PL412157A1 - Piec próżniowy hybrydowy - Google Patents

Piec próżniowy hybrydowy

Info

Publication number
PL412157A1
PL412157A1 PL412157A PL41215715A PL412157A1 PL 412157 A1 PL412157 A1 PL 412157A1 PL 412157 A PL412157 A PL 412157A PL 41215715 A PL41215715 A PL 41215715A PL 412157 A1 PL412157 A1 PL 412157A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
heating chamber
vacuum
pressure housing
furnace
pockets
Prior art date
Application number
PL412157A
Other languages
English (en)
Other versions
PL230547B1 (pl
Inventor
Bogdan Flisiewicz
Maciej Cygański
Jan Walkowicz
Witold Gulbiński
Original Assignee
Amp Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amp Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością filed Critical Amp Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością
Priority to PL412157A priority Critical patent/PL230547B1/pl
Priority to PL16163235T priority patent/PL3088561T3/pl
Priority to EP16163235.1A priority patent/EP3088561B1/en
Publication of PL412157A1 publication Critical patent/PL412157A1/pl
Publication of PL230547B1 publication Critical patent/PL230547B1/pl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/58—After-treatment
    • C23C14/5846—Reactive treatment
    • C23C14/586—Nitriding

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Wynalazek dotyczy konstrukcji pieca próżniowego hybrydowego, znajdującego zastosowanie, zwłaszcza przy obróbce metali przez nanoszenie powłok z fazy gazowej PVD. Piec ma obudowę próżniowo-ciśnieniową (1) podłączoną do układu pompowego (3), we wnętrzu której umieszczona jest komora grzejna (2) z materiału termoizolacyjnego. Z obydwóch stron komory grzejnej (2) obudowa próżniowo-ciśnieniową (1) ma symetryczne kieszenie, we wnętrzu których umieszczone są katody PVD (5). Między kieszeniami (4) a komorą grzejną (2) zamocowane są przesuwnie przesłony (7), korzystnie o budowie żaluzjowej, przy zewnętrznym obrysie których zabudowana jest chłodnica. We wnętrzu komory grzejnej (2) znajduje się obrotowy stół (9) wyposażony w obrotowe wsporniki (12) wyposażone w gniazda i/lub uchwyty na obrabiane detale, do napędu których służy przekładnia planetarna (11). Wnętrze komory grzejnej (2) wyposażone jest w metalowy ekran siatkowy (14) przyłączony do wysokiego napięcia i izolowany od stołu (9) oraz obudowy próżniowo-ciśnieniowej (1). Stół umieszczony jest w ekranie siatkowym (14) wysuwnie. Piec pozwala na prowadzenie kolejno procesów technologicznych, bez konieczności wyjmowania wsadu i wykorzystywania odrębnych pieców do obróbki tych samych detali.
PL412157A 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy PL230547B1 (pl)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy
EP16163235.1A EP3088561B1 (en) 2015-04-29 2016-03-31 Hybrid vacuum furnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL412157A1 true PL412157A1 (pl) 2016-11-07
PL230547B1 PL230547B1 (pl) 2018-11-30

Family

ID=56408962

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL412157A PL230547B1 (pl) 2015-04-29 2015-04-29 Piec prozniowy hybrydowy
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL16163235T PL3088561T3 (pl) 2015-04-29 2016-03-31 Piec próżniowy hybrydowy

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3088561B1 (pl)
PL (2) PL230547B1 (pl)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2670218B1 (fr) 1990-12-06 1993-02-05 Innovatique Sa Procede de traitement de metaux par depot de matiere, et pour la mise en óoeuvre dudit procede.
DE4443740B4 (de) * 1994-12-08 2005-09-15 W. Blösch AG Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
JP4396885B2 (ja) * 2004-01-28 2010-01-13 株式会社不二越 マグネトロンスパッタ装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP3088561B1 (en) 2019-05-01
PL3088561T3 (pl) 2019-10-31
EP3088561A1 (en) 2016-11-02
PL230547B1 (pl) 2018-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG11202105742YA (en) Process kit having tall deposition ring for pvd chamber
SG11202000884RA (en) Organometallic compounds and methods for the deposition of high purity tin oxide
CA213344S (en) Gas cooktop
MX2019014425A (es) Conjunto de blanco para la evaporación segura y económica de materiales frágiles.
SG11202008256WA (en) High pressure annealing process for metal containing materials
EP2113586A3 (en) Low cost non-line-of-sight portective coatings
EP4269377A3 (en) Hfo-1234ze and hfo-1234yf compositions and processes for producing and using the compositions
ZA202105104B (en) Process for the recovery of metals from polymetallic nodules
EP4043818A3 (en) Vacuum adiabatic body and refrigerator
EA033434B1 (ru) Вытяжка для бытового использования
SG11202006924QA (en) Powder for coating an etch chamber
ZA202100266B (en) An assembly of at least 2 metallic substrates
PL412157A1 (pl) Piec próżniowy hybrydowy
EP2947174A3 (en) Apparatus and methods for slurry aluminide coating repair
TW201614099A (en) Apparatus for MOCVD
MY179141A (en) Dipicolylamine derivatives and their pharmaceutical uses
CN109250749A (zh) 硫化锌的生产方法
TW201614100A (en) Metal organic chemical vapour deposition apparatus
US2328479A (en) Electric oven for high temperatures working under vacuum or under neutral gas
MY207292A (en) Heat transfer compositions comprising r-1225ye(e) and r-32
PL3710605T3 (pl) Sposób wstępnego utleniania taśmy stalowej w komorze reakcyjnej umieszczonej w komorze pieca
GB201808606D0 (en) Gas heating structure of bullet magazine
MX2020000092A (es) Conjunto ceramico para la coccion de objetos ceramicos.
RU2013100117A (ru) Автоматизированное устройство реверсивного типа для плазменной обработки заготовок верха обуви
RU2014135312A (ru) Блок абляции вакуумной установки напыления пленок