RU2012129948A - Кориолисов гироскоп, содержащий корректировочные модули, и способ уменьшения квадратурного искажения - Google Patents
Кориолисов гироскоп, содержащий корректировочные модули, и способ уменьшения квадратурного искажения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012129948A RU2012129948A RU2012129948/28A RU2012129948A RU2012129948A RU 2012129948 A RU2012129948 A RU 2012129948A RU 2012129948/28 A RU2012129948/28 A RU 2012129948/28A RU 2012129948 A RU2012129948 A RU 2012129948A RU 2012129948 A RU2012129948 A RU 2012129948A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- correction
- axis
- electrodes
- movable
- coriolis
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000004873 anchoring Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C25/00—Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
1. Кориолисов гироскоп (1), содержащий- систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и один второй корректировочный модуль (40), которые соответственно включают в себя множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс.2. Кориолисов гироскоп по п.1, отличающийся тем, что система масс кориолисова гироскопа (1) состоит из первой частичной массы (10) и второй частичной массы (20), при этом обеспечена возможность регистрации отклонения второй частичной массы (20) вследствие кориолисовой силы,причем подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) являются неотъемлемой составной частью второй частичной массы (20).3. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы реализована посредством образования восстанавливающих сил для компенсации отклонения.4. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что- множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) соответственно содержит одинаковое количество первых неподвижных корректировочных электро�
Claims (21)
1. Кориолисов гироскоп (1), содержащий
- систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и один второй корректировочный модуль (40), которые соответственно включают в себя множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс.
2. Кориолисов гироскоп по п.1, отличающийся тем, что система масс кориолисова гироскопа (1) состоит из первой частичной массы (10) и второй частичной массы (20), при этом обеспечена возможность регистрации отклонения второй частичной массы (20) вследствие кориолисовой силы,
причем подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) являются неотъемлемой составной частью второй частичной массы (20).
3. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы реализована посредством образования восстанавливающих сил для компенсации отклонения.
4. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что
- множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) соответственно содержит одинаковое количество первых неподвижных корректировочных электродов (31, 41) и вторых неподвижных корректировочных электродов (32, 42), при этом первые неподвижные корректировочные электроды (31, 41) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси в первом направлении, а вторые неподвижные корректировочные электроды (32, 42) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси во втором направлении, при этом второе направление противоположно первому направлению, и
- множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27) соответственно содержит одинаковое количество первых подвижных корректировочных электродов (24, 26) и вторых подвижных корректировочных электродов (25, 27), при этом первые подвижные корректировочные электроды (24, 26) проходят от системы масс вдоль первой оси во втором направлении, а вторые подвижные корректировочные электроды (25, 27) проходят от системы масс вдоль первой оси в первом направлении.
5. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что
- каждому неподвижному корректировочному электроду (31, 32, 41, 42) соответствует подвижный корректировочный электрод (24, 25, 26, 27), при этом расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до соответствующего ему подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27) меньше, чем расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до другого соседнего подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27),
- в первом корректировочном модуле (30) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (31), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (24), расположен вдоль второй оси в третьем направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (32), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (25), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, причем четвертое направление противоположно третьему направлению, и
- во втором корректировочном модуле (40) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (41), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (26), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (42), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (27), расположен вдоль второй оси в третьем направлении.
6. Кориолисов гироскоп по п.5, отличающийся тем, что кориолисов гироскоп (1) включает в себя несколько однотипно выполненных первых корректировочных модулей (30) и/или несколько однотипно выполненных вторых корректировочных модулей (40).
7. Кориолисов гироскоп по п.6, отличающийся тем, что кориолисов гироскоп (1) включает в себя одинаковое количество первых и вторых корректировочных модулей (30, 40).
8. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) и/или подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) соответственно имеют ширину, составляющую максимум 10 мкм.
9. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, включающий в себя, кроме того, по меньшей мере один управляющий модуль (50, 60), который электрически соединен с корректировочными модулями (30, 40) и предназначен для того, чтобы подавать на них по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.
