RU2012110192A - Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы, способ нанесения покрыимя, а также применение компонентного манипулятора - Google Patents

Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы, способ нанесения покрыимя, а также применение компонентного манипулятора Download PDF

Info

Publication number
RU2012110192A
RU2012110192A RU2012110192/02A RU2012110192A RU2012110192A RU 2012110192 A RU2012110192 A RU 2012110192A RU 2012110192/02 A RU2012110192/02 A RU 2012110192/02A RU 2012110192 A RU2012110192 A RU 2012110192A RU 2012110192 A RU2012110192 A RU 2012110192A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
component manipulator
connecting element
rotation
holder
Prior art date
Application number
RU2012110192/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2623534C2 (ru
Inventor
Маркус МЮЛЛЕР
Original Assignee
Зульцер Метко Аг
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Зульцер Метко Аг filed Critical Зульцер Метко Аг
Publication of RU2012110192A publication Critical patent/RU2012110192A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2623534C2 publication Critical patent/RU2623534C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/16—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed
    • B05B7/20—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed by flame or combustion
    • B05B7/201—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed by flame or combustion downstream of the nozzle
    • B05B7/205—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed by flame or combustion downstream of the nozzle the material to be sprayed being originally a particulate material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/0221—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts
    • B05B13/0228—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts the movement of the objects being rotative
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0075—Manipulators for painting or coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
    • C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
    • C23C4/134—Plasma spraying
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/20—Hydro energy
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
    • Y02T50/00—Aeronautics or air transport
    • Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)
  • Hydraulic Turbines (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

1. Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы (2), подлежащей обработке, в ходе процесса термической обработки, причем компонентный манипулятор включает основной приводной вал (30), выполненный с возможностью вращения вокруг основной оси (3) вращения, соединительный элемент (4) и держатель (5) основы, выполненный с возможностью соединения с соединительным элементом (4), отличающийся тем, что соединительный элемент (4) представляет собой керамический соединительный элемент (4), и соединительный сегмент (51) держателя (5) основы выполнен с возможностью соединения с соединительным элементом (4) с предотвращением вынимания и без возможности вращения при помощи соединения "вставка - поворот" относительно оси (V) этого соединения, и держатель (5) основы установлен с возможностью вращения вокруг упомянутой оси (V) соединения.2. Компонентный манипулятор по п.1, в котором установлена базовая пластина (6), без возможности вращения соединенная с основным приводным валом (30) для приема соединительного элемента (4) с держателем (5) основы.3. Компонентный манипулятор по п.2, в котором базовая пластина (6) без возможности вращения соединена с основным приводным валом (30) через соединительный элемент (32) для подачи охлаждающей текучей среды (KF).4. Компонентный манипулятор по п.1 или 2, в котором на базовой пластине (6) с эксцентриситетом относительно основной оси (3) вращения установлено множество соединительных элементов (4) для приема множества держателей (5) основы.5. Компонентный манипулятор по п.2, в котором соединительный элемент (4) функционально соединен с контактным элементом (8) через приводной блок (7) для вращения держате

Claims (15)

1. Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы (2), подлежащей обработке, в ходе процесса термической обработки, причем компонентный манипулятор включает основной приводной вал (30), выполненный с возможностью вращения вокруг основной оси (3) вращения, соединительный элемент (4) и держатель (5) основы, выполненный с возможностью соединения с соединительным элементом (4), отличающийся тем, что соединительный элемент (4) представляет собой керамический соединительный элемент (4), и соединительный сегмент (51) держателя (5) основы выполнен с возможностью соединения с соединительным элементом (4) с предотвращением вынимания и без возможности вращения при помощи соединения "вставка - поворот" относительно оси (V) этого соединения, и держатель (5) основы установлен с возможностью вращения вокруг упомянутой оси (V) соединения.
2. Компонентный манипулятор по п.1, в котором установлена базовая пластина (6), без возможности вращения соединенная с основным приводным валом (30) для приема соединительного элемента (4) с держателем (5) основы.
3. Компонентный манипулятор по п.2, в котором базовая пластина (6) без возможности вращения соединена с основным приводным валом (30) через соединительный элемент (32) для подачи охлаждающей текучей среды (KF).
4. Компонентный манипулятор по п.1 или 2, в котором на базовой пластине (6) с эксцентриситетом относительно основной оси (3) вращения установлено множество соединительных элементов (4) для приема множества держателей (5) основы.
5. Компонентный манипулятор по п.2, в котором соединительный элемент (4) функционально соединен с контактным элементом (8) через приводной блок (7) для вращения держателя (5) основы.
6. Компонентный манипулятор по п.5, в котором основной приводной вал (30) установлен с возможностью вращения относительно контактного элемента (8).
7. Компонентный манипулятор по п.2, в котором контактный элемент (8) представляет собой зубчатое колесо, которое установлено на кожухе (31) вала неподвижно относительно основного приводного вала (30) и которое является зубчатым для приведения в действие соединительного элемента (4) при помощи приводного блока (7).
8. Компонентный манипулятор по п.2, в котором ось (V) соединения "вставка - поворот" наклонена на заранее заданный угол (α) относительно основной оси (3) вращения.
9. Компонентный манипулятор по п.2, в котором охлаждающая текучая среда (KF) является подаваемой к соединительному элементу (4) и соединительному сегменту (51) держателя (5) основы через распределитель (9) охлаждающей среды, установленный на базовой пластине (6), и охлаждающую линию (KL).
10. Компонентный манипулятор по п.2, в котором соединительный элемент (4) поддерживается в подшипниковом корпусе (41) подшипниковым элементом, причем предпочтительно в подшипниковом корпусе (41) расположены три подшипниковых элемента (42), создающих трехточечный подшипник, и подшипниковый элемент (42) может быть охлажден при помощи непрямого контакта с охлаждающей текучей средой (KF).
11. Компонентный манипулятор по п.2, в котором поворот соединительного сегмента (51) относительно соединительного элемента (4) заблокирован при помощи средства (10) блокировки вращения, причем средство (10) блокировки вращения представляет собой стопорный штифт, в частности, металлический или керамический стопорный штифт, который закрепляют при помощи предохранительной ленты, установленной на соединительном элементе (4).
12. Способ нанесения покрытия, для использования компонентного манипулятора (1) по любому из пп.1-11.
13. Способ нанесения покрытия по п.12, предназначенный для получения функционального структурированного слоя (20) на основе (2), в котором покрывающий материал (200) напыляют на поверхность основы (2) в виде покрывающего луча (BS) в технологической камере при заранее заданном низком рабочем давлении (Р) с помощью метода плазменного напыления, причем покрывающий материал (200) вводят в плазму, расфокусирующую покрывающий луч (BS) при низком рабочем давлении (Р), составляющем менее 200 мбар, при этом создают плазму с достаточно высокой удельной энтальпией, в результате чего существенную часть покрывающего материала (200), часть, по меньшей мере, 5 весовых процентов от количества покрывающего материала переводят в паровую фазу, и на основе (2) формируют структурированный слой (20), причем основу (2) подлежащую покрытию устанавливают с держателем (5) основы, выполненным с возможностью вращения вокруг основной оси (3) вращения, таким образом, что первая поверхность (211) основы (2) и вторая поверхность (212) основы (2) выравниваются друг относительно друга так что, по меньшей мере, часть покрывающего материала (200), переведенного в паровую фазу отклоняется от первой поверхности (211) основы (2) на вторую поверхность (212) основы (2) при плазменном напылении.
14. Устройство для нанесения покрытия, предназначенное для выполнения способа по п.12 или 13 для получения функционального структурированного слоя (20) на основе (2), которое включает технологическую камеру, в которой покрывающий материал (200) является напыляемым на поверхность основы (2) в виде покрывающего луча (BS) при заранее заданном низком рабочем давлении (Р) с помощью метода плазменного напыления, причем покрывающий материал (200) является вводимым в плазму, расфокусирующую покрывающий луч (BS) при низком рабочем давлении (Р), составляющем менее 200 мбар, и этот материал частично или полностью там расплавляется, при этом обеспечены источник (Q) плазмы и/или напыляющий пистолет, содержащий источник (Q) плазмы, выполненные с возможностью создавать плазму с достаточно высокой энтальпией, так что существенная часть покрывающего материала (200), часть, по меньшей мере, 5 весовых процентов от количества покрывающего материала является переводимой в паровую фазу, и структурированный слой (20) является образуемым на основе (2), отличающееся тем, что обеспечен компонентный манипулятор по любому из пп.1-11 для динамического позиционирования основы (2), подлежащей обработке.
15. Применение компонентного манипулятора (1) по пп.1-11 или устройства для нанесения покрытия по п.14 для нанесения покрытия на основу (2) при помощи способа нанесения покрытия по п.12 или 13, причем основа (2), в частности, представляет собой турбинную лопатку для авиационной турбины, газовой турбины, паровой турбины или водяной турбины.
RU2012110192A 2011-03-17 2012-03-16 Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы, способ нанесения покрыимя, а также применение компонентного манипулятора RU2623534C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11158579 2011-03-17
EP11158579.0 2011-03-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012110192A true RU2012110192A (ru) 2013-09-27
RU2623534C2 RU2623534C2 (ru) 2017-06-27

