PL440869A1 - Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych - Google Patents

Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych Download PDF

Info

Publication number
PL440869A1
PL440869A1 PL440869A PL44086922A PL440869A1 PL 440869 A1 PL440869 A1 PL 440869A1 PL 440869 A PL440869 A PL 440869A PL 44086922 A PL44086922 A PL 44086922A PL 440869 A1 PL440869 A1 PL 440869A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
sub
shaft
angular
axis
pusher
Prior art date
Application number
PL440869A
Other languages
English (en)
Other versions
PL246642B1 (pl
Inventor
Marek Dobosz
Original Assignee
Politechnika Warszawska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Warszawska filed Critical Politechnika Warszawska
Priority to PL440869A priority Critical patent/PL246642B1/pl
Publication of PL440869A1 publication Critical patent/PL440869A1/pl
Publication of PL246642B1 publication Critical patent/PL246642B1/pl

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
    • G01B9/02072—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer by calibration or testing of interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych wału (1) testowanego enkodera kątowego (2) w płaszczyźnie XY prostopadłej do osi wału (1), do którego zamocowano ramię (4) obracające się wraz z wałem (1) w płaszczyźnie XY prostopadłej do osi wału (1), w wyniku przemieszczeń liniowych platformy (6) wymuszanych napędem ręcznym lub silnikowym urządzenia pozycjonującego (7) przemieszczającej się w płaszczyźnie XY, której pozycja w płaszczyźnie przemieszczeń jest mierzona przy pomocy pierwszego liniowego układu pomiarowego (11) i drugiego liniowego układu pomiarowego (12), a platforma (6) ma dołączony popychacz (8) do wymuszania obrotów kątowych wału (1) testowanego enkodera kątowego (2) za pośrednictwem ramienia (4), a mierzone przez układy pomiarowe (11) i (12) współrzędne XY; (X<sub>α0</sub>;Y<sub>α0</sub>) i (X<sub>α1</sub>;Y<sub>α1</sub>) w dwóch porównywanych pozycjach kątowych α<sub>0</sub> i α<sub>1</sub> wału (1) przesyłane są do komputera/procesora (17), w którym zadaje się pozycję początkową (X<sub>0</sub>;Y<sub>0</sub>) popychacza (8), w której to pozycji jego oś pokrywa się w przybliżeniu z osią obrotu ramienia (4), i która to pozycja jest wskazywana przez pierwszy liniowy układ pomiarowy (11) i drugi liniowy układ pomiarowy (12), następnie przemieszcza się przy pomocy platformy (6), popychacz (8) w kierunku prostopadłym do osi wału (1) o odległość r do pierwszej pozycji o współrzędnych (X<sub>0</sub>+rcosα<sub>0z</sub>; Y<sub>0</sub>+rsinα<sub>0z</sub>) mierzonej przez pierwszy liniowy układ pomiarowy (11) i drugi liniowy układ pomiarowy (12), gdzie α<sub>0z</sub> stanowi żądaną pierwszą/początkową pozycją kątową odchylenia popychacza (8) względem osi X, r jest zadaną ustaloną wartością, a następnie przemieszcza się, przy pomocy platformy (6), popychacz (8) do drugiej pozycji określonej współrzędnymi (X<sub>0</sub>+rcos(α<sub>1z</sub>);Y<sub>0</sub>+rsin(α<sub>1z</sub>)), mierzonej przez pierwszy liniowy układ pomiarowy (11) i drugi liniowy układ pomiarowy (12), gdzie α<sub>1z</sub> stanowi żądaną drugą/końcową pozycją kątową odchylenia popychacza (8) względem osi X, a różnicę α<sub>1z</sub>-α<sub>0z</sub> przyjmuje się jako zadany obrót wału (1).