10. Система, содержащая по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200), которые соединены друг с другом и соответственно включают в себя систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси,
отличающаяся тем, что
система включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240), которые соответственно содержат множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс по меньшей мере одного из по меньшей мере двух кориолисовых гироскопов (100, 200).
11. Система по п.10, отличающаяся тем, что
- множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) соответственно имеет одинаковое количество первых неподвижных корректировочных электродов (31, 41) и вторых неподвижных корректировочных электродов (32, 42), при этом первые неподвижные корректировочные электроды (31, 41) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси в первом направлении, а вторые неподвижные корректировочные электроды (32, 42) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси во втором направлении, при этом второе направление противоположно первому направлению, и
- множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27) соответственно имеет одинаковое количество первых подвижных корректировочных электродов (24, 26) и вторых подвижных корректировочных электродов (25, 27), при этом первые подвижные корректировочные электроды (24, 26) проходят от системы масс вдоль первой оси во втором направлении, а вторые подвижные корректировочные электроды (25, 27) проходят от системы масс вдоль первой оси в первом направлении.
12. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- каждому неподвижному корректировочному электроду (31, 32, 41, 42) соответствует подвижный корректировочный электрод (24, 25, 26, 27), при этом расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до соответствующего ему подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27) меньше, чем расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до другого соседнего подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27),
- в первом корректировочном модуле (130, 230) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (31), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (24), расположен вдоль второй оси в третьем направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (32), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (25), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, при этом четвертое направление противоположно третьему направлению, и
- во втором корректировочном модуле (140, 240) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (41), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (26), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (42), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (27), расположен вдоль второй оси в третьем направлении.
13. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200) соединены друг с другом в отношении движения возбуждения, которое возбуждает колебания системы масс параллельно первой оси, и
- каждый кориолисов гироскоп (100, 200) включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240).
14. Система по п.13, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130) первого кориолисова гироскопа (100) выполнен однотипно по отношению по меньшей мере к одному первому корректировочному модулю (230) второго кориолисова гироскопа (200), и
- по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140) первого кориолисова гироскопа (100) выполнен однотипно по отношению по меньшей мере к одному второму корректировочному модулю (240) второго кориолисова гироскопа (200).
15. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200) соединены друг с другом в отношении регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы, которая действует вдоль второй оси, и
- по меньшей мере один из кориолисовых гироскопов (100, 200) включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230), и по меньшей мере один из кориолисовых гироскопов (100, 200) включает в себя по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240).
16. Система по одному из пп.10 и 11, включающая в себя, кроме того, по меньшей мере один управляющий модуль, который электрически соединен с корректировочными модулями (130, 140, 230, 240) и предназначен для подачи на них по меньшей мере в течение промежутка времени постоянного корректирующего напряжения.
17. Способ уменьшения квадратурного искажения кориолисова гироскопа (1), содержащего
- систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и один второй корректировочный модуль (40), которые соответственно включают в себя множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27), при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс,
отличающийся тем, что
на корректировочные модули (30, 40) подают по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что на корректировочные модули осуществляют подачу корректирующих напряжений различной величины в зависимости от подлежащего уменьшению квадратурного искажения.
19. Способ по одному из пп.17 и 18, отличающийся тем, что величину корректирующих напряжений устанавливают в зависимости от определенного изменения собственной частоты системы масс и с учетом подлежащего уменьшению квадратурного искажения вдоль второй оси.
20. Способ по одному из пп.17 и 18, отличающийся тем, что
- кориолисов гироскоп (1) включает в себя несколько однотипно выполненных первых корректировочных модулей (30) и/или несколько однотипно выполненных вторых корректировочных модулей (40), и
- корректирующие напряжения, которые подают на однотипно выполненные корректировочные модули, в сумме компенсируются.
