PL426078A1 - Sposób wykonywania targetu oraz target - Google Patents

Sposób wykonywania targetu oraz target

Info

Publication number
PL426078A1
PL426078A1 PL426078A PL42607818A PL426078A1 PL 426078 A1 PL426078 A1 PL 426078A1 PL 426078 A PL426078 A PL 426078A PL 42607818 A PL42607818 A PL 42607818A PL 426078 A1 PL426078 A1 PL 426078A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
target
making
insert
recess
magnetron
Prior art date
Application number
PL426078A
Other languages
English (en)
Other versions
PL236488B1 (pl
Inventor
Krzysztof Zdunek
Bartosz Wicher
Rafał Chodun
Katarzyna Nowakowska-Langier
Sebastian Okrasa
Original Assignee
Politechnika Warszawska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Warszawska filed Critical Politechnika Warszawska
Priority to PL426078A priority Critical patent/PL236488B1/pl
Publication of PL426078A1 publication Critical patent/PL426078A1/pl
Publication of PL236488B1 publication Critical patent/PL236488B1/pl

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Sposób wykonywania targetu składanego dla magnetronu obejmujący etap wykonywania kształtki (1) z pierwszego materiału oraz wstawki (2) z drugiego materiału przynajmniej częściowo pokrywającej się z kanałem trawienia plazmowego (3) tego magnetronu, cechuje się tym, że w kształtce (1) z pierwszego materiału wykonuje się przynajmniej jedno wgłębienie (4), przynajmniej częściowo pokrywające się z kanałem trawienia plazmowego (3), zaś wstawkę z drugiego materiału (2) wykonuje się wprowadzając do tego wgłębienia (4) sproszkowany materiał, a następnie materiał ten poddaje się konsolidacji oddziałując nań wyładowaniem jarzeniowym w gazie roboczym. Target składany dla magnetronu zawiera kształtkę (1) z pierwszego materiału, która zawiera przynajmniej jedno wgłębienie (4), przynajmniej częściowo pokrywające się z kanałem (3) trawienia plazmowego, wypełnione wstawką (2) z drugiego materiału (2) wykonaną w procesie konsolidacji sproszkowanego drugiego materiału (2) przebiegającej w wyładowaniu jarzeniowym.
PL426078A 2018-06-27 2018-06-27 Sposób wykonywania targetu oraz target PL236488B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426078A PL236488B1 (pl) 2018-06-27 2018-06-27 Sposób wykonywania targetu oraz target

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL426078A PL236488B1 (pl) 2018-06-27 2018-06-27 Sposób wykonywania targetu oraz target

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL426078A1 true PL426078A1 (pl) 2020-01-02
PL236488B1 PL236488B1 (pl) 2021-01-25

Family

ID=69160724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL426078A PL236488B1 (pl) 2018-06-27 2018-06-27 Sposób wykonywania targetu oraz target

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL236488B1 (pl)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
PL445255A1 (pl) 2023-06-17 2024-12-23 Sieć Badawcza Łukasiewicz - Poznański Instytut Technologiczny Sposób wytwarzania wieloskładnikowej tarczy do rozpylania magnetronowego i zestaw narzędziowy do wytwarzania wieloskładnikowej tarczy oraz wieloskładnikowa tarcza magnetronowa i jej zastosowanie do wytwarzania powłoki ochronnej

Also Published As

Publication number Publication date
PL236488B1 (pl) 2021-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2025005204A (es) Aparato para generar aerosol a partir de un medio aerosolizable, un articulo de medio aerosolizable y un metodo para determinar un parametro de un articulo
EA201992848A1 (ru) Блок питания для аэрозольного ингалятора, а также способ управления и программа управления данным блоком питания
EP4494682A3 (en) Apparatus for generating aerosol from an aerosolisable medium, an article of aerosolisable medium and a method of operating an aerosol generating apparatus
MX2020001903A (es) Novedoso polipeptido y procedimiento de produccion de imp mediante el uso del mismo.
GB2563349A (en) Fabrication of correlated electron material devices method to control carbon
MX2020012509A (es) Generacion de aerosol.
EP3569080A3 (en) Cartridge, pouch and method of manufacture of pouch for use with apparatus for heating smokable material
WO2019186196A3 (en) Molecular design using reinforcement learning
WO2014151895A3 (en) Method and apparatus for generating highly repetitive pulsed plasmas
TW200622214A (en) Methods and apparatus for monitoring a process in a plasma processing system by measuring self-bias voltage
WO2014052716A3 (en) Magnetic field regenerator
PL426078A1 (pl) Sposób wykonywania targetu oraz target
WO2020139188A8 (en) Ion thruster and method for providing thrust
SA522432134B1 (ar) تحسين مسار بئر ديناميكي يتم تشغيله بنموذج أرضي
MX2020008957A (es) Procedimiento de colada de una masa fundida de un material metálico, así como un dispositivo de colada diseñado para llevar a cabo el procedimiento.
MY189527A (en) Information pushing method and apparatus
WO2020161139A3 (en) Method of producing ions and apparatus
EP4093157A3 (en) Method for use with a radiotherapy device
WO2016092368A3 (en) Plasma generator with at least one non-metallic component
TW200620372A (en) Electron injection in ion implanter magnets
MX384924B (es) Aparato para procesar una se?al de audio de entrada y metodo correspondiente
FI20011634A7 (fi) Jänniteohjattu vastus ja ohjausmenetelmä
JP6898928B2 (ja) プラズマ浸漬イオン注入装置の制御方法及びバイアス供給装置
DK1585597T3 (da) Fremgangsmåde ved computerstöttet styring af processen i et fragmenteringsanlæg
WO2020142128A3 (en) Safe transport of shaped charges