RU2012133312A - Интерферометрическая система обнаружения положения - Google Patents

Интерферометрическая система обнаружения положения Download PDF

Info

Publication number
RU2012133312A
RU2012133312A RU2012133312/28A RU2012133312A RU2012133312A RU 2012133312 A RU2012133312 A RU 2012133312A RU 2012133312/28 A RU2012133312/28 A RU 2012133312/28A RU 2012133312 A RU2012133312 A RU 2012133312A RU 2012133312 A RU2012133312 A RU 2012133312A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
source
image
corner
point
photosensitive
Prior art date
Application number
RU2012133312/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Лоран ПОТЭН
Брюно БАРБЬЕ
Зигфрид РУЗ
Original Assignee
Таль
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Таль filed Critical Таль
Publication of RU2012133312A publication Critical patent/RU2012133312A/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0093Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for monitoring data relating to the user, e.g. head-tracking, eye-tracking
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/03Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01SRADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/87Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2290/00Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
    • G01B2290/70Using polarization in the interferometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Abstract

1. Система обнаружения по меньшей мере одного угла поворота шлемофона (Н) пилота в пространстве, содержащая по меньшей мере:- неподвижное электрооптическое устройство с известными положением и ориентацией, содержащее:- первый точечный источник (S) излучения, коллимированный оптической линзой (L);- полуотражающий оптический элемент (m); и- первый фоточувствительный узел (D) обнаружения, при этом первый источник (S) излучения и первый узел (D) обнаружения размещены симметрично относительно полуотражающего оптического элемента (m);- узел, содержащий два ретроотражающих устройства (С1, С2), называемых уголковыми отражателями, расположенных на шлемофоне (Н) пилота;отличающаяся тем, что- первый точечный источник (S) представляет собой источник когерентного света, излучаемого с первой длиной волны;- два уголковых отражателя (С1, С2) образуют интерферометр, иначе говоря, первая часть света, приходящая от коллимированного источника (S), отражаемая в обратном направлении первым уголковым отражателем (С1) и фокусируемая оптической линзой (L), интерферирует на первом фоточувствительном узле (D) обнаружения со второй частью света, приходящей от коллимированного источника (S), отражаемой в обратном направлении вторым уголковым отражателем (С2) и фокусируемой оптической линзой (L), при этом сигнал, принимаемый первым фоточувствительным узлом (D) обнаружения, зависит от ориентации оси, соединяющей два центра двух уголковых отражателей.2. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что содержит:-первое оптическое средство (m1, m2) для удвоения изображения, расположенное таким образом, что через полуотражающий оптический элемент создаются перво�

Claims (9)

