RU2012157281A - Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти - Google Patents
Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти Download PDFInfo
- Publication number
- RU2012157281A RU2012157281A RU2012157281/06A RU2012157281A RU2012157281A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A RU 2012157281/06 A RU2012157281/06 A RU 2012157281/06A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A RU 2012157281 A RU2012157281 A RU 2012157281A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cooling
- stage
- fence
- guard
- cooling stage
- Prior art date
Links
- 230000003446 memory effect Effects 0.000 title claims abstract 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract 29
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 2
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
1. Устройство (21) для предотвращения эффекта памяти у криогенных насосов, включающее в себя- первую ступень (23) охлаждения,- вторую ступень (25) охлаждения, которая в осевом направлении примыкает к первой ступени (23) охлаждения,- цилиндрическое ограждение (31), имеющее отверстие (37) и дно (35), причем через дно (35) проходит указанное двухступенчатое устройство (21) по центру таким образом, что первая ступень (23) охлаждения расположена вне ограждения (31), а вторая ступень (25) охлаждения расположена внутри ограждения (31), при этом между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения образовано промежуточное пространство (34), и дно ограждения (31) соединено теплопроводящим образом с первой ступенью (23) охлаждения посредством теплового мостика (33),- служащую в качестве поверхности насоса панель (43) охлаждения, которая соединена со второй ступенью (25) охлаждения и предусмотрена внутри ограждения (31), и- отражатель (39), который расположен в области отверстия (37) цилиндрического ограждения (31) и находится в теплопроводящем контакте с ограждением (31) и/или первой ступенью (23) охлаждения,отличающееся тем, чтотепловой мостик (33) предусмотрен между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения на расстоянии от ее торцевой стороны (55).2. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что положение теплового мостика (33) на первой ступени (23) охлаждения задано таким образом, что при эксплуатации криогенного насоса на ограждении устанавливается температура от 70 до 90 К, предпочтительно примерно 80 К.3. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что тепловой мостик имеет форму патрубка, причем патрубок (33) предусмотрен на дне ограждения (31) и только своим дистальным ко
Claims (12)
1. Устройство (21) для предотвращения эффекта памяти у криогенных насосов, включающее в себя
- первую ступень (23) охлаждения,
- вторую ступень (25) охлаждения, которая в осевом направлении примыкает к первой ступени (23) охлаждения,
- цилиндрическое ограждение (31), имеющее отверстие (37) и дно (35), причем через дно (35) проходит указанное двухступенчатое устройство (21) по центру таким образом, что первая ступень (23) охлаждения расположена вне ограждения (31), а вторая ступень (25) охлаждения расположена внутри ограждения (31), при этом между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения образовано промежуточное пространство (34), и дно ограждения (31) соединено теплопроводящим образом с первой ступенью (23) охлаждения посредством теплового мостика (33),
- служащую в качестве поверхности насоса панель (43) охлаждения, которая соединена со второй ступенью (25) охлаждения и предусмотрена внутри ограждения (31), и
- отражатель (39), который расположен в области отверстия (37) цилиндрического ограждения (31) и находится в теплопроводящем контакте с ограждением (31) и/или первой ступенью (23) охлаждения,
отличающееся тем, что
тепловой мостик (33) предусмотрен между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения на расстоянии от ее торцевой стороны (55).
2. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что положение теплового мостика (33) на первой ступени (23) охлаждения задано таким образом, что при эксплуатации криогенного насоса на ограждении устанавливается температура от 70 до 90 К, предпочтительно примерно 80 К.
3. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что тепловой мостик имеет форму патрубка, причем патрубок (33) предусмотрен на дне ограждения (31) и только своим дистальным концом теплопроводящим образом соединен с первой ступенью (23) охлаждения.
4. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что внутренний диаметр (53) патрубка (33) больше, чем наружный диаметр (51) первой ступени (23) охлаждения.
5. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) на обращенной к ограждению (31) стороне имеет фланец (46), который служит в качестве теплового мостика между патрубком (33) и ограждением (31).
6. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что между фланцем (46) и первой ступенью (25) охлаждения предусмотрен зазор (49).
7. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) находится на расстоянии от второй ступени (25) охлаждения.
8. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что внутри отражателя (39) расположена крышка (57), которая посредством по меньшей мере одной перемычки (59) соединена с патрубком (33).
9. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) изготовлен из меди.
10. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) изготовлен из меди.
11. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что устройство (21) размещено в корпусе (12).
12. Криогенный насос (11), включающий в себя
- корпус (12), содержащий
- первый соединительный фланец (13) с первым отверстием (15) для соединения с камерой, подлежащей вакуумированию, и
- второй соединительный фланец (17) для крепления охлаждающей головки (21) в корпусе (12), и
- размещенное в корпусе (12) устройство (21) по одному из пп.1-10.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH833/10 | 2010-05-27 | ||
| CH00833/10A CH703216A1 (de) | 2010-05-27 | 2010-05-27 | Vorrichtung zur Verhinderung des Memory-Effekts bei Kryopumpen. |
| PCT/CH2011/000122 WO2011147042A1 (de) | 2010-05-27 | 2011-05-25 | Kryopumpe mit einer vorrichtung zur verhinderung des memory - effekts |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2012157281A true RU2012157281A (ru) | 2014-07-10 |
| RU2565477C2 RU2565477C2 (ru) | 2015-10-20 |
Family
ID=43480880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012157281/06A RU2565477C2 (ru) | 2010-05-27 | 2011-05-25 | Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8955339B2 (ru) |
| EP (1) | EP2577064B1 (ru) |
| BR (1) | BR112012029924A2 (ru) |
| CH (1) | CH703216A1 (ru) |
| RU (1) | RU2565477C2 (ru) |
| WO (1) | WO2011147042A1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240392787A1 (en) | 2023-05-25 | 2024-11-28 | Dwc & Associates, Llc | Inducers for cryogenic pumps and related systems and methods |
| US12584488B2 (en) | 2024-05-24 | 2026-03-24 | Flowserve Us Company | Balance drums and systems for managing axial forces for pumps and related systems and methods |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3131396A (en) * | 1960-09-30 | 1964-04-28 | Gen Electric | Cryogenic pumping apparatus |
| CH628959A5 (en) * | 1978-04-18 | 1982-03-31 | Balzers Hochvakuum | Cryopump with a fitted refrigerating machine |
| SU769080A1 (ru) * | 1978-07-31 | 1980-10-07 | Предприятие П/Я В-8851 | Криогенный вакуумный насос |
| DE3575810D1 (de) * | 1984-03-22 | 1990-03-08 | Nippon Telegraph & Telephone | Quantitative sekundaerionen-massenspektrometrie-geraet. |
| SU1250707A1 (ru) * | 1985-03-15 | 1986-08-15 | Организация П/Я М-5273 | Криогенный насос |
| DE3512614A1 (de) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe |
| SU1698481A1 (ru) * | 1987-12-17 | 1991-12-15 | Институт Аналитического Приборостроения Научно-Технического Объединения Ан Ссср | Криогенный адсорбционный насос |
| US4873833A (en) * | 1988-11-23 | 1989-10-17 | American Telephone Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Apparatus comprising a high-vacuum chamber |
| EP0384922B1 (de) * | 1989-02-28 | 1993-07-14 | Leybold Aktiengesellschaft | Mit einem zweistufigen Refrigerator betriebene Kryopumpe |
| GB2234988B (en) * | 1989-08-16 | 1993-12-08 | Qpl Limited | Improvements in vacuum deposition machines |