21. Способ уменьшения квадратурного искажения в системе, содержащей по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200), которые соединены друг с другом и соответственно включают в себя систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси,
при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси,
при этом система включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240), которые соответственно содержат множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
причем неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс по меньшей мере одного из по меньшей мере двух кориолисовых гироскопов (100, 200),
отличающийся тем, что
на корректировочные модули (130, 230, 140, 240) подают по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102010006584A DE102010006584B4 (de) | 2010-02-02 | 2010-02-02 | Corioliskreisel mit Korrektureinheiten und Verfahren zur Reduktion des Quadraturbias |
| DE102010006584.6 | 2010-02-02 | ||
| PCT/EP2011/000444 WO2011095317A2 (de) | 2010-02-02 | 2011-02-01 | Corioliskreisel mit korrektureinheiten und verfahren zur reduktion des quadraturbias |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012129948A true RU2012129948A (ru) | 2014-03-10 |
| RU2554312C2 RU2554312C2 (ru) | 2015-06-27 |
Family
ID=44279187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012129948/28A RU2554312C2 (ru) | 2010-02-02 | 2011-02-01 | Кориолисов гироскоп, содержащий корректировочные модули, и способ уменьшения квадратурного искажения |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9052196B2 (ru) |
| EP (1) | EP2531813B1 (ru) |
| JP (1) | JP5615383B2 (ru) |
| KR (1) | KR101518405B1 (ru) |
| CN (1) | CN102812330B (ru) |
| AU (1) | AU2011212653B2 (ru) |
| BR (1) | BR112012018666A2 (ru) |
| CA (1) | CA2787212C (ru) |
| DE (1) | DE102010006584B4 (ru) |
| IL (1) | IL221060A (ru) |
| IN (1) | IN2012DN06594A (ru) |
| RU (1) | RU2554312C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011095317A2 (ru) |
| ZA (1) | ZA201205119B (ru) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
| JP5773844B2 (ja) * | 2011-10-31 | 2015-09-02 | 三菱プレシジョン株式会社 | 出力安定性に優れた振動型ジャイロ |
| CN103115618B (zh) * | 2011-11-17 | 2015-07-08 | 西安邮电学院 | 一种基于振动式微机械陀螺的正交误差和寄生科氏力的分离测试方法 |
| DE102014003640B4 (de) * | 2014-03-14 | 2025-05-28 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren zum Optimieren der Einschaltzeit eines Corioliskreisels sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
| DE102014010056B4 (de) * | 2014-07-07 | 2016-02-25 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Steuervorrichtung und Verfahren zur Minimierung von Skalenfaktorfehlern eines Drehratensensors |
| US9726491B2 (en) | 2014-07-25 | 2017-08-08 | Northrop Grumman Systems Corporation | Vibrating-mass gyroscope systems and method |
| EP3234503B1 (en) * | 2014-12-18 | 2020-12-02 | RISE Research Institutes of Sweden AB | A quadrature compensation method for mems gyroscopes and a gyroscope sensor |
| US9534897B2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-01-03 | The Boeing Company | High bandwidth Coriolis vibratory gyroscope (CVG) with in-situ bias self-calibration |
| DE102015201544A1 (de) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors |
| US9810535B2 (en) | 2015-02-10 | 2017-11-07 | Northrop Grumman Systems Corporation | Vibrating-mass gyroscope systems and method |
| US10359284B2 (en) | 2015-12-10 | 2019-07-23 | Invensense, Inc. | Yaw rate gyroscope robust to linear and angular acceleration |
| RU173867U1 (ru) * | 2016-12-15 | 2017-09-15 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") | Вибрационный гироскоп LL-типа |
| US10466067B2 (en) * | 2017-01-19 | 2019-11-05 | The Boeing Company | System and method for gyro rate computation for a Coriolis Vibrating Gyroscope |