Description

Sposób zadawania precyzyjnych obrotów katowych z uzyciem interferometru laserowego w szczególnosci do kalibracji enkoderów katowych Przedmiotem wynalazku jest sposób zadawania precyzyjnych obrotów katowych z uzyciem najkorzystniej interferometru laserowego. Proponowany sposób moze byc zastosowany miedzy innymi do kalibracji (wzorcowania) enkoderów katowych. Enkodery katowe (zwane równiez przetwornikami obrotowo impulsowymi) sa to komercyjnie szeroko dostepne urzadzenia do pomiaru kata obrotu w zakresie 360°. Enkoder katowy zawiera wal lub pierscien, którego kat obrotu jest mierzony i wskazywany przez to urzadzenie w formie elektronicznej w postaci cyfrowej. Enkodery katowe jak wszystkie urzadzenia pomiarowe poddaje sie kalibracji (wzorcowaniu). Polega ona na porównania kata obrotu wskazywanego przez enkoder z urzadzeniem referencyjnym. W ten sposób mozna ustalic bledy wskazan enkodera i ewentualnie je skorygowac. Z opisu znajdujacego sie na przyklad w wytycznych normy (Guidelines on the Calibration of Angular Encoders EURAMET Calibration Guide No. 23 Version 1.0 (02/2018) ) znany jest sposób kalibracji enkodera testowanego przy uzyciu enkodera wzorcowego polegajacy na tym, ze do obrotowego stolu z jednej jego strony dolaczony jest wal testowanego enkodera a z drugiej strony wal enkodera wzorcowego. Korpusy obu enkoderów sa zamocowane nieruchomo. Osie obrotu enkoderów i stolu obrotowego pokrywaja sie. Stól obrotowy napedzany silnikiem lub recznie obraca oba waly porównywanych enkoderów. Dla zadawanych w ten sposób kolejno zadanych katów obrotu dokonuje sie rejestracji a nastepnie porównania katów wskazanych przez enkoder wzorcowy z enkoderem testowanym. Wada tego rozwiazania jest koniecznosc uzycia do kalibracji testowanego enkodera enkodera referencyjnego o wyzszej dokladnosci. Pojawia sie wiec problem jak skalibrowac enkoder bez uzycia enkodera referencyjnego gdy np. nie jest dostepne urzadzenie o odpowiednio wysokiej dokladnosci. Znany jest uklad interferometryczny (np.: https://www.renishaw.pl/pl/interferometr­ ze-zwierciadem-paskim-rld10--6483} do pomiarów polozenia w dwóch prostopadlych osiach (we wspólrzednych XV) stolu pozycjonujacego. Do platformy ruchomej stolu do dwóch wzajemnie prostopadlych jej boków dolaczone sa plaskie zwierciadla o dlugosci równej zakresowi przemieszczen platformy stolu. Pozycje kazdego ze zwierciadel w kierunku PL 440869 A1 2/14prostopadlym do jego plaszczyzny mierza interferometry laserowe (przy czym moga byc zasilane z jednego zródla swiatla; (moga to byc np. interferometry RLD10-PMI firmy Renischaw - link podany powyzej). W ten sposób ustalane sa zmiany polozenia platformy stolika w dwóch wzajemnie prostopadlych osiach (wspólrzednych XV). Do ustalania polozenia XV platformy stolika mozna zastosowac inne odpowiednio precyzyjne metody pomiarowe. Celem wynalazku jest opracowanie rozwiazania umozliwiajacego wzorcowanie testowanego enkodera bez uzycia enkodera wzorcowego natomiast przy uzyciu ukladu do pomiaru pozycji we wspólrzednych XV najkorzystniej przy uzyciu ukladu interferometrycznego. Sposób zadawania precyzyjnych obrotów katowych walu testowanego enkodera katowego w plaszczyznie XV prostopadlej do osi walu do którego