| JP2574586B2 (ja) * | 1990-11-19 | 1997-01-22 | ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト | クライオポンプを再生する方法及びこの方法を実施するのに適したクライオポンプ |
| US5231840A (en) * | 1991-03-28 | 1993-08-03 | Daikin Industries, Ltd. | Cryopump |
| US5537833A (en) * | 1995-05-02 | 1996-07-23 | Helix Technology Corporation | Shielded cryogenic trap |
| DE19632123A1 (de) * | 1996-08-09 | 1998-02-12 | Leybold Vakuum Gmbh | Kryopumpe |
| US6122920A (en) * | 1998-12-22 | 2000-09-26 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | High specific surface area aerogel cryoadsorber for vacuum pumping applications |
| DE10331201A1 (de) * | 2003-07-10 | 2005-01-27 | Leybold Vakuum Gmbh | Kryopumpe |
| WO2006022297A1 (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-02 | Ulvac Cryogenics Incorporated | 蓄冷器及びクライオポンプ |
| US8291717B2 (en) * | 2008-05-02 | 2012-10-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Cryogenic vacuum break thermal coupler with cross-axial actuation |
| JP5184995B2 (ja) * | 2008-07-04 | 2013-04-17 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
| JP4843067B2 (ja) * | 2009-04-08 | 2011-12-21 | 住友重機械工業株式会社 | パルスチューブ冷凍機 |
-
2010
- 2010-05-27 CH CH00833/10A patent/CH703216A1/de not_active Application Discontinuation
-
2011
- 2011-05-25 US US13/700,425 patent/US8955339B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-25 EP EP11722718.1A patent/EP2577064B1/de not_active Not-in-force
- 2011-05-25 RU RU2012157281/06A patent/RU2565477C2/ru active
- 2011-05-25 BR BR112012029924A patent/BR112012029924A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-05-25 WO PCT/CH2011/000122 patent/WO2011147042A1/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2011147042A1 (de) | 2011-12-01 |
| BR112012029924A2 (pt) | 2019-09-24 |
| US20130104571A1 (en) | 2013-05-02 |
| US8955339B2 (en) | 2015-02-17 |
| EP2577064B1 (de) | 2014-03-19 |
| RU2565477C2 (ru) | 2015-10-20 |
| CH703216A1 (de) | 2011-11-30 |
| EP2577064A1 (de) | 2013-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8529099B2 (en) | Heat dissipating lamp device having electric turbine axial fan | |
| TWM468568U (zh) | 機油濾芯散熱器 | |
| MA38258A1 (fr) | Agencement de refroidissement d'une pompe destinée à pomper un liquide | |
| RU2011134646A (ru) | Осветительное устройство | |
| ATE530865T1 (de) | Sammler mit innerem wärmetauscher und mit internen multifunktionskomponent | |
| US8167460B2 (en) | LED lamp having heat radiating housing | |
| WO2015129419A1 (ja) | Ｌｅｄランプ | |
| RU2007135200A (ru) | Статор турбины газотурбинного двигателя и газотурбинный двигатель | |
| JP5975303B2 (ja) | Ｌｅｄランプ及びそれに使用するヒートシンク | |
| CN102401295A (zh) | 一种水冷散热的led路灯 | |
| RU2012157281A (ru) | Криогенный насос, снабженный устройством для предотвращения эффекта памяти | |
| US20130049594A1 (en) | Electric axial-flow fan having turbine type waterproof enclosure and application thereof | |
| JP2016070114A (ja) | エンジンの水冷装置 | |
| RU2014107760A (ru) | Мощная светодиодная лампа с охлаждением | |
| TWI584872B (zh) | Installation of cold trap and cold trap | |
| CN105351835A (zh) | 一种灯罩降温装置 | |
| TWI706758B (zh) | 氣泡水機之冷膽 | |
| JP2014509774A (ja) | セラミック製の冷却器とｌｅｄを備える射出成形されたランプボディ | |
| MX388023B (es) | Módulo de enfriamiento. | |
| CN104384768A (zh) | 出水管路设有蛇形盘管冷却器的高效冷却机 | |
| RU2010134118A (ru) | Конденсационный котел наружного размещения | |
| RU2014134971A (ru) | Газоразрядная лампа | |
| KR101292443B1 (ko) | 휠로더의 배기장치 | |
| RU2482297C2 (ru) | Система охлаждения двигателя | |
| RU2011111035A (ru) | Тепловой блок с наклонным газоходом |