RU2012105581A - Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме - Google Patents
Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012105581A RU2012105581A RU2012105581/02A RU2012105581A RU2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581/02 A RU2012105581/02 A RU 2012105581/02A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A RU 2012105581 A RU2012105581 A RU 2012105581A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electron beam
- vacuum
- beam evaporation
- covering
- discharge
- Prior art date
Links
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 title claims abstract 3
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract 4
- 239000008207 working material Substances 0.000 claims abstract 4
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.
Claims (1)
- Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012105581A true RU2012105581A (ru) | 2013-08-27 |
| RU2496912C1 RU2496912C1 (ru) | 2013-10-27 |
Family
ID=49163373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012105581/02A RU2496912C1 (ru) | 2012-02-17 | 2012-02-17 | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2496912C1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2657896C1 (ru) * | 2017-09-11 | 2018-06-18 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН") | Устройство для синтеза покрытий |
| RU2753846C1 (ru) * | 2020-11-18 | 2021-08-24 | Публичное Акционерное Общество "Одк-Сатурн" | Способ определения толщины покрытия |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5618388A (en) * | 1988-02-08 | 1997-04-08 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Geometries and configurations for magnetron sputtering apparatus |
| RU2014364C1 (ru) * | 1990-10-02 | 1994-06-15 | Рыбинский Авиационный Технологический Институт | Вакуумная установка для электронно-лучевого напыления покрытий |
| RU2221989C2 (ru) * | 2001-12-24 | 2004-01-20 | Российский Университет Дружбы Народов | Способ измерения толщины металлической пленки |
| JP3992055B2 (ja) * | 2005-05-11 | 2007-10-17 | 東洋紡績株式会社 | 蒸着フィルム |
| RU106249U1 (ru) * | 2010-11-18 | 2011-07-10 | Закрытое акционерное общество "Научное и технологическое оборудование" | Устройство для нанесения металлических покрытий на подложки |
-
2012
- 2012-02-17 RU RU2012105581/02A patent/RU2496912C1/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2496912C1 (ru) | 2013-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP4055650A4 (en) | Thermally disproportionated anode active material including turbostratic carbon coating | |
| AR095602A1 (es) | Sistema y método de recubrimiento de un sustrato | |
| GB2563349A (en) | Fabrication of correlated electron material devices method to control carbon | |
| EA201791234A1 (ru) | Плазменный источник с полым катодом | |
| RU2015137774A (ru) | Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки | |
| CL2013002656A1 (es) | Sistema de recubrimiento que comprende una camara de vacio y un conjunto de revestimiento que incluye una fuente de deposicion catodica con magnetron, un soporte de sustrato, un conjunto de camara de catodo que incluye un objetivo del catodo, un anodo primario y un escudo, un anodo remoto y una fuente de alimentacion primaria. | |
| MX363864B (es) | Un emisor de electrones para un tubo de rayos x. | |
| EA201790554A1 (ru) | Электрохимическая ячейка на основе галогенида цинка | |
| EA201500839A1 (ru) | Способ обработки стеклянного материала пучком однозарядных и многозарядных ионов газа для получения антиотражающего стеклянного материала | |
| GB2549891A (en) | Dynamically adjustable focal spot | |
| MY175045A (en) | Film formation system and film formation method for forming metal film | |
| TW201614894A (en) | Organic light emitting display including organic light emitting element | |
| RU2012105581A (ru) | Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме | |
| EP2482303A3 (en) | Deposition apparatus and methods | |
| AU2015296905A8 (en) | System and method for the sterilization by electrolysis of the content of closed receptacles in closed receptacles and corresponding post-packaging sterilization receptacle | |
| RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| RU2013123637A (ru) | Способ образования каналов на катоде в несамостоятельном дуговом разряде | |
| RU2011151103A (ru) | Способ управления током электронной пушки с плазменным катодом | |
| RU2015120561A (ru) | Источник ионов | |
| RU2013146140A (ru) | Способ генерации широкополосного электромагнитного излучения свч диапазона | |
| EP2894655A3 (en) | Plasma lighting system | |
| UA88430U (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ нитридной ПЛЕНКИ | |
| RU2013106983A (ru) | Способ нанесения покрытий на проводящие материалы | |
| RU2014109507A (ru) | Способ получения электроэнергии | |
| GB201208631D0 (en) | Radiotherapy apparatus |