zamocowano ramie obracajace sie wraz z walem w plaszczyznie XV prostopadlej do osi walu, w wyniku przemieszczen liniowych platformy wymuszanych napedem recznym lub silnikowym urzadzenia pozycjonujacego przemieszczajacej sie w plaszczyznie XV, której pozycja w plaszczyznie przemieszczen jest mierzona przy pomocy pierwszego liniowego ukladu pomiarowego i drugiego liniowego ukladu pomiarowego , a platforma ma dolaczony popychacz do wymuszania obrotów katowych walu testowanego enkodera katowego za posrednictwem ramienia a mierzone przez uklady pomiarowe wspólrzedne XV; (Xoc 0 ; YocJ i (Xoc 1 ; YocJ w dwóch porównywanych pozycjach katowych ao i ai walu przesylane sa do komputera/procesora charakteryzuje sie tym, ze zadaje sie pozycje poczatkowa (Xo;Vo) popychacza w której to pozycji jego os pokrywa sie w przyblizeniu z osia obrotu ramienia (4), i która to pozycja jest wskazywana przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy i drugi liniowy uklad pomiarowy, nastepnie przemieszcza sie, przy pomocy platformy, popychacz w kierunku prostopadlym do osi walu o odleglosc r do pierwszej pozycji o wspólrzednych (Xo +rcosaoz; Vo+rsinaoz) mierzonej przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy i drugi liniowy uklad pomiarowy, gdzie aoz stanowi zadana pierwsza/poczatkowa pozycja katowa odchylenia popychacza wzgledem osi X, r jest zadana ustalona wartoscia, a nastepnie PL 440869 A1 3/14przemieszcza sie, przy pomocy platformy, popychacz do drugiej pozycji okreslonej wspólrzednymi (Xo+rcos(a1z );Yo+rsin(a1z )), mierzonej przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy i drugi liniowy uklad pomiarowy, gdzie CX!z stanowi zadana druga/koncowa pozycja katowa odchylenia popychacza wzgledem osi X, a róznice aIz -aoz przyjmuje sie jako zadany obrót walu (1) Korzystnie, na podstawie zmierzonych przez uklady pomiarowe wspólrzednych (Xcx: 0 ; Ycx:J i (Xcx: 1 ; Ycx:J w dwóch porównywanych pozycjach katowych cxo i cxi walu przy pomocy komputera (17) wylicza sie wartosci katów au i a1 walu wg zaleznosci dla pozycji (Xcx: 0 Ycx: 0 ) CX:o= arccos [ (Xcx: 0 - X 0)/ j (Xcx: 0 - X 0 ) 2 + (Ycx: 0 - Y 0 ) 2 j lub CX:o= arcsin [ (Ycx: 0 - Y 0)/ j (Xcx: 0 - X 0 ) 2 + (Ycx: 0 - Y 0 ) 2 j a dla pozycji (Xcx: 1 Ycx:J odpowiednio w postaci: CX:1 = arccos [ (Xcx: 1 - X 0)/ J (Xcx: 1 - X 0 ) 2 + (Ycx: 1 - Y 0 ) 2 j lub CX: 1 = arcsin [ (Ycx: 1 - Y 0)/ j (Xcx: 1 - X 0 ) 2 + (Ycx: 1 - Y 0 ) 2 j a wygenerowany kat obrotu walu ex wyznacza sie jako róznice oc=cx: 1 -cx: 0 . Korzystnie, obliczony przez komputer/procesor kat obrotu ex porównuje sie z katem obrotu wskazywanym przez testowany enkoder katowy. Korzystnie, linowe uklady pomiarowe wspólrzednych XY polozenia popychacza platformy urzadzenia pozycjonujacego wykonano jako laserowe uklady interferometryczne mierzace polozenie zwierciadel plaskich i wzdluz osi X i Y przymocowanych do ruchomej platformy. Wynalazek zostal przedstawiony w przykladzie wykonania na rysunku, na którym fig 1 przestawia przekrój poprzeczny i widok z góry urzadzenia gdy wspólrzedne XY srodka platformy stolika odpowiadaja jego centralnemu polozeniu (Xo ;Yo) PL 440869 A1 4/14fig. 2 przedstawia przekrój poprzeczny i widok z góry urzadzenia gdy wspólrzedne XV