PL411407A1 - Fotonowy transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych - Google Patents

Fotonowy transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych

Info

Publication number
PL411407A1
PL411407A1 PL411407A PL41140715A PL411407A1 PL 411407 A1 PL411407 A1 PL 411407A1 PL 411407 A PL411407 A PL 411407A PL 41140715 A PL41140715 A PL 41140715A PL 411407 A1 PL411407 A1 PL 411407A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
secondary electrons
converter
image
photon
objective lens
Prior art date
Application number
PL411407A
Other languages
English (en)
Other versions
PL233846B1 (pl
Inventor
Krzysztof Grzelakowski
Original Assignee
Krzysztof Grzelakowski
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Krzysztof Grzelakowski filed Critical Krzysztof Grzelakowski
Priority to PL411407A priority Critical patent/PL233846B1/pl
Priority to US15/049,024 priority patent/US9653258B2/en
Priority to DE102016103157.7A priority patent/DE102016103157B4/de
Publication of PL411407A1 publication Critical patent/PL411407A1/pl
Publication of PL233846B1 publication Critical patent/PL233846B1/pl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K7/00—Gamma- or X-ray microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285—Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
    • H01J2237/2007—Holding mechanisms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/28—Scanning microscopes
    • H01J2237/2802—Transmission microscopes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/285—Emission microscopes
    • H01J2237/2855—Photo-emission

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest fotonowotransmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych składający się między innymi z: powiększającego układu elektrooptycznego wraz z detektorem obrazu elektronowego (14, 15), zawierającego katodową soczewkę obiektywu (8, 9) z konwerterem (4), będącym jej integralnym elementem oraz nośnikiem obiektu obserwacji (2), z obudowy próżniowej (20), z prześwietlającego obiekt obserwacji (2) promieniowania elektromagnetycznego (1), przeznaczonym do odwzorowywania i powiększania fotonowo transmisyjnego obrazu obiektu obserwacji (2) elektronami wtórnymi (13), generowanymi w konwerterze (4) przez fotoelektrony wzbudzane fotonami (1') tego obrazu. Konwerter (4) zbudowany jest z kanalików (5), jednostronnie zamkniętych od strony znajdującego się z nim w kontakcie obiektu (2) z transparentnymi dla fotonów (1,1') denkami, posiadającymi fotoemisyjną powierzchnię (5a) emitującą proporcjonalnie do intensywności fotonów (1') do wnętrza kanalików (5) fotoelektrony. Fotoelektrony poruszające się w kanalikach (5) w przyspieszającym polu elektrycznym katodowej soczewki obiektywu lub/i w polu generowanym przepływem prądu w warstwie oporowej ścianek kanalików (5), łączącej powierzchnie ich spodów (5a) z płaszczyzną otworów (5b), przez przyłożenie potencjałów do kontaktowych elektrod: (3b/3a) - odpowiednio niższego oraz (18)-wyższego, wywołują w wyniku kolejnych zderzeń z elektronowo emisyjną powierzchnią zwielokrotnioną emisję elektronów wtórnych (13). Elektrony te opuszczają obszar kanalików (5) przez matrycę ich otworów (5b) usytuowaną w płaszczyźnie obiektu katodowej soczewki obiektywu (8, 9), jako jej skorelowany z fotonowym (1') obrazem transmisyjnym elektronowy obiekt obrazowania, który jest następnie powiększany przez układ elektrooptyczny fotonowo transmisyjnego mikroskopu i rejestrowany na detektorze obrazu (14, 15).
PL411407A 2015-02-26 2015-02-26 Fotonowo transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych PL233846B1 (pl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL411407A PL233846B1 (pl) 2015-02-26 2015-02-26 Fotonowo transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych
US15/049,024 US9653258B2 (en) 2015-02-26 2016-02-20 Near-field optical transmission electron emission microscope
DE102016103157.7A DE102016103157B4 (de) 2015-02-26 2016-02-23 Nahfeld-Photonentransmissions-Elektronenemissionsmikroskop

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL411407A PL233846B1 (pl) 2015-02-26 2015-02-26 Fotonowo transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL411407A1 true PL411407A1 (pl) 2016-08-29
PL233846B1 PL233846B1 (pl) 2019-12-31