1. Система обнаружения по меньшей мере одного угла поворота шлемофона (Н) пилота в пространстве, содержащая по меньшей мере:
- неподвижное электрооптическое устройство с известными положением и ориентацией, содержащее:
- первый точечный источник (S) излучения, коллимированный оптической линзой (L);
- полуотражающий оптический элемент (m); и
- первый фоточувствительный узел (D) обнаружения, при этом первый источник (S) излучения и первый узел (D) обнаружения размещены симметрично относительно полуотражающего оптического элемента (m);
- узел, содержащий два ретроотражающих устройства (С1, С2), называемых уголковыми отражателями, расположенных на шлемофоне (Н) пилота;
отличающаяся тем, что
- первый точечный источник (S) представляет собой источник когерентного света, излучаемого с первой длиной волны;
- два уголковых отражателя (С1, С2) образуют интерферометр, иначе говоря, первая часть света, приходящая от коллимированного источника (S), отражаемая в обратном направлении первым уголковым отражателем (С1) и фокусируемая оптической линзой (L), интерферирует на первом фоточувствительном узле (D) обнаружения со второй частью света, приходящей от коллимированного источника (S), отражаемой в обратном направлении вторым уголковым отражателем (С2) и фокусируемой оптической линзой (L), при этом сигнал, принимаемый первым фоточувствительным узлом (D) обнаружения, зависит от ориентации оси, соединяющей два центра двух уголковых отражателей.
2. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что содержит:
-первое оптическое средство (m1, m2) для удвоения изображения, расположенное таким образом, что через полуотражающий оптический элемент создаются первое изображение и второе изображение первого точечного источника излучения; и
- второй узел (D2) обнаружения; при этом
компоновка различных оптических элементов выполнена такой, при которой первое изображение первого источника формируется на первом фоточувствительном узле обнаружения и второе изображение первого источника формируется на втором фоточувствительном узле обнаружения, что позволяет определять, относительно двух известных осей, изменения ориентации оси, соединяющей центры первого уголкового отражателя и второго уголкового отражателя, путем измерения двух сигналов, приходящих от двух узлов обнаружения.
3. Система обнаружения по п.2, отличающаяся тем, что система содержит:
- третий уголковый отражатель (С3), расположенный на подвижном объекте;
-второй когерентный точечный источник (S') излучения, излучающий со второй длиной волны, отличающейся от первой длины волны;
- второе оптическое средство (m3, m4) для удвоения изображения, расположенное таким образом, что через полуотражающий оптический элемент создаются первое изображение и второе изображение второго точечного источника излучения; и
- третий фоточувствительный узел (D3) обнаружения и четвертый точечный фоточувствительный узел (D4) обнаружения, при этом
компоновка различных оптических элементов выполнена такой, при которой первое изображение второго источника формируется на третьем фоточувствительном узле обнаружения и второе изображение второго источника формируется на четвертом фоточувствительном узле обнаружения, что позволяет определять:
- относительно двух известных осей, изменения ориентации первой оси, соединяющей центры первого уголкового отражателя (С1) и второго уголкового отражателя (С2), путем измерения двух сигналов, приходящих от первых двух детекторов (D1, D2); и
- относительно двух известных осей изменения ориентации второй оси, соединяющей центры первого уголкового отражателя (С1) и третьего уголкового отражателя (С3), путем измерения двух сигналов, приходящих от третьего и от четвертого детекторов (D3, D4).
4. Система обнаружения по п.2, отличающаяся тем, что оптическое средство для удвоения изображения состоит из двух полуотражающих плоских пластинок (m1, m2 и m3, m4), имеющих одну общую сторону, и нормали которых образуют заданный угол, отличающийся от нулевого.
5. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один из фоточувствительных узлов (D1, D2, D3, D4) обнаружения содержит единственный точечный детектор.
6. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один из фоточувствительных узлов обнаружения содержит два точечных детектора (Da, Db), разделенных оптическим элементом (Pbs) поляризационного селектора, при этом по меньшей мере один из уголковых отражателей содержит линейный поляризатор (Р), неподвижное устройство или указанный уголковый отражатель содержит четвертьволновую пластинку (В), что позволяет определять направление изменения ориентации оси, соединяющей центры первого уголкового отражателя и второго уголкового отражателя, путем измерения двух сигналов, приходящих от двух точечных детекторов.
7. Система обнаружения по п.3, отличающаяся тем, что содержит механическое или оптико-механическое средство, позволяющее ориентировать коллимированные пучки, излучаемые точечным источником или источниками (S, S'), под заданным углом.
8. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что:
система обнаружения содержит оптическое средство, позволяющее определять начальную ориентацию уголковых отражателей, при этом указанное средство содержит по меньшей мере один источник коллимированного света, называемый инициализирующим источником, и фотодетекторную матрицу (DS); и при этом
шлемофон пилота содержит два плоских зеркала (М1, М2), расположенных в различных плоскостях и имеющих известное положение относительно шлемофона пилота.
9. Система обнаружения по п.1, отличающаяся тем, что инициализирующий источник является первым коллимированным точечным источником излучения, и тем, что плоские зеркала (М1, М2) являются двумя входными поверхностями уголковых отражателей (С1, С2).
RU2012133312/28A 2011-08-05 2012-08-03 Интерферометрическая система обнаружения положения RU2012133312A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1102461A FR2978824B1 (fr) 2011-08-05 2011-08-05 Systeme a detection de posture interferometrique
FR1102461 2011-08-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2012133312A true RU2012133312A (ru) 2014-02-10