srodka platformy stolika sa przesuniete o odcinek r do pozycji (Xoc 0 ; YocJ fig. 3 przedstawia przekrój poprzeczny i widok z góry urzadzenia gdy wspólrzedne XV srodka platformy stolika sa przesuniete do pozycji (Xoc 1 ; YocJ Do walu (1) testowanego enkodera katowego (2) zamocowanego na stelazu (3) dolaczono prostopadle do osi walu ramie (4) z wycietym kanalem (5). Ramie (4) obraca sie wraz z walem w plaszczyznie XV prostopadlej do osi walu (1). Obroty ramienia (4) a wiec i walu (1) enkodera (2) wymuszane sa przy pomocy przemieszczen liniowych XV platformy (6) urzadzenia pozycjonujacego (7) (przykladowe elementy przedstawiono np. na stronie internetowej https://www.standa.lt/products/catalog/motorised positioners?item=311). Platforma (6) ma dolaczony element popychajacy/popychacz (8), który umieszczony jest w kanale (5) ramienia (4) i sluzy do wymuszania obrotów katowych walu (1). Przy pomocy napedu recznego lub przy pomocy silników urzadzenia (7) zmieniana jest pozycja platformy (6) w prostopadlych osiach X i V a wraz z nia wspólrzedne XV zamocowanego na tej platformie popychacza (8), który umieszczony w kanale (5) ramienia (4) wymusza ruch obrotowy tego ramienia. Platforma (6) ma dolaczone na prostopadlych bokach pierwsze zwierciadlo plaskie (9) i drugie zwierciadlo plaskie (10), których pozycja w plaszczyznie przemieszczen jest mierzona przy pomocy pierwszego laserowego ukladu interferometrycznego (11) i drugiego laserowego ukladu interferometrycznego (12). Zasada dzialania takiego interferometru zostala opisana w wielu publikacjach np. w podreczniku „Handbook of Optical Dimensional Metrology" Edited by Kevin Harding. 1 st edition 2013 CRC Press. https://doi.org/10.1201/b13855 Rozdzial 4 strona 174 rys 4.15.). Dzialajace wg opisanej tam zasady sa komercyjnie dostepne urzadzenia: np. https://www.renishaw.pl/pl/interferometr-ze-zwierciadem-paskim-rld10--6483). Pomiary polozenia pierwszego zwierciadla (9) i drugiego zwierciadla (10), odbywaja sie przy pomocy, odpowiednio, pierwszej podwójnej wiazki laserowej (13) i drugiej podwójnej wiazki laserowej (14). Pierwsze zwierciadlo plaskie (9), pierwszy uklad optyczny (15) i pierwsza podwójna wiazka laserowa (13) tworza pierwszy laserowy uklad interferometryczny (11) mierzacy przemieszczenia wzdluz osi X. Typowy uklad interferometryczny zawiera dwa prostopadle do siebie ramiona. Monochromatyczne swiatlo ze zródla wpada do wnetrza ukladu i w centralnej czesci rozdziela sie na dwie wiazki na pólprzepuszczalnym zwierciadle. PL 440869 A1 /14Na koncu obu ramion znajduja sie zwierciadla, które zawracaja bieg promieni. Drugie zwierciadlo plaskie (10), drugi uklad optyczny (16) i druga podwójna wiazka laserowa (14) tworza drugi laserowy uklad interferometryczny (12) mierzacy przemieszczenia wzdluz osi Y. Wyniki pomiarów przemieszczen ukladów pomiarowych (11) i (12) w postaci wspólrzednych odpowiednio X i Y sa przesylane do komputera/procesora 17 i przez niego wyswietlane i rejestrowane W sposobie zadawania przemieszczen katowych walu (1) najpierw zadaje sie pozycje poczatkowa (Xo ;Yo) popychacza (8) w której to pozycji jego os pokrywa sie w przyblizeniu z osia obrotu ramienia (4), i która to pozycja jest wskazywana przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12) (Fig. 1). W nastepnym etapie, przemieszcza sie, przy pomocy platformy (6) popychacz (8) w kierunku prostopadlym do osi walu o odleglosc r do pozycji o przyblizonych wspólrzednych (Xo +rcosaoz; Yo+rsinaoz) która wskazuja odpowiednio pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12), (Fig. 2) przy czym CXIJz jest zadanym katem poczatkowym ustawienia walu (1), r jest zadana ustalona wartoscia. W kolejnym etapie, przemieszcza sie popychacz (8) za posrednictwem platformy (6) do pozycji o przyblizonych wspólrzednych (Xo+rcos(a12 );Yo+rsin(a12 )), która wskazuja odpowiednio pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) (w postaci pierwszego laserowego ukladu interferometrycznego) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12) (w postaci drugiego laserowego ukladu interferometrycznego), (Fig. 3) przy czym aiz -aoz = az stanowi zadany kat obrotu walu (1) wzgledem ustalonego kata poczatkowego a1Jz. Wspólrzedne polozenia (Xo +rcosaoz; Yo+rsinaoz) oraz (Xo+rcos(wz );Yo+rsin(a12 )) nie musza byc zadawane precyzyjnie. Przemieszczenia platformy (6) urzadzenia pozycjonujacego (7) mozna zrealizowac np. prostym silnikiem krokowym lub nawet recznie. Nominalnej, zadanej pozycji srodka platformy okreslonej teoretycznymi wspólrzednymi (Xo+rcosa.oz;Yo+rsina.oz) odpowiadaja wskazywane przez dokladne uklady pomiarowe (11) i (12) wspólrzedne (Xoc 0 ; YocJ srodka platformy i odpowiadajaca jej dokladna pozycja katowa walu (1) enkodera a.o. Podobnie zadanej pozycji okreslonej wspólrzednymi (Xo+rcos(a.iz );Yo+rsin(a.iz )) odpowiadaja wskazywane przez uklady pomiarowe (11) i (12) dokladne wspólrzedne (Xoc 1 ; YocJ srodka platformy i odpowiadajaca jej dokladna pozycja katowa a.1 walu (1) enkodera. PL 440869 A1 6/14W sposobie wg wynalazku mierzone/wskazywane przez uklady pomiarowe (11) i (12) wspólrzedne (Xoc 0 ; YocJ i (Xoc 1 ; YocJ w dwóch porównywanych pozycjach katowych au i a1 walu (1) przesylane sa do komputera/procesora (17) w którym wartosci katów an i a1 walu niezaleznie od tego jak byly zadane oblicza sie wg zaleznosci dla pozycji (Xoc 0 ; Yoc 0 ) CXo= arccos [ (Xoc 0 - Xo)/ ? (Xoc 0 - Xo) 2 + (Yoc 0 - Yo) 2 j lub CXo= arcsin [ (Yoc 0 - Yo)/? (Xoc 0 - X 0 ) 2 + (Yoc 0 - Y 0 ) 2 j a dla pozycji (Xoc 1 ; YocJ odpowiednio w postaci: CX1 = arccos [ (Xoc 1 - X 0)/ ? (Xoc 1 - x0 )2 + (Yoc 1 - Y 0 ) 2 j CX1 = arcsin [ (Yoc 1 - Yo)/? (Xoc 1 - X 0 ) 2 + (Yoc 1 - Y 0 ) 2 j a zadawany kat a wyznacza sie jako róznice cx=cx 1 -cx 0 lub Dwie pozycje katowe wyznacza sie celem okreslenia róznicy miedzy nimi czyli zadawanego kata a. Zadany kat obrotu ex traktuje sie jako referencyjny i porównuje sie z katem obrotu wskazywanym przez testowany enkoder katowy (2) wyznaczajac blad wskazan tego enkodera. Korzystnie, jezeli linowe uklady pomiarowe wspólrzednych XV polozenia popychacza (8) platformy (6) urzadzenia pozycjonujacego (7) mierzone sa przy pomocy dwóch laserowych ukladów interferometrycznych (11) i (12) mierzacych polozenie zwierciadel plaskich (9) i (10) przymocowanych do ruchomej platformy (6) PL 440869 A1 7/14Lista oznaczen odsylajacych 1-wal 2 - testowany enkoder katowy 3 - stelaz 4- ramie S - kanal 6 - platforma 7 - urzadzenie