PL411755A1 - Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowy - Google Patents
Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowyInfo
- Publication number
- PL411755A1 PL411755A1 PL411755A PL41175515A PL411755A1 PL 411755 A1 PL411755 A1 PL 411755A1 PL 411755 A PL411755 A PL 411755A PL 41175515 A PL41175515 A PL 41175515A PL 411755 A1 PL411755 A1 PL 411755A1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- diaphragm
- electron microscope
- scanning electron
- coaxial
- chamber
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Przedmiotem wynalazku jest współosiowe mikro-źródło jonowe, przeznaczone do skaningowego mikroskopu elektronowego, zwłaszcza o zmiennym ciśnieniu, i skaningowy mikroskop elektronowy wyposażony w takie źródło. Współosiowe mikro-źródło jonowe charakteryzuje się tym, że komora wyładowcza (16) składa się z co najmniej z jednej elektrody w postaci kapturka przesłony (13) współosiowego z wiązką elektronową (EB), zamocowanego i odizolowanego elektrycznie w otworze dolnego nabiegunnika soczewki obiektywowej (3), przy czym kapturek przesłony (13) jest zaopatrzony w otwór stanowiący dolną przesłonę dławiącą (D1) przepływ gazu z komory wyładowczej (16), napełnionej gazem o ciśnieniu pośrednim (P2) wyższym niż ciśnienie robocze (P1) w komorze przedmiotowej, jednocześnie kapturek przesłony (13) jest spolaryzowany napięciem przesłony (U2) ujemnym względem soczewki obiektywowej (3), a talerzyk przedmiotowy (11) jest zasilany napięciem przyśpieszającym (U4) ujemnym względem kapturka przesłony (13). Skaningowy mikroskop elektronowy w drugiej odmianie wyposażony jest w komorę wyładowczą (16) składającą się z co najmniej z dwóch współosiowych z wiązką elektronową (EB) elektrod połączonych szczelnie przekładką izolacyjną (9), w tym anody (8) zamocowanej i odizolowanej elektrycznie w otworze dolnego nabiegunnika soczewki obiektywowej (3) oraz kapturka przesłony (13) połączonego elektrycznie ze wzmacniaczem sygnałowym i umieszczonego po stronie talerzyka przedmiotowego (11) oraz zaopatrzonego w otwór stanowiący dolną przesłonę dławiącą (D1) przepływ gazu z komory przedmiotowej (7), napełnionej gazem o ciśnieniu roboczym (P1) wyższym niż ciśnienie pośrednie (P2) w komorze pośredniej (4), przy czym napięcie przesłony (U2) na kapturku przesłony (13) i napięcie pośrednie (U1) na anodzie (8) mają zbliżone wartości i są dodatnie względem talerzyka przedmiotowego (11).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL411755A PL232281B1 (pl) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowy |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL411755A PL232281B1 (pl) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowy |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL411755A1 true PL411755A1 (pl) | 2016-08-29 |
| PL232281B1 PL232281B1 (pl) | 2019-05-31 |
Family
ID=56760207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL411755A PL232281B1 (pl) | 2015-03-26 | 2015-03-26 | Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowy |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL232281B1 (pl) |
-
2015
- 2015-03-26 PL PL411755A patent/PL232281B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL232281B1 (pl) | 2019-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201992774A1 (ru) | Контейнер, корпус и содержащее их электронное испарительное устройство | |
| AR095602A1 (es) | Sistema y método de recubrimiento de un sustrato | |
| SG11201707201SA (en) | Method and system for charged particle microscopy with improved image beam stabilization and interrogation | |
| WO2008120412A1 (ja) | 電子銃及び電子ビーム露光装置 | |
| MX2011006865A (es) | Ensamblado ionizador de electrodos de aire. | |
| JP2019145328A5 (pl) | ||
| SG194446A1 (en) | Microchip and wedge ion funnels and planar ion beam analyzers using same | |
| WO2015179709A4 (en) | Instruments for measuring ion size distribution and concentration | |
| ATE553377T1 (de) | Elektrisch gesteuerte ionentransportvorrichtung | |
| MX2015008261A (es) | Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato. | |
| GB2550739A (en) | ION guide and mass spectrometer using same | |
| RU2009119420A (ru) | Способ и приспособление для выработки положительно и/или отрицательно ионизированных анализируемых газов для анализа газов | |
| MY174916A (en) | Plasma source | |
| MX359737B (es) | Generador de neutrones de fuente de iones de nano emisores. | |
| GB201311410D0 (en) | Ejection of Ion Clouds from 3D RF Ion Traps | |
| PL411755A1 (pl) | Współosiowe mikro-źródło jonowe i skaningowy mikroskop elektronowy | |
| ATE535007T1 (de) | Ionisationsdetektor für ein environmental scanning electron microscope | |
| EP3657526A3 (en) | Ion source, with hydrogen gas supply to extraction electrode | |
| WO2010093871A3 (en) | Techniques for improving extracted ion beam quality using high transparency electrodes | |
| EA202190038A1 (ru) | Устройство генерирования филаментированного вспомогательного разряда для устройства генерирования рентгеновского и корпускулярного излучений, а также для термоядерного реактора с устройством генерирования рентгеновского и корпускулярного излучений, и способ генерирования рентгеновского и корпускулярного излучений | |
| ATE515052T1 (de) | Feldemissionsbauelement des hochfrequenz- triodentyps und herstellungsprozess dafür | |
| WO2013055523A3 (en) | Closed electron drift ion source and methods of using the same | |
| WO2018187222A3 (en) | Systems and methods for ionizing a surface | |
| RU2011144457A (ru) | Система электростатической фокусировки и многокомпонентное устройство (варианты) для фокусировки электронных пучков | |
| EP4510167A3 (en) | Electron gun, x-ray generation device, and x-ray imaging device |