Family

ID=44303851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012110192A RU2623534C2 (ru) 2011-03-17 2012-03-16 Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы, способ нанесения покрыимя, а также применение компонентного манипулятора

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20130071575A1 (ru)
EP (1) EP2500446B1 (ru)
JP (1) JP6203475B2 (ru)
KR (2) KR20120106555A (ru)
CN (1) CN102676973B (ru)
ES (1) ES2475160T3 (ru)
PL (1) PL2500446T3 (ru)
RU (1) RU2623534C2 (ru)
SG (2) SG10201601693VA (ru)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101328777B1 (ko) * 2012-10-31 2013-11-13 주식회사 현대케피코 다공성의 세라믹 코팅층이 형성된 산소센서 및 다공성의 세라믹 코팅층을 형성하는 방법
CN103341716B (zh) * 2013-07-22 2015-03-04 常熟建华模具科技股份有限公司 与动力装置配套的玻璃模具喷焊用的工装夹具结构
US10145006B2 (en) 2014-01-20 2018-12-04 United Technologies Corporation Physical vapor deposition using rotational speed selected with respect to deposition rate
KR101628477B1 (ko) 2014-08-28 2016-06-22 현대자동차주식회사 내마모성이 향상된 시프트 포크
WO2016135014A1 (de) * 2015-02-24 2016-09-01 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Methode zur beschichtung von motorkolben
CA2924476A1 (en) 2015-04-01 2016-10-01 Rolls-Royce Corporation Vacuum plasma sprayed coating including oxide dispersions
KR101925850B1 (ko) * 2016-10-11 2018-12-07 박종원 진공펌프용 스크류 코팅장치
DE102016120493A1 (de) * 2016-10-27 2018-05-03 Von Ardenne Gmbh Substratwendevorrichtung und Substratwendeverfahren
FR3063025B1 (fr) * 2017-02-17 2021-09-24 Metalizz Dispositif de traitement de la surface d'au moins un objet par une solution specifique
CN107805793A (zh) * 2017-09-28 2018-03-16 中国航发动力股份有限公司 一种具有双侧交叉夹持结构的涡轮叶片涂层制备装置
CN107732569B (zh) * 2017-10-21 2019-03-08 金辉 一种辅助插拔插头机器人
US20190194799A1 (en) * 2017-12-22 2019-06-27 United Technologies Corporation Line-of-sight coating fixture and apparatus
US11299803B2 (en) 2018-01-04 2022-04-12 Raytheon Technologies Corporation Metallic coating process for combustor panels using a barrel configuration
RU2693227C1 (ru) * 2018-04-25 2019-07-01 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения эрозионностойких покрытий на лопатки блиска газотурбинного двигателя из титановых сплавов
FI4004253T3 (fi) * 2019-07-26 2024-03-14 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Kiinnitin käytettäväksi pvd-prosesseissa lieriömäisiä pitkänomaisia substraatteja varten
DE102020121241B4 (de) * 2020-08-12 2024-07-04 Ald Vacuum Technologies Gmbh Verfahren zum Wechseln einer Werkstückträgervorrichtung, Werkstückträgervorrichtung und Produktionsanlage zum Beschichten von Substraten
CN116121690A (zh) * 2023-03-06 2023-05-16 成都航大新材料有限公司 一种涂层制备装置
FR3164130A1 (fr) * 2024-07-02 2026-01-09 Riber Manipulateur refroidi pour dispositif de procédé sous vide compatible ultravide, dispositif de procédé sous vide compatible ultravide, et méthode de dépôt sous ultravide
CN120325507A (zh) * 2025-04-29 2025-07-18 深圳市协力达精密科技有限公司 光模块表面的纳米陶瓷涂层制备工艺