pozycjonujace 8 - element popychajacy/popychacz 9 - pierwsze zwierciadlo - drugie zwierciadlo 11 - pierwszy laserowy uklad interferometryczny 12 - drugi laserowy uklad interferometryczny 13 - pierwsza podwójna wiazka laserowa 14 - druga podwójna wiazka laserowa - pierwszy uklad optyczny interferometru 16 - drugi uklad optyczny interferometru 17 - komputer/procesor aoz - pierwsza zadana/ustawiona pozycja katowa walu me druga zadana/ustawiona pozycja katowa walu ao - pierwsza wyliczona pozycja katowa walu ai- druga wyliczona pozycja katowa walu PL 440869 A1 8/14Zastrzezenia patentowe 1. Sposób zadawania precyzyjnych obrotów katowych walu (1) testowanego enkodera katowego (2) w plaszczyznie XY prostopadlej do osi walu (1) do którego zamocowano ramie (4) obracajace sie wraz z walem (1) w plaszczyznie XY prostopadlej do osi walu (1), w wyniku przemieszczen liniowych platformy (6) wymuszanych napedem recznym lub silnikowym urzadzenia pozycjonujacego (7) przemieszczajacej sie w plaszczyznie XY, której pozycja w plaszczyznie przemieszczen jest mierzona przy pomocy pierwszego liniowego ukladu pomiarowego (11) i drugiego liniowego ukladu pomiarowego (12), a platforma (6) ma dolaczony popychacz (8) do wymuszania obrotów katowych walu (1) testowanego enkodera katowego (2) za posrednictwem ramienia (4) a mierzone przez uklady pomiarowe (11) i (12) wspólrzedne XY; (Xoc 0 ; YocJ i (Xoc 1 ; YocJ w dwóch porównywanych pozycjach katowych cxn i cx1 walu (1) przesylane sa do komputera/procesora (17) znamienny tym, ze zadaje sie pozycje poczatkowa (Xo;Yo) popychacza (8) w której to pozycji jego os pokrywa sie w przyblizeniu z osia obrotu ramienia (4), i która to pozycja jest wskazywana przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12), nastepnie przemieszcza sie, przy pomocy platformy (6), popychacz (8) w kierunku prostopadlym do osi walu (1) o odleglosc r do pierwszej pozycji o wspólrzednych (Xo +rcoscxoz; Yo+rsincxnz) mierzonej przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12), gdzie cxoz stanowi zadana pierwsza/poczatkowa pozycja katowa odchylenia popychacza (8) wzgledem osi X, r jest zadana ustalona wartoscia, a nastepnie przemieszcza sie, przy pomocy platformy (6), popychacz (8) do drugiej pozycji okreslonej wspólrzednymi (Xo+rcos(mz );Yo+rsin(mz )), mierzonej przez pierwszy liniowy uklad pomiarowy (11) i drugi liniowy uklad pomiarowy (12), gdzie mz stanowi zadana druga/koncowa pozycja katowa odchylenia popychacza (8) wzgledem osi X, a róznice cx12 -aoz przyjmuje sie jako zadany obrót walu (1) 2. Sposób wg zastrzezenia 1 znamienny tym, ze na podstawie zmierzonych przez uklady pomiarowe (11) i (12) wspólrzednych (Xoc 0 ; Ycx:J i (Xcx: 1 ; Ycx:J w dwóch porównywanych PL 440869 A1 9/14pozycjach katowych ao i a1 walu (1) przy pomocy komputera (17) wylicza sie wartosci katów ao i a1 walu wg zaleznosci dla pozycji (Xo:: 0 Yo:: 0 ) CX:o= arccos [ (Xo:: 0 - X 0)/ j (Xo:: 0 - X 0 ) 2 + (Yo:: 0 - Y 0 ) 2 j lub CX:o= arcsin [ (Yo:: 0 - Y 0)/ j (XC( 0 - X 0 ) 2 + (YC( 0 - Y 0 ) 2 j a dla pozycji (XC( 1 YC(J odpowiednio w postaci: CX:1 = arccos [ (XC( 1 - X 0)/ j (Xo:: 1 - x0 )2 + (Yo:: 1 - Y 0 ) 2 j lub cx: 1 = arcsin [ (YC( 1 - Y 0)/ J (XC( 1 - X 0 ) 2 + (Yo:: 1 - Y 0 ) 2 j a wygenerowany kat obrotu walu a wyznacza sie jako róznice cx:=cx: 1 -cx: 0 . 