Family

ID=46581856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012133312/28A RU2012133312A (ru) 2011-08-05 2012-08-03 Интерферометрическая система обнаружения положения

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20130033709A1 (ru)
EP (1) EP2554939B1 (ru)
FR (1) FR2978824B1 (ru)
RU (1) RU2012133312A (ru)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6464798B2 (ja) * 2015-02-18 2019-02-06 住友電気工業株式会社 光ファイバセンサシステム
JP6750338B2 (ja) 2016-06-21 2020-09-02 住友電気工業株式会社 光ファイバセンサシステム
CN108020179B (zh) * 2017-12-28 2019-11-05 西安应用光学研究所 一种高精度角度测量装置及方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3085466A (en) * 1959-02-06 1963-04-16 Gen Precision Inc Interference goniometer
WO1979000506A1 (en) * 1978-01-13 1979-08-09 Nat Res Dev Interferometer systems
US4884889A (en) * 1987-11-19 1989-12-05 Brown & Sharpe Manufacturing Company Calibration system for coordinate measuring machine
JP2000111325A (ja) * 1998-10-01 2000-04-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd レーザ干渉計を使用した回転角度測定における初期設定入射角測定方法
US6762845B2 (en) * 2001-08-23 2004-07-13 Zygo Corporation Multiple-pass interferometry
US6915031B2 (en) * 2002-10-22 2005-07-05 Finisar Corporation Switch using electrooptic polarization splitter and combiner
JP4557939B2 (ja) * 2006-07-18 2010-10-06 株式会社ジェイテック X線ミラーの高精度姿勢制御法およびx線ミラー

Also Published As

Publication number Publication date
EP2554939A1 (fr) 2013-02-06
US20130033709A1 (en) 2013-02-07
FR2978824A1 (fr) 2013-02-08
FR2978824B1 (fr) 2014-03-21
EP2554939B1 (fr) 2014-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104613900B (zh) 一种全光路光漂补偿的高精度滚转角测量方法与装置
US7738112B2 (en) Displacement detection apparatus, polarization beam splitter, and diffraction grating
US8724108B2 (en) Photoelectric autocollimation method and apparatus based on beam drift compensation
US10663589B2 (en) Laser interferometer system for measuring six degrees of freedom with respect to a linear axis
JP2013517465A5 (ru)
US11199400B2 (en) Optical angle sensor
US9797704B2 (en) Interferometer having two transparent plates in parallel for making reference and measurement beams parallel
US7027162B2 (en) System and method for three-dimensional measurement
WO2013082247A1 (en) Interferometer, system, and method of use
CN104748720A (zh) 空间测角装置及测角方法
JP6285808B2 (ja) 干渉計
JP5180594B2 (ja) 干渉計
JPH01284715A (ja) エンコーダー
US9243898B2 (en) Positioning device comprising a light beam
JP5786270B2 (ja) 2色干渉計測装置
RU2012133312A (ru) Интерферометрическая система обнаружения положения
CN106352985A (zh) 一种非对称空间外差光谱仪结构
CN111562002A (zh) 高通量高分辨率高对比度的偏振干涉光谱成像装置及方法
JP7497122B2 (ja) 光学式変位センサ
CN101718519B (zh) 动镜环形干涉仪
US10627215B1 (en) Optical sensor
RU2554599C1 (ru) Углоизмерительный прибор
US11598629B2 (en) Optical displacement sensor
CN110849593A (zh) 基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备
RU2467285C1 (ru) Устройство для измерения угла скручивания

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20150804