RU2425182C1 - Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors - Google Patents
Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors Download PDFInfo
- Publication number
- RU2425182C1 RU2425182C1 RU2010111875/02A RU2010111875A RU2425182C1 RU 2425182 C1 RU2425182 C1 RU 2425182C1 RU 2010111875/02 A RU2010111875/02 A RU 2010111875/02A RU 2010111875 A RU2010111875 A RU 2010111875A RU 2425182 C1 RU2425182 C1 RU 2425182C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- electrolyte
- holder
- sample holder
- electrochemical cell
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области электрохимических процессов, а конкретно к анодному окислению металлов и полупроводников.The invention relates to the field of electrochemical processes, and specifically to the anodic oxidation of metals and semiconductors.
Известна электрохимическая ячейка [1]. Она включает электропроводящий держатель образца, образец, ванну с электролитом, контактирующим с образцом, и устройство регулирования температуры в электрохимической ячейке, обеспечивающее регулирование температуры объема электролита. Недостатком данной ячейки является то, что она не обеспечивает повышенной воспроизводимости процесса анодного окисления. Это вызвано, во-первых, тем, что в ней осуществляется термостабилизация объема электролита, а не зоны электрохимической реакции, где происходит основное выделение тепла, что не обеспечивает постоянства напряженности электрического поля в растущем оксиде. Во - вторых, из-за того, что формируемые анодные оксиды металлов и полупроводников приобретают пористую структуру нанометровых размеров, в процессе анодирования происходит обеднение электролита в объеме образующихся пор, что также приводит к снижению воспроизводимости процесса формирования пористой структуры по всей площади анодируемых образцов (не удается получить малую дисперсию размеров пор). В третьих, из-за возможных флуктуаций величины напряженности электрического поля в растущем оксиде в локальных его местах возможны электрический пробой образца или ускоренное формирование сквозных пор в образце и, как следствие, проникновение электролита к поверхности держателя образца и его химическое взаимодействие с материалом держателя, приводящее к разрушению держателя.Known electrochemical cell [1]. It includes an electrically conductive sample holder, a sample, a bath with an electrolyte in contact with the sample, and a temperature control device in the electrochemical cell that provides temperature control of the volume of the electrolyte. The disadvantage of this cell is that it does not provide increased reproducibility of the anodic oxidation process. This is caused, firstly, by the fact that it is thermostabilized by the volume of the electrolyte, and not the zone of the electrochemical reaction, where the main heat is released, which does not provide a constant electric field in the growing oxide. Secondly, due to the fact that the formed anodic oxides of metals and semiconductors acquire a porous structure of nanometer size, the anodizing process depletes the electrolyte in the volume of the resulting pores, which also leads to a decrease in the reproducibility of the formation of the porous structure over the entire area of the anodized samples (not it is possible to obtain a small dispersion of pore sizes). Thirdly, due to possible fluctuations in the magnitude of the electric field in the growing oxide in its local places, electric breakdown of the sample or accelerated formation of through pores in the sample and, as a result, penetration of the electrolyte to the surface of the sample holder and its chemical interaction with the holder material, leading to to the destruction of the holder.