3. Sposób wg zastrzezenia 2 znamienny tym, ze obliczony przez komputer/procesor kat obrotu ex: porównuje sie z katem obrotu wskazywanym przez testowany enkoder katowy (2). 4. Sposób wg zastrzezenia 1 albo 2 albo 3 znamienny tym, ze linowe uklady pomiarowe (11) i (12) wspólrzednych XV polozenia popychacza (8) platformy (6) urzadzenia pozycjonujacego (7) wykonano jako laserowe uklady interferometryczne mierzace polozenie zwierciadel plaskich (9) i (10) wzdluz osi X i Y przymocowanych do ruchomej platformy (6). PL 440869 A1 /141 5 11 --~-9---1 r +--- i I 15 I A-A I I I I I I I I I L __ _ Yn I 12 V,L _J X Fig. PL 440869 A1 11/14X Fig. 2 PL 440869 A1 12/14r---~__, A A-A X Fig. 3 PL 440869 A1 13/14al. Niepodleglosci 188/192 00-950 Warszawa, skr. poczt. 203 URZAD PATENTOWY RZECZYPOSPOLITEJ POLSKIEJ tel.: (+48) 22 579 OS SS I fax: (+48) 22 579 00 01 e-mail: kontakt@uprp.gov.pl I www.uprp.gov.pl SPRAWOZDANIE O STANIE TECHNIKI DO ZGLOSZENIA NR P.440869 Klasyfikacja zgloszenia: GOlB 9/02 Podklasy w któ0 eh prowadzono poszukiwania: GO 1B9 Baz) komputerowe,, któ1ych pro\\ adzono poszukiwania: EPODOC WPI bazy UPRP Kategoria dokumentu A A A A Dokwncnt) - z podana idcnty fikacja US2019346251 Al (ZYGO CORP) 2019-11-14 US2019265019 Al (ASiVlL NETHERLANDS BY) 2019-08-29 US2005083537 A 1 (ZYGO CORP) 2005-04-21 W002090880 Al (KUECHEL MICHAEL) 2002-11-14 D Dalszy ciag "ykazn dokumentów na nastepnej stronie A- dokument okreslajacy ogólny stan techmki. ktory nie Jest uwazany za postada1acv szczególne znaczenie. E - doh.ument stanowiacy "czesniejsLe zgluszenie lub patent. ale opubhk.owauy \V lub po dacie zgloszema, Odniesienie do zastrz. 1-4 1-4 1-4 1-4 L doh.umcnt. l....LOI) muzc podda\\ ac w walpli\\ osc zastrzegane picrw1:iLciLSl\\ o(-wa). lub przy Loczon~ w celu u::itaknia dal)' publ.tl .... acji rnncgo cy towancgo dol....umcntu lub 1. innc~o ;;1.c1.cgól11cgo P°'Hlclll, O - doklm1cnt oclnos7.qc:v sii; clo 11_i;nn1lc11ln 11st11c_!:!0 pr7.C7 zn"tosownnlc. v;:vst;nvicnlc lnh Himn1lc11ic YV l11ny sp0s6h. P - dokument opublikowauv przed d3ta zgloszeuia. ale pói.niej uiz zastrzegana data pierwszenstwa. T - dokument pózme_1szv, opublikowany po dacie zgloszema lub w dacte pterwszenstwa 1 mebedacy w konfltkcte ze zgloszemem, ale c\lowanv" celu zrozullllema Lasad lub teoni leL.acyd1 u podstaw v, ynalazk.u. X - dokumc11L o ::D.::zcgólu: m LHaczcuiu: wstrLcgauy wy 1ialazck nic nwzc by c U\\ az,m) za HO\\ y lub 11.ic mozc byc Uv\·azauy La pusiada1<-l:c: puzium \\ y 11.alaLcz:, jczch ten clol\11111c11t br~111y jest pod uwa&i; samocLt:iclnic, Y - cloklm1cnt o S7.C7cg01nym 7.nnczcnln: 7a"tr7C·gnnv w:v11nln7.ck nlc m07.c byc nn-n7any zn posincfa_jqc:v po7.10m wy11nlazc7.y. ic7.ch ten clok11mcnt 7.0SUmic p01qc7.011:v 7 ieduvm lub kilkoma te~o tvpn dokumen13mi. a takie polac1.e11ie bedzie oczvwiste dla znawcv. & - dokument nalezacy do teJ sameJ rodzim patemoweJ. Sprawozdanie wykonal/-a: Mieszko Pindera Naczelnik Wydzialu Data: 04.01.2023 Uwagi do zgloszenia Sprawozdanie zostalo wykonane w oparciu o zastrz, z dnia 6,04.2022r, Podpis: /podpisano kwalifikowanym podpisem elektronicznym/ Pismo wydane w formie dokumentu elektronicznego PL 440869 A1 14/14 PL PL PL PL PL