| US20180252526A1 (en) * | 2017-03-06 | 2018-09-06 | Nxp Usa, Inc. | Mems device with in-plane quadrature compensation |
| DE102017213815A1 (de) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor mit einem Substrat, Herstellungsverfahren für einen Drehratensensor |
| DE102017213802A1 (de) * | 2017-08-08 | 2019-02-14 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor, Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors |
| WO2019032179A1 (en) * | 2017-08-11 | 2019-02-14 | Hrl Laboratories, Llc | SILICON MULTI-MODE CORIOLIS VIBRATORY GYROSCOPES HAVING A HIGH-RODING SYMMETRIC MECHANICAL STRUCTURE AND 32 ELECTRODES |
| JP7310988B2 (ja) * | 2017-10-20 | 2023-07-19 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
| JP7167425B2 (ja) * | 2017-10-20 | 2022-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
| CN109931959B (zh) * | 2019-03-27 | 2023-03-31 | 河海大学常州校区 | 硅微陀螺仪正交误差校正方法 |
| JP7204576B2 (ja) * | 2019-05-15 | 2023-01-16 | 株式会社東芝 | センサ |
| EP3960309A1 (de) * | 2020-08-31 | 2022-03-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Resonanzverfahren für ein schwingungssystem, einen umrichter, eine anregungseinheit und das schwingungssystem |
Family Cites Families (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5530342A (en) * | 1994-09-30 | 1996-06-25 | Rockwell International Corporation | Micromachined rate sensor comb drive device and method |
| DE19503236B4 (de) * | 1995-02-02 | 2006-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Sensor aus einem mehrschichtigen Substrat |
| US6250156B1 (en) * | 1996-05-31 | 2001-06-26 | The Regents Of The University Of California | Dual-mass micromachined vibratory rate gyroscope |
| US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
| US5945599A (en) * | 1996-12-13 | 1999-08-31 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Resonance type angular velocity sensor |
| US6122961A (en) * | 1997-09-02 | 2000-09-26 | Analog Devices, Inc. | Micromachined gyros |
| JP3489487B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2004-01-19 | トヨタ自動車株式会社 | 角速度検出装置 |
| US7051590B1 (en) * | 1999-06-15 | 2006-05-30 | Analog Devices Imi, Inc. | Structure for attenuation or cancellation of quadrature error |
| JP3659160B2 (ja) * | 2000-02-18 | 2005-06-15 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
| JP3525862B2 (ja) * | 2000-05-22 | 2004-05-10 | トヨタ自動車株式会社 | センサ素子及びセンサ装置 |
| WO2003058167A1 (de) * | 2002-01-12 | 2003-07-17 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
| DE10237410A1 (de) | 2002-01-12 | 2003-08-28 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
| US7313958B2 (en) * | 2002-01-12 | 2008-01-01 | Robert Bosch Gmbh | Rotational rate sensor |
| JP2004170145A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
| DE10360962B4 (de) * | 2003-12-23 | 2007-05-31 | Litef Gmbh | Verfahren zur Quadraturbias-Kompensation in einem Corioliskreisel sowie dafür geeigneter Corioliskreisel |
| US6964195B2 (en) * | 2004-01-30 | 2005-11-15 | Bei Technologies, Inc. | Micromachined vibratory gyroscope and method with electronic coupling |
| FR2894661B1 (fr) * | 2005-12-13 | 2008-01-18 | Thales Sa | Gyrometre vibrant equilibre par un dispositif electrostatique |
| US7703324B2 (en) * | 2007-05-11 | 2010-04-27 | Honeywell International Inc. | MEMS tuning fork gyro sensitive to rate of rotation about two axes |
| DE102007030120B4 (de) | 2007-06-29 | 2010-04-08 | Litef Gmbh | Drehratensensor |
| RU2347191C1 (ru) * | 2007-11-08 | 2009-02-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" | Способ подстройки резонансной частоты подвеса подвижной массы микромеханического гироскопа по оси вторичных колебаний и микромеханический гироскоп |