Известна электрохимическая ячейка [2]. Данное устройство включает электропроводящий держатель образца, образец, ванну с электролитом, контактирующим с образцом, и устройство регулирования температуры в электрохимической ячейке, предотвращающее рост температуры электролита. Недостатками данной ячейки так же, как и в предыдущем аналоге, является то, что в ней осуществляется термостабилизация объема электролита, а не зоны электрохимической реакции, где происходит основное выделение тепла, что не обеспечивает постоянства напряженности электрического поля в растущем оксиде, а следовательно, повышенной воспроизводимости процесса анодного окисления. Так же, как и в предыдущем аналоге, электрохимическая ячейка не способна устранить обеднения электролита в объеме формируемых пор, что приводит к снижению воспроизводимости процесса формирования пористой структуры по всей площади анодируемых образцов. Также и в данной ячейке возможен процесс проникновения электролита к поверхности держателя образца, химическое взаимодействие с ним и разрушение держателя.Known electrochemical cell [2]. This device includes an electrically conductive sample holder, a sample, a bath with an electrolyte in contact with the sample, and a temperature control device in the electrochemical cell that prevents the temperature of the electrolyte from rising. The disadvantages of this cell, as in the previous analogue, are that it stabilizes the volume of the electrolyte, and not the zone of the electrochemical reaction, where the main heat is released, which does not provide a constant electric field in the growing oxide, and therefore, increased reproducibility of the anodic oxidation process. As in the previous analogue, the electrochemical cell is not able to eliminate the depletion of the electrolyte in the volume of the formed pores, which leads to a decrease in the reproducibility of the formation of the porous structure over the entire area of the anodized samples. Also, in this cell, the process of penetration of the electrolyte to the surface of the sample holder, chemical interaction with it, and destruction of the holder is possible.
Наиболее близким к заявляемой электрохимической ячейке является устройство [3]. Электрохимическая ячейка включает плоский держатель образца, выполненный из электропроводящего теплопроводящего материала, служащий одновременно рабочим электродом, ванну с электролитом, контактирующим с образцом, вспомогательный электрод, размещенный в объеме электролита, и устройство регулирования температуры в электрохимической ячейке. Устройство регулирования температуры контактирует с обратной поверхностью электропроводящего держателя образца. В качестве устройства регулирования температуры может быть использован термоэлемент Пельтье.Closest to the claimed electrochemical cell is a device [3]. The electrochemical cell includes a flat sample holder made of electrically conductive heat-conducting material, serving simultaneously as a working electrode, a bath with an electrolyte in contact with the sample, an auxiliary electrode placed in the volume of the electrolyte, and a temperature control device in the electrochemical cell. The temperature control device is in contact with the reverse surface of the electrically conductive sample holder. As a temperature control device, a Peltier thermocouple can be used.
Недостатком данной ячейки, так же, как и в предыдущих аналогах, является то, что она не способна устранить обеднения электролита в объеме формируемых пор оксида, что приводит к снижению воспроизводимости процесса формирования пористой структуры по всей площади анодируемых образцов. Кроме того, в ней также возможным является проникновение электролита к поверхности держателя образца, химическое с ним взаимодействие и разрушение держателя.The disadvantage of this cell, as well as in the previous analogues, is that it is not able to eliminate the depletion of the electrolyte in the volume of the formed pores of the oxide, which leads to a decrease in the reproducibility of the formation of the porous structure over the entire area of the anodized samples. In addition, the penetration of electrolyte to the surface of the sample holder, chemical interaction with it and destruction of the holder is also possible in it.
Задача изобретения - повышение воспроизводимости процесса формирования пористых анодных оксидов металлических и полупроводниковых образцов.The objective of the invention is to increase the reproducibility of the process of formation of porous anodic oxides of metal and semiconductor samples.
Сущность изобретения заключается в следующем. Электрохимическая ячейка содержит плоский теплопроводящий держатель образца, образец, ванну с электролитом, контактирующим с рабочей поверхностью образца, полосковый металлический рабочий электрод, вспомогательный электрод, расположенный в объеме электролита, устройство регулирования температуры в электрохимической ячейке, контактирующее с обратной поверхностью держателя образца, и генератор ультразвуковых колебаний. Плоский теплопроводящий держатель образца выполнен из химически инертного материала. Полосковый металлический рабочий электрод расположен по периметру рабочей поверхности образца на его периферии, изолированно от электролита. Генератор ультразвуковых колебаний прикреплен к обратной поверхности держателя образца. Плоский теплопроводящий держатель образца может быть выполнен из сапфира. В качестве генератора ультразвуковых колебаний может быть использован пьезоэлемент.The invention consists in the following. The electrochemical cell contains a flat heat-conducting sample holder, a sample, a bath with an electrolyte in contact with the working surface of the sample, a strip metal working electrode, an auxiliary electrode located in the volume of the electrolyte, a temperature control device in the electrochemical cell in contact with the back surface of the sample holder, and an ultrasonic generator fluctuations. The flat heat-conducting sample holder is made of a chemically inert material. A strip metal working electrode is located around the perimeter of the working surface of the sample at its periphery, isolated from the electrolyte. An ultrasonic oscillator is attached to the back surface of the sample holder. The flat heat-conducting sample holder can be made of sapphire. As a generator of ultrasonic vibrations, a piezoelectric element can be used.