PL440869A 2022-04-06 2022-04-06 Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych PL246642B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL440869A PL246642B1 (pl) 2022-04-06 2022-04-06 Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL440869A PL246642B1 (pl) 2022-04-06 2022-04-06 Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL440869A1 true PL440869A1 (pl) 2023-10-09
PL246642B1 PL246642B1 (pl) 2025-02-17

Family

ID=88289484

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL440869A PL246642B1 (pl) 2022-04-06 2022-04-06 Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL246642B1 (pl)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002090880A1 (en) * 2001-05-03 2002-11-14 Michael Kuechel Reducing coherent artifacts in an interferometer
US20050083537A1 (en) * 2003-10-20 2005-04-21 Michael Kuchel Reconfigurable interferometer system
US20190265019A1 (en) * 2016-07-13 2019-08-29 Asml Netherlands B.V. Cyclic error measurements and calibration procedures in interferometers
US20190346251A1 (en) * 2016-11-18 2019-11-14 Zygo Corporation Method and apparatus for optimizing the optical performance of interferometers

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002090880A1 (en) * 2001-05-03 2002-11-14 Michael Kuechel Reducing coherent artifacts in an interferometer
US20050083537A1 (en) * 2003-10-20 2005-04-21 Michael Kuchel Reconfigurable interferometer system
US20190265019A1 (en) * 2016-07-13 2019-08-29 Asml Netherlands B.V. Cyclic error measurements and calibration procedures in interferometers
US20190346251A1 (en) * 2016-11-18 2019-11-14 Zygo Corporation Method and apparatus for optimizing the optical performance of interferometers

Also Published As

Publication number Publication date
PL246642B1 (pl) 2025-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI471535B (zh) 用來判斷關於沿著編碼器刻度之自由度改變的資訊的方法、編碼器系統、光刻系統、光刻方法
US20220214193A1 (en) Displacement measuring apparatus, displacement measuring method and photolithography device
US10352817B2 (en) Device and method for geometrically measuring an object
CN100464158C (zh) 激光测距装置
US6922899B2 (en) Rotary encoder
EP4248171B1 (en) Optical-based validation of orientations of surfaces
JPH01502529A (ja) 機械較正装置およびその装置による較正方法
US20180203119A1 (en) Method of operating a confocal white light sensor on a coordinate measuring machine
JP6887644B2 (ja) 校正装置及び校正方法
JP3751928B2 (ja) レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置
CN103292728B (zh) 一种高精度长程面形检测系统及检测方法
JP3618450B2 (ja) 多軸レーザ干渉測長機
EP0414559B1 (en) Optical angle measuring apparatus
US6907372B1 (en) Device for position indication and detection of guidance errors
PL246642B1 (pl) Sposób zadawania precyzyjnych obrotów kątowych z użyciem interferometru laserowego w szczególności do kalibracji enkoderów kątowych
JPH095059A (ja) 平面度測定装置
JP2010169402A (ja) 変位測定装置及び変位測定方法
Eves The NRC autocollimator calibration facility
KR101444833B1 (ko) 문형 이송기계의 레이저간섭계를 이용한 동기이송 오차 제어 장치 및 방법
JP2003194523A (ja) 測長装置
JP2005195545A (ja) 3次元形状測定方法及び装置
JP2003269909A (ja) 形状測定方法及び干渉測定装置、並びに投影光学系の製造方法及び投影露光装置
JP4995270B2 (ja) 少なくとも一つのスライド方向に沿って移動可能な物体の位置を計測するための装置
JPH056845B2 (pl)
JP2003035526A (ja) 透過型ゾーンプレート、反射型ゾーンプレート、形状測定方法、干渉測定装置、及び投影光学系の製造方法