PL438867A1 - Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE - Google Patents

Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE

Info

Publication number
PL438867A1
PL438867A1 PL438867A PL43886721A PL438867A1 PL 438867 A1 PL438867 A1 PL 438867A1 PL 438867 A PL438867 A PL 438867A PL 43886721 A PL43886721 A PL 43886721A PL 438867 A1 PL438867 A1 PL 438867A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
manipulator
base plates
applying layers
frame
mbe device
Prior art date
Application number
PL438867A
Other languages
English (en)
Other versions
PL245773B1 (pl
Inventor
Andrzej Mycielski
Marek Zubrzycki
Dominika Kochanowska
Original Assignee
Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk filed Critical Instytut Fizyki Polskiej Akademii Nauk
Priority to PL438867A priority Critical patent/PL245773B1/pl
Publication of PL438867A1 publication Critical patent/PL438867A1/pl
Publication of PL245773B1 publication Critical patent/PL245773B1/pl

Links

Landscapes

  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE. Manipulator ten posiada część mocującą płytki w postaci umieszczonej na jednym drążku manipulacyjnym (1) ramki (2), część zabezpieczającą w postaci umieszczonej na drugim drążku manipulacyjnym (3) przesłony (4) oraz flanszę/tarczę (5), w której osadzone są umieszczone w próżnioszczelnych przepustach drążki (1 i 3). Ramka (2) od strony połączenia z drążkiem (1) posiada na stałe przymocowany do niej element (6) pozycjonujący położenie płytek podłożowych (7) z jednej strony oraz połączony suwliwie z ramką (2) element (8), stabilizujący położenie płytek (7) z drugiej strony.
PL438867A 2021-09-02 2021-09-02 Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE PL245773B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL438867A PL245773B1 (pl) 2021-09-02 2021-09-02 Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL438867A PL245773B1 (pl) 2021-09-02 2021-09-02 Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL438867A1 true PL438867A1 (pl) 2023-03-06
PL245773B1 PL245773B1 (pl) 2024-10-14

Family

ID=85413230

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL438867A PL245773B1 (pl) 2021-09-02 2021-09-02 Manipulator do nanoszenia warstw na płytki podłożowe w urządzeniu MBE

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL245773B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL245773B1 (pl) 2024-10-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG11201907482YA (en) Pellicle, exposure original plate, exposure device, and semiconductor device manufacturing method
EP3648932A4 (en) GAS SPRING DRIVER
EP3964041A4 (en) Electronic device including heat dissipation structure
BR112019001425A2 (pt) dispositivo de dissipação de calor de multicamadas compreendendo capacidades de armazenagem de calor para um dispositivo eletrônico
EP2570811A3 (en) Droplet actuator devices and methods employing magnetic beads
FR3088670B1 (fr) Actionneur electromecanique et dispositif d'occultation comprenant un tel actionneur
PH12020551433A1 (en) Temporary protective film for semiconductor sealing molding, lead frame with temporary protective film, sealed molded body with temporary protective film, and method for producing semiconductor device
EP3764161A4 (en) PELLICLE, EXPOSURE MASTER, EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR COMPONENT
EP4081864A4 (en) RETICLE POD WITH BASE PLATE RETENTION
EP3573123A4 (en) PROTECTIVE FILM FOR LOWER PART OF OLED PANEL, AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY CONTAINING IT
EP3876513A4 (en) CAMERA ACTUATOR AND CAMERA MODULE WITH IT
PH12018500836A1 (en) Curable resin film and first protective film forming sheet
EP3779594A4 (en) SUPPORTING FRAME FOR PELLICLES, PELLICLES, METHOD FOR MANUFACTURING IT, EXPOSURE MASTER THEREOF, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
AR054027A1 (es) Dispositivos oftalmicos fotocromicos hechos con un sistema iniciador dual
EP3869238A4 (en) RADIATION IMAGING DEVICE
CA2916167A1 (en) Reduction of scale build-up in an evaporative cooling apparatus
ATE531994T1 (de) Wärmeableitung
TW200641549A (en) Mask clamp-moving mechanism, and film deposition apparatus
FR2413016A1 (fr) Circuits imprimes multicouches a collecteur thermique incorpore
JP2017516314A5 (pl)
EP3793833A4 (en) FLUIDIC NOZZLE WITH LOW VOLTAGE MONITORING CIRCUIT WITH A HIGH VOLTAGE TOLERANT TRANSISTOR
EP3722837A4 (en) RADIATION IMAGING DEVICE
ES2578268A1 (es) Dispositivo de unión entre un mástil y un cuerpo de un instrumento musical con cuerdas e instrumento musical con cuerdas que lo contiene
EP4327456A4 (en) DIGITAL MULTIBAND PRE-EQUALIZER WITH REDUCED DIMENSIONAL REQUIREMENTS
WO2018162988A3 (en) Drilling devices and methods of operating the same