В процессе анодирования металлических и полупроводниковых образцов при образовании пористых оксидов происходит обеднение электролита в объеме образующихся пор оксида. Это приводит к тому, что в разных участках поверхности образца кинетика процесса формирования пор может существенно отличаться, что приводит к снижению воспроизводимости процесса формирования пористой структуры по всей площади анодируемых образцов (не удается получить малую дисперсию размеров пор). Для обеспечения воспроизводимости процесса анодного окисления необходимо обеспечивать непрерывное обновление состава электролита у рабочей поверхности образца и, в первую очередь, в объеме образующихся пор. Это может быть достигнуто, если обеспечить ультразвуковую обработку электролита. При этом целесообразно прикрепить генератор ультразвуковых колебаний к обратной стороне держателя образца. С одной стороны, через твердотельный держатель образца ультразвуковые волны успешно рапространяются в электролит, обеспечивая эффективный процесс перемешивания электролита, с другой, исключается воздействие на материал генератора ультразвуковых колебаний химически агрессивной среды электролита. В качестве генератора ультразвуковых колебаний может быть использован пьезоэлемент (несколько пьезоэлементов), являющийся компактным устройством, хорошо вписывающимся в конструкцию электрохимической ячейки.During the anodization of metal and semiconductor samples during the formation of porous oxides, the electrolyte is depleted in the volume of the formed pores of the oxide. This leads to the fact that in different parts of the surface of the sample the kinetics of the pore formation process can differ significantly, which leads to a decrease in the reproducibility of the formation of the porous structure over the entire area of the anodized samples (it is not possible to obtain a small dispersion of pore sizes). To ensure reproducibility of the anodic oxidation process, it is necessary to ensure continuous updating of the electrolyte composition at the working surface of the sample and, first of all, in the volume of pores formed. This can be achieved by providing ultrasonic treatment of the electrolyte. In this case, it is advisable to attach the ultrasonic vibration generator to the back of the sample holder. On the one hand, through a solid-state sample holder, ultrasonic waves successfully propagate into the electrolyte, providing an efficient process of mixing the electrolyte, on the other hand, the influence of a chemically aggressive electrolyte medium on the generator material of ultrasonic vibrations is excluded. As a generator of ultrasonic vibrations, a piezoelectric element (several piezoelements) can be used, which is a compact device that fits well with the design of the electrochemical cell.
Из-за возможных флуктуации величины напряженности электрического поля в растущем оксиде в локальных его местах возможны электрический пробой образца или ускоренное формирование сквозных пор в образце и, как следствие, проникновение электролита к поверхности держателя образца и его химическое взаимодействие с материалом держателя, приводящее к разрушению держателя. Поэтому целесообразным является выполнение теплопроводящего держателя образца в виде химически инертного материала. Среди металлов таковые практически отсутствуют. В основном химически инертные свойства проявляют диэлектрики. В качестве него может быть использована сапфировая подложка. В этом случае для обеспечения подачи электрического потенциала к анодируемому образцу эффективным является использование специального полоскового металлического рабочего электрода, расположенного по периметру рабочей поверхности образца на его периферии, изолированно от электролита.Due to possible fluctuations in the magnitude of the electric field in the growing oxide in its local places, electric breakdown of the sample or accelerated formation of through pores in the sample and, as a result, penetration of the electrolyte to the surface of the sample holder and its chemical interaction with the holder material, leading to destruction of the holder, are possible . Therefore, it is advisable to perform a heat-conducting sample holder in the form of a chemically inert material. Among metals, there are practically none. Mostly chemically inert properties are manifested by dielectrics. As it can be used a sapphire substrate. In this case, to ensure the supply of electric potential to the anodized sample, it is effective to use a special strip metal working electrode located along the perimeter of the working surface of the sample at its periphery, isolated from the electrolyte.
