PL428301A1 - Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metoda techniki plazmowej - Google Patents

Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metoda techniki plazmowej

Info

Publication number
PL428301A1
PL428301A1 PL428301A PL42830118A PL428301A1 PL 428301 A1 PL428301 A1 PL 428301A1 PL 428301 A PL428301 A PL 428301A PL 42830118 A PL42830118 A PL 42830118A PL 428301 A1 PL428301 A1 PL 428301A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
precursor
hydrophobic coating
ceramic tiles
discharge
plasma technique
Prior art date
Application number
PL428301A
Other languages
English (en)
Other versions
PL241483B1 (pl
Inventor
Jacek Tyczkowski
Maciej MAKOWSKI
Ryszard Kapica
Original Assignee
Politechnika Łódzka
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Łódzka filed Critical Politechnika Łódzka
Priority to PL428301A priority Critical patent/PL241483B1/pl
Publication of PL428301A1 publication Critical patent/PL428301A1/pl
Publication of PL241483B1 publication Critical patent/PL241483B1/pl

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metodą techniki plazmowej polega na przygotowaniu powierzchni płytek przy użyciu nierównowagowej, niskociśnieniowej plazmy generowanej w wyładowaniu jarzeniowym o częstotliwości akustycznej w zakresie 20 - 40 kHz lub radiowej 13,56 MHz, w niepolimeryzującym gazie roboczym, w warunkach stacjonarnych lub przy przepływie gazu roboczego, a następnie na tak przygotowaną powierzchnię płytek nanosi się warstwę hydrofobową w postaci amorficznej, uwodornionej warstwy krzemowęglowej, za pomocą plazmy generowanej w wyładowaniu jarzeniowym o częstotliwości akustycznej w zakresie 20 - 40 kHz lub radiowej 13,56 MHz w obecności par lotnego związku krzemoorganicznego jako prekursora tej warstwy i ewentualnie gazu nośnego, w warunkach stacjonarnych przy ciśnieniu cząstkowym prekursora 0,5 - 150 Pa i ciśnieniu cząstkowym gazu nośnego do 100 Pa, lub przy przepływie par prekursora z prędkością 0,1 - 10 cm3/min i gazu nośnego z prędkością do 100 cm3/min.
PL428301A 2018-12-27 2018-12-27 Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metodą techniki plazmowej PL241483B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL428301A PL241483B1 (pl) 2018-12-27 2018-12-27 Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metodą techniki plazmowej

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL428301A PL241483B1 (pl) 2018-12-27 2018-12-27 Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metodą techniki plazmowej

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL428301A1 true PL428301A1 (pl) 2020-06-29
PL241483B1 PL241483B1 (pl) 2022-10-10

Family

ID=71124936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL428301A PL241483B1 (pl) 2018-12-27 2018-12-27 Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metodą techniki plazmowej

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL241483B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL241483B1 (pl) 2022-10-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE278817T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur plasmabeschichtung von oberflächen
MX2015014659A (es) Proceso y aparato para endurecer termoquimicamente piezas a trabajar.
WO2012145492A3 (en) Apparatus for deposition of materials on a substrate
RU2009137553A (ru) Способ нанесения высокопрочного покрытия на изделия и/или производственные материалы
GB0406049D0 (en) Surface coatings
WO2005026409A3 (en) Replaceable plate expanded thermal plasma apparatus and method
TW201614727A (en) Method of depositing insulation layer on deep trench having high aspect ratio
GB0212848D0 (en) Introduction of liquid/solid slurry into an exciting medium
RU2008114322A (ru) Способ и устройство для плазменной обработки пористого тела
NZ583035A (en) Method and device for spraying a pulverulent material into a carrier gas
ATE510241T1 (de) Verfahren zum ausstossen von zwischen einem substrat und einer form befindlichen gas
DE60336920D1 (de) Verfahren zur atomschichtabscheidung
MX2018006317A (es) Metodo y dispositivo para promover la adhesion de superficies metalicas.
MY210440A (en) Dlc preparation apparatus and preparation method
SG165221A1 (en) Substrate treating apparatus and method
MX2021014416A (es) Sistema y metodo para recubrir una superficie.
RU2018140962A (ru) TiCN С СОКРАЩЕННЫМИ ДЕФЕКТАМИ РОСТА С ПОМОЩЬЮ HiPIMS
RU2014108988A (ru) Керамическая плитка для футеровки камер сгорания, в частности газовых турбин, и способ ее производства
MX2018014565A (es) Metodo de revestimiento, revestimiento termico y cilindro teniendo revestimiento termico.
WO2012134070A3 (ko) 가스 주입 장치, 원자층 증착장치 및 이 장치를 이용한 원자층 증착방법
PL428301A1 (pl) Sposób wytwarzania trwałej, hydrofobowej powłoki na powierzchni płytek ceramicznych metoda techniki plazmowej
GB2437235A (en) Method and apparatus for producing a coating of substrate
EP4599950A3 (en) Gas knife using parallelogram flow
RU2013132038A (ru) Способ получения многослойного градиентного покрытия методом магнетронного напыления
WO2005099320A3 (de) Verfahren und vorrichtung zum erzeugen eines niederdruckplasmas und anwendungen des niederdruckplasmas