| JP5228675B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-07-03 | 富士通株式会社 | 角速度センサおよび電子装置 |
-
2010
- 2010-02-02 DE DE102010006584A patent/DE102010006584B4/de active Active
-
2011
- 2011-02-01 JP JP2012550376A patent/JP5615383B2/ja active Active
- 2011-02-01 CN CN201180007362.8A patent/CN102812330B/zh active Active
- 2011-02-01 CA CA2787212A patent/CA2787212C/en active Active
- 2011-02-01 KR KR1020127019821A patent/KR101518405B1/ko active Active
- 2011-02-01 EP EP11702152.7A patent/EP2531813B1/de active Active
- 2011-02-01 BR BR112012018666A patent/BR112012018666A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-02-01 US US13/261,385 patent/US9052196B2/en active Active
- 2011-02-01 WO PCT/EP2011/000444 patent/WO2011095317A2/de not_active Ceased
- 2011-02-01 IN IN6594DEN2012 patent/IN2012DN06594A/en unknown
- 2011-02-01 RU RU2012129948/28A patent/RU2554312C2/ru active
- 2011-02-01 AU AU2011212653A patent/AU2011212653B2/en active Active
-
2012
- 2012-07-10 ZA ZA2012/05119A patent/ZA201205119B/en unknown
- 2012-07-22 IL IL221060A patent/IL221060A/en active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102812330B (zh) | 2016-01-06 |
| ZA201205119B (en) | 2013-03-27 |
| EP2531813A2 (de) | 2012-12-12 |
| JP2013519071A (ja) | 2013-05-23 |
| JP5615383B2 (ja) | 2014-10-29 |
| WO2011095317A2 (de) | 2011-08-11 |
| BR112012018666A2 (pt) | 2016-04-05 |
| CA2787212C (en) | 2016-05-03 |
| AU2011212653A1 (en) | 2012-08-16 |
| KR101518405B1 (ko) | 2015-05-07 |
| RU2554312C2 (ru) | 2015-06-27 |
| WO2011095317A3 (de) | 2011-10-27 |
| CN102812330A (zh) | 2012-12-05 |
| KR20120105042A (ko) | 2012-09-24 |
| IN2012DN06594A (ru) | 2015-10-23 |
| IL221060A0 (en) | 2012-09-24 |
| DE102010006584A1 (de) | 2011-10-06 |
| EP2531813B1 (de) | 2015-05-27 |
| DE102010006584B4 (de) | 2012-09-27 |
| US20130055787A1 (en) | 2013-03-07 |
| AU2011212653B2 (en) | 2014-01-09 |
| US9052196B2 (en) | 2015-06-09 |
| IL221060A (en) | 2017-06-29 |
| CA2787212A1 (en) | 2011-08-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2012129948A (ru) | Кориолисов гироскоп, содержащий корректировочные модули, и способ уменьшения квадратурного искажения | |
| US20130031977A1 (en) | Micro-gyroscope for detecting motions | |
| US8726717B2 (en) | Adjusting a MEMS gyroscope to reduce thermally varying bias | |
| IL199510A0 (en) | Control component for planar resonator | |
| US9976858B2 (en) | MEMS gyro | |
| US9109893B2 (en) | Micro-gyroscope and method for operating a micro-gyroscope | |
| TWI475232B (zh) | 用於將一加速度感測器調準的方法以及加速度感測器 | |
| WO2012008742A3 (ko) | 전극조립체의 폴딩 장치 | |
| US8479555B2 (en) | Method for compensating for quadrature | |
| JPWO2022004562A5 (ru) | ||
| US8408059B2 (en) | Yaw rate sensor and method for operating a yaw rate sensor | |
| US20190056226A1 (en) | Micromechanical Yaw Rate Sensor and Method for Operating Same | |
| US8776601B2 (en) | MEMS sensor using multi-layer movable combs | |
| JP2012137307A (ja) | サーボ型静電容量式センサ装置 | |
| US8468886B2 (en) | Yaw rate sensor and method for operating a yaw rate sensor | |
| JP2014224804A (ja) | Ｍｅｍｓ音叉ジャイロスコープのセンス電極の振動電圧 | |
| JP5202009B2 (ja) | 角速度センサ | |
| CN205981219U (zh) | 一种用于硅微陀螺的正交误差补偿结构 | |
| RU2426072C1 (ru) | Пьезоэлектрический вибрационный гироскоп (варианты) | |
| US10544033B2 (en) | Micromechanical component | |
| EP3842742A1 (en) | Sensor element and angular velocity sensor | |
| US20160187156A1 (en) | Method and Device for Setting the Dynamic Range of a Rotation Rate Sensor | |
| RU2637185C1 (ru) | Способ взвешивания ротора гироскопа в электростатическом подвесе | |
| US20030132378A1 (en) | Electronic methods of correcting the electric field of quadrupole mass filters to improve performance | |
| RU2010126858A (ru) | Виброчастотный микромеханический акселерометр |