Достоинством предлагаемого технического решения является обеспечение повышения воспроизводимости, контролируемости, однородности процесса анодного окисления металлических и полупроводниковых образцов в широком диапазоне их размеров.The advantage of the proposed technical solution is to provide increased reproducibility, controllability, uniformity of the process of anodic oxidation of metal and semiconductor samples in a wide range of their sizes.
На фиг.1 приведено схематическое изображение электрохимической ячейки, где: 1 - плоский теплопроводящий химически инертный держатель образца, 2 - образец, 3 - ванна с электролитом, 4 - электролит, 5 - вспомогательный электрод, 6 - резиновая прокладка, 7 - полосковый металлический рабочий электрод, 8 - генератор ультразвуковых колебаний, 9 - устройство регулирования температуры, 10 - радиатор, 11 - блок управления генератором ультразвуковых колебаний и устройством регулирования температуры.Figure 1 shows a schematic illustration of an electrochemical cell, where: 1 is a flat, thermally conductive chemically inert sample holder, 2 is a sample, 3 is a bath with electrolyte, 4 is an electrolyte, 5 is an auxiliary electrode, 6 is a rubber gasket, 7 is a strip metal worker an electrode, 8 — an ultrasonic vibrations generator, 9 — a temperature control device, 10 — a radiator, 11 — a control unit for an ultrasonic vibrations generator and a temperature control device.
Электрохимическая ячейка работает следующим образом. Образец - 2 устанавливают на плоский теплопроводящий химически инертный держатель образца - 1. На образец устанавливают и закрепляют ванну - 3 и полосковый металлический рабочий электрод 7, отделенный от внутреннего объема ванны резиновой прокладкой - 6. Заливают в ванну электролит - 4, и помещают в электролит вспомогательный электрод - 5. С обратной стороны плоского теплопроводящего химически инертного держателя образца устанавливают устройство регулирования температуры - 9 и генератор ультразвуковых колебаний - 8. Подключают устройство регулирования температуры и генератор ультразвуковых колебаний к блоку управления - 11. К рабочему и вспомогательному электродам подают напряжение фиксированной величины (на рабочий электрод подают положительный потенциал). Включают устройство регулирования температуры и генератор ультразвуковых колебаний. В течение определенного времени выдерживают образец в данном потенциостатическом режиме, обеспечивая тем самым рост на его поверхности пористого слоя оксида. При этом за счет ультразвукового воздействия осуществляется непрерывное перемешивание электролита вблизи поверхности образца. Обеспечивается тем самым воспроизводимый процесс формирования пористого оксида по всей площади образца. В заключение отключают питающее напряжение, генератор ультразвуковых колебаний, устройство регулирования температуры и выгружают образец из ванны.The electrochemical cell operates as follows. Sample - 2 is installed on a flat thermally conductive chemically inert sample holder - 1. A bath - 3 and a strip metal working electrode 7, separated from the inside volume of the bath with a rubber gasket - 6 are installed and fixed onto the sample. 6. Electrolyte - 4 is poured into the bath and placed in the electrolyte auxiliary electrode - 5. On the back side of a flat heat-conducting chemically inert sample holder, a temperature control device — 9 and an ultrasonic oscillation generator — are installed. 8. A control device is connected. temperature and the ultrasonic oscillation generator to the control unit - 11. A fixed value voltage is applied to the working and auxiliary electrodes (a positive potential is applied to the working electrode). They include a temperature control device and an ultrasonic oscillation generator. For a certain time, the sample is kept in this potentiostatic mode, thereby ensuring the growth of a porous oxide layer on its surface. In this case, due to the ultrasonic effect, continuous mixing of the electrolyte is carried out near the surface of the sample. This ensures a reproducible process of formation of porous oxide over the entire area of the sample. In conclusion, the supply voltage, the ultrasonic oscillation generator, the temperature control device are turned off and the sample is unloaded from the bath.