Family

ID=56682694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL411407A PL233846B1 (pl) 2015-02-26 2015-02-26 Fotonowo transmisyjny mikroskop emisyjny elektronów wtórnych

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9653258B2 (pl)
DE (1) DE102016103157B4 (pl)
PL (1) PL233846B1 (pl)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10255671B1 (en) * 2015-03-06 2019-04-09 Assembly Guidance Systems, Inc. System and method for capture of high resolution/high magnification images
EP3985381A1 (en) * 2020-10-16 2022-04-20 Universität Wien Optical near-field electron microscopy
DE102021117409A1 (de) * 2021-07-06 2023-01-12 Sri Ranjini Arumugam Verfahren und Vorrichtung zur ortsaufgelösten Lokalisierung von Defekten in Materialien
CN114334597B (zh) * 2021-12-17 2024-04-09 上海裕达实业有限公司 一种高气压离子传输装置及方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4912737A (en) 1987-10-30 1990-03-27 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray image observing device
US5045696A (en) 1989-03-31 1991-09-03 Shimadzu Corporation Photoelectron microscope
US6002740A (en) 1996-10-04 1999-12-14 Wisconsin Alumni Research Foundation Method and apparatus for X-ray and extreme ultraviolet inspection of lithography masks and other objects
JP3573725B2 (ja) 2001-08-03 2004-10-06 川崎重工業株式会社 Ｘ線顕微鏡装置
US6906305B2 (en) 2002-01-08 2005-06-14 Brion Technologies, Inc. System and method for aerial image sensing
US7157703B2 (en) * 2002-08-30 2007-01-02 Ebara Corporation Electron beam system
US7006741B1 (en) 2005-03-22 2006-02-28 Bi Yu Contact-field optical microscope
JP5963453B2 (ja) * 2011-03-15 2016-08-03 株式会社荏原製作所 検査装置
US9291578B2 (en) 2012-08-03 2016-03-22 David L. Adler X-ray photoemission microscope for integrated devices

Also Published As

Publication number Publication date
US9653258B2 (en) 2017-05-16
US20160254120A1 (en) 2016-09-01
DE102016103157A1 (de) 2016-09-01
DE102016103157B4 (de) 2018-03-01
PL233846B1 (pl) 2019-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009126845A3 (en) Image intensifying device
US2177360A (en) Optical image intensifier
JP2014067730A5 (pl)
JP6532852B2 (ja) 電子増倍を使用する真空管で使用される電子増倍構造、およびそのような電子増倍構造を備える電子増倍を使用する真空管
JP6826218B2 (ja) 電子衝撃検出器を動作させる方法
CN103852479A (zh) 一种用于探索高效率光阴极材料的光发射阴极测试系统
KR20170053647A (ko) 이미지 강화 센서 및 이러한 이미지 강화 센서를 포함하는 이미징 장치
CN113990733B (zh) 大面积红外单光子探测器
US10886095B2 (en) Image intensifier for night vision device
JP5784873B2 (ja) 電子増倍を用いる真空管用イオン障壁メンブレン、電子増倍を用いる真空管用電子増倍構造、並びにそのような電子増倍構造を備える電子増倍を用いる真空管
RU90933U1 (ru) Электронно-оптический преобразователь
CN207440514U (zh) 一种硬x射线分幅相机
CN107492476A (zh) 电子束莫尔条纹产生装置及电子光学成像系统
RU127248U1 (ru) Электронно-оптический преобразователь
JP2015511061A5 (ja) 広範なダイナミックレンジを備えた光電子増倍管、検査システムおよび方法
JP2007073529A (ja) イメージインテンシファイア装置および方法
CN108054075B (zh) 一种分幅变像管及分幅相机
IL245156B (en) Mechpilor mishna natai
US3014147A (en) Infra red image tube
CN104793229B (zh) 射线探测器
US20070051879A1 (en) Image Intensifier Device and Method
KR101367683B1 (ko) 광 제어 방식의 전계방출 엑스선원
RU2558387C1 (ru) Электронно-оптический визуализатор и способ его изготовления
RU2012123489A (ru) Рентгеновская трубка с модулируемым излучением
JP6228870B2 (ja) 検出器および荷電粒子線装置