PL447643A1 - Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie - Google Patents

Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie

Info

Publication number
PL447643A1
PL447643A1 PL447643A PL44764324A PL447643A1 PL 447643 A1 PL447643 A1 PL 447643A1 PL 447643 A PL447643 A PL 447643A PL 44764324 A PL44764324 A PL 44764324A PL 447643 A1 PL447643 A1 PL 447643A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
application
chamber
pressure
subject
power generation
Prior art date
Application number
PL447643A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomasz Skotnicki
Maciej Haras
Original Assignee
Politechnika Warszawska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Warszawska filed Critical Politechnika Warszawska
Priority to PL447643A priority Critical patent/PL447643A1/pl
Publication of PL447643A1 publication Critical patent/PL447643A1/pl
Priority to PCT/PL2025/050006 priority patent/WO2025165250A1/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/308—Membrane type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/18—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Hybrid Cells (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Przedmiotem zgłoszenia jest moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury charakteryzujący się tym, że zawiera hermetyczną komorę (5) zawierającą dno oraz ścianki, przy czym ścianki komory (5) stanowi krzemowa warstwa podłożowa (3), na której umieszczona jest warstwa tlenku zagrzebanego (2), a dno stanowi pokrywka hermetyzująca (4), na której znajduje się płynna warstwa substancji poddanej przemianie fazowej podczas pracy modułu (12), ponadto wnęka jest zamknięta od góry bistabilną membraną (1), podatną na odkształcenie pod wpływem różnicy ciśnień pomiędzy wnętrzem, a zewnętrzem komory (5), na membranie umieszczona jest warstwa piezoelektryczna (7), na której umieszczona jest metalowa elektroda (6), jednocześnie na elektrodzie metalowej (6) umieszczony jest pierwszy kontakt elektryczny (9), a na membranie krzemowej (1) umieszczony jest drugi kontakt elektryczny (10), jednocześnie we wnętrzu komory (5) znajduje się płynna substancja, której część ulega przemianie fazowej ciecz-gaz podczas pracy modułu (11). Przedmiotem zgłoszenia jest również zestaw modułów zgodnie z zastrzeżeniem od 1 do 2, połączonych równolegle lub szeregowo w matrycę modułów. Przedmiotem zgłoszenia jest także zastosowanie zestawu modułu wg wynalazku do zasilania węzłów sieci IoT.
PL447643A 2024-01-30 2024-01-30 Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie PL447643A1 (pl)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL447643A PL447643A1 (pl) 2024-01-30 2024-01-30 Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie
PCT/PL2025/050006 WO2025165250A1 (en) 2024-01-30 2025-01-30 Energy generation module comprising pressure or temperature transducer, set of modules connected in series or in parallel, and use thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL447643A PL447643A1 (pl) 2024-01-30 2024-01-30 Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL447643A1 true PL447643A1 (pl) 2024-07-29

Family

ID=91971296

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL447643A PL447643A1 (pl) 2024-01-30 2024-01-30 Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów połączonych szeregowo lub równolegle i ich zastosowanie

Country Status (2)

Country Link
PL (1) PL447643A1 (pl)
WO (1) WO2025165250A1 (pl)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012078246A (ja) * 2010-10-04 2012-04-19 Ricoh Co Ltd 電気素子、集積素子及び電子回路

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2001297790B2 (en) * 2000-10-25 2006-10-12 Washington State University Research Foundation Piezoelectric micro-transducers, methods of use and manufacturing methods for same
KR100466373B1 (ko) * 2001-12-31 2005-01-14 한국과학기술연구원 미소 전자 기계 구조의 발전기
KR100524343B1 (ko) * 2003-10-30 2005-10-28 한국과학기술연구원 이중 박막을 갖는 마이크로 시스템용 발전기
US8759990B2 (en) * 2011-04-19 2014-06-24 Eastman Kodak Company Energy harvesting device including MEMS composite transducer
FR2982424B1 (fr) * 2011-11-09 2014-01-10 Commissariat Energie Atomique Systeme de conversion d'energie thermique en energie electrique a efficacite amelioree
EP4243273B1 (en) * 2022-03-08 2025-04-16 Instytut Wysokich Cisnien Polskiej Akademii Nauk An energy generation module and a method of energy harvesting using fluctuations of pressure

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012078246A (ja) * 2010-10-04 2012-04-19 Ricoh Co Ltd 電気素子、集積素子及び電子回路

Also Published As

Publication number Publication date
WO2025165250A1 (en) 2025-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101774529B (zh) 一种mems原子腔芯片及其制备方法
CN108631731B (zh) 振荡器、电子设备以及移动体
US6806624B2 (en) Microelectromechanical generator using bubbles
EP1528609B1 (en) Generator for use with a micro system having dual diaphragms
US20090015106A1 (en) Piezoelectric device
TW201212526A (en) Voltage controlled temperature compensated crystal oscillator
US10389363B2 (en) Oscillator, electronic apparatus, and vehicle
US8033177B2 (en) MEMS pressure sensor and housing therefor
EP1681705A1 (en) Plasma processing apparatus
JP3873902B2 (ja) 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
US11575079B2 (en) Vibration device
CN109782572A (zh) 一种芯片级原子钟原子气室的mems制作方法
US9177994B2 (en) Integrated thermoelectric generator
RU2349025C1 (ru) Способ изготовления миниатюрного кварцевого генератора (резонатора) - термостата
PL447645A1 (pl) Moduł wytwarzania energii zawierający przetwornik ciśnienia lub temperatury, zestaw modułów i ich zastosowanie
US20190002277A1 (en) Micromechanical component
US20250369808A1 (en) Heat flux sensor device and method of manufacture thereof
Zega et al. Thermal stability of DETF MEMS resonators: Numerical modelling and experimental validation
Schjølberg-Henriksen et al. Anodic bonding for monolithically integrated MEMS
Ghanam et al. MEMS self-packaged capacitive absolute pressure and force sensors for high-temperature application
WO2025165250A1 (en) Energy generation module comprising pressure or temperature transducer, set of modules connected in series or in parallel, and use thereof
Wu et al. A 2 Hz, 1.2-2 V, 0.22-9 nW, 0.007 mm 2 65 nm CMOS Multiple-Output Down-Converter-Less Clock Generator Using Stacked an Oscillator and Frequency Dividers for Scaling-Friendly IoTs
Zhang et al. Self-Compensated Low-Drift Mems IEPE Accelerometer via Thermal Stress Tailoring for High-Temperature Applications
CN116671007A (zh) 压电振动器件
RU2827958C1 (ru) Мэмс-датчик давления