Пример исполнения.Execution example.
Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников включает плоский теплопроводящий держатель образца, выполненный в виде сапфировой подложки, образец, представляющий собой алюминиевую фольгу, фтороплатовую ванну с электролитом, представляющим собой водный раствор серной кислоты, контактирующим с рабочей поверхностью образца, полосковый медный рабочий электрод, расположенный по периметру рабочей поверхности образца на его периферии, изолированно от электролита, вспомогательный платиновый электрод, расположенный в объеме электролита, устройство регулирования температуры, контактирующее с обратной поверхностью держателя образца, и генератор ультразвуковых колебаний, прикрепленный к обратной поверхности держателя образца. Устройство регулирования температуры представляет собой термоэлемент Пельтье в керамическом корпусе. Генератор ультразвуковых колебаний выполнен в виде пьезоэлемента. К термоэлементу Пельтье и пьезоэлементу подключен блок управления.The electrochemical cell for producing porous anodic metal oxides and semiconductors includes a flat heat-conducting sample holder made in the form of a sapphire substrate, a sample consisting of aluminum foil, a fluoroplate bath with an electrolyte representing an aqueous solution of sulfuric acid in contact with the working surface of the sample, a strip copper working surface an electrode located along the perimeter of the working surface of the sample at its periphery, isolated from the electrolyte, auxiliary platinum an electrode located in the volume of the electrolyte, a temperature control device in contact with the back surface of the sample holder, and an ultrasonic oscillator attached to the back surface of the sample holder. The temperature control device is a Peltier thermocouple in a ceramic case. The generator of ultrasonic vibrations is made in the form of a piezoelectric element. A control unit is connected to the Peltier thermocouple and the piezoelectric element.
Для проведения процесса формирования пористого оксида на рабочий и вспомогательный электроды подают напряжение - 300В. При этом на рабочий электрод подают положительный потенциал. Включают пьезоэлемент и термоэлемент Пельтье. Выдерживают образец в электролите в течение 1 часа, тем самым проводят процесс анодирования в потенциостатическом режиме, при этом на алюминиевой фольге формируется слой пористого оксида алюминия.To carry out the process of forming porous oxide, a voltage of 300V is applied to the working and auxiliary electrodes. At the same time, a positive potential is supplied to the working electrode. Includes piezoelectric element and Peltier thermoelement. The sample is kept in the electrolyte for 1 hour, thereby anodizing is carried out in a potentiostatic mode, while a layer of porous aluminum oxide is formed on the aluminum foil.
Экономическая эффективность от использования предложенной электрохимической ячейки связана с повышением воспроизводимости процесса формирования анодных пористых оксидов металлов и полупроводников.The economic efficiency of using the proposed electrochemical cell is associated with an increase in the reproducibility of the process of formation of anode porous metal oxides and semiconductors.
Практическая значимость обусловлена тем, что предложенное устройство является эффективным для создания на основе синтезируемых пористых оксидов металлов и полупроводников элементов опто-, сенсорэлектроники, характеризующихся качественно новыми свойствами.Practical significance is due to the fact that the proposed device is effective for creating opto- and sensor-electronics elements based on synthesized porous metal oxides and semiconductors, which are characterized by qualitatively new properties.
Источники информацииInformation sources
1. Патент Канады СА 2425296, C25D 11/08, 2003.1. Canadian Patent CA 2425296, C25D 11/08, 2003.
2. Патент Тайваня TW 555891 В, C25D 11/04, 2003.2. Taiwan Patent TW 555891 B, C25D 11/04, 2003.
