobianas y métodos relacionados para tratar productos alimenticios y superficies | |
| MY193979A (en) | Deposition apparatus and physical vapor deposition chamber | |
| WO2015173631A3 (en) | Compositions and methods for micropatterning superhydrophobic surfaces | |
| WO2017116087A3 (ko) | 배터리 관리 장치 및 배터리 에너지 저장 시스템 | |
| MX2018016407A (es) | Metodo para controlar la transferencia de calor entre un sistema de enfriamiento local y un sistema de calentamiento local. | |
| PL3421140T3 (pl) | Ręcznie obsługiwany pistolet natryskowy | |
| IL285785A (en) | Atomiser enclosure for a vapour provision sy | |
| MX386067B (es) | Sistemas de enfriado por aspersion para productos de metal tratados con calor. | |
| BR112017000449A2 (pt) | processo para iniciar e realizar a conversão de co em um produto final, sistema, e, produto de programa de computador. | |
| FR3027034B1 (fr) | Procede de pilotage d'un systeme d'electrolyse prenant en compte la temperature des modules electrolyseurs dudit systeme d'electrolyse | |
| EP3259518A4 (en) | Cryogenic pump operation for controlling heat exchanger discharge temperature | |
| IN2015DN01819A (pl) | ||
| MY185549A (en) | Sputtering target having increased power compatibility | |
| HUE054154T2 (hu) | Plazmabevonó lándzsa belsõ bevonatokhoz | |
| PL3314033T3 (pl) | Stop na bazie żelaza do wytwarzania nanoszonych termicznie powłok | |
| ATE542928T1 (de) | Verfahren zum allseitigen beschichten von gegenständen | |
| BR112015032133A2 (pt) | método de compensação do envelhecimento de um alvo para a realização de processos estáveis de pulverização reativa, aparelho e substrato | |
| BR112016000035A8 (pt) | Alvo para a deposição por pulverização reativa de camadas eletricamente isolantes e método para o revestimento de substratos |