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2885959A (en) * 1952-09-26 1959-05-12 Gayle E Toland Well torpedo firing heads
US4108107A (en) * 1976-04-01 1978-08-22 Airco, Inc. Rotatable substrate holder for use in vacuum
US4969416A (en) * 1986-07-03 1990-11-13 Emcore, Inc. Gas treatment apparatus and method
US5679167A (en) 1994-08-18 1997-10-21 Sulzer Metco Ag Plasma gun apparatus for forming dense, uniform coatings on large substrates
RU2087585C1 (ru) * 1995-07-20 1997-08-20 Республиканский инженерно-технический центр порошковой металлургии с Научно-исследовательским институтом проблем порошковой технологии и покрытий и опытным производством Устройство для нанесения мультислойных вакуумно-плазменных покрытий
US6294025B1 (en) * 1996-11-01 2001-09-25 THEVA DüNNSCHICHTTECHNIK GMBH Device for producing oxidic thin films
US6118100A (en) * 1997-11-26 2000-09-12 Mattson Technology, Inc. Susceptor hold-down mechanism
DE19803278C2 (de) * 1998-01-29 2001-02-01 Bosch Gmbh Robert Werkstückträger und dessen Verwendung zur Behandlung und Beschichtung von Werkstücken
EP1034843A1 (de) 1999-03-10 2000-09-13 Sulzer Metco AG Verfahren zur Herstellung einer beschichteten Struktur, die sich zum Durchführen von heterogenen Katalysen eignet
US20020062791A1 (en) * 2000-10-11 2002-05-30 Andrey Ginovker Table
CA2482085C (en) 2002-04-12 2010-09-28 Sulzer Metco Ag A plasma spraying method
EP1479788B1 (de) 2003-05-23 2007-11-28 Sulzer Metco AG Hybrides Verfahren zum Beschichten eines Substrats durch ein thermisches Aufbringen der Beschichtung
US6923868B2 (en) * 2003-09-23 2005-08-02 Gba S.A. Installation for electron-ray coatication of coatings
US7169234B2 (en) * 2004-01-30 2007-01-30 Asm America, Inc. Apparatus and methods for preventing rotational slippage between a vertical shaft and a support structure for a semiconductor wafer holder
EP2025772A1 (de) * 2007-08-16 2009-02-18 Sulzer Metco AG Verfahren zum Herstellen einer funktionalen Schicht
PL2336387T3 (pl) * 2007-10-08 2014-01-31 Oerlikon Trading Ag Urządzenie nośne do przedmiotów obrabianych

Also Published As

Publication number Publication date
SG10201601693VA (en) 2016-04-28
JP2012193450A (ja) 2012-10-11
SG184626A1 (en) 2012-10-30
KR20190024932A (ko) 2019-03-08
RU2623534C2 (ru) 2017-06-27
US20130071575A1 (en) 2013-03-21
CN102676973A (zh) 2012-09-19
JP6203475B2 (ja) 2017-09-27
EP2500446A1 (de) 2012-09-19
ES2475160T3 (es) 2014-07-10
EP2500446B1 (de) 2014-05-28
PL2500446T3 (pl) 2014-11-28
CN102676973B (zh) 2016-02-24
KR20120106555A (ko) 2012-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012110192A (ru) Компонентный манипулятор для динамического позиционирования основы, способ нанесения покрыимя, а также применение компонентного манипулятора
US11648593B2 (en) Method of cleaning a torch of a plasma-coating plant and a plasma-coating plant
JP5231767B2 (ja) 内燃機関のクランク室をマスキングするマスキング・システム
WO2012096529A3 (ko) 반도체 제조에 사용되는 분사부재 및 그것을 갖는 플라즈마 처리 장치
JP2007049176A5 (ru)
JP7412340B2 (ja) 高アスペクト比構造のスティクションを防ぐためのシステムおよび方法、および／または、高アスペクト比の構造を修復するためのシステムおよび方法
NO153608B (no) Fremgangsmaate ved ethoxylering av alkanoler i naervaer av katalysatorer inneholdende strontiumoxyder og -hydroxyder.
US20180138059A1 (en) Substrate liquid processing apparatus and method
TW201103996A (en) Lift-off deposition system featuring a density optimized HULA substrate holder in a conical deposition chamber
RU2652280C2 (ru) Способ восстановления детали турбомашины
TWI567855B (zh) 基板液處理裝置及基板液處理方法
JP2006159290A (ja) レーザ衝撃ピーニング方法およびその方法に用いるコーティングならびにその方法で作られた物品
JP2009248060A (ja) 洗浄装置
US7754016B2 (en) Multiple axis tumbler coating apparatus
KR102761544B1 (ko) 기판의 선택적 증기 코팅을 위한 장치 및 방법
JP2019046943A5 (ru)
JP2014050771A (ja) 洗浄方法、およびこれに用いる洗浄装置
US10399240B2 (en) Method and device for etching patterns inside objects
EP3282034A1 (en) Aluminum fan blade tip prepared for thermal spray deposition of abrasive by laser ablation
JP5405955B2 (ja) 基板処理装置
CN110158047B (zh) 一种导向叶片全流道面气相沉积用支撑装置及其使用方法
CN116479388A (zh) 公自转行星系统电子束蒸发镀膜方法
US10487394B2 (en) Method for coating motor pistons
RU2296182C2 (ru) Установка для нанесения покрытий в вакууме
CN107287567B (zh) 微滴离子溅射工艺以及水轮机制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210317