3. Патент РФ №2332528, C25D 11/04, 2008 - прототип.3. RF patent No. 2332528, C25D 11/04, 2008 - prototype.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010111875/02A RU2425182C1 (en) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2010111875/02A RU2425182C1 (en) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2425182C1 true RU2425182C1 (en) | 2011-07-27 |
Family
ID=44753570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010111875/02A RU2425182C1 (en) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2425182C1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2324015C1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-05-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Process to manufacture porous anodic alumina |
| CN101235528A (en) * | 2008-02-22 | 2008-08-06 | 南京大学 | A method for preparing a nanoporous alumina membrane with adjustable pore size and/or pore spacing |
| RU2332528C1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Electrochemical cell for obtaining porous anode metal oxides and semi-conductors |
| WO2010022486A1 (en) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Daihatsu Indústria E Comércio De Móveis E Aparelhos Elétricos Ltda. | Color and hard anodizing process for application on metal plates of hair straightening and modeling manual equipment |
-
2010
- 2010-03-30 RU RU2010111875/02A patent/RU2425182C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2324015C1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-05-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Process to manufacture porous anodic alumina |
| RU2332528C1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Electrochemical cell for obtaining porous anode metal oxides and semi-conductors |
| CN101235528A (en) * | 2008-02-22 | 2008-08-06 | 南京大学 | A method for preparing a nanoporous alumina membrane with adjustable pore size and/or pore spacing |
| WO2010022486A1 (en) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Daihatsu Indústria E Comércio De Móveis E Aparelhos Elétricos Ltda. | Color and hard anodizing process for application on metal plates of hair straightening and modeling manual equipment |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zaraska et al. | Anodic alumina membranes with defined pore diameters and thicknesses obtained by adjusting the anodizing duration and pore opening/widening time | |
| Zaraska et al. | Synthesis of nanoporous tin oxide layers by electrochemical anodization | |
| Chung et al. | Effects of temperature and voltage mode on nanoporous anodic aluminum oxide films by one-step anodization | |
| KR102009059B1 (en) | Sensor and method for manufacturing a sensor | |
| US20090098344A1 (en) | Microstructure and method of manufacturing the same | |
| CN103257132B (en) | Silver nanocap array surface enhanced Raman active substrate and preparation method thereof | |
| US20120012461A1 (en) | Electrophoretic deposition | |
| RU2425182C1 (en) | Electro-chemical cell for production of porous anode metal oxides and semi-conductors | |
| CN108456917A (en) | A kind of preparation method of porous tantalum piece | |
| RU2332528C1 (en) | Electrochemical cell for obtaining porous anode metal oxides and semi-conductors | |
| CN103698358B (en) | A kind of preparation method of porous ceramics alumina type humidity sensor | |
| JP2003133308A (en) | Method for manufacturing oxide film of silicon carbide, apparatus for manufacturing oxide film, and method for manufacturing semiconductor element using oxide film | |
| JP4953356B2 (en) | Porous diamond film and method for producing the same | |
| CN112154229A (en) | Anodizing device, anodizing method, and method for manufacturing cathode of anodizing device | |
| CN106645077A (en) | A preparing method of an SERS active substrate having a 'hot spot' dimension of less than 5 nm based on a novel high- and low-temperature counterboring process with a step core drill | |
| JP2020188171A (en) | Etching device | |
| RU122385U1 (en) | ELECTROCHEMICAL CELL FOR PRODUCING POROUS ANODE OXIDES OF METALS AND SEMICONDUCTORS | |
| CN101311384B (en) | CuTe single crystal nanobelt and its preparation method | |
| Agapescu et al. | Characterization and corrosion behavior of BiTeSe thin films grown by electrodeposition from choline chloride-oxalic acid ionic liquid | |
| JP3947317B2 (en) | Anodizing control method and anodizing apparatus | |
| CN105992839B (en) | Method of Forming a Metallic Coating | |
| Chang et al. | Electrochemical etching of n-type 6H-SiC without UV illumination | |
| CN111267246A (en) | Crystal bar slicing device and method | |
| JP4337827B2 (en) | Processing method with hydroxyl groups in ultrapure water | |
| JP2012049386A (en) | Electrolytic etching apparatus and method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE Effective date: